JPWO2020065997A1 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020065997A1 JPWO2020065997A1 JP2020547860A JP2020547860A JPWO2020065997A1 JP WO2020065997 A1 JPWO2020065997 A1 JP WO2020065997A1 JP 2020547860 A JP2020547860 A JP 2020547860A JP 2020547860 A JP2020547860 A JP 2020547860A JP WO2020065997 A1 JPWO2020065997 A1 JP WO2020065997A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- axis
- work
- processing machine
- irradiation head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000012636 effector Substances 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/046—Automatically focusing the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0853—Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
図1において、本発明の好ましい実施形態によるレーザ加工機100は、工場等の床面に固定される基台となるベッド102を有している。ベッド102の上面の後方部分にはコラム104が立設され、ベッド102の上面の前方部分には、テーブル108が、水平前後方向に延設された一対のY軸案内レール106に沿って往復動可能に取り付けられている。
102 ベッド
104 コラム
106 Y軸案内レール
108 テーブル
110 レーザ照射ヘッド
112 Xスキャンモータ
114 Xスキャンミラー
116 Yスキャンモータ
118 Yスキャンミラー
120 fθレンズ
122 ハウジング
124 ノズル
130 パラレルリンク機構
132 ベース
134 エンドエフェクタ
136−1 直動関節
136−2 直動関節
136−3 直動関節
136−4 直動関節
136−5 直動関節
136−6 直動関節
138−1 直動アクチュエータ
138−2 直動アクチュエータ
138−3 直動アクチュエータ
138−4 直動アクチュエータ
138−5 直動アクチュエータ
138−6 直動アクチュエータ
140 Z軸スライダ
142 Z軸案内レール
144 ヘッドストック
144a 立壁
144b 横壁
146 X軸案内レール
150 サーボモータ
152 ボールねじ
156 レーザ発振器
158 導光部材
160 制御装置
162 読取解釈部
164 パラレルリンク制御部
166 ガルバノミラー制御部
168 位置決め制御部
170 レーザ制御部
Claims (3)
- テーブルに載置、固定したワークに対してレーザ光を照射しつつ、ワーク上におけるレーザ光の照射位置を移動して、該ワークを加工するレーザ加工機において、
レーザ発振器と、
レーザ発振器からのレーザ光をワークへ向けて照射するレーザ照射ヘッドであって、レーザ光のワーク表面上の照射位置を2方向に移動させるガルバノスキャナを備えたレーザ照射ヘッドと、
前記レーザ照射ヘッドの姿勢を変更するパラレルマニピュレータと、
前記パラレルマニピュレータを支持するスライド部材と、
直交する少なくとも2つの方向に前記スライド部材を前記テーブルに対して相対移動させる直線送り軸装置と、
を備えることを特徴としたレーザ加工機。 - 前記パラレルマニピュレータは、前記スライド部材に固定されたベースと、前記ベースに対して並列に設けられた複数の直動関節を介して前記ベースに連結されたエンドエフェクタとを備え、前記レーザ照射ヘッドは前記エンドエフェクタに取り付けられている請求項1に記載のレーザ加工機。
- レーザ光のワーク表面上の照射位置を撮像する撮像装置を更に備えた請求項1に記載のレーザ加工機。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/036521 WO2020065997A1 (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020065997A1 true JPWO2020065997A1 (ja) | 2021-08-30 |
JP7097984B2 JP7097984B2 (ja) | 2022-07-08 |
Family
ID=69949333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020547860A Active JP7097984B2 (ja) | 2018-09-28 | 2018-09-28 | レーザ加工機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210394306A1 (ja) |
EP (1) | EP3858534A4 (ja) |
JP (1) | JP7097984B2 (ja) |
CN (1) | CN112672843B (ja) |
WO (1) | WO2020065997A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7408332B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2024-01-05 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
CN111830901A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-27 | 珠海格力智能装备有限公司 | 工件的加工处理方法及装置、计算机存储介质及处理器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000117480A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-25 | Fanuc Ltd | レーザ加工機 |
JP2000130536A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Fanuc Ltd | パラレルリンク機構 |
JP2001068817A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 立体回路の形成方法 |
JP2004327552A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 立体回路パターンの形成方法、装置、及びこれらを用いて製造される立体回路板 |
EP2740563A1 (de) * | 2012-12-05 | 2014-06-11 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH & Co. KG | Bearbeitungseinrichtung, Bearbeitungsmaschine und Verfahren zum Bewegen eines Bearbeitungskopfs |
JP2015044212A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | オムロン株式会社 | レーザ加工装置 |
JP2016060062A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | ノズル装置および積層造形装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS607489B2 (ja) * | 1979-07-18 | 1985-02-25 | 旭光学工業株式会社 | レ−ザ−メス装置のカウンタ−バランス機構 |
DE19955520C2 (de) * | 1999-11-18 | 2002-11-07 | Variomatic Gmbh & Co Kg | Bearbeitungskopf zur Bearbeitung von Freiformflächen |
JP2002239768A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Komatsu Ltd | レーザ加工装置 |
