JPWO2023171511A5 - 窒化ケイ素焼結体及びその製造方法、並びに焼結助剤粉末 - Google Patents
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Description
測定は、５箇所以上の視野において行い、各視野（視野面積：０．０２ｍｍ２）で長軸の長さが２０μｍ以上であるセラミック粒子の個数の平均値を平均個数とする。０．０２ｍｍ２あたりの２０μｍ以上の長軸を有するセラミック粒子の平均個数は１０個以上であってよく、１５個以上であってよく、１７個以上であってもよい。０．０２ｍｍ２あたりの２０μｍ以上の長軸を有するセラミック粒子の平均個数は、５０個以下であってよく、４５個以下であってよく、４０個以下であってもよい。２０μｍ以上の長軸を有するセラミック粒子の個数の標準偏差は０．６個未満であってよく、０．５個未満であってもよい。２０μｍ以上の長軸を有するセラミック粒子の個数の標準偏差は０．１個以上であってよく、０．１５個以上であってよい。このようなセラミック焼結体は均一性の高い微細組織を有する。このため、信頼性に優れる。
Claims (8)
- 窒化ケイ素粒子を含む窒化ケイ素焼結体であって、
断面において、１０μｍ以上のサイズを有する粗大気孔の平均個数が１個／ｍｍ２未満であり、０．０５μｍ以上且つ１０μｍ未満のサイズを有する微小気孔の平均個数が４００個／ｍｍ２未満であり、
窒化ケイ素粒子に固溶している酸素量の平均値が０．０８質量％以下である、窒化ケイ素焼結体。 - 前記断面における気孔のサイズの最大値が６μｍ以下である、請求項１に記載の窒化ケイ素焼結体。
- 前記微小気孔のサイズの平均値が１μｍ以下であり、標準偏差が０．６μｍ以下である、請求項１又は２に記載の窒化ケイ素焼結体。
- 前記断面において、０．０２ｍｍ ２ あたり２０μｍ以上の長軸を有する前記窒化ケイ素粒子の平均個数が１０個以上である、請求項１又は２に記載の窒化ケイ素焼結体。
- アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物、及びシリカを含む焼結助剤原料を粉砕機で粉砕してメジアン径が０．５～１μｍであり、Ｄ１００が５μｍ未満である焼結助剤粉末を得る工程と、
セラミック粉末と前記焼結助剤粉末とを含む混合原料を調製する工程と、
前記混合原料の成形体を焼成して、断面において、１０μｍ以上のサイズを有する粗大気孔の平均個数が１個／ｍｍ ２ 未満であり、０．０５μｍ以上且つ１０μｍ未満のサイズを有する微小気孔の平均個数が４００個／ｍｍ ２ 未満であり、窒化ケイ素粒子に固溶している酸素量の平均値が０．０８質量％以下である窒化ケイ素焼結体を得る工程と、を有する、窒化ケイ素焼結体の製造方法。 - 前記窒化ケイ素焼結体の前記断面において、０．０２ｍｍ ２ あたり２０μｍ以上の長軸を有する前記窒化ケイ素粒子の平均個数が１０個以上である、請求項５に記載の窒化ケイ素焼結体の製造方法。
- アルカリ土類金属酸化物、希土類酸化物、及びシリカを含み、レーザー回折・散乱法による体積基準の粒子径分布に基づいて求められるメジアン径が０．５～１μｍであり、Ｄ１００が５μｍ未満である、焼結助剤粉末。
- 前記メジアン径に対する前記Ｄ１００の比が５以下である、請求項７に記載の焼結助剤粉末。
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