KR0123049Y1 - Photoresist disposing apparatus for coating process in semiconductor manufacture - Google Patents
Photoresist disposing apparatus for coating process in semiconductor manufactureInfo
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Abstract
본 고안은 배액탱크에 셋팅치의 포토레지스트가 모이면 배액펌프가 작동해서 외부의 외부 폐기통으로 펌핑시키고, 상기 외부 폐기통이 가득차면 이를 알리는 풀시그날이 울려서 작업자가 인식할 수 있으며, 외부 폐기통의 교환시에도 공정을 계속 진행할 수 있으므로 인해, 종래와 같이 포토레지스트 배액 및 폐액처리로 인한 장치의 가동정지 및 펩의 오염이 발생되지 않을 뿐만 아니라 인력 및 시간의 소요가 대폭 경감되므로 장치의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 것이다.When the photoresist of the set value is collected in the drainage tank, the drainage pump is operated to pump the external waste container, and when the external waste container is full, a full signal sounds to notify the operator. Since the process can be continued even during the exchange, the device does not stop operation due to photoresist drainage and waste disposal, and contaminates the pep as well as greatly reduces manpower and time. It is greatly improved.
이를 위해, 본 고안은 배액탱크(2)와 캐비닛(4) 내의 포토레지스트를 담기위한 외부 폐기통(5)이 관(6)으로 연결되고 상기 관(6)의 중앙부에는 배액탱크(2)의 포토레지스트를 외부 폐기통(5)으로 펌핑시키는 배액펌프(7)가 설치되는 반도체 제조를 위한 코팅공정용 포토레지스트 자동폐기장치이다.To this end, the present invention is connected to the drainage tank (2) and the external waste container (5) for containing the photoresist in the cabinet (4) by the tube (6) and the center of the tube (6) of the drainage tank (2) A photoresist automatic waste disposal device for a coating process for semiconductor manufacturing, in which a drainage pump 7 for pumping a photoresist into an external waste container 5 is installed.
Description
제1도의 (a) 및 (b)는 종래의 포토레지스트 폐기장치를 유형별로 개략적으로 나타낸 사시도(A) and (b) of FIG. 1 is a perspective view schematically showing a conventional photoresist disposal device by type
제2도는 본 고안의 설치 상태를 나타낸 요부사시도Figure 2 is a yabu perspective view showing the installation state of the subject innovation
제3도는 본 고안에 따른 PR배액시스템을 나타낸 구성도3 is a block diagram showing a PR drainage system according to the present invention
제4도는 제3도의 자동배액 콘트롤러의 조작반 조작시의 모드 전환 과정을 설명하기 위한 흐름도4 is a flow chart for explaining a mode switching process when operating the operation panel of the automatic drainage controller of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1:코터 2:배액탱크1: coater 2: drain tank
3:코팅모듈 4:캐비닛3: coating module 4: cabinet
5:외부 폐기통 6:관5: Outer waste bin 6: Tube
7:배액펌프 10a:버퍼중량센서7: Drainage pump 10a: Buffer weight sensor
10b:주중량센서 11:알람셋팅게이지10b: Main weight sensor 11: Alarm setting gauge
12:자동배액 콘트롤러 13:솔레노이드12: Automatic drainage controller 13: Solenoid
14:외부 폐기통 유·무 검출센서 15:배액 가이드 업 센서14: External waste container presence and absence detection sensor 15: Drainage guide up sensor
16:배액 가이드16: drainage guide
본 고안은 포토레지스트 자동폐기장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토레지스트(Photoresist ; PR이라고 약칭 하기도 함)를 폐기(drain)시킬 때에 발생되는 코팅 시스템의 가동불능이나 팹(Fab)의 오염을 방지할 수 있으며, 폐(廢)포토레지스트를 간편하게 처리할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a photoresist automatic waste disposal device, and more particularly, to prevent inoperability of a coating system or contamination of a fab generated when draining a photoresist (sometimes referred to as PR). It is possible to process the waste photoresist easily.
종래에는 제1도의 (a)에 나타낸 바와 같이 코터(Coater)(1)내부에 배액탱크(2)가 설치되고 상기 배액탱크(2)의 상부에는 코팅모듈(3)이 설치되며, 상기 배액탱크(2)하부에는 정전용량센서 또는 중량센서(10)가 설치되고, 그 센서단에 알람세팅 게이지(11)가 설치되어, 셋팅치까지 포토레지스트가 차게 될 경우에는 상기 알람셋팅게이지(11)에 의해 액위가 검출되어 코팅 시스템이 인터록 작용에 의해 정지하게 된다.Conventionally, as shown in (a) of FIG. 1, a drainage tank 2 is installed inside a coater 1, and a coating module 3 is installed on an upper portion of the drainage tank 2. (2) The capacitive sensor or the weight sensor 10 is installed at the lower part, and the alarm setting gauge 11 is installed at the sensor end thereof, and when the photoresist is filled up to the setting value, the alarm setting gauge 11 The liquid level is detected and the coating system is stopped by the interlocking action.
그러나, 상기한 바와 같은 유형의 장치는 포토레지스트 코터(1)내부에만 배액탱크(2)를 부착한 경우에 상기 배액탱크(2)의 용량이 작으므로 인해서 자주 작업자가 수작업을 통해 배액탱크를 비워주어야 하고, 이때마다 코팅시스템의 가동을 전체적으로 중단시켜야만 하는 단점이 있었다.However, in the type of device described above, when the drainage tank 2 is attached only to the inside of the photoresist coater 1, the drainage tank 2 has a small capacity, so that an operator frequently emptyes the drainage tank by hand. There was a drawback that, at this time, the coating system must be shut down as a whole.
또한, 배액작업을 위해 배액탱크(2)를 코팅모듈로부터 분리시키는 과정 및 장착하는 과정에서 포토레지스트가 팹(fab) 실의 플로워에 떨어져 팹실 전체를 오염시키는 등의 문제점이 있었다.In addition, in the process of separating and mounting the drainage tank 2 from the coating module for drainage, photoresist falls into the floor of the fab chamber and contaminates the entire fab chamber.
요컨데, 시스템의 다운(down)이 잦고, 폐포토레지스트의 폐기 및 배액탱크 교환에 따른 시간 및 인력의 낭비가 많으며, 팹의 오염이 발생하게 되는 문제점이 있었다.In short, the system is frequently down, there is a lot of waste of time and manpower due to the disposal of waste photoresist and the drainage tank, and contamination of the fab occurs.
한편, 제1도의 (b)에 나타낸 바와 같이, 코터(1)내부에 배액탱크(2)가 없는 대신, 코터 내부의 코팅모듈(3)로부터 폐포토레지스트를 공장의 대형 메인배액탱크로 바로 배액시키는 경우에는 시스템의 가동 정지시간은 적게 걸리는 반면에 배액라인이 길어지므로 장시간 사용하지 않을때에는 관(5)의 막힘이 발생하게 되는 문제점이 있었다.On the other hand, as shown in (b) of FIG. 1, instead of the drainage tank 2 inside the coater 1, the waste photoresist is drained directly from the coating module 3 inside the coater to the large main drainage tank of the factory. In this case, the downtime of the system takes less time, but the drainage line becomes longer. Therefore, there is a problem that the blockage of the pipe 5 occurs when not used for a long time.
뿐만 아니라, 대형 메인배액탱크로 폐포토레지스트를 보내기 위한 펌프(도시는 생략함) 등의 장치에 고장이 발생시에는 전 코팅시스템의 가동이 정지되며, 대형인 메인배액탱크에서 포토레지스트를 재수거하는 작업이 난이하므로 인해 폐기 절차상 어려움을 겪게 되는 등의 문제점이 있었다.In addition, when a failure occurs in a device such as a pump for sending waste photoresist to a large main drain tank (not shown), the entire coating system is stopped and the photoresist is recollected from the large main drain tank. Due to the difficulty of work, there were problems such as difficulties in disposal procedures.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안은 포토레지스트를 폐기시에도 시스템의 가동을 정지시키지 않아도 될 뿐만 아니라, 팹의 오염을 방지할 수 있으며, 나아가 폐포토레지스트의 종말(終末)처리시에도 작업상의 어려움없이 간편하게 수거 및 처리할 수 있는 포토레지스트 자동폐기장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems, the present invention is not only to stop the operation of the system even when the photoresist is disposed, but also to prevent contamination of the fab, furthermore the end of the waste photoresist (終末It is an object of the present invention to provide a photoresist automatic waste disposal device that can be easily collected and processed without any difficulty in processing.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 배액탱크와 캐비닛 내의 포토레지스트를 담기위한 외부 폐기통이 관으로 연결되어 상기 관의 중앙부에는 배액탱크의 포토레지스트를 외부 폐기통으로 펌핑시키는 배액펌프가 설치된 포토레지스트 자동폐기장치이다.In order to achieve the above object, the present invention is a drain tank and an external waste container for containing the photoresist in the cabinet are connected by a pipe, and a photoresist having a drain pump for pumping the photoresist of the drain tank into an external waste container is installed at the center of the tube. It is an automatic disposal device.