DE10216571A1 (de) * | 2002-04-13 | 2003-10-30 | 1 1 Prototyping Herbak Gmbh | Vorrichtung zum Verfahren eines Arbeitskopfes im Raum |
DE10255037A1 (de) * | 2002-11-26 | 2004-06-09 | Kuka Roboter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks |
JP2004276101A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
US7600666B2 (en) * | 2003-05-27 | 2009-10-13 | Rabinovich Joshua E | Repair with feedstock having conforming surfaces with a substrate |
CN1268468C (zh) * | 2003-12-05 | 2006-08-09 | 张向明 | 一种激光加工技术中的并联机构 |
CN2712529Y (zh) * | 2003-12-05 | 2005-07-27 | 张向明 | 一种激光加工技术中的三维并联机构 |
GB2514775B (en) * | 2013-06-03 | 2020-09-09 | Tannlin Tech Limited | Precision two-dimensional actuator |
DE102014113283B4 (de) * | 2014-09-15 | 2016-11-03 | Blackbird Robotersysteme Gmbh | Vorrichtung zur Remote-Laserbearbeitung mit Sensor-Scannereinrichtung |
JP6670786B2 (ja) * | 2017-03-23 | 2020-03-25 | キオクシア株式会社 | ダイシング方法及びレーザー加工装置 |
CN107999967B (zh) * | 2017-11-30 | 2019-05-31 | 华中科技大学 | 一种大型三维零件表面并行激光刻蚀加工方法和装置 |
-
2018
- 2018-09-28 JP JP2020547860A patent/JP7097984B2/ja active Active
- 2018-09-28 WO PCT/JP2018/036521 patent/WO2020065997A1/ja unknown
- 2018-09-28 EP EP18935491.3A patent/EP3858534A4/en active Pending
- 2018-09-28 US US17/279,774 patent/US20210394306A1/en active Pending
- 2018-09-28 CN CN201880097372.7A patent/CN112672843B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000117480A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-04-25 | Fanuc Ltd | レーザ加工機 |
JP2000130536A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Fanuc Ltd | パラレルリンク機構 |
JP2001068817A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 立体回路の形成方法 |
JP2004327552A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Matsushita Electric Works Ltd | 立体回路パターンの形成方法、装置、及びこれらを用いて製造される立体回路板 |
EP2740563A1 (de) * | 2012-12-05 | 2014-06-11 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH & Co. KG | Bearbeitungseinrichtung, Bearbeitungsmaschine und Verfahren zum Bewegen eines Bearbeitungskopfs |
JP2015044212A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | オムロン株式会社 | レーザ加工装置 |
JP2016060062A (ja) * | 2014-09-16 | 2016-04-25 | 株式会社東芝 | ノズル装置および積層造形装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3858534A4 (en) | 2022-05-04 |
CN112672843A (zh) | 2021-04-16 |
JP7097984B2 (ja) | 2022-07-08 |
CN112672843B (zh) | 2023-02-17 |
WO2020065997A1 (ja) | 2020-04-02 |
US20210394306A1 (en) | 2021-12-23 |
EP3858534A1 (en) | 2021-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6856607B2 (ja) | 撮影装置及び工作機械 | |
JP6037891B2 (ja) | 工具形状測定方法及び工具形状測定装置 | |
US10502555B2 (en) | Laser processing system having measurement function | |
KR102226222B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP2010264563A (ja) | 加工方法及び加工システム | |
JPH075385A (ja) | レーザービーム位置決め装置及びシステム | |
JP7097984B2 (ja) | レーザ加工機 | |
KR20100118560A (ko) | 다이싱 장치 및 다이싱 방법 | |
JP2010058239A (ja) | 加工方法 | |
KR101722916B1 (ko) | 레이저 스캐너 기반 5축 표면 연속 가공 장치 및 그 제어 방법 | |
JP2000317660A (ja) | レーザ光を利用したバリ取り方法及びバリ取り装置 | |
JP5693662B2 (ja) | 変位測定器の自動心出し方法及び変位測定機能を有する工作機械 | |
JP3657252B2 (ja) | ワーク形状測定装置を用いた形状測定システム | |
JP2008073699A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工装置の制御方法 | |
JP2005254618A (ja) | 樹脂溶着装置 | |
JP4615238B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
WO2017130412A1 (ja) | 加工装置の補正方法および加工装置 | |
WO2023147317A2 (en) | Techniques for closed-loop control of a laser-engraving process | |
JP6224462B2 (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 | |
JP5072743B2 (ja) | マイクロマシンおよびマイクロフライスマシン | |
JP2010058238A (ja) | 加工方法 | |
JP2015093332A (ja) | 較正機能付きワーク加工装置 | |
KR100964680B1 (ko) | 다면체 레이저 가공 장치 및 방법 | |
KR20170029381A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP6487413B2 (ja) | レーザ加工用ヘッドおよびそれを備えたレーザ加工システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220331 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220614 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7097984 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |