JPWO2020066285A1 - ウェーハ分断装置、反転装置、および搬送システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
電子機器等に広く利用される半導体デバイスは、複数の領域に区分されており、それぞれの領域に光デバイス等が組み込まれている半導体ウェーハから製造される。本実施の形態に係るウェーハ分断装置は、領域を区分けする所定のラインに沿って、半導体ウェーハを分断する装置である。
図1および図2は、本実施の形態に係るウェーハ分断装置1の外観構成を示す斜視図である。図1および図2に示すように、ウェーハ分断装置1は、架台2と、第1搬送レール3と、第2搬送レール4と、収納部10と、スクライブユニット20と、フィルムラミネートユニット30と、ブレイクユニット40と、反転ユニット100と、搬送部200と、を備える。
[装置のレイアウト]
本実施の形態に係るウェーハ分断装置1は、上記した各ユニットの配置を工夫することにより、装置の設置面積を抑制し、設置面積当たりの稼働率を向上させる。そのような装置のレイアウトについて、以下説明する。
第3搬送部230の搬送レール234は、ウェーハWをX軸方向に搬送するためのレールである。搬送レール234に、スライド移動可能なスライダ235が取り付けられており、スライダ235に移動体236が設置される。移動体236には、昇降レール237に取り付けられ、スライダ238が昇降移動可能なように取り付けられる。
次に、ウェーハ分断装置1の動作について説明する。図12は、ウェーハ分断装置1の構成を示すブロック図である。図12に示すように、ウェーハ分断装置1は、収納部10と、スクライブユニット20と、フィルムラミネートユニット30と、ブレイクユニット40と、反転ユニット100と、第1搬送部210と、第2搬送部220と、第3搬送部230と、昇降部240と、を備え、さらに、制御部500と、入力部501と、検出部502と、ウェーハ搬入・搬出駆動部503と、スクライブユニット駆動部504と、フィルムラミネートユニット駆動部505と、反転ユニット駆動部506と、ブレイクユニット駆動部507と、を備える。また、第1搬送部210、第2搬送部220、第3搬送部230、および昇降部240のそれぞれの駆動部である、第1搬送駆動部508、第2搬送駆動部509、第3搬送駆動部510、および昇降駆動部511を備える。さらに、スクライブテーブル駆動部512、ブレイクテーブル駆動部513を備える。
実施形態によれば、以下の効果が奏される。
10…収納部
20…スクライブユニット
30…フィルムラミネートユニット
31…フィルム
40…ブレイクユニット
100…反転ユニット
200…搬送部
240…昇降部
402…第2の位置(受渡位置)
404…第4の位置(受取位置)
407…反転完了位置
W…ウェーハ
WA…ウェーハの表面
WB…ウェーハの裏面
Claims (27)
- ウェーハの表面にスクライブラインを形成するスクライブユニットと、
前記スクライブラインが形成された前記ウェーハの表面にフィルムを貼付するフィルムラミネートユニットと、
前記フィルムが貼付された面が下側となるように前記ウェーハを反転させる反転ユニットと、
前記フィルムが貼付されていない面に所定の力を付与して前記スクライブラインに沿って前記ウェーハを分断するブレイクユニットと、
前記ウェーハを所定の位置に搬送する搬送部と、を備えており、
前記フィルムラミネートユニットが前記反転ユニットに対して鉛直方向に離間する位置に配置されている、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項1に記載のウェーハ分断装置において、
前記ウェーハは、平面視において前記スクライブユニットと前記ブレイクユニットとの間であって前記反転ユニットに重なる位置に配置される受渡位置に送り込まれ、
前記搬送部は、前記受渡位置に位置付けられた前記ウェーハを前記フィルムラミネートユニットに搬送し、さらに、前記フィルムラミネートユニットから前記反転ユニットに前記ウェーハを搬送する昇降部を備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項2に記載のウェーハ分断装置において、
前記反転ユニットは、前記フィルムラミネートユニットにより前記フィルムが貼付された前記ウェーハを反転させながら前記受渡位置に搬送する、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項2または3に記載のウェーハ分断装置において、
前記ブレイクユニットにより分断された前記ウェーハは、前記受渡位置を経由して前記ウェーハの搬送を開始した位置に搬送される、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項2ないし4の何れか一項に記載のウェーハ分断装置において、
前記反転ユニットは、前記受渡位置の上方に配置されている、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項5に記載のウェーハ分断装置において、
前記フィルムラミネートユニットは、前記反転ユニットの上方に配置される、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項1ないし6の何れか一項に記載のウェーハ分断装置において、
前記反転ユニットは、
前記ウェーハを保持する保持部と、
前記保持部を回転させつつ直線方向に移動させる回転駆動部と、を備え、
前記回転駆動部は、前記保持部が前記ウェーハを受け取る受取位置と、前記受取位置に対して前記直線方向に離間し、前記ウェーハの反転が完了する反転完了位置との間で、前記ウェーハが円弧状の軌跡を描きつつ表裏逆に回転するように前記保持部を駆動する、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項7に記載のウェーハ分断装置において、
前記回転駆動部は、
前記保持部を回転可能に支持する支持部材と、
前記保持部の回転軸に装着されたピニオンギヤと、
前記ピニオンギヤに噛み合い前記直線方向に伸びるラックギヤと、
前記支持部材を前記直線方向に移動させる駆動機構と、を備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項8に記載のウェーハ分断装置において、
前記収納部から取り出された前記ウェーハは、平面視において前記スクライブユニットと前記ブレイクユニットとの間であって前記反転ユニットに重なる位置に配置される受渡位置に送り込まれ、
前記駆動機構は、前記ウェーハが前記受取位置から前記反転完了位置に移送された後、さらに、所定ストロークだけ前記支持部材を移動させて、前記反転完了位置から前記直線方向に離れた前記受渡位置に前記ウェーハを移送し、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動に伴い前記ラックギヤを前記直線方向に移動させる調整機構をさらに備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項9に記載のウェーハ分断装置において、
前記調整機構は、
前記ラックギヤに連結された移動部材と、
前記移動部材を前記直線方向にスライド移動可能に支持するガイドと、
前記移動部材を前記反転完了位置から前記受取位置に向かう方向に付勢する付勢部材と、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動の間に前記付勢部材の付勢に抗して前記移動部材を移動させる送り機構と、を備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項10に記載のウェーハ分断装置において、
前記送り機構は、
前記移動部材に設けられた被当接部と、
前記支持部材に設けられ前記直線方向に前記被当接部に対向する当接部と、を備え、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動の間に前記当接部が前記被当接部に当接して前記移動部材が前記支持部材から押圧力を受け、当該押圧力により、前記支持部材の移動に伴い前記移動部材が前記付勢に抗して移動する、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項10または11に記載のウェーハ分断装置において、
前記付勢部材は、エアシリンダである、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項8ないし12の何れか一項に記載のウェーハ分断装置において、
前記受取位置は、前記反転完了位置よりも、鉛直方向において上方に位置する、
ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項8ないし13の何れか一項に記載のウェーハ分断装置において、
前記保持部は、
前記ウェーハを吸着する吸着部と、
前記回転軸に装着されたレバーと、
前記レバーに連結され前記吸着部を保持する保持部材と、を備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項8ないし13の何れか一項に記載のウェーハ分断装置において、
前記保持部は、
前記ウェーハを吸着する吸着部と、
前記回転軸に装着され、前記吸着部を保持する保持部材と、を備える、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- 請求項7ないし15に記載のウェーハ分断装置において、
前記搬送部は、前記直線方向に昇降する搬送部材を備えており、
前記保持部が前記受取位置から90°回転した位置に位置したとき、前記搬送部材は前記受取位置と前記反転完了位置との間を直線方向に通過する、ことを特徴とするウェーハ分断装置。
- ウェーハを反転させる反転装置であって、
前記ウェーハを保持する保持部と、
前記保持部を回転させつつ直線方向に移動させる回転駆動部と、を備え、
前記回転駆動部は、前記保持部が前記ウェーハを受け取る受取位置と、前記受取位置に対して前記直線方向に離間し、前記ウェーハの反転が完了する反転完了位置との間で、前記ウェーハが円弧状の軌跡を描きつつ表裏逆に回転するように前記保持部を駆動する、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項17に記載の反転装置において、
前記回転駆動部は、
前記保持部を回転可能に支持する支持部材と、
前記保持部の回転軸に装着されたピニオンギヤと、
前記ピニオンギヤに噛み合い前記直線方向に伸びるラックギヤと、
前記支持部材を前記直線方向に移動させる駆動機構と、を備える、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項18に記載の反転装置において、
前記駆動機構は、前記ウェーハが前記受取位置から前記反転完了位置に移送された後、さらに、所定ストロークだけ前記支持部材を移動させて、前記反転完了位置から前記直線方向に離れた受渡位置に前記ウェーハを移送し、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動に伴い前記ラックギヤを前記直線方向に移動させる調整機構をさらに備える、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項19に記載の反転装置において、
前記調整機構は、
前記ラックギヤに連結された移動部材と、
前記移動部材を前記直線方向にスライド移動可能に支持するガイドと、
前記移動部材を前記反転完了位置から前記受取位置に向かう方向に付勢する付勢部材と、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動の間に前記付勢部材の付勢に抗して前記移動部材を移動させる送り機構と、を備える、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項20に記載の反転装置において、
前記送り機構は、
前記移動部材に設けられた被当接部と、
前記支持部材に設けられ前記直線方向に前記被当接部に対向する当接部と、を備え、
前記所定ストロークの前記支持部材の移動の間に前記当接部が前記被当接部に当接して前記移動部材が前記支持部材から押圧力を受け、当該押圧力により、前記支持部材の移動に伴い前記移動部材が前記付勢に抗して移動する、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項20または21に記載の反転装置において、
前記付勢部材は、エアシリンダである、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項18ないし22の何れか一項に記載の反転装置において、
前記受取位置は、前記反転完了位置よりも、鉛直方向において上方に位置する、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項18ないし23の何れか一項に記載の反転装置において、
前記保持部は、
前記ウェーハを吸着する吸着部と、
前記回転軸に装着されたレバーと、
前記レバーに連結され前記吸着部を保持する保持部材と、を備える、ことを特徴とする反転装置。
- 請求項18ないし23の何れか一項に記載の反転装置において、
前記保持部は、
前記ウェーハを吸着する吸着部と、
前記回転軸に装着され、前記吸着部を保持する保持部材と、を備える、ことを特徴とする反転装置。
- ウェーハを搬送する搬送システムであって、
前記ウェーハを保持する保持部と、前記保持部を回転させつつ直線方向に移動させる回転駆動部と、を備え、前記回転駆動部は、前記保持部が前記ウェーハを受け取る受取位置と、前記受取位置に対して前記直線方向に離間し、前記ウェーハの反転が完了する反転完了位置との間で、前記ウェーハが円弧状の軌跡を描きつつ表裏逆に回転するように前記保持部を駆動する反転装置と、
前記反転ユニットに前記ウェーハを搬送する搬送装置と、を備える、ことを特徴とする搬送システム。
- 請求項26に記載の搬送システムにおいて、
前記搬送装置は、前記直線方向に昇降する搬送部材を備えており、
前記保持部が前記受取位置から90°回転した位置に位置したとき、前記搬送部材は前記受取位置と前記反転完了位置との間を直線方向に通過する、ことを特徴とする搬送システム。
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