이하, 본 고안은 일실시예를 첨부된 도면 제2도 내지 제3도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, FIGS. 2 to 3 as an embodiment.
제2도는 본 고안의 설치상태를 나타낸 요부사시도이고, 제3도는 본 고안에 따른 배액시스템을 나타낸 구성도로서, 포토레지스트액을 도포하는 코팅모듈(3)이 설치되고, 상기 코팅모듈(3) 하부에는 배액탱크(2)가 설치된다.2 is a main part perspective view showing the installation state of the present invention, Figure 3 is a configuration diagram showing a drainage system according to the present invention, a coating module (3) for applying a photoresist liquid is installed, the coating module (3) The drainage tank 2 is installed in the lower portion.
또한, 코터(1) 외부에 캐비닛(cabinet)(4)이 설치되고, 상기 캐비닛(4)의 내부에는 폐포토레지스트를 담기 위한 외부 폐기통(5)이 설치되며, 배액탱크(2)와 외부 폐기통(5)은 관(6)으로 연결되고, 상기 관(6)의 중앙부에는 배액펌프(7)가 설치된다.In addition, a cabinet 4 is installed outside the coater 1, and an external waste container 5 for storing waste photoresist is installed inside the cabinet 4. Waste container 5 is connected to the tube (6), the drainage pump (7) is installed in the center of the tube (6).
또한, 상기 배액탱크(2) 하부에는 배액탱크(2)로 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 배액탱크(2)의 중량 측정을 통해 검출하게 되는 버퍼중량센서(buffer weight sensor)(10a)가 설치되고, 상기 배액탱크(2)에는 상기 배액탱크 내에 저장된 폐포토레지스트를 압송시키게 되는 배액펌프(7)가 연결된다.In addition, a buffer weight sensor 10a is installed below the drain tank 2 to detect the liquid level of the waste photoresist drained by the drain tank 2 by measuring the weight of the drain tank 2. The drainage tank 2 is connected to a drainage pump 7 for pumping the waste photoresist stored in the drainage tank.
그리고, 상기 배액펌프(7) 후방에는 상기 배액펌프(7)에 의해 펌핑된 배액탱크(2)의 폐포토레지스트가 다시 저장되는 외부 폐기통(5)이 연결되고, 상기 외부 폐기통(5) 하부에는 상기 외부 폐기통(5)으로 다시 드레인된 폐포토레지스트의 액위를 검출하되 되는 주중량센서(10b)가 설치된다.In addition, an external waste container 5, in which waste photoresist of the drainage tank 2 pumped by the drainage pump 7 is stored, is connected to the rear of the waste pump 7, and the external waste container 5 is connected to the drain waste pump 5. In the lower portion, a main weight sensor 10b for detecting the liquid level of the waste photoresist drained back to the external waste container 5 is installed.
또한, 상기 버퍼중량센서(10a) 및 주중량센서(10b)에는 상기 센서들로부터 액위 검출신호를 받아 상기 배액펌프(7)의 펌핑작용을 제어하게 되는 자동배액 콘트롤러(120가 각각 연결되어 구성된다.In addition, the buffer weight sensor (10a) and the main weight sensor (10b) is connected to the automatic drainage controller 120 to control the pumping action of the drainage pump 7 receives the liquid level detection signal from the sensors, respectively .
한편, 상기 캐비닛(4)의 외부 폐기통 일측면으로는 캐비닛 내에 외부 폐기통이 있는지 없는지의 여부를 검출하는 외부 폐기통 유·무 검출센서(14)가 설치되고, 상기 외부 폐기통(5) 상부에는 폐포토레지스트의 폐기통으로의 유입을 안내하는 배액 가이드(16)의 정확한 위치로의 셋팅 양·불량 여부를 검출하는 배액 가이드 업 센서(15)(Exhaust guide up sensor)가 설치된다.On the other hand, one side of the external waste container of the cabinet 4 is provided with an external waste container presence / absence sensor 14 for detecting whether or not there is an external waste container in the cabinet, and the outer waste container 5 In the upper part, a drain guide up sensor 15 for detecting whether or not the setting of the waste guide 16 to the correct position for guiding the inflow of the waste photoresist into the waste container is provided.
이 때, 상기 외부 폐기통 유·무 검출센서(14) 및 배액 가이드업 센서(15)는 자동배액 콘트롤러(12)에 연결됨은 물론이다.At this time, the external waste container presence and absence detection sensor 14 and the drainage guide-up sensor 15 is of course connected to the automatic drainage controller 12.
