JPWO2020105411A1 - 発光デバイス及び発光装置 - Google Patents
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Abstract
本開示の一実施の形態の発光デバイスは、対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、基板とは反対側の半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、基板の第2の面に設けられるとともに複数の発光領域のそれぞれにおいて半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、第1の導電層と第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線とを備える。
Description
本開示は、発光デバイス及び発光装置に関する。
複数の発光領域を有する面発光半導体レーザの開発が進められている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。面発光半導体レーザは、例えばVCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting LASER)である。
ところで、複数の発光領域を有する発光デバイスでは、複数の発光領域が均一な発光特性を有することが望まれる。
複数の発光領域間で均一な発光特性を得ることが可能な発光デバイス及び発光デバイスを用いた発光装置を提供することが望ましい。
本開示の一実施の形態における発光デバイスは、基板と、半導体積層体と、第1の導電層と、第2の導電層と、貫通配線とを備えたものである。基板は、対向する第1の面及び第2の面を有する。半導体積層体は、基板の第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する。第1の導電層は、基板とは反対側の半導体積層体の表面に設けられている。第2の導電層は、基板の第2の面に設けられるとともに複数の発光領域のそれぞれにおいて半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられている。貫通配線は、第1の導電層と第2の導電層とを電気的に接続するように設けられている。
本開示の一実施の形態における発光装置は、実装基板にフリップチップ実装された発光デバイスを備えたものであり、発光デバイスとして、上記本開示の一実施の形態の発光デバイスを有する。
本開示の一実施の形態における発光デバイス及び一実施の形態における発光装置では、基板の第2の面に第2の導電層が設けられており、第2の導電層は貫通配線を介して第1の導電層に接続されている。第2の導電層から、複数の発光領域のそれぞれにおいて半導体積層体に所定の電圧を印加する。
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態(基板の裏面に第2の導電層が設けられた例)
[構成例]
[半導体レーザの製造方法]
[動作]
[作用]
[効果]
1.実施の形態(基板の裏面に第2の導電層が設けられた例)
[構成例]
[半導体レーザの製造方法]
[動作]
[作用]
[効果]
<1.実施の形態>
[構成例]
図1は、本開示の一実施の形態に係る発光デバイス(半導体レーザ1)の一構成例を表すものである。半導体レーザ1は、複数のVCSELを集積したレーザアレイである。半導体レーザ1は、基板10の第1の面10A上に、半導体積層体STを有している。基板10は、本開示の「基板」の一具体例である。半導体積層体STは、本開示の「半導体積層体」の一具体例である。半導体積層体STは、基板10の第1の面10A上に、バッファ層11、第1の光反射層12、活性層13、電流狭窄層16、及び第2の光反射層14がこの順に積層されたものである。半導体積層体STには、第1の凹部形成領域R15において、例えば、第2の光反射層14から第1の光反射層12の一部までをエッチングすることで第1の凹部15が設けられている。第1の凹部15の形成領域のうちの一部の領域において、半導体積層体STがエッチングされずに残されることにより、複数(図面上3つ)のメサ領域M1,M2,M3が設けられている。メサ領域M1,M2,M3は、例えば円柱状等の柱状の形状を有している。メサ領域M1,M2,M3には、電流狭窄層16によって、柱状の形状の外周から所定の幅で電流狭窄領域16Bが形成されている。柱状の形状の外周側からみて電流狭窄領域16Bの内側の部分は、電流注入領域16Aである。各メサ領域M1,M2,M3の電流注入領域16Aは、レーザ光LT1,LT2,LT3(後述)の発光領域L1,L2,L3に対応する。
[構成例]
図1は、本開示の一実施の形態に係る発光デバイス(半導体レーザ1)の一構成例を表すものである。半導体レーザ1は、複数のVCSELを集積したレーザアレイである。半導体レーザ1は、基板10の第1の面10A上に、半導体積層体STを有している。基板10は、本開示の「基板」の一具体例である。半導体積層体STは、本開示の「半導体積層体」の一具体例である。半導体積層体STは、基板10の第1の面10A上に、バッファ層11、第1の光反射層12、活性層13、電流狭窄層16、及び第2の光反射層14がこの順に積層されたものである。半導体積層体STには、第1の凹部形成領域R15において、例えば、第2の光反射層14から第1の光反射層12の一部までをエッチングすることで第1の凹部15が設けられている。第1の凹部15の形成領域のうちの一部の領域において、半導体積層体STがエッチングされずに残されることにより、複数(図面上3つ)のメサ領域M1,M2,M3が設けられている。メサ領域M1,M2,M3は、例えば円柱状等の柱状の形状を有している。メサ領域M1,M2,M3には、電流狭窄層16によって、柱状の形状の外周から所定の幅で電流狭窄領域16Bが形成されている。柱状の形状の外周側からみて電流狭窄領域16Bの内側の部分は、電流注入領域16Aである。各メサ領域M1,M2,M3の電流注入領域16Aは、レーザ光LT1,LT2,LT3(後述)の発光領域L1,L2,L3に対応する。
半導体積層体STには、第1の凹部形成領域R15の両側において、例えば、第2の光反射層14からバッファ層11の一部までをエッチングすることで2つの第2の凹部17が形成されている。各第2の凹部17の底面の一部の領域には、バッファ層11及び基板10に貫通開口部18Aが形成されている。半導体積層体STの表面のうちの、各メサ領域M1,M2,M3における半導体積層体STの表面、第2の凹部17の底面、及び貫通開口部18Aの内壁面を除いて、絶縁膜22が形成されている。貫通開口部18Aの内側に貫通配線19が形成されている。第2の凹部17の底面に底面導電層20が貫通配線19に接続するように形成されている。貫通配線19は、本開示の「貫通配線」の一具体例である。第2の凹部17の底面から第2の凹部17の側壁面及び半導体積層体STの表面にかけて電極パッド23が底面導電層20に接続するように形成されている。電極パッド23は、本開示の「第1の導電層」の一具体例である。基板10の第2の面10Bには、n電極24が形成されている。n電極24は、本開示の「第2の導電層」の一具体例である。n電極24は、発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて半導体積層体STに所定の電圧を印加可能に設けられている。n電極24には、発光領域L1,L2,L3に対応して開口部24Aがそれぞれ設けられており、発光領域L1,L2,L3で発せられたレーザ光LT1,LT2,LT3(後述)を開口部24Aから外部に導くことができる。各メサ領域M1,M2,M3における半導体積層体STの表面に、p電極21が形成されている。
図2は、図1に示した半導体レーザ1の半導体積層体ST側から見た平面構成を表すものである。図2に示したX−X’線に沿った断面構成が図1に表されている。図2においては、絶縁膜22の表示は省略している。半導体積層体STには、第1の凹部形成領域R15において、複数(図面上6つ)のメサ領域M1,M2,M3,M4,M5,M6を残すようにして、第1の凹部15が設けられている。図1では、6つのメサ領域M1,M2,M3,M4,M5,M6のうちの3つのメサ領域M1,M2,M3を横切る断面が表されている。図2に示したように、各メサ領域M1,M2,M3,M4,M5,M6において半導体積層体STの表面にp電極21が形成されている。半導体積層体STには、第1の凹部形成領域R15の両側において、複数(図面上2つ)の第2の凹部17が形成されており、第2の凹部17の底面の一部の領域に貫通開口部18Aが形成されている。貫通開口部18Aの内側に貫通配線19が形成されている。第2の凹部17の底面から第2の凹部17の側壁面の及び半導体積層体STの表面にかけて電極パッド23が形成されている。
図3は、図1に示した半導体レーザ1の基板10側から見た平面構成を表すものである。図3に示したX−X’線に沿った断面構成が図1に表されている。基板10の第2の面10Bに、n電極24が形成されている。n電極24には、各発光領域L1,L2,L3,L4,L5,L6に対応してそれぞれ開口部24Aが設けられている。
図1〜図3に示した半導体レーザ1において、6つの発光領域L1,L2,L3,L4,L5,L6はそれぞれVCSELである。即ち、半導体レーザ1は6つのVCSELが集積したレーザアレイである。図1〜図3では6つのVCSELを集積した構成を示しているが、集積する数に制限はなく、例えば数10〜数1000個集積した構成とすることもできる。
基板10は、例えばガリウムヒ素(GaAs)基板により構成されている。基板10は、発光デバイスの材料系や異種基板の接合プロセス等により、インジウムリン(InP)、窒化ガリウム(GaN)、シリコン(Si)、または炭化シリコン(SiC)等により構成される場合もある。
バッファ層11は、例えばGaAs等から構成されている。バッファ層11は、基板10と第1の光反射層12とを電気的に接続するコンタクト層として設けられている。
第1の光反射層12は、バッファ層11と活性層13との間に配置されたDBR(Distributed Bragg Reflector)層である。第1の光反射層12は、活性層13及び電流狭窄層16を間にして第2の光反射層14と対向している。第1の光反射層12は、活性層13で発生した光を第2の光反射層14との間で共振させるようになっている。
第1の光反射層12は、低屈折率層及び高屈折率層を交互に重ねた積層構造を有している。低屈折率層は、例えば光学膜厚がλ/4のn型のAlX1Ga(1-X1)As(0<X1<1)である。λは、各発光領域L1,L2,L3,L4,L5,L6から発せられるレーザ光の発振波長を表す。高屈折率層は、例えば光学膜厚がλ/4のn型のAlX2Ga(1-X2)As(0<X2<1)である。
活性層13は、第1の光反射層12及び第2の光反射層14の間に設けられている。活性層13は、例えばアルミニウムガリウムヒ素(AlGaAs)系の半導体材料により構成されている。この活性層13では、p電極21から電流注入領域16Aを介して注入された正孔(ホール)を受けて誘導放出光を発生するようになっている。活性層13には、例えばアンドープのAlX3Ga(1-X3)As(0<X3<1)を用いることができる。活性層13は、例えばGaAsとAlGaAsとの多重量子井戸(MQW:Multi Quantum Well)構造を有していてもよい。インジウムガリウムヒ素(InGaAs)とAlGaAsとの多重量子井戸構造により活性層13を構成するようにしてもよい。
電流狭窄領域16Bは、電流狭窄層16において、各メサ領域M1,M2,M3,M4,M5,M6の柱状の形状の外周側から内側に所定の幅を有して環状に形成されている。柱状の形状の外周側からみて電流狭窄領域16Bの内側の部分は、電流注入領域16Aである。電流狭窄領域16Bは、例えば各メサ領域M1,M2,M3,M4,M5,M6の柱状の形状の外周側から電流狭窄層16に酸化処理を行うことによって形成できる。電流狭窄層16は、例えばp型のAlX4Ga(1-X4)As(0.9<X4<1)により形成されている。電流狭窄領域16Bは電流狭窄層16が酸化されて形成され、例えば酸化アルミニウム(AlOX)を含んでいる。電流注入領域16Aは、電流狭窄領域16Bの内側に
おいて酸化されなかった部分である。電流狭窄構造を設けることにより、p電極21から活性層13に注入される電流の電流狭窄がなされ、電流注入効率が高められる。略円状の電流注入領域16Aの半径は、例えば、1μm〜20μmである。
おいて酸化されなかった部分である。電流狭窄構造を設けることにより、p電極21から活性層13に注入される電流の電流狭窄がなされ、電流注入効率が高められる。略円状の電流注入領域16Aの半径は、例えば、1μm〜20μmである。
第2の光反射層14は、電流狭窄層16と絶縁膜22との間に配置されたDBR層である。第2の光反射層14は、電流狭窄層16及び活性層13を間にして第1の光反射層12と対向している。
第2の光反射層14は、低屈折率層及び高屈折率層を交互に重ねた積層構造を有している。低屈折率層は、例えば光学膜厚がλ/4のn型のAlX5Ga(1-X5)As(0<X5<1)である。高屈折率層は、例えば光学膜厚がλ/4のn型のAlX6Ga(1-X6)As(0<X6<1)である。
絶縁膜22は、例えば窒化シリコン(SiN)あるいは酸化シリコン(SiO2)等の
絶縁体で形成されている。
絶縁体で形成されている。
貫通配線19は、例えば金(Au)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)等の金属により形成されている。底面導電層20は、例えば金ゲルマニウム(AuGe)/ニッケル/金等の金属の多層膜で形成されている。電極パッド23は、例えばチタン(Ti)/金等の金属の多層膜で形成されている。
p電極21は、例えば、金、ゲルマニウム(Ge)、銀(Ag)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、ニッケル、チタン、バナジウム(V)、タングステン(W)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、銅、亜鉛(Zn)、スズ(Sn)、及びインジウム(In)等の金属の単層膜あるいは多層膜により形成されている。例えば、チタン/白金/金の多層膜が用いられる。
n電極24は、例えばp電極21と同様の金属の単層膜あるいは多層膜により形成されている。あるいは、n電極24は、ITO(Indium-Tin-Oxide、スズドープ酸化インジウム)、酸化亜鉛、酸化スズ、及び酸化チタン等の透明電極により形成されていてもよい。n電極24は、熱伝導性も考慮して材料構成やパターン形成をすることが可能であり、基板10の放熱性を高めることができる。
図4は、図1に示した半導体レーザを実装基板に実装した発光装置の一構成例を表すものである。発光装置3は、図1に示した半導体レーザ1が実装基板2にフリップチップ実装されて構成されている。フリップチップ実装とは、半導体レーザ1の電極パッド23及びp電極21の形成面が実装基板2に面するように実装されるものである。実装基板2は、例えば基板50に第1電極51及び第2電極52を有する。第1電極51は半導体レーザ1のp電極21に、第2電極52は半導体レーザ1の電極パッド23に、それぞれ対応するパターンで設けられている。第1電極51とp電極21との接続、及び第2電極52と電極パッド23との接続は、例えばハンダによる接続や、異方性導電接着剤あるいは異方性導電シート等を用いて行うことができる。実装基板2には、半導体レーザ1への電源供給回路等の駆動回路が設けられていてもよい。その場合、駆動回路の端子そのものが、半導体レーザ1のp電極21及び電極パッド23に接続される構成であってもよい。
半導体レーザ1では、p電極21及び電極パッド23に所定の電圧を印加すると、電極パッド23は、底面導電層20及び貫通配線19を介してn電極24に接続しているので、p電極21及びn電極24から各メサ領域M1,M2,M3の半導体積層体STに電圧が印加される。これにより、各発光領域L1,L2,L3において、n電極24から電子が注入され、p電極21からホールが注入される。電子及びホールが再結合して発生した光が、1対のDBR層(第1の光反射層12及び第2の光反射層14)間で共振して増幅され、開口部24Aを通って基板10側からレーザ光LT1、LT2,LT3が出射される。図4では省略しているが、メサ領域M4,M5,M6においても同様である。
n電極24が設けられておらず、基板10を通して各発光領域L1,L2,L3に電圧を印加しようとすると、基板10の電気抵抗(基板10を電流が流れる際の電圧降下)のために、各発光領域L1,L2,L3に印加される電圧にばらつきが生じる場合がある。n電極24からの距離が異なる発光領域L1,L2,L3がある場合でも同様で、基板10の電気抵抗(基板10を電流が流れる際の電圧降下)のために、各発光領域L1,L2,L3に印加される電圧にばらつきが生じる場合がある。半導体レーザ1では、n電極24は発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて所定の電圧を印加可能に設けられている。これにより、半導体レーザ1では、発光領域L1,L2,L3に対するn電極24からの電圧印加は、発光領域L1,L2,L3の位置によらずに均一に行うことができる。
発光装置3を構成する半導体レーザ1では、p電極21は各発光領域L1,L2,L3に個別に設けられ、個別に実装基板2の第1電極51に接続されている。これにより、p電極21から発光領域L1,L2,L3への電圧印加は、発光領域L1,L2,L3毎に選択して行うことこができる。即ち、複数の発光領域L1,L2,L3のうちの選択された発光領域L1,L2,L3から個別にレーザ光LT1,LT2,LT3を出射させるように駆動できる。
半導体レーザ1では、レーザ光LT1,LT2,LT3は開口部24Aを通って出射される構成について説明しているが、本技術はこれに限らない。例えばn電極24がITO等の透明電極で形成されていてレーザ光LT1,LT2,LT3に対して透過性を有する場合、n電極24によりレーザ光LT1,LT2,LT3は遮光されないので開口部24Aは設けなくてもよい。また、レーザ光LT1,LT2,LT3の出射方向は、基板10側でなくてもよい。半導体積層体STの側からレーザ光LT1,LT2,LT3が出射される場合には、配線及び電極等の遮光性を有する部材がレーザ光LT1,LT2,LT3の出射を妨げない位置に配置される。
半導体レーザ1では、電極パッド23の数は、p電極21の数より少ない構成である。p電極21は、上記のように各発光領域L1,L2,L3にそれぞれ設けられているのでp電極21の数は、発光領域L1,L2,L3の数に対応する。電極パッド23は、複数の発光領域L1,L2,L3に対する共通の電極であるn電極24に接続するように設けられたものであり、半導体レーザ1では2つの電極パッド23が設けられている。電極パッド23は少なくとも1つあればよく、p電極21の数より少ない数で構成することができる。電極パッド23の数は、少ないほど半導体レーザ1の構成が簡単となり、製造も容易となるので好ましい。
[半導体レーザの製造方法]
次に、図5A〜図5Hを参照して、半導体レーザ1の製造方法について説明する。図5A〜図5Hは、それぞれ、半導体レーザ1の製造方法における一工程を表すものである。
次に、図5A〜図5Hを参照して、半導体レーザ1の製造方法について説明する。図5A〜図5Hは、それぞれ、半導体レーザ1の製造方法における一工程を表すものである。
まず、図5Aに示したように、基板10に、バッファ層11、第1の光反射層12、活性層13、電流狭窄層16、及び第2の光反射層14をこの順に積層し、半導体積層体STを形成する。半導体積層体STの形成は、例えば分子線エピタキシー(MBE:Molecular Beam Epitaxy)法または有機金属化学気相成長(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法等の方法を用いたエピタキシャル結晶成長により行う。
次に、図5Bに示したように、半導体積層体STの上層に、フォトリソグラフィー工程により所定のパターンのレジスト膜(不図示)をパターン形成し、第2の光反射層14から第1の光反射層12の一部までをエッチング除去して第1の凹部15を形成する。エッチングは、例えば反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により行う。ここで、上記のレジスト膜は、メサ領域M1,M2,M3を保護するパターンとなるように形成する。これにより、上記のエッチング処理ではメサ領域M1,M2,M3において柱状の形状の半導体積層体STが残される。続いてレジスト膜を除去する。次に、水蒸気雰囲気中の高温処理を施すことで、メサ領域M1,M2,M3における柱状の形状の外周から所定の幅で電流狭窄層16を酸化し、電流狭窄領域16Bを形成する。電流狭窄領域16Bの内側の領域が電流注入領域16Aである。
続いて、図5Cに示したように、半導体積層体STの上層に、所定のパターンのレジスト膜(不図示)をパターン形成し、第2の光反射層14からバッファ層11の一部までをRIE等のエッチングにより除去して第2の凹部17を形成する。次に、レジスト膜を除去する。
続いて、図5Dに示したように、半導体積層体STの上層に、所定のパターンのレジスト膜(不図示)をパターン形成し、第2の凹部17の底部の一部において基板10の一部までをRIE等のエッチングにより除去して貫通配線用凹部18を形成する。次に、レジスト膜を除去する。
続いて、図5Eに示したように、例えば化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法あるいは原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法により窒化シリコン等の絶縁膜22を形成する。絶縁膜22は、第1の凹部15の内壁面及び第2の凹部17の内壁面を被覆するように形成する。次に、半導体積層体STの上層に、所定のパターンのレジスト膜(不図示)をパターン形成し、RIE等のエッチングを行い、半導体積層体STの表面のうちの、各メサ領域M1,M2,M3における半導体積層体STの表面、第2の凹部17の底面、及び貫通配線用凹部18の内壁面における絶縁膜22を除去する。次に、例えば電気メッキ処理等により、貫通配線用凹部18の内部に金等を埋め込み、貫通配線19を形成する。続いて、例えば金属蒸着法等により、第2の凹部17の底部においてAuGe/Ni/Auの金属の多層膜を成膜することで底面導電層20を形成する。次に、例えばスパッタリング法等により、各メサ領域M1,M2,M3における半導体積層体STの表面にTi/Pt/Auの金属の多層膜を成膜することでp電極21を形成する。
続いて、図5Fに示したように、例えばスパッタリング法等により、第2の凹部17の底面から第2の凹部17の側壁面及び半導体積層体STの表面にかけてTi/Auの金属の多層膜を形成することで、底面導電層20に接続するように電極パッド23を形成する。
次に、図5Gに示したように、例えば化学的機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)処理により、貫通配線19が露出するまで、基板10の第2の面10Bを研
磨する。
磨する。
続いて、図5Hに示したように、例えば金属蒸着法等により、基板10の第2の面10BにAuGe/Ni/Auの金属の多層膜を成膜することでn電極24を形成する。n電極24には、各メサ領域M1,M2,M3における発光領域L1,L2,L3に対応する開口部24Aを設けて、半導体レーザ1を完成させる。
[動作]
続いて、本実施の形態の半導体レーザ1の動作について、図1を参照して説明する。半導体レーザ1では、p電極21及び電極パッド23に所定の電圧を印加すると、p電極21及びn電極24から各メサ領域M1,M2,M3の半導体積層体STに電圧が印加される。これにより、各発光領域L1,L2,L3において、n電極24から電子が注入され、p電極21からホールが注入され、電子及びホールの再結合により光が発生する。光は1対のDBR層間で共振して増幅され、開口部24Aを通って基板10側からレーザ光LT1、LT2,LT3が出射される。
続いて、本実施の形態の半導体レーザ1の動作について、図1を参照して説明する。半導体レーザ1では、p電極21及び電極パッド23に所定の電圧を印加すると、p電極21及びn電極24から各メサ領域M1,M2,M3の半導体積層体STに電圧が印加される。これにより、各発光領域L1,L2,L3において、n電極24から電子が注入され、p電極21からホールが注入され、電子及びホールの再結合により光が発生する。光は1対のDBR層間で共振して増幅され、開口部24Aを通って基板10側からレーザ光LT1、LT2,LT3が出射される。
[作用]
本実施の形態の半導体レーザ1では、基板10の第2の面にn電極24が発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて所定の電圧を印加可能に設けられている。n電極24は貫通配線19を介して電極パッド23が接続されており、基板10の第2の面10Bに設けられた電極パッド23からn電極24に電圧を印加できる。
本実施の形態の半導体レーザ1では、基板10の第2の面にn電極24が発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて所定の電圧を印加可能に設けられている。n電極24は貫通配線19を介して電極パッド23が接続されており、基板10の第2の面10Bに設けられた電極パッド23からn電極24に電圧を印加できる。
[効果]
以上のように本実施の形態の半導体レーザ1では、基板10の第2の面にn電極24が発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて所定の電圧を印加可能に設けられている。n電極24に電圧を印加することで、発光領域L1,L2,L3の位置によらずに均一に、発光領域L1,L2,L3に対して電圧印加を行うことができる。
以上のように本実施の形態の半導体レーザ1では、基板10の第2の面にn電極24が発光領域L1,L2,L3のそれぞれにおいて所定の電圧を印加可能に設けられている。n電極24に電圧を印加することで、発光領域L1,L2,L3の位置によらずに均一に、発光領域L1,L2,L3に対して電圧印加を行うことができる。
半導体レーザ1は、基板10の同じ面(第2の面10B)にp電極21及び電極パッド23が設けられているので、フリップチップ実装が可能である。
半導体レーザ1では、p電極21が各発光領域L1,L2,L3に個別に設けられているので、発光領域L1,L2,L3のうちの選択された発光領域L1,L2,L3から個別にレーザ光LT1,LT2,LT3を出射させるように駆動できる。
半導体レーザ1では、n電極24は、熱伝導性も考慮して材料構成やパターン形成をすることが可能であり、基板10の放熱性を高めることができる。
以上のことから、発光領域L1,L2,L3の間のレーザ光の発光特性を均一化することができる。
以上、実施の形態により説明したが、本技術は上記実施の形態には限定されず、種々の変形が可能である。
上記実施の形態では、6つのVCSELを有する半導体レーザについて説明したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば数10〜数1000個集積した半導体レーザにも適用できる。集積するレーザの数が多くなるほど各レーザの発光領域とn電極との間の距離にばらつきが生じる場合があるが、本技術によれば各レーザの発光領域に電圧差を小さく抑えて電圧を印加することができる。
本技術は半導体レーザを含む種々の電子機器に適用できる。例えば、スマートフォン等の携帯電子機器に備えられる光源や、形状や動作等を検知する各種センシング機器の光源等に適用できる。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってよい。
なお、本技術は以下のような構成とすることができる。以下の構成の本技術によれば、複数の発光領域の半導体積層体に対して均一な電圧が印加できるようになるため、複数の発光領域間で均一な発光特性を得ることが可能となる。
(1)対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を備える発光デバイス。
(2)前記半導体積層体は、第1の光反射層と、活性層と、第2の光反射層とが、前記基板側から順に積層されている
前記(1)に記載の発光デバイス。
(3)前記半導体積層体は、前記活性層と前記第2の光反射層との間に、電流注入領域を有する電流狭窄層をさらに有する
前記(2)に記載の発光デバイス。
(4)前記半導体積層体は、複数の前記発光領域をそれぞれ含む複数のメサ領域を有する
前記(1)〜(3)のいずれかに記載の発光デバイス。
(5)前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた複数の電極をさらに有する
前記(1)〜(4)のいずれかに記載の発光デバイス。
(6)前記第1の導電層の数は、前記電極の数より少ない
前記(5)に記載の発光デバイス。
(7)複数の前記発光領域は、前記基板側から前記レーザ光を出射する
前記(1)〜(6)のいずれかに記載の発光デバイス。
(8)前記第2の導電層は、複数の前記発光領域に対応して設けられるとともに前記レーザ光を外部に導く、複数の開口部を有する
前記(7)に記載の発光デバイス。
(9)前記第2の導電層は、前記レーザ光に対して透過性の導電層である
前記(7)に記載の発光デバイス。
(10)前記第1の導電層が設けられた側から実装基板にフリップチップ実装された
前記(1)〜(9)のいずれかに記載の発光デバイス。
(11)実装基板にフリップチップ実装された発光デバイスを備え、
前記発光デバイスは、
対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を有する発光装置。
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を備える発光デバイス。
(2)前記半導体積層体は、第1の光反射層と、活性層と、第2の光反射層とが、前記基板側から順に積層されている
前記(1)に記載の発光デバイス。
(3)前記半導体積層体は、前記活性層と前記第2の光反射層との間に、電流注入領域を有する電流狭窄層をさらに有する
前記(2)に記載の発光デバイス。
(4)前記半導体積層体は、複数の前記発光領域をそれぞれ含む複数のメサ領域を有する
前記(1)〜(3)のいずれかに記載の発光デバイス。
(5)前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた複数の電極をさらに有する
前記(1)〜(4)のいずれかに記載の発光デバイス。
(6)前記第1の導電層の数は、前記電極の数より少ない
前記(5)に記載の発光デバイス。
(7)複数の前記発光領域は、前記基板側から前記レーザ光を出射する
前記(1)〜(6)のいずれかに記載の発光デバイス。
(8)前記第2の導電層は、複数の前記発光領域に対応して設けられるとともに前記レーザ光を外部に導く、複数の開口部を有する
前記(7)に記載の発光デバイス。
(9)前記第2の導電層は、前記レーザ光に対して透過性の導電層である
前記(7)に記載の発光デバイス。
(10)前記第1の導電層が設けられた側から実装基板にフリップチップ実装された
前記(1)〜(9)のいずれかに記載の発光デバイス。
(11)実装基板にフリップチップ実装された発光デバイスを備え、
前記発光デバイスは、
対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を有する発光装置。
本出願は、日本国特許庁において2018年11月20日に出願された日本特許出願番号2018−216958号を基礎として優先権を主張するものであり、この出願の全ての内容を参照によって本出願に援用する。
当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。
Claims (11)
- 対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を備える発光デバイス。 - 前記半導体積層体は、第1の光反射層と、活性層と、第2の光反射層とが、前記基板側から順に積層されている
請求項1に記載の発光デバイス。 - 前記半導体積層体は、前記活性層と前記第2の光反射層との間に、電流注入領域を有する電流狭窄層をさらに有する
請求項2に記載の発光デバイス。 - 前記半導体積層体は、複数の前記発光領域をそれぞれ含む複数のメサ領域を有する
請求項1に記載の発光デバイス。 - 前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた複数の電極をさらに有する
請求項1に記載の発光デバイス。 - 前記第1の導電層の数は、前記電極の数より少ない
請求項5に記載の発光デバイス。 - 複数の前記発光領域は、前記基板側から前記レーザ光を出射する
請求項1に記載の発光デバイス。 - 前記第2の導電層は、複数の前記発光領域に対応して設けられるとともに前記レーザ光を外部に導く、複数の開口部を有する
請求項7に記載の発光デバイス。 - 前記第2の導電層は、前記レーザ光に対して透過性の導電層である
請求項7に記載の発光デバイス。 - 前記第1の導電層が設けられた側から実装基板にフリップチップ実装された
請求項1に記載の発光デバイス。 - 実装基板にフリップチップ実装された発光デバイスを備え、
前記発光デバイスは、
対向する第1の面及び第2の面を有する基板と、
前記基板の前記第1の面に設けられるとともにレーザ光を出射可能な複数の発光領域を有する半導体積層体と、
前記基板とは反対側の前記半導体積層体の表面に設けられた第1の導電層と、
前記基板の前記第2の面に設けられるとともに複数の前記発光領域のそれぞれにおいて前記半導体積層体に所定の電圧を印加可能に設けられた第2の導電層と、
前記第1の導電層と前記第2の導電層とを電気的に接続する貫通配線と
を有する発光装置。
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