이와 같이 구성된 본 고안은 제2도 내지 제3도에 나타낸 바와 같이, 코터(1)내의 배액 탱크(2)에 셋팅치의 폐포토레지스트가 모이면, 배액펌프(7)가 작동해서 상기 배액탱크(2)에 모인 폐포토레지스트를 캐비닛(4)내에 구비된 외부 폐기통(5)으로 압송시키게 된다.According to the present invention configured as described above with reference to FIGS. 2 to 3, when the waste photoresist having a set value is collected in the drainage tank 2 in the coater 1, the drainage pump 7 is operated so that the drainage tank ( The waste photoresist collected in 2) is pushed into the external waste container 5 provided in the cabinet 4.
한편, 배액작용의 반복으로 인해 캐비닛(4) 내의 외부 폐기통(5)에 폐포토레지스트가 가득차게 되면 자동배액 콘트롤러(12)에 연결된 시그널 타워(signal tower)(8)의 램프가 점등됨과 동시에 부저(Buzzer)(9)가 울리므로, 작업자는 캐비닛(4)을 열어서 상기 캐비닛(4) 내의 외부 폐기통(5)을 교환해 주면 된다.On the other hand, when the waste photoresist fills the external waste container 5 in the cabinet 4 due to the repeated draining operation, the lamp of the signal tower 8 connected to the automatic drainage controller 12 lights up. Since the buzzer 9 rings, the operator can open the cabinet 4 and replace the external waste container 5 in the cabinet 4.
또한, 외부 폐기통(5)을 새로운 외부 폐기통으로 교환할때에도 코터(1) 내의 배액탱크(2)는 비어 있으므로 공정은 계속 진행할 수 있게 된다.In addition, even when the external waste container 5 is replaced with a new external waste container, the drainage tank 2 in the coater 1 is empty, so that the process can continue.
즉, 외부 폐기통(5)을 교환할 때에 배액펌프(7)는 작동하지 않고 배액탱크(2)는 비어있으므로 공정의 정상적인 진행이 가능한 것이다.That is, when the external waste container 5 is replaced, the drainage pump 7 does not operate and the drainage tank 2 is empty, so that the process can proceed normally.
한편, 폐포토레지스트 배액을 위한 자동배액 콘트롤러(12)의 패널 조작 과정을 도 5를 참조하여 설명하면 후술하는 바와 같다.Meanwhile, a panel manipulation process of the automatic drainage controller 12 for waste photoresist drainage will be described with reference to FIG. 5.
먼저, 전원을 투입하면 조작반의 오프모드 알람램프(도시는 생략함)가 점등되어 오프모드가 된다.First, when the power is turned on, the off mode alarm lamp (not shown) of the operation panel is turned on to enter the off mode.
이 때, 상기 배액탱크(2)에 연결됨 배액펌프(7)는 구동하지 않는다.At this time, the drainage pump 7 connected to the drainage tank 2 is not driven.
이 상태에서 오프 스위치를 1회 누르면 자동과 수동모드를 알리는 램프가 각각 점멸하게 되며, 이 때에는 원하는 모드의 선택이 가능하게 된다.In this state, when the OFF switch is pressed once, the lamps for auto and manual modes blink respectively, and the desired mode can be selected at this time.
즉, 자동모드 알람램프(도시는 생략함)와 수동모드 알람램프(도시는 생략함)가 모두 점멸하고 있는 상태에서 자동 스위치를 누를 경우, 자동모드 알람램프는 점멸(點滅)상태에서 점등(點燈)상태로 바뀌게 되고, 수동모드 알람램프는 꺼지게 되며, 오프모드 알람램프 또한 꺼지게 된다.That is, if the auto switch is pressed while both the automatic mode alarm lamp (not shown) and the manual mode alarm lamp (not shown) are flashing, the automatic mode alarm lamp is turned on in the flashing state (點燈), the manual mode alarm lamp is turned off, and the off mode alarm lamp is turned off.
이와 같이하여 자동모드가 선택되면, 코터(1) 내에 설치된 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트의 액위가 셋팅치에 도달할 경우, 버퍼중량센서(10a)가 이를 검출하여 검출신호를 자동배액 콘트롤러(12)로 보내게 되고, 상기 자동배액 콘트롤러(120는 솔레노이드(13)에 구동신호를 보내므로써 상기 솔레노이드(13)에 연결된 배액펌프(7)를 구동시키게 된다.When the automatic mode is selected in this way, when the liquid level of the waste photoresist in the drain tank 2 installed in the coater 1 reaches the setting value, the buffer weight sensor 10a detects this and detects the detection signal by the automatic drain controller. The automatic drainage controller 120 sends a driving signal to the solenoid 13 to drive the drainage pump 7 connected to the solenoid 13.
그리고, 자동모드 선택시, 외부의 외부 폐기통(5)으로 두레인된 폐포토레지스트의 액위가 상한치(上限値)에 도달한 경우에는 배액펌프(7)는 정지하게 되고 이에 따라 배액탱크(2)측의 폐포토레지스트의 외부 폐기통(5)측으로의 배액작용은 중단된다.When the automatic mode is selected, when the liquid level of the waste photoresist surrounded by the external external waste container 5 reaches the upper limit value, the drainage pump 7 is stopped and accordingly the drainage tank 2 The drainage action of the waste photoresist on the) side to the outer waste container 5 side is stopped.
한편, 자동모드 알람램프와 수동모드 알람램프가 모두 점멸하고 있는 상태에서 수동 스위치를 누를 경우에는 수동모드 알람램프는 점멸(點滅)상태에서 점등(點燈)상태로 바뀌게 되고, 자동모드 알람램프는 꺼지게 된다.On the other hand, if the manual switch is pressed while both the automatic mode alarm lamp and the manual mode alarm lamp are flashing, the manual mode alarm lamp changes from flashing to lit (點燈), and the automatic mode alarm lamp Will be turned off.
이와 같이하여 수동모드가 선택되면, 버퍼중량센서(10a)에 의한 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트에 대한 액위 검출 여부에 관계없이 배액펌프(7)가 동작하게 되며 외부 폐기통(5)의 폐포토레지스트의 액위가 상한치에 도달함에 따라 배액펌프(7)의 구동이 정지되며, 꺼져 있던 조작반의 오프모드 알람램프는 다시 켜지게 되어 새로이 자동 또는 수동모드 선택이 가능하게 된다.When the manual mode is selected in this way, the drainage pump 7 is operated regardless of whether or not the liquid level is detected for the waste photoresist in the drainage tank 2 by the buffer weight sensor 10a. As the liquid level of the waste photoresist reaches the upper limit value, the driving of the drainage pump 7 is stopped, and the off-mode alarm lamp of the operation panel that is turned off is turned on again to enable a new automatic or manual mode selection.
이상에서와 같이, 본 고안의 배액시스템은 배액탱크(2)에 셋팅치의 폐포토레지스트가 모이면 배액펌프(7)가 작동해 캐비닛(4)의 외부 폐기통(5)으로 배액탱크(2) 내의 폐포토레지스트를 송출하고, 상기 외부 폐기통(5)이 가득차면 이를 알리는 풀 시그날(Full Signal)이 울려서 사용자가 인식할 수 있도록 하며, 외부 폐기통(5)의 교환시에도 공정은 계속 진행할 수 있게 된다.As described above, in the drainage system of the present invention, when the waste photoresist of the set value is collected in the drainage tank 2, the drainage pump 7 is operated to drain the drainage tank 2 to the external waste container 5 of the cabinet 4. The waste photoresist is sent out, and when the external waste container 5 is full, a full signal is sounded to inform the user, and the process can continue even when the external waste container 5 is replaced. It becomes possible.
따라서, 폐포토레지스트의 배액 및 폐액처리로 인한 장치의 다운 및 팹의 오염이 발생되지 않고, 인력 및 시간이 소요가 대폭 경감되므로 포토레지스트 코팅 시스템의 시스템 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 고안이다.Therefore, it is a very useful design that greatly improves the system efficiency and reliability of the photoresist coating system because it does not cause downtime of the device and contamination of the fab due to waste photoresist drainage and waste liquid treatment, and greatly reduces manpower and time. .
Claims (3)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR92000452U KR0123049Y1 (en) | 1992-01-15 | 1992-01-15 | Photoresist disposing apparatus for coating process in semiconductor manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92000452U KR0123049Y1 (en) | 1992-01-15 | 1992-01-15 | Photoresist disposing apparatus for coating process in semiconductor manufacture |
Publications (2)
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|---|---|
| KR930018575U KR930018575U (en) | 1993-08-21 |
| KR0123049Y1 true KR0123049Y1 (en) | 1998-09-15 |
Family
ID=19327873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR92000452U KR0123049Y1 (en) | 1992-01-15 | 1992-01-15 | Photoresist disposing apparatus for coating process in semiconductor manufacture |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR0123049Y1 (en) |
-
1992
- 1992-01-15 KR KR92000452U patent/KR0123049Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR930018575U (en) | 1993-08-21 |
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| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
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Payment date: 20040326 Year of fee payment: 7 |
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| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |