JPWO2019230911A1 - ベーパーチャンバー、及び電子機器 - Google Patents

Abstract

密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、が具備され、蒸気流路に設けられた張出部の張出量が蒸気流路が延びる方向で異なる、蒸気流路と凝縮液流路とを連通する開口部のピッチが蒸気流路が延びる方向で異なる、又は、流路を仕切る壁部が所定の流路の横断面と所定の関係を有している。

Description

本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバーに関する。

パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に代表される電子機器にはＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品が備えられている。このような電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり、これを冷却する技術が重要となっている。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。

一方、近年においてこれら電子機器の薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバー（平板状ヒートパイプ）が提案されている。

ベーパーチャンバーはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバーでは、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。

より具体的には、ベーパーチャンバーの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバーを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。

特許文献１には、このような蒸気用流路（深溝部）と凝縮液用流路（浅溝部）とが形成された機器が開示されている。

特開２０００−１１１２８１号公報

本開示は、高い熱輸送能力を得ることができるベーパーチャンバーを提供することを課題とする。またこのベーパーチャンバーを備える電子機器を提供する。

本開示の１つの態様は、密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、が具備され、蒸気流路には、凝縮液流路及び蒸気流路が配列される方向に蒸気流路側に突出した張出部が備えられるとともに、蒸気流路が延びる方向において張出部の張出量が異なっている、ベーパーチャンバーである。

蒸気流路が延びる方向に複数の領域に分けたとき、１の領域における張出部の張出量が、１の領域に隣り合う両方の領域における張出部の張出量よりも小さくなるように構成してもよい。

１つの蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において３つの領域に分けたとき、中央に配置される領域における張出量の平均値が、中央に配置される領域の両隣に配置される２つの領域における張出量のそれぞれの平均値よりも小さくなるように構成してもよい。

１つの蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において５つの領域に分けたとき、中央に配置される領域における張出部の張出量の平均値、及び両端に配置される領域における張出部の張出量の平均値が、中央に配置される領域と両端に配置される領域との間に配置される領域における張出部の張出量の平均値よりも大きくなるように構成してもよい。

本開示の他の態様は、密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、が具備されており、蒸気流路と凝縮液流路とを隔てる壁部には、蒸気流路と凝縮液流路とを連通する開口部である連通開口部が複数設けられており、複数の連通開口部のピッチが蒸気流路が延びる方向において異なっている、ベーパーチャンバーである。

蒸気流路が延びる方向において、１の領域に対して蒸気流路に沿った方向に並ぶ複数の連通開口部が含まれるように複数の領域に分けたとき、１の領域における連通開口部のピッチが、１の領域に隣り合う両方の領域における連通開口部のピッチよりも大きくなるように構成してもよい。

１つの蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において３つの領域に分けたとき、両端に配置される領域に具備される連通開口部のピッチの平均値が、両端に配置される領域の間に配置される中央の領域に具備される連通開口部のピッチの平均値よりも小さくなるように構成してもよい。

１つの蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において５つの領域に分けたとき、中央に配置される領域に具備される連通開口部のピッチの平均値、及び両端に配置される領域に具備される連通開口部のピッチの平均値が、中央に配置される領域と両端に配置される領域との間に配置される領域に具備される連通開口部のピッチの平均値よりも小さくなるように構成してもよい。

本開示の他の態様は、密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、密閉空間には、作動流体が流れる複数の流路が形成され、隣り合う流路の間には壁部を有しており、壁部の幅Ｓ_Ａは、２０μｍ以上３００μｍ以下であり、流路の横断面の断面積Ｓ_Ｂ（μｍ^２）との関係であるＳ_ＡをＳ_Ｂで除した値が０．００５（μｍ^−１）以上０．０４（μｍ^−１）以下である、ベーパーチャンバーである。

流路は、作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、を有し、壁部は、隣り合う凝縮液流路の間に形成された壁部としてもよい。

壁部の幅が凝縮液流路の幅より小さくなるように構成してもよい。

凝縮液流路にはその表面に溝が形成されていてもよい。

壁部には、隣り合う流路を連通する開口部を複数有していてもよい。

開口部は、隣り合う壁部で流路が延びる方向で位置が異なるように設けられてもよい。

筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された上記ベーパーチャンバーと、を備える、電子機器を提供することができる。

本開示のベーパーチャンバーによれば熱輸送能力を高めることができる。

図１はベーパーチャンバー１の斜視図である。 図２はベーパーチャンバー１の分解斜視図である。 図３は第一シート１０の斜視図である。 図４は第一シート１０の平面図である。 図５は第一シート１０の切断面である。 図６は第一シート１０の他の切断面である。 図７は第一シート１０の他の切断面である。 図８は外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。 図９は他の形態の壁部及び連通開口部を表した現した図である。 図１０は他の形態の壁部及び連通開口部を表した現した図である。 図１１は他の形態の壁部及び連通開口部を表した現した図である。 図１２は他の例の外周液流路部１４を平面視して一部を拡大して表した図である。 図１３は内側液流路部１５に注目した切断面である。 図１４は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大して表した図である。 図１５は内側液流路部１５を平面視して一部を拡大して表した図である。 図１６は領域の分け方が異なる例を説明する図である。 図１７は第二シート２０の斜視図である。 図１８は第二シート２０の平面図である。 図１９は第二シート２０の切断面である。 図２０は第二シート２０の切断面である。 図２１は第二シート２０の他の切断面である。 図２２は変形例にかかる第二シート２０の平面図である。 図２３は領域の分け方の異なる例を説明する図である。 図２４は領域の分け方の異なる例を説明する図である。 図２５はベーパーチャンバー１の切断面である。 図２６はベーパーチャンバー１の切断面である。 図２７は図２５の一部を拡大した図である。 図２８は図２６の一部を拡大した図である。 図２９は凝縮液流路３を平面視して一部を拡大して表した図である。 図３０は凝縮液流路３を平面視して一部を拡大して表した図である。 図３１は図１のＩ_１３−Ｉ_１３で示した線に沿った切断面である。 図３２は壁部１５ｂ及び２つの凝縮液流路３の切断面である。 図３３は壁部の耐久性の考え方を説明する図である。 図３４は壁部の耐久性の考え方を説明する図である。 図３５は他の例を説明する図である。 図３６は他の例を説明する図である。 図３７は他の例を説明する図である。 図３８は他の例を説明する図である。 図３９は変形例にかかるベーパーチャンバーの断面の一部を拡大した図である。 図４０は変形例にかかるベーパーチャンバーの断面の一部を拡大した図である。 図４１は電子機器４０を説明する斜視図である。 図４２は電子部品の配置の形態例を示す図である。 図４３は電子部品の配置の形態例を示す図である。 図４４は電子部品の配置の他の形態例を示す図である。 図４５は電子部品の配置の他の形態例を示す図である。 図４６はベーパーチャンバー１の作動を説明する図である。 図４７はベーパーチャンバー１０１の斜視図である。 図４８はベーパーチャンバー１０１の分解斜視図である。 図４９は第三シート１３０をｚ方向から見た図である。 図５０は図４９とは反対側から見た図である。 図５１は第三シート１３０の切断面である。 図５２は第三シート１３０の他の切断面である。 図５３は外周液流路部１３４に注目した切断面である。 図５４は外周液流路部１３４をｚ方向から見て一部を拡大した図である。 図５５は内側液流路部１３８に注目した切断面である。 図５６は内側液流路部１３８をｚ方向から見て一部を拡大した図である。 図５７はベーパーチャンバー１０１の切断面である。 図５８はベーパーチャンバー１０１の他の切断面である。 図５９は図５７の一部を拡大した図である。 図６０は図５７の他の一部を拡大した図である。 図６１は壁部１３９ａ及び２つの凝縮液流路１０３の切断面である。 図６２は張出部２４１を説明する図である。 図６３は張出部３４１を説明する図である。 図６４は張出部４４１を説明する図である。 図６５は張出部５４１を説明する図である。 図６６は張出部６４１を説明する図である。 図６７は張出部７４１を説明する図である。

以下、各形態を図面に基づき説明する。本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
また、ベーパーチャンバーでは、密閉空間内を作動流体が相変化を伴いつつ移動するため、本明細書では気化して気体である作動流体を「蒸気」、液化して液体である作動流体を「凝縮液」と記載することがある。

図１には第一形態にかかるベーパーチャンバー１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバー１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には便宜のため、互いに直交する方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も表すことがある。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバー１の板面に沿った方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。

ベーパーチャンバー１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図２５参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。

本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４のＩ_１−Ｉ_１で切断したときの第一シート１０の切断面を示した。なお、後で説明するように第一シート１０は３つの領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３に分けて考えることができるため、図４にはそれぞれについてＩ_１−Ｉ_１線が表記されているが、本形態では図３に表した断面については、領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３でいずれも同じとなるので、ここでは１つの図のみを表した。

第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで密閉空間２が形成される。

このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された密閉空間２（例えば図２５参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第一シート１０の注入部１２は内面１０ａ側も外面１０ｂ側も平坦面とされている。

このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、０．７５ｍｍ以下であることが好ましく、０．５０ｍｍ以下であってもよく、０．２ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることができる。

また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、又はＡｌ_２Ｏ_３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。

本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。

外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面を有する部位である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され、ここに作動流体が封入される。

図４乃至図７にＷ_１で示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ_１は、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ_１が３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ_１は０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ_１が０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３（図２５参照）の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印Ｉ_２で示した部分、図７には図４にＩ_３−Ｉ_３で切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｉ_４で示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。

これら図からわかるように、外周液流路部１４は本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って形成され、密閉空間２の外周に沿って環状となるように設けられている。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である壁部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対の内面１０ａ側に開口を備えている。

また、このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２５参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

さらに、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。また、蒸気流路４（図２５参照）を形成する蒸気流路溝１６に隣接する壁部１４ｂに設けられた連通開口部１４ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。

図９乃至図１１には、図８の視点と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの壁部１４ｂ、及び各壁部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で壁部１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した壁部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅（Ｗ_３１）が他の部位と同じであり一定である。これに対して図９乃至図１１に示した形状の壁部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、壁部１４ｂの最大幅（Ｗ_３１）よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図９の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１０は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が尖るように先細りとなる例である。

図９乃至図１１に示したように、壁部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、壁部１４ｂの最大幅（Ｗ_３１）よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となり、さらに作動流体の円滑な還流が可能となる。
一方で、ベーパーチャンバーの非作動時においては、後述するように、連通開口部１４ｃの近傍に溜まった作動流体が凍結して体積が増加する。そのとき、第一シートと第二シートを離す方向に働く力が加わると、壁部１４ｂの端部がこのように細くなっていることから、当該細くなった部位に応力が集中して壁部１４ｂの破壊がされやすい状況になる。しかしながら本形態ではこのような場合であっても壁部１４ｂが破壊されることなく十分な耐久力を有するものとなる。

本形態では図８に示したように１つの液流路溝１４ａが延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１２に示したように、１つの液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、この場合はいわゆるオフセットされた千鳥配列状に連通開口部１４ｃが配置されている。
このようにオフセットして連通開口部１４ｃを設けることで、凝縮液流路３を進行する作動流体からみたときに、連通開口部１４ｃが両側に同時に表れることがなく、連通開口部１４ｃが表れても少なくとも一方の側面は常に壁部１４ｂが存在する。そのため、毛細管力を連続的に得ることができる。かかる観点からオフセットして連通開口部１４ｃを形成することで作動流体に働く毛細管力を高く維持することができるため、より円滑な還流が可能となる。
一方で、ベーパーチャンバーの非作動時においては、このような強い毛管力のため、図８の例に比べて凝縮液が連通開口部１４ｃに多く溜まる傾向にある。すると、後述するように作動流体が凍結して体積が増加したときに第一シートと第二シートを離す方向、すなわち壁部１４ｂを破壊する方向により大きな力が加わる。しかしながら本形態ではこのような場合であって壁部１４ｂが破壊されることなく十分な耐久力を有するものとなる。

また、このように連通開口部１４ｃをオフセットして配列にした場合にも、図９乃至図１１の例に倣って壁部１４ｂにおける端部形状を構成することもできる。

以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４乃至図７にＷ_２で示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバー全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ_２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ_２が３．０ｍｍを超えると内側の凝縮液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ_２は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ_２が０．１ｍｍより小さいと外側を還流する凝縮液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

液流路溝１４ａについて、図６、図８にＷ_３で示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、３００μｍ以下であってもよい。一方、溝幅Ｗ_３は３０μｍ以上であることが好ましく、４０μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。溝幅Ｗ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、溝幅Ｗ_３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７にＤ_１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ_１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。

凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ_３を深さＤ_１で割った値である流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＷ_３はＤ_１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

また、壁部１４ｂについて、図６、図８乃至図１１にＷ_３１で示した幅（壁部１４ｂが配列される方向の大きさ、壁部１４ｂの内面１０ａ側部位の幅）は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ_３１は２０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が５００μｍより大きくなると連通開口部１４ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
幅Ｗ_３１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、溝幅Ｗ_３１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

本形態では液流路溝１４ａの断面形状は半楕円形であるがこれに限定されることなく、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円、又は、これらから選ばれる複数が組み合わされた形状であってもよい。

また、図８にＰ_１で示した複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは１３００μｍ以下であることが好ましく、７００μｍ以下であってもよく、４００μｍ以下であってもよい。一方、ピッチＰ_１は５０μｍ以上であることが好ましく、７０μｍ以上であってもよく、１１０μｍ以上であってもよい。このピッチＰ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。

図３乃至図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路として凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１３には図５のうちＩ_５で示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。

内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。

そして、各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１３からわかるように内側液流路部１５ではその断面において凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である隔壁となる壁部１５ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対の内面１０ａ側に開口を備えている。

このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２５参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。

一方、本形態では、内側液流路部１５の長手方向については、次のような特徴を備えている。図４にＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_３で示したように３つの領域に分けて考える。ただし、本形態では領域Ｒ_１と領域Ｒ_３とでは内側液流路部１５は同じ形状であり、該領域Ｒ_１と領域Ｒ_３に挟まれた領域Ｒ_２における内側液流路部１５で領域Ｒ_１、領域Ｒ_３とは異なる形状を具備している。
図１４には、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３における内側液流路部１５について、図１４に矢印Ｉ_５で示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。図１５には、領域Ｒ_２における内側液流路部１５について、図１４に矢印Ｉ_５で示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。

図１４、図１５からわかるように内側液流路部１５では、隣り合う液流路溝１５ａが所定の間隔で設けられた連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、作動流体の円滑な還流が可能となる。また、蒸気流路４（図２５参照）を形成する蒸気流路溝１６に隣接する隔壁である壁部１５ｂに設けられた連通開口部１５ｃは、蒸気流路４と凝縮液流路３とを連通させる。従って、連通開口部１５ｃを構成することにより蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させることができる。

ここで、本形態では、蒸気流路４が延びる方向において、蒸気流路４に沿った方向に並ぶ複数の連通開口部１５ｃが含まれるように、これを複数の領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３に分けたとき、１の領域である領域Ｒ_２における連通開口部１５ｃのピッチが、領域Ｒ_２に隣り合う両方の領域である領域Ｒ_１、領域Ｒ_３における連通開口部１５ｃのピッチよりも大きくされている。
そこで本形態では図１４と図１５とを対比してもわかるように、少なくとも蒸気流路溝１６に隣接する連通開口部１５ｃにおいて、図１５に示した領域Ｒ_２の連通開口部１５ｃのピッチＰ_Ｒ２が、図１４に示した領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の連通開口部１５のピッチＰ_Ｒ１よりも大きくなるように構成されている。すなわち、連通開口部のピッチが長い領域（領域Ｒ_２）の両隣の領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）の連通開口部のピッチが、間にある領域Ｒ_２の連通開口部のピッチより小さくなるように構成されている。
これにより、後で説明するように、連通開口部のピッチが長い領域（領域Ｒ_２）では、これに隣り合う領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）よりも作動流体と第一シートとの接触面積や、蒸気と凝縮液との接触面積が小さくなることから、作動流体の凝縮及び蒸発が起こり難くなる。そのため、例えば領域Ｒ_１を熱源が配置される蒸発部とした場合に、蒸気が領域Ｒ_２にて凝縮して蒸気流路を塞いでしまうようなことが防止され、熱源から離隔した領域Ｒ_３まで蒸気を移動させることができる。また、例えば領域Ｒ_１を蒸発部（受熱部、熱源が配置される部位）としたときに、作動流体が領域Ｒ_２にて蒸発してしまい、蒸発部である領域Ｒ_１で凝縮液が不足することを防止できる。
同時に、領域Ｒ_２では、凝縮液流路において隣り合う領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）よりも毛細管力が続く距離が長いため凝縮液の輸送を促すことができる。
これにより、作動流体の円滑な還流が可能になり、熱輸送能力を高めることができる。

本形態では、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３における連通開口部のピッチ（Ｐ_Ｒ１）を同じとしたが、これに限られることはなく、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３における連通開口部のピッチが異なっていてもよい。本形態でいえば、少なくとも蒸気流路溝１６に隣接する連通開口部１５ｃにおいて、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の連通開口部のピッチが領域Ｒ_２の連通開口部のピッチよりも小さければよい。

ここで、領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３の大きさや割合は特に限定されることはなく適宜設定することができるが、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の一方を蒸発部（受熱部、冷却対象である熱源が配置される部位）とし、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の他方を冷却部として、その間の領域Ｒ_２を輸送部と考え、各領域をこれに適する大きさにすることが好ましい。
従って、蒸発部とされた領域（領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の一方）は冷却する対象である熱源以上の大きさとし、冷却部とされた領域（領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の他方）も蒸発部とされた領域と同じ大きさとすることができる。

また、本形態では１つの領域内では連通開口部のピッチが一定である例を示したが、これに限られることはなく、連通開口部のピッチが同じ領域内でも変化する形態であってもよい。この場合には、１つの内側液流路部１５の全長を３つの領域に分けて考え、領域ごとに蒸気流路溝に隣接する連通開口部のピッチの平均値を算出し、中央の領域の連通開口部のピッチの平均値が、両端の領域の連通開口部のピッチの平均値よりも大きくなるように（両端の領域の連通開口部のピッチの平均値が、中央の領域の連通開口部のピッチの平均値よりも小さくなるように）、構成すればよい。ここで３つの領域に分けるときには３等分を考えてもよい。

また、本形態では３つの領域に分けて考える例を示した。これは上記したように両端に配置される領域のいずれか一方を蒸発部（受熱部）、他方を冷却部とする場合が想定できる。これに対して、図１６に示したように、５つの領域に分けて考えることもできる。これによれば領域Ｒ_１’乃至領域Ｒ_５’に分け、中央の領域Ｒ_３’、及び両端の領域Ｒ_１’、領域Ｒ_５’に具備される連通開口部のピッチの平均値が、領域Ｒ_１’と領域Ｒ_３’との間である領域Ｒ_２’、領域Ｒ_３’と領域Ｒ_５’との間である領域Ｒ_４’に具備される連通開口部のピッチの平均値よりも小さくなるように構成される。ここで５つの領域に分けて考える際には５等分を考えることもできる。
この場合は、中央の領域Ｒ_３’を蒸発部（受熱部）として冷却対象となる熱源が配置され、両端の領域Ｒ_１’及び領域Ｒ_５’を冷却部とすることが想定される。

すなわち、第一シート１０では、複数の連通開口部のピッチが内側液流路部が延びる方向おいて異なっているものである。これに加えて、ある領域における連通開口部のピッチが、このある領域に隣り合う両方の領域における連通開口部のピッチよりも大きくされている部位を具備する。

内側液流路部１５についても図９乃至図１１の例に倣って壁部１５ｂに対して、連通開口部１５ｃが形成される端部においてその幅が、壁部１５ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されるようにしてもよい。
これにより、連通開口部１５ｃを作動流体が移動しやすくなり、さらに作動流体の円滑な還流が可能となる。
一方で、ベーパーチャンバーの非作動時においては、後述するように、連通開口部１５ｃの近傍に溜まった作動流体が凍結して体積が増加する。そのとき、第一シートと第二シートを離す方向に働く力が加わると、壁部１５ｂの端部がこのように細くなっていることから、当該細くなった部位に応力が集中して壁部１５ｂの破壊がされやすい状況になる。しかしながら本形態ではこのような場合であっても壁部１５ｂが破壊されることなく十分な耐久力を有するものとなる。

この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１２に示した例に倣って、オフセットされたいわゆる千鳥配列状に連通開口部が配置されてもよい。このように連通開口部１５ｃをオフセットして配列にした場合にも、図９乃至図１１の例に倣って壁部１５ｂにおける端部形状を構成することもできる。

以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１３にＷ_４で示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_４は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を十分に下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流をバランスよく行うことができる。

また、図５にＰ_２で示した内側液流路部１５の配列ピッチは、４０００μｍ以下であることが好ましく、３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ_２は２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチＰ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。

液流路溝１５ａについて、図１３乃至図１５にＷ_５で示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、３００μｍ以下であってもよい。一方、この溝幅Ｗ_５は３０μｍ以上であることが好ましく、４０μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１３にＤ_２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。

流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、幅Ｗ_５を深さＤ_２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から幅Ｗ_５は深さＤ_２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。

また、壁部１５ｂについて、図１３乃至図１５にＷ_５１で示した幅（壁部１５ｂが配列される方向の大きさ、壁部１５ｂの内面１０ａ側部位の幅）は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ_５１は２０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この幅が２０μｍより小さいと作動流体の凍結と溶融との繰り返しにより破断し易くなり、この幅が５００μｍより大きくなると連通開口部１５ｃの幅が大きくなりすぎ、隣り合う凝縮液流路３との作動流体の円滑な連通が阻害される虞がある。
幅Ｗ_５１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、溝幅Ｗ_５１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

本形態で液流路溝１５ａの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形等、及びこれらが組み合わされた形状であってもよい。

また、図１４、図１５にＰ_３で示した隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１３００μｍ以下であることが好ましく、７００μｍ以下であってもよく、４００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ_３は５０μｍ以上であることが好ましく、７０μｍ以上であってもよく、１１０μｍ以上であってもよい。このピッチＰ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ_３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。

連通開口部１５ｃについて、図１４、図１５にＬ_１で示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った連通開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ_１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ_１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ_１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

図１４、図１５にＰ_Ｒ１、Ｐ_Ｒ２で示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、上記したような関係を備えているが、さらに次のように構成することができる。このピッチＰ_Ｒ１、Ｐ_Ｒ２は、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ_Ｒ１、Ｐ_Ｒ２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＰ_Ｒ１、Ｐ_Ｒ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＰ_Ｒ１、Ｐ_Ｒ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

連通開口部１５ｃの態様、上記大きさＬ_１、及び、連通開口部１５ｃのピッチＰ_Ｒ１及びＰ_Ｒ２については、外周液流路部１４の連通開口部１４ｃに対しても同様に考えることができる。

また、上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。

次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１の流路である蒸気流路４の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。

これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、環状である外周液流路部１４の環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５を凸条とし、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び該底部とは向かい合わせとなる反対の内面１０ａ側に開口を備えている。

このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えることができる。
図４、図５にＷ_６で示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの幅Ｗ_３、幅Ｗ_５より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_６は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。

一方、図５にＤ_３で示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａの深さＤ_１、深さＤ_２より大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_３は１０μｍ以上であること好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。

ここで蒸気流路溝１６は、後で説明するように第二シート２０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成できる。そのため、Ｗ_６をＤ_６で割った値であるアスペクト比は４．０以上とすることができ、さらに８．０以上としてもよい。

本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。
蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６をその端部で連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａによる凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりする。これにより、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。

本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。図７には蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。なお、蒸気流路連通溝１７と蒸気流路１６との境界は必ずしも形状による境界が形成されるわけではないので、図３、図４にはわかりやすさのため、当該境界を点線で表した。

蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＷ_７で示した蒸気流路連通溝１７の幅は、（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ_７は１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ_７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ_７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

また、図７にＤ_４で示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_４は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。その中でも蒸気流路溝１６の深さＤ_３と同じとしてもよい。これにより製造が容易になる。

本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくかを組み合わせた形状でであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１７には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図１８には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。
図１９には図１８にＩ_６−Ｉ_６で切断した切断面、図２０には図１８にＩ_７−Ｉ_７で切断したときの切断面をそれぞれ表した。
第二シート２０でも３つの領域Ｒ_１１、Ｒ_１２、Ｒ_１３に分けて考えることができるため、図１９は図１８にＩ_６−Ｉ_６で示した領域Ｒ_１１、Ｒ_１３における断面、図２０は図１８にＩ_７−Ｉ_７で示した領域Ｒ_１２における切断面をそれぞれ表している。
また、図２１には図１８にＩ_８−Ｉ_８で切断したときの第二シート２０の切断面を示した。

第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで密閉空間が形成される。

このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）とされた長方形である。
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された密閉空間２（図２５参照）に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（密閉空間２となるべき部位）に連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは必ずしも同じ厚さ及び材料である必要はない。

本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。

外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って設けられた面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって接合（拡散接合やろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２を形成し、ここに作動流体が封入される。
図１８乃至図２１にＷ_８で示した外周接合部２３の幅は上記した第一シート１０の本体１１の外周接合部１３の幅Ｗ_１と同じであっても異なっていてもよい。

また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。

外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する。

外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って、密閉空間２の外周に沿って環状を成すように設けられている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図１９乃至図２１からわかるように外周接合部２３と面一な面である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａのうち少なくとも一部の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１７、図１８では点線により両者の境界を表している。

外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
本形態で図１８乃至図２１に示した外周液流路部２４の幅Ｗ_９は第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｗ_２と同じ大きさで形成されている。

次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。

内側液流路部２５は、図１７乃至図２０からわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に設けられている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる凸条であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面となるように形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａのうち少なくとも一部の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して第２流路である凝縮液流路３を形成する。

一方、内側液流路部２５の長手方向については、次のような特徴を備えている。図１８にＲ_１１、Ｒ_１２、Ｒ_１３で示したように、本形態では３つの領域に分けて考える。本形態では領域Ｒ_１１と領域Ｒ_１３とは内側液流路部２５の形状は同じであり、該領域Ｒ_１１と領域Ｒ_１３に挟まれた領域Ｒ_１２は領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１３とは内側液流路部の形状が異なる。

ここで、図１９、図２０に示した、本形態で内側液流路部２５の幅Ｗ_１０、幅Ｗ_１１は、いずれも第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｗ_４よりも大きくなるように形成されている。これにより後述するように蒸気流路４に張出部６を形成することができ、凝縮液の移動を円滑にさせることが可能となる。

ここで、図１７乃至図２０からもわかるように、領域Ｒ_１２における内側液流路部２５の幅Ｗ_１１が、領域Ｒ_１１、及び領域Ｒ_１３の幅Ｗ_１０に比べて小さくなるように構成されている。すなわち内側液流路部が延びる方向において、複数の領域に分けたとき、１の領域における内側液流路部の幅が、当該１の領域に隣り合う両方の領域における内側液流路部の幅よりも小さくなるように構成されている。
これにより、後で説明するように、内側液流路部２５のうち幅が小さい領域（領域Ｒ_１２）では、これに隣り合う幅が広い領域（領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１３）よりも張出部６の張出量が小さくなることから、作動流体と第二シートとの接触面積や、蒸気と凝縮液との接触面積が小さくなり、作動流体の凝縮及び蒸発が起こり難くなる。そのため、例えば領域Ｒ_１１を熱源が配置される蒸発部とした場合に、蒸気が領域Ｒ_１２にて凝縮液で蒸気流路が塞がれることが防止され、熱源から離隔した領域Ｒ_１３まで蒸気を移動させることができる。また、例えば領域Ｒ_１１を蒸発部（受熱部、熱源が配置される部位）としたときに、作動流体が領域Ｒ_１２にて蒸発してしまい、蒸発部である領域Ｒ_１１で凝縮液が不足することを防止できる。
これにより、作動流体の円滑な還流が可能なり、熱輸送能力を高めることができる。

本形態では、内側液流路部２５において領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の幅（Ｗ_１０）を同じとしたが、これに限られることはなく、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３における内側液流路部の幅が異なっていてもよい。本形態でいえば領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３における内側液流路部の幅が領域Ｒ_１２の内側液流路部の幅よりも大きければよい。

ここで、領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１２、領域Ｒ_１３の大きさや割合は特に限定されることはなく適宜設定することができるが、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の一方を蒸発部（受熱部、冷却対象である熱源が配置される部位）とし、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の他方を冷却部として、その間の領域Ｒ_１２を輸送部と考え、各領域をこれに適する大きさにすることができる。
従って、蒸発部とされた領域（領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の一方）は冷却する対象である熱源以上の大きさとし、冷却部とされた領域（領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の他方）も蒸発部とされた領域と同じ大きさとすることができる。

また、本形態では１つの領域内では内側液流路部の幅は一定である例を示したが、これに限られることはなく、図２２に示したように、内側液流路部２５の幅が一定でなく変化する形態であってもよい。この場合には、１つの内側液流路部２５の全長を３つの領域（領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１２、領域Ｒ_１３）に分けて考え、領域ごとに内側液流路部の幅の平均値を算出し、中央の領域（領域Ｒ_１２）における内側液流路部の幅の平均値が、両端の領域（領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１３）における内側液流路部の幅の平均値よりも小さくなるように構成すればよい。ここで３つの領域に分けて考える際には３等分を考えてもよい。

また、本形態では、第一シート１０で説明した領域Ｒ_１の長さを第二シート２０で説明した領域Ｒ_１１の長さと同じとし、同様に領域Ｒ_２の長さを領域Ｒ_１２の長さと同じとし、領域Ｒ_３の長さを領域Ｒ_１３の長さと同じとした。これによれば、上記した連通開口部１５ｃのピッチに関する違いによる効果と、内側液流路部２５の幅に関する違い（張出量）による効果とを併せて相乗的に発揮することができ、より高い効果を得ることができる。
ただし、これに限定されることはなく、領域Ｒ_１と領域Ｒ_１１、領域Ｒ_２と領域Ｒ_１２、及び領域Ｒ_３と領域Ｒ_１３を関連付けることなく個別に設定してもよい。
また、上記した連通開口部１５ｃのピッチに関する違いの構造と、内側液流路部２５の幅（張出量）に関する違いの構造については、何れか一方のみであっても独立して効果を奏することもできるので、ベーパーチャンバーはいずれか一方の構造のみを具備するものであってもよい。
すなわち、例えば連通開口部１５ｃのピッチが全ての領域で同じでありつつ、内側液流路部の幅（張出量）については領域により異なる形態のベーパーチャンバーであってもよく、又は、連通開口部１５ｃのピッチが領域により異なりつつ、内側液流路部の幅（張出量）については全ての領域で同じとなるような形態のベーパーチャンバーであってもよい。

また、本形態では３つの領域に分けて考える例を示した。これは上記したように両端に配置される領域のいずれか一方を蒸発部（受熱部）、他方を冷却部とする場合が想定できる。これに対して、図２３、図２４に示したように、５つの領域に分けて考えることもできる。これによれば領域Ｒ_１１’乃至領域Ｒ_１５’に分け、中央の領域Ｒ_１３’、及び両端の領域Ｒ_１１’、領域Ｒ_１５’に具備される内側液流路部の幅の平均値が、領域Ｒ_１１’と領域Ｒ_１３’との間である領域Ｒ_１２’、領域Ｒ_１３’と領域Ｒ_１５’との間である領域Ｒ_１４’に具備される内側液流路部の幅の平均値よりも大きくなるように構成される。これにより後述するように張出量を領域ごとに変えることができる。ここで、５つの領域としては例えば５等分を考えることもできる。
この場合は、中央の領域Ｒ_１３’を蒸発部（受熱部）として冷却対象となる熱源が配置され、両端の領域Ｒ_１１’及び領域Ｒ_１５’を冷却部とすることが想定される。

すなわち、第二シート２０では、内側液流路部の幅が、当該内側液流路部が延びる方向において異なっている。これに加えて、ある領域における内側液流路部の幅が、このある領域に隣り合う両方の領域における内側液流路部の幅よりも小さく形成されている部位を具備する。

次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、第１流路である蒸気流路４の一部を構成する。図１８には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図１９、図２０には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。

これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、環状である外周液流路部２４の環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５を凸とする凸条が形成され、蒸気流路溝２６を凹とする凹条が形成されて、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側に底部、及び該底部とは向かい合わせとなる反対の内面２０a側に開口を備えている。

蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで蒸気流路４を形成することができる。

蒸気流路溝２６は内側液流路部２５に隣接して形成される溝であるため、その形状は、内側液流路部２５の形状に影響を受ける。従って本形態では、図１９、図２０に示したいずれの蒸気流路溝２６の幅Ｗ_１２、幅Ｗ_１３も第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｗ_６よりも小さく構成されている。また、内側液流路部２５で説明した領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１２、及び領域Ｒ_１３によっても幅が異なる。具体的には、内側液流路部２５の幅が狭い領域Ｒ_１２において蒸気流路溝２６の幅Ｗ_１３が広く、その両隣の領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１３において幅Ｗ_１２が幅Ｗ_１３よりも小さくなっている。これにより、後述する張出部６の張出量の領域による違いを形成することができる。
一方、図１９、図２０にＤ_５で示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ_５は１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＤ_５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ_５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。

ここで蒸気流路溝２６は、後で説明するように第一シート１０と組み合わされて蒸気流路４が形成されたときに、蒸気流路４の幅が高さ（厚さ方向大きさ）よりも大きい扁平形状となるように構成されていることが好ましい。そのため、Ｗ_１２をＤ_５で割った値、Ｗ_１３をＤ_５で割った値で示されるアスペクト比は４．０以上とすることができ、さらには８．０以上としてもよい。

本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。

蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。

本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１８、図２１からわかるように、内側液流路部２５が延びる方向の両端部及び蒸気流路溝２６が延びる方向の両端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２１には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。

図１８、図２１にＷ_１４で示した蒸気流路連通溝２７の幅は特に限定されることはなく、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｗ_７と同じであってもよいし、異なってもよい。
幅Ｗ_１４と幅Ｗ_７とを異なる大きさにしたときには、蒸気流路連通溝１７及び蒸気流路連通溝２７による流路に段差が形成され、これによる毛細管力により凝縮液の移動が促進されるためより円滑に作動流体の還流が可能となる。

幅Ｗ_１４の大きさの範囲は幅Ｗ_７と同様に考えることができる。また、図２１にＤ_６で示した蒸気流路連通溝２７の深さの範囲についても、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の深さＤ_４と同様に考えることができる。

本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。

次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバー１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２５には、図１にＩ_９−Ｉ_９で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバー１を厚さ方向に切断した切断面、図２６には、図１にＩ_１０−Ｉ_１０で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバー１を厚さ方向に切断した切断面をそれぞれを表した。図２５は領域Ｒ_１及び領域Ｒ_１１、並びに領域Ｒ_３及び領域Ｒ_１３における切断面、図２６は領域Ｒ_２及び領域Ｒ_１２における切断面である。
これらの図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図１９、図２０に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。
図２７には図２５の一部を拡大した図、図２８には図２６の一部を拡大した図をそれぞれ表した。
また、図２９には図２７に表したＩ_１１−Ｉ_１１矢視断面図、図３０には図２８に表したＩ_１２−Ｉ_１２矢視断面図をそれぞれ示した。
また、図３１には、図１にＩ_１３−Ｉ_１３で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバー１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２１に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバー１の切断面が表されたものである。

図１、図２、及び図２５乃至図３１よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。

本形態では第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２５乃至図３１に表れるように配置される。具体的には次の通りである。

第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成されている。

本形態のベーパーチャンバー１は、薄型である場合に特にその効果が大きい。かかる観点から図１、図２５、図２６にＴ_０で示したベーパーチャンバー１の厚さは１ｍｍ以下とすることができ、０．３ｍｍ以下、さらには０．２ｍｍ以下としてもよい。０．３ｍｍ以下とすることにより、ベーパーチャンバー１を設置する電子機器において、ベーパーチャンバーを配置するスペースを形成するための加工をすることなく電子機器にベーパーチャンバーを設置することができることが多くなる。そして本形態によれば、このような薄いベーパーチャンバーであっても作動流体の円滑な還流ができる。

第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の凸条である内側液流路部１５と第二シート２０の凸条である内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。

凝縮液流路３には連通開口部１４ｃ、及び連通開口部１５ｃが形成されている（図２９、図３９参照）。これにより複数の凝縮液流路３が連通し、凝縮液の均等化が図られて効率よく凝縮液の移動が行われる。また、蒸気流路４に隣接し、蒸気流路４と凝縮液流路３を連通する連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃについては、蒸気流路４で生じた凝縮液を円滑に凝縮液流路３に移動させる。

連通開口部１５ｃは次のような構成を備えている。本形態では内側液流路部１５、内側液流路部２５による第２流路である凝縮液流路３の構造について説明するが、外周液流路部１４、外周液流路部２４による凝縮液流路３について同様の構造を適用してもよい。

ここで、本形態では、蒸気流路が延びる方向において、蒸気流路に沿った方向に並ぶ複数の連通開口部１５ｃが含まれるように複数の領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３に分けたとき、１の領域である領域Ｒ_２における連通開口部１５ｃのピッチが、領域Ｒ_２に隣り合う両方の領域である領域Ｒ_１、領域Ｒ_３における連通開口部１５ｃのピッチよりも大きくされている。
本形態では図２９と図３０とを対比してもわかるように、図３０で示した領域Ｒ_２の連通開口部１５ｃのピッチＰ_Ｒ２が、図１９で示した領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の連通開口部１５ｃのピッチＰ_Ｒ１よりも大きくなるように構成されている。
すなわち、連通開口部のピッチが長い領域（領域Ｒ_２）における連通開口部では、その両隣の領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）の連通開口部のピッチよりもピッチが大きくなるように構成されている。
これにより、連通開口部のピッチが長い領域（領域Ｒ_２）では、これに隣り合う領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）よりも作動流体と第一シートとの接触面積や、蒸気と凝縮液との接触面積が小さくなることから、作動流体の凝縮及び蒸発が起こり難くなる。そのため、例えば領域Ｒ_１を熱源が配置される蒸発部（受熱部）とした場合に、蒸気が領域Ｒ_２で凝縮し難く、蒸気流路が塞がれる等の阻害を受けることなく熱源から離隔した領域Ｒ_３まで蒸気を移動させることができる。また、例えば領域Ｒ_１を蒸発部（受熱部、熱源が配置される部位）としたときに、作動流体が領域Ｒ_２にて蒸発してしまい、蒸発部である領域Ｒ_１で凝縮液が不足することを防止できる。
同時に領域Ｒ_２では、凝縮液流路において隣り合う領域（領域Ｒ_１、領域Ｒ_３）よりも毛細管力が続く距離が長いため凝縮液の輸送を促すことができる。
以上により、作動流体の円滑な還流が可能となって、熱輸送能力を高めることができる。

本形態では、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３において連通開口部のピッチ（Ｐ_Ｒ１）は同じとしたが、これに限られることはなく、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３における連通開口部のピッチが異なっていてもよい。本形態でいえば領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の連通開口部のピッチが領域Ｒ_２の連通開口部のピッチよりも小さければよい。

ここで、領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、領域Ｒ_３の大きさや割合は特に限定されることはなく適宜設定することができるが、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の一方を蒸発部（受熱部、冷却対象である熱源が配置される部位）とし、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の他方を冷却部として、その間の領域Ｒ_２を輸送部と考え、各領域をこれに適する大きさにすることが好ましい。
従って、蒸発部とされた領域（領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の一方）は冷却する対象である熱源以上の大きさとし、冷却部とされた領域（領域Ｒ_１及び領域Ｒ_３の他方）も蒸発部とされた領域と同じ大きさとすることができる。

また、本形態では１つの領域内では連通開口部のピッチが同じである例を示したが、これに限られることはなく、連通開口部のピッチが１つの領域内で変化する形態であってもよい。この場合には、１つの内側液流路部１５の全長を３つの領域に分けて考え、領域ごとに蒸気流路溝に隣接する連通開口部のピッチの平均値を算出し、中央の領域における連通開口部のピッチの平均値が、両端の領域における連通開口部のピッチの平均値よりも大きくなるように構成すればよい。ここで、３つの領域に分けて考える際には３等分を考えてもよい。

凝縮液流路３において、図２９、図３０にＬ_Ｒ１、Ｌ_Ｒ２で示した連通開口部１５ｃの長さは特に限定されることはないが、上記したＬ_１と同様の範囲を考えることができる（図１４、図１５も参照）。これにより凝縮液流路３の毛管力の大きさと、連通開口部１５ｃの連通機能とのバランスを良好にすることが可能である。
同様の観点から、Ｌ_Ｒ１をＰ_Ｒ１で除した開口長さ比、Ｌ_Ｒ２をＰ_Ｒ２除した開口長さ比は、０．２以上１．０以下とすることができる。
また、Ｐ_Ｒ２をＰ_Ｒ１で除した領域間のピッチの比率は１．３以上２．５以下とすることができる。

本形態では３つの領域に分けて考える例を示した。これは上記したように両端に配置される領域のいずれか一方を蒸発部（受熱部）、他方を冷却部とする場合を想定できる。これに対して、図１６に示して説明したように、５つの領域に分けて考えることもできる。これによれば領域Ｒ_１’乃至領域Ｒ_５’に分け、中央の領域Ｒ_３’、及び両端の領域Ｒ_１’、領域Ｒ_５’に具備される連通開口部のピッチの平均値が、領域Ｒ_１’と領域Ｒ_３’との間である領域Ｒ_２’、領域Ｒ_３’と領域Ｒ_５’との間である領域Ｒ_４’に具備される連通開口部のピッチの平均値よりも小さくなるように構成される。ここで５つの領域に分ける際には５等分を考えることもできる。
この場合は、中央の領域Ｒ_３’を蒸発部（受熱部）として冷却対象となる熱源が配置され、両端の領域Ｒ_１’及び領域Ｒ_５’を冷却部とすることが想定される。

すなわち、ベーパーチャンバー１では、複数の連通開口部のピッチが蒸気流路が延びる方向において異なっているものである。これに加えて、ある領域における連通開口部のピッチが、このある領域に隣り合う両方の領域における連通開口部のピッチよりも大きくされている。

図２９、図３０にＷ_１５で示した凝縮液流路３の幅は、図１４、図１５にＷ_５で示した溝幅に基づき、同様の範囲を考えることができる。また、凝縮液流路３の高さは、本形態では図１３にＤ_２で示した溝の深さに基づき、同様の範囲を考えることができる。これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を十分に発揮することができる。
本形態では内側液流路部１５側にのみ液流路溝１５ａが設けられているが、これに限られることはなく、第二シートの内側液流路部にも液流路溝が設けられ、液流路溝１５ａに重ねられることにより凝縮液流路とされてもよい。この場合には第一シートの液流路溝の深さと第二シートの液流路溝の深さとの合計が凝縮液流路の高さとなる。

流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで除した値で表される、凝縮液流路の断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きい、又は１．０よりも小さいことが好ましい。その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいこと好ましく、流路幅を流路高さで除した値が１．０よりも大きく４．０以下とすることができ、１．３より大きくすることができる。

また、複数の凝縮液流路３における隣り合う凝縮液流路３のピッチは、図１４、図１５に表したＰ_３に基づき、同様の範囲を考えることができる。これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを防止することができる。

また、凝縮液流路が形成された部位における第一シートの材料部分の厚さ及び第二シートの材料部分の厚さ（すなわち、凝縮液流路３の部位において、ベーパーチャンバーの厚さから高さＤ_２を引いた残り部分の第一シートの厚さ及び第二シートの厚さ）は、いずれも凝縮液流路の高さＤ_２以上であることが好ましい。これにより、凝縮液流路の高さＤ_２に対して第一シート及び第二シートの材料厚さを十分に確保することができ、凝縮液流路３に起因するベーパーチャンバーの破断（破れ）をさらに防止することができる。

図３２に凝縮液流路３の部分を拡大して表したように、壁部１５ｂの幅Ｓ_Ａ（μｍ）は、凝縮液流路３の幅よりも小さいことが好ましい。壁部１５ｂが大きいことにより、連通開口部１５ｃの幅が大きくなり、また、隣接する凝縮液流路３同士の距離も長くなることで、作動流体の円滑な連通が阻害される虞があるためである。
また、壁部１５ｂの幅Ｓ_Ａは２０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。また、壁部の幅Ｓ_Ａ（μｍ）は３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下とすることができ、１００μｍ以下でもよい。これにより、限られた内部空間を有効活用でき、蒸気流路及び凝縮液流路の本数を増やすことができる。これら幅Ｓ_Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｓ_Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。

また、壁部１５ｂの幅Ｓ_Ａ（μｍ）と、これに隣り合う凝縮液流路３の横断面（流れ方向（流路長手方向）に直交する方向の断面）の断面積Ｓ_Ｂ（μｍ^２）との関係で、Ｓ_ＡをＳ_Ｂで除した値（Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂ）が０．００５（μｍ^−１）以上０．０４（μｍ^−１）以下の範囲としてもよい。

ここで、壁部１５ｂの幅（Ｓ_Ａ）は次のようにして得る。
ベーパーチャンバーを切断及び研磨する等して、隣り合う２つの凝縮液流路の横断面及びその間の壁が表れるようにした上で、当該断面を高倍率の顕微鏡又はＳＥＭを用いて、５０倍乃至２００倍の範囲で拡大して表す。そしてこの拡大した断面から、２つの凝縮液流路のそれぞれ内周面の輪郭を抽出する。そして、抽出した２つの輪郭間のうち最も狭い部分の距離を壁の幅とする。
一方、流路断面は、上記の方向で得た輪郭によりその形状を認識し、得られた輪郭のうち幅方向（ｙ方向）に最も大きい距離を流路幅Ｓ_Ｃ、当該輪郭のうち厚さ方向（ｚ方向）に最も大きい距離を高さＳ_Ｄとする。そして認識した輪郭による凝縮液流路の断面の形状によりそれぞれ次のように流路断面積Ｓ_Ｂを得る。
・流路断面が長方形のときの流路断面積Ｓ_Ｂ＝Ｓ_Ｃ・Ｓ_Ｄ
・流路断面が三角形のときの流路断面積Ｓ_Ｂ＝Ｓ_Ｃ・Ｓ_Ｄ／２
・流路断面が半円のときの流路断面積Ｓ_Ｂ＝π・Ｓ_Ｃ ^２／８
・流路断面が半楕円のときの流路断面積Ｓ_Ｂ＝π・Ｓ_Ｃ・Ｓ_Ｄ／４
なお、流路断面が、複雑な形状である場合には、流路断面を上記基本的な形状で細分化して足し合わせることにより流路断面積Ｓ_Ｂを求めても良い。

これにより、ベーパーチャンバーを薄型化しても、必要な凝縮液流路を確保することができ、熱輸送性能を得ることができるとともに、作動流体の凍結と溶融との繰り返しに対して壁部１５ｂが十分な強度を有することができ、耐久性も優れたものとなる。

ここで、壁部の耐久性を考えるときに、上記のように流路断面積に対する壁の幅を規定する理由について説明する。図３３乃至図３５に説明のための図を示した。
ベーパーチャンバーのｚ方向（厚さ方向）に注目すると、凝縮液流路の厚さ方向両方に存在するおける材料の厚さが、凝縮液流路の高さに対して十分に厚い場合には、「材料の引張り強さ（物性値）」と「壁の断面積」との積が、「凍結した際の体積膨張によるｚ方向に生じる圧力」と「１つの壁部あたりの平面内方向面積（図３５に薄墨で示した部位Ａの面積）」との積より小さいときに壁の破損が起こる。この場合には図３３に矢印Ｚ_１で示したようなｚ方向の力のみを考えればよい。

しかしながら実際には、作動流体の凍結及び溶解の繰り返しの過程があること、並びに、形状が単純ではないため等方向に凍結及び溶解が起こらないことから、生じる圧力が一定でない。また、ベーパーチャンバーを構成する材料は熱伝導が高いことが要求されるため比較的柔らかい材料が適用され、凍結及び溶解の繰り返しの中で少しずつ塑性変形が生じる。
以上のような様々な要素が重なって結果的に壁部は、厚さ方向に延びると共に、図３３に矢印ｙ_１で示したように細くなる方向に圧縮されるような力を受け、誇張して描くと図３４のような形状の変化を伴う。
このようなことから、壁の耐久性を考えるときには、単に凝縮液流路の高さのみでなく、高さと幅方向の両方を考慮して流路断面全体で考える必要があるため、上記のように規定した。

また、特に、図３５にＢ_１で示した、連通開口部１５ｃ及び連通開口部１５ｃと凝縮液流路３とが連通する部位では、上記したように凝縮液の分配等により熱輸送の観点から利点がある。しかし一方で、ベーパーチャンバーの非作動時にはここに凝縮液が溜まり易く、凍結で作動流体が膨張したとときに、第一シートと第二シートとを離すような力が大きく加わる部位となってしまう。

上記の条件を満たすことで以上説明したような力が繰り返し加わっても壁部１５ｂが破壊し難い構造を有するものとなる。

図３６乃至図３８には、変形例を説明する図を表した。

図３６は、壁部１５ｂの長手方向（凝縮液流路３の長手方向）において、隣り合う壁部１５ｂに設けられた連通開口部１５ｃの位置が異なるように配置された例である。
このような連通開口部１５ｃによれば、凝縮液流路３を流れる作動流体から見たときに、両側の壁で同時に連通開口部１５ｃが表れず、連通開口部１５が表れても片方側には壁部１５ｂが存在するため、凝縮液流路３の長手方向において毛細管力を連続して得ることができる。これにより凝縮液の移動が促進され作動流体のより円滑な還流が可能となる。
一方で、この形態では、図３６にＢ_２で示したような連通開口部１５ｃの周辺において図３５の例に比べて毛管力が強くなるため、ベーパーチャンバーの非作動時には凝縮液が溜まる量が多くなる。すると、この状態で凝縮液の凍結が起こり体積が増えると、より強い力で第一シートと第二シートとを離す方向に力が働くことになって壁部１５ｂを破壊する方向に作用する。しかしながら、上記の構造を備えることにより、凝縮液の凍結と溶融が繰り返されて上記のような力が繰り返し加わっても壁部１５ｂが破壊しない構造を有するものとなる。
すなわち、薄型のベーパーチャンバーにおいてさらに熱輸送能力を高くする構造を適用しても、耐久性にも優れたものとなる。

図３７は、壁部１５ｂの長手方向（凝縮液流路３の長手方向）において、図９乃至図１１で説明した例に倣って、連通開口部１５ｃを形成する端部で、壁部１５ｂの幅が最も小さくなる例を表した図である。
このような連通開口部１５ｃによれば、連通開口部１５ｃを通過する際の流動抵抗が抑えられるため、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動がしやすく、これにより凝縮液の移動が促進されて作動流体のより円滑な還流が可能となる。
一方で、この形態では、連通開口部１５ｃの周辺に溜まった凝縮液が凍結して体積が大きくなり、第一シートと第二シートとを離す方向に力が働くと、図３７にＢ_３で示したような壁部１５ｂの細くなった端部に応力が集中して破壊され易い状態となる。
しかしながら、上記のような構造を備えることにより、凝縮液の凍結と溶融が繰り返されて上記したような力が繰り返し加わっても壁部１５ｂが破壊しない構造を有するものとなる。
すなわち、薄型のベーパーチャンバーにおいてさらに熱輸送能力を高くする構造を適用しても、耐久性にも優れたものとなる。

当該凝縮液の凍結と溶融との繰り返しによるベーパーチャンバーの破断について具体的な試験を行った。詳しくは次の通りである。

試験例１をするためのベーパーチャンバーとして次の仕様のものを準備した。基本的な構造は図１に示したベーパーチャンバ１０に倣うものであるが、より詳しくは次の通りである。
・第一シート及び第二シートの材質：無酸素銅
・蒸気流路溝：幅（ｙ方向）１ｍｍ、高さ（ｚ方向）１００μｍ、長さ（ｘ方向）６５ｍｍ、本数６本
・内側液流路部：蒸気流路と交互に配置
・凝縮液流路：幅（ｙ方向）１００μｍ、高さ（ｚ方向）５０μｍ、長さ（ｘ方向）６５ｍｍ、本数８本
・壁部：幅（ｙ方向）１０μｍ、形状は図１０と同様
・連通開口部：ピッチ５００μｍ、長さ１００μｍ
・Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂ：０．００２５
・作動流体：水、充填率は内部体積の３０％

また、試験例２のベーパーチャンバーとして、試験例１の仕様のベーパーチャンバーに対して、壁部の幅を２０μｍとし、Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂを０．００５１とした仕様のベーパーチャンバーを作製した。

試験例１及び試験例２のベーパーチャンバーは次のように製造した。
厚さ１５０μｍである第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝、蒸気流路溝、及び蒸気流路連通溝をハーフエッチングにより形成した。ハーフエッチングとは、エッチングにより厚さ方向を貫通させることなく厚さ方向の途中までエッチングによる材料の除去を行い、溝や窪みを形成することである。
次いで、第一シート及び第二シートの内面同士を向かい合わせるように重ねて抵抗溶接により仮止めを行った。そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シートと第二シートとを接合した。拡散接合は第一シート及び第二シートを８１０℃にまで加熱し、２ＭＰａの圧力を負荷することで行った。
接合の後、形成された注入流路から真空引きを行い、密閉空間を減圧して注入流路から作動流体を注入して密閉空間に作動流体を入れた。そして注入部をかしめた後にＴＥＧ溶接して注入流路を閉鎖した。

以上のようにして得られたベーパーチャンバーに対して次のように温度サイクル試験を行った。ＪＩＳ規格Ｃ ６００６８−２−１４：２０１１(ＩＥＣ ６００６８−２−１４：２００９)に準拠し、低温は−４０℃、高温は８５℃、さらし時間は３０分、サイクル数を１００回とし、ベーパーチャンバーを水平置きした場合と鉛直置きした場合のそれぞれについて試験した。

その結果、試験例２のベーパーチャンバーは破断が生じなかったが、試験例１のベーパーチャンバーは破断が生じた。

以上説明した幅Ｓ_Ａ、断面積Ｓ_Ｂ、及び、これらの関係は、本形態のベーパーチャンバーが具備する他の形態である、領域により連通開口部のピッチが異なる構造、及び、領域により張出量が異なる構造とは無関係に独立して効果を奏するものである。
従って、例えば、連通開口部のピッチが全ての領域で同じでありつつ、張出量については領域により異なる形態のベーパーチャンバー、連通開口部のピッチが領域により異なりつつ、張出量については全ての領域で同じとなるような形態のベーパーチャンバー、並びに、連通開口部のピッチ及び張出量がいずれも全ての領域で同じとなるベーパーチャンバーのいずれに対しても、上記した幅Ｓ_Ａ、断面積Ｓ_Ｂ、及び、これらの関係は効果を奏するものである。以下の他の形態についても同様である。

図３８は、凝縮液流路３の流路面（壁部１５ｂの表面）に微小な内面溝３ａが形成されている例を表した図である。
このような凝縮液流路３によれば、微小な内面溝３ａに凝縮液が入り強い毛管力を受けるため、凝縮液の移動がしやすく、凝縮液の移動が促進され作動流体のより円滑な還流が可能となる。
しかし一方で、ベーパーチャンバーの非作動時には、強い毛管力のため微小な内面溝３ａに凝縮液が溜まりやすい、そしてこの凝縮液が凍結して体積が大きくなると内面溝３ａを広げて破壊しようとする力となる。
しかしながら、上記のような構造を備えることにより、凝縮液の凍結と溶融が繰り返されて力が繰り返し加わっても壁部１５ｂが破壊しない構造を有するものとなる。
すなわち、薄型のベーパーチャンバーにおいてさらに熱輸送能力を高くする構造を適用しても、耐久性にも優れたものとなる。

この内面溝３ａの断面形状、断面積は特に限定されることはなく、凝縮液流路３の内面に設けられた溝であればよい。ただし、内面溝はその長手方向は、凝縮液流路３が延びる方向に平行な方向成分を含み、少なくとも該内面溝３ａの開口幅δの２倍よりも長く延在していることが好ましい。これにより毛管力を高める溝としてより顕著な効果を奏するものとなる。
内面溝３ａの開口幅δは、１０μｍ未満とすることができる。これにより高い毛管力を確保することができる。また内面溝の深さγは１０μｍ未満とすることができる。

第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
ここで第１流路である蒸気流路と第２流路である凝縮液流路とは次のような関係にある。すなわち、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡ_ｇとし、当該隣り合う２つの第１流路の間に配置される複数の第２流路の平均の流路断面積をＡ_ｌとしたとき、第２流路と第１流路とは、Ａ_ｌがＡ_ｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。この関係はベーパーチャンバー全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバーの全部でこれを満たせばさらに好ましい。

図２５乃至図２８からわかるように、第一シート１０の内側液流路部１５の幅、蒸気流路溝１６の幅、及び、第二シート２０の内側液流路部２５の幅、蒸気流路溝２６の幅の上記した関係から、蒸気流路４には、流路横断面（流路が延びる方向に直交する方向の流路断面）において、段差である張出部６が形成される。これにより毛細管力を高めて円滑に凝縮液を凝縮液流路３に移動させることが可能となる。

張出部６は蒸気流路４との境界面に形成された部位であり、蒸気流路４側に突出する部位を構成する。すなわち張出部は、凝縮液流路３及び蒸気流路４が配列される方向（ｙ方向、幅方向）に蒸気流路側に突出した部位で、蒸気流路の幅が最も狭い部位の先端である頂部から、蒸気流路の幅が最も広い部位に向けて延びる面である張出面を具備する。そして張出面は凝縮液流路の方向に延び、壁部に連結又は壁部を含むように構成されている。具体的には本形態で張出部６は、蒸気流路の幅が最も狭い部位の先端が頂部６ａであり、張出面６ｂがｙ方向に延び、蒸気流路の幅が最も広くなる張出面６ｂの端部で壁部１５ｂに連結している。
そして張出部の大きさは、例えば図２７にＷ_Ｒ１２で表したように張出面６ｂの幅方向大きさである。

ここで、図２５と図２６との対比、及び、図２７と図２８との対比からもわかるように、図２８にＷ_Ｒ１２で示した領域Ｒ_１２における蒸気流路４の張出部６の大きさ（張出量）が、図２７にＷ_Ｒ１１で示した領域Ｒ_１１、及び領域Ｒ_１３の張出部６の大きさ（張出量）に比べて小さくなるように構成されている。すなわち、蒸気流路４が延びる方向に複数の領域に分けたとき、１の領域における張出部の張出量が、当該１の領域に隣り合う両方の領域における張出部の張出量よりも小さくなるように構成されている。
これにより、張出部６の張出量が小さい領域（Ｒ_１２）では、これに隣り合う張出量が大きい領域（領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１３）よりも張出部６の張出量が小さくなることから、作動流体と第二シートとの接触面積や、蒸気と凝縮液との接触面積が小さくなり、作動流体の凝縮及び蒸発が起こり難くなる。そのため、例えば領域Ｒ_１１を熱源が配置される蒸発部（受熱部）とした場合に、領域Ｒ_１１に隣接する領域Ｒ_１２に蒸気が凝縮して流路を塞ぐことが防止され、熱源から離隔した領域Ｒ_１３まで蒸気を移動させることができる。また、例えば領域Ｒ_１１を蒸発部（受熱部、熱源が配置される部位）としたときに、作動流体が領域Ｒ_１２にて蒸発してしまい、蒸発部である領域Ｒ_１１で凝縮液が不足することを防止できる。
以上によって、作動流体の円滑な還流が可能なり、熱輸送能力を高めることができる。

本形態では、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３における張出部６の張出量を同じとしたが、これに限られることはなく、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３における張出部６の張出量が異なっていてもよい。本形態でいえば領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３における張出部６の張出量が領域Ｒ_１２における張出部６の張出量よりも大きければよい。

ここで、領域Ｒ_１１、領域Ｒ_１２、領域Ｒ_１３の大きさや割合は特に限定されることはなく適宜設定することができるが、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の一方を蒸発部（受熱部、冷却対象である熱源が配置される部位）とし、領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の他方を冷却部として、その間の領域Ｒ_１２を輸送部と考え、各領域をこれに適する大きさにすることが好ましい。
従って、蒸発部とされた領域（領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の一方）は冷却する対象である熱源以上の大きさとし、冷却部とされた領域（領域Ｒ_１１及び領域Ｒ_１３の他方）も蒸発部とされた領域と同じ大きさとすることができる。

また、本形態では１つの領域内では張出部の張出量は一定である例を示したが、これに限られることはなく、張出部の張出量が一定でなく変化する形態であってもよい。この場合には、１つの蒸気流路の全長を３つの領域に分けて考え、領域ごとに張出量の平均値を算出し、中央の領域の張出量の平均値が、両端の領域の張出量の平均値よりも小さくなるように構成すればよい。ここで３つの領域に分けて考える際には３等分を考えてもよい。

本形態では３つの領域に分けて考える例を示した。これは上記したように両端に配置される領域のいずれか一方を蒸発部（受熱部）、他方を冷却部とする場合が想定できる。これに対して、図２３、図２４に示して説明したように、５つの領域に分けて考えることもできる。これによれば領域Ｒ_１１’〜領域Ｒ_１５’に分け、中央の領域Ｒ_１３’、及び両端の領域Ｒ_１１’、領域Ｒ_１５’に具備される張出量の平均値が、領域Ｒ_１１’と領域Ｒ_１３’との間である領域Ｒ_１２’、領域Ｒ_１３’と領域Ｒ_１５’との間である領域Ｒ_１４’に具備される張出量の平均値よりも大きくなるように構成される。ここで５つの領域に分けて考える際には５等分を考えることができる。
この場合は、中央の領域Ｒ_１３’を蒸発部（受熱部）として冷却対象となる熱源が配置され、両端の領域Ｒ_１１’及び領域Ｒ_１５’を冷却部とすることが想定される。

すなわち、ベーパーチャンバー１では、張出量が蒸気流路が延びる方向において異なっている。これに加えて、ある領域における張出量の平均値が、このある領域に隣り合う両方の領域における張出量の平均値よりも大きく形成されている。

また、本形態では、凝縮液流路３において説明した領域Ｒ_１の長さを蒸気流路４で説明した領域Ｒ_１１の長さと同じとし、同様に領域Ｒ_２の長さを領域Ｒ_１２の長さと同じとし、領域Ｒ_３の長さを領域Ｒ_１３の長さと同じとした。これによれば、上記した連通開口部１５ｃに関する領域による違いによる効果と、張出部６の張出量に関する領域による違いによる効果とを併せて相乗的に発揮することができ、より高い効果を得ることができる。
ただし、これに限定されることはなく、領域Ｒ_１と領域Ｒ_１１、領域Ｒ_２と領域Ｒ_１２、及び領域Ｒ_３と領域Ｒ_１３を関連付けることなく個別に設定してもよい。
また、上記した連通開口部１５ｃに関する領域による構造の違いと、張出部６の張出量に関する領域による構造の違いについては、何れか一方のみの構造の違いを適用したものであっても独立して効果を奏することもできるので、ベーパーチャンバーはいずれか一方の構造のみを具備するものであってもよい。
すなわち、例えば連通開口部１５ｃのピッチが全ての領域で同じでありつつ、張出量については領域により上記したように異なる形態のベーパーチャンバーであってもよく、又は、連通開口部１５ｃのピッチが上記のように領域により異なりつつ、張出量については全ての領域で同じとなるような形態のベーパーチャンバーであってもよい。以下の他の形態についても同様である。

蒸気流路４の幅は、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６に基づいたものとなるが、最も広い部分でＷ_６（図４参照）で説明した範囲と同様に考えることができる。
また、蒸気流路４の高さは蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６の合計に基づいたものとなり、Ｄ_３（図５参照）とＤ_５（図１９、図２０参照）とを合計した範囲と同様に考えることができる。

また、張出部６の張出量Ｗ_Ｒ１１、張出量Ｗ_Ｒ１２の大きさは、３０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることができる。また、隣り合う領域間の張出量の差（Ｗ_Ｒ１１−Ｗ_Ｒ１２）は２０μｍ以上５０μｍ以下の範囲とすることができる。

蒸気流路４はベーパーチャンバー１の薄型化に伴い、その断面形状が扁平形状とすることができる。これにより薄型化されても流路内の表面積を確保することが可能とされ、熱輸送能力を高い水準に維持することが可能となる。より具体的には、蒸気流路４の横断面において、最も広い部分の幅を高さで除した値で表される比が２．０以上とすることができ、４．０以上でもよい。

本形態で蒸気流路４の断面形状は楕円形を基準に張出部による段差が形成された形状であるが、これに限らず正方形、長方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形となる形状及びこれらを組み合わせた形状を基準とするものであってもよい。

図３１からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成し、これにより蒸気流路４が連通する流路となる。この流路により全ての蒸気流路が連通する。

一方、注入部１２、注入部２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、内面２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、本体２１間の密閉空間２（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から密閉空間２に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバー１では外部と密閉空間２とは連通していない。

ベーパーチャンバー１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、通常のベーパーチャンバーに用いられる作動流体を用いることができる。

以上のようなベーパーチャンバーは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａ、蒸気流路溝１６、蒸気流路溝２６、及び蒸気流路連通溝１７、蒸気流路連通溝２７をハーフエッチングにより形成する。ここでハーフエッチングとは、エッチングにより厚さ方向を貫通させることなく厚さ方向の途中までエッチングによる材料の除去を行い、溝や窪みを形成することである。
次いで、第一シート１０及び第二シート２０の内面１０ａ、内面２０ａを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。

接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、密閉空間２を減圧する。その後、減圧された密閉空間２に対して注入流路５から作動流体を注入して密閉空間２に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。

図３９、図４０には変形例にかかるベーパーチャンバーの切断面の一部を示した。図３９は図２７の相当する図、図４０は図２８に相当する図である。
図３９、図４０に示したベーパーチャンバーでは張出部７が第一シート１０の内側液流路部１５により形成されている。この張出部７も蒸気流路４との境界面に形成された部位であり、蒸気流路４側に突出する部位を構成する。具体的には本形態で張出部７は、蒸気流路の幅が最も狭い部位の先端が頂部７ａであり、張出面７ｂがｙ方向に延びる。この形態では張出面７ｂに壁部１５ｂを含んでいる。
この張出部７でも上記したベーパーチャンバー１と同様に作用させることができる。

次にベーパーチャンバー１の作用について説明する。図４１には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバー１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバー１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバー１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。

ベーパーチャンバー１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバー１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に電子部品３０が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。

図４２乃至図４５には、電子部品３０とベーパーチャンバー１との位置関係の具体例を示した。本形態ではいずれも、図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｙ方向中央に配置している。これによりｙ方向一方と他方とで対称形とすることができ、製造及び作動流体の還流の観点から利点がある。
また、電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。

図４２、図４３の例は、領域を３つ（Ｒ_１乃至Ｒ_３、Ｒ_１１乃至Ｒ_１３）としたときに、その一方の端部の領域Ｒ_１、領域Ｒ_１１となる位置に電子部品３０を配置した例である。図４２は第一シート１０との関係、図４３は第二シート２０との関係をそれぞれ表している。
この場合、電子部品３０は平面視でその全てが領域Ｒ_１、領域Ｒ_１１の内側に重なるように大きさ及び配置がなされるようにすることができ、図４２にＲ_ａで示した、電子部品３０の中心位置から領域Ｒ_１と領域Ｒ_２との境界までの距離が電子部品３０のｘ方向長さよりも大きくしてもよい。これにより領域Ｒ_１、領域Ｒ_１１を蒸発部として効率よく利用することができる。
そして領域Ｒ_３、及び領域Ｒ_１３のｘ方向長さは、領域Ｒ_１及び領域Ｒ_１１のｘ方向長さと同じであることが好ましい。これによりベーパーチャンバー１の中心に対して内側の構造がｘ方向の一方と他方とで対称形となるため、第一シート１０と第二シート２０との接合時や電子部品への搭載時の圧力バランスが良好となる。また、領域Ｒ_１乃至領域Ｒ_３及び領域Ｒ_１１乃至領域Ｒ_１３のｘ方向長さを全て同じとしてもよい。

図４４、図４５の例は、領域を５つ（Ｒ_１’乃至Ｒ_５’、Ｒ_１１’乃至Ｒ_１５’）としたときに、その中央の領域Ｒ_３’、領域Ｒ_１３’となる位置に電子部品３０を配置した例である。図４４は第一シート１０との関係、図４５は第二シート２０との関係をそれぞれ表している。
この場合、電子部品３０は平面視で、その全てが領域Ｒ_３’、領域Ｒ_１３’の内側に重なるように大きさ及び配置がなされるようにすることができ、領域Ｒ_３’、領域Ｒ_１３’のｘ方向大きさが電子部品３０のｘ方向大きさの２倍以上としてもよい。これにより熱源である電子部品３０の近くで作動流体の蒸発を促進しつつ、隣接する領域Ｒ_２’領域Ｒ_１２’、領域Ｒ_４’、領域Ｒ_１４’にて蒸発及び凝縮が起こり難くなる。
また、そのときには領域Ｒ_３’、領域Ｒ_１３’のｘ方向中央位置と電子部品３０のｘ方向中央位置とが一致させてもよい。これによりベーパーチャンバー１の中心に対して内側の構造がｘ方向の一方と他方とで対称形となるため、第一シート１０と第二シート２０との接合時や電子部品への搭載時の圧力バランスが良好となる。そのため、領域Ｒ_２’、Ｒ_１２’と領域Ｒ_４’、Ｒ_１４’とのｘ方向大きさは同じとすることができ、領域Ｒ_１’、Ｒ_１１’と領域Ｒ_５’、Ｒ_１５’とのｘ方向大きさは同じとすることができる。なお、全ての領域の大きさを同じにしてもよい。
また、ここでは第二シート２０として図２３に示した形態例で説明したが、図２４に示した形態例であっても同様に考えることができる。

図４６には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。

電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。

気化した作動流体は蒸気となって図４６に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは領域Ｒ_２、及び／又は、領域Ｒ_１２を通過して領域Ｒ_３及び／又は領域Ｒ_１３に達するようにして電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバー１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、外面２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。

蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は蒸気で押し込まれるように、連通開口部等から凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。

凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛管現象、及び、蒸気からの押圧により、図４６に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。

以上のように、ベーパーチャンバー１によれば、凝縮液流路において高い毛管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。
また、ベーパーチャンバー１によれば、本例のように領域Ｒ_１及び／又は領域Ｒ_１１、すなわち、連通開口部のピッチが隣接する領域より小さい領域、及び／又は、蒸気流路の張出部の張出量が隣接する領域より大きい領域に熱源を配置して蒸発部とすることで、当該蒸発部から流れ出る蒸気は次に凝縮がし難い領域（領域Ｒ_２及び／又は領域Ｒ_１２）に達するため、凝縮液が蒸気流路を塞いでしまうことが防止されて蒸気を移動させることができる。そして移動した蒸気は熱源から離隔した領域Ｒ_３及び／又は領域Ｒ_１３に達し、この領域では連通開口部のピッチが隣接する領域より小さい領域、及び／又は、蒸気流路の張出部の張出量が隣接する領域より大きい領域になっているため、蒸気を凝縮させやすく、凝縮部として高い性能で機能する。これにより作動流体が円滑に還流して高い熱輸送能力を発揮することができる。

ここまでは、第一シート及び第二シートの２つのシートによるベーパーチャンバーについて説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されることなはなく、３つ以上のシートによるベーパーチャンバーでも同様に考えることができる。以下にはその１つの形態として、３つのシートからなるベーパーチャンバーを例に説明する。

図４７には３つのシートからなるベーパーチャンバー１０１の外観斜視図、図４８にはベーパーチャンバー１０１の分解斜視図を表した。

本形態のベーパーチャンバー１０１は、図４７、図４８からわかるように第一シート１１０、第二シート１２０、及び、第三シート１３０を有している。そして、上記と同様にこれらシートが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に第三シート１３０の形状に基づいた中空部が形成されたベーパーチャンバー用シートとなる。そして、中空部に作動流体が封入されることで密閉空間１０２とされ、ベーパーチャンバー１０１となる。
第一シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート１３０を構成する材料は上記した第一シート１０と同様に考えることができる。

本形態で第一シート１１０は、その表裏面（厚さ方向の一方と他方の面、内面１１０ａと外面１１０ｂ）が平坦である全体としてシート状の部材である。第一シート１１０は表裏とも平坦な面により構成されており、平坦な内面１１０ａ、該内面１１０ａとは反対側となる平坦な外面１１０ｂ、及び、内面１１０ａと外面１１０ｂとを渡して厚さを形成する端面１１０ｃを備える。

また、第一シート１１０は本体１１１及び注入部１１２を備えている。
本体１１１は中空部及び密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
ただし、第一シート１１０の本体１１１は本形態のように四角形である他、ベーパーチャンバーとして都度必要とされる形状とすることができる。例えば円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型、Ｕ字型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。

注入部１１２は形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では平面視長方形である本体１１１の一辺から突出する平面視四角形のシート状である。

このような第一シート１１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバーとして適用できる場面を多くすることが可能である。

第一シート１１０は、単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。例えば強度が異なる複数の層が積層されたシート（クラッド材）が用いられてもよい。

本形態で第二シート１２０も、その表裏が平坦である全体としてシート状の部材である。第二シート１２０は表裏とも平坦な面により構成されており、平坦な内面１２０ａ、該内面１２０ａとは反対側となる平坦な外面１２０ｂ、及び、内面１２０ａと外面１２０ｂとを渡して厚さを形成する端面１２０ｃを備える。
また、第二シート１２０も第一シート１１０と同様に本体１２１及び注入部１２２を具備している。
その他、第二シート１２０は第一シート１１０と同様に考えることができる。ただし、第二シート１２０の厚さや材質は第一シート１１０と同じである必要はなく、異なるように構成してもよい。

第二シート１２０も、単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。例えば強度が異なる複数の層が積層されたシート（クラッド材）が用いられても良い。

本形態で第三シート１３０は、第一シート１１０の内面１１０ａと第二シート１２０の内面１２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、作動流体が移動する密閉空間１０２のための構造が具備されている。
図４９、図５０には第三シート１３０を平面視した図（ｚ方向から見た図）を表した。図４９は第一シート１１０に重ねられる面の図、図５０は第二シート１２０に重ねられる面の図である。
また図５１には図４９にＩ_１０１−Ｉ_１０１で示した線に沿った切断面、図５２には図４９にＩ_１０２−Ｉ_１０２で示した線に沿った切断面をそれぞれ示した。

なお、第三シート１３０も単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。複数のシートが積層されてなる場合には、複数のシートを積層してから以下の形態と形成してもよいし、複数のシートを個別に加工してから重ね合わせることで以下の形態を形成してもよい。

本形態で第三シート１３０は、第一シート１１０の内面１１０ａに重なる第一面１３０ａ、第二シート１２０の内面１２０ａに重なる第二面１３０ｂ、及び、第一面１３０ａと第二面１２０ｂとを渡して厚さを形成する端面１３０ｃを備える。従って図４９には第一面１３０ａ、図５０には第二面１３０ｂがそれぞれ現れている。

また、第三シート１３０は本体１３１及び注入部１３２を備えている。
本体１３１はベーパーチャンバー用シートにおける中空部及び、ベーパーチャンバー１０１における密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
ただし、本体１３１は本形態のように四角形である他、ベーパーチャンバーとして必要とされる形状とすることができる。例えば円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型、Ｕ字型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。

なお、本形態では、第一シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート１３０の外形の形状は同一である。

注入部１３２は形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では平面視長方形である本体１３１の一辺から突出する平面視四角形のシート状である。そして注入部１３２には第二面１３０ｂ側に端面１３０ｃから本体３２に通じる溝１３２ａが設けられている。

第三シート１３０の厚さや材質は第一シート１１０と同様に考えることができる。ただし、第三シート１３０の厚さや材質は第一シート１１０と同じである必要はなく、異なるように構成してもよい。

本体１３１には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１３１には、外周接合部１３３、外周液流路部１３４、内側液流路部１３８、蒸気流路溝１４２、及び、蒸気流路連通溝１４４が具備されている。

本形態のベーパーチャンバー１０１は、第１流路であり作動流体の蒸気が通る蒸気流路１０４、及び、第２流路であり作動流体が凝縮して液化した凝縮液が通る凝縮液流路１０３を備える。そして、第三シート１３０の蒸気流路溝１４２が蒸気流路１０４を形成し、外周液流路部１３４に具備される液流路溝１３５及び、内側液流路部１３８に具備される液流路溝１３９が凝縮液流路１０３を形成する。

外周接合部１３３は、本体１３１の外周に沿って設けられた部位であり、本体１３１の第一面１３０ａに設けられた外周接合面１３３ａ及び第二面３０ｂに設けられた外周接合面１３３ｂを備えている。外周接合面１３３ａが第一シート１１０の内面１１０ａの外周部に重なり、外周接合面１３３ｂが第二シート１２０の１内面２０ａの外周部に重なってそれぞれが接合（拡散接合、ろう付け等）される。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に第三シート１３０の形状に基づく中空部が形成されベーパーチャンバー用シートとなる。そして当該中空部に作動流体が封入されることにより密閉空間１０２が形成されてベーパーチャンバー１０１となる。

図４９乃至図５２にＷ_１０１で示した外周接合部１３３（外周接合面１３３ａ及び外周接合面１３３ｂ）の幅（外周接合部１３３が延びる方向に直交する方向の大きさ）は、上記した第一シート１０の外周接合部１３の幅Ｗ_１と同様に考えることができる。

外周液流路部１３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路１０３の一部を構成する部位である。図５３には図５１のうち矢印Ｉ_１０３で示した部分を拡大して表した。また、図５４には図５３に矢印Ｉ_１０４で示した方向から見た外周液流路部１３４を平面視した（ｚ方向から見た）拡大図を表した。すなわち、図５４は、第１面１３０ａの方から見た外周液流路部１３４の一部を表している。

ここで、外周液流路部１３４は、第一面１３０ａ側に液流路溝１３５、壁部１３５ａ、連通開口部１３５ｂを備えており、その形態は上記した外周液流路部１４の液流路溝１４ａ、壁部１４ｂ、及び、連通開口部１４ｃの形態と同様に考えることができ、その説明も妥当する。
一方、本形態で外周液流路部１３４の第二面１３０ｂ側は平坦面とされている。

ここで液流路溝１３５は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側は開口している。第一シート１１０が第三シート１３０に重ねられることでこの開口が塞がれて凝縮液流路１０３となる。

また本形態では図５１に示したように外周液流路部１３４に張出部１３７が設けられている。張出部１３７は蒸気流路溝１４２との境界面に形成された部位であり、蒸気流路溝１４２側に突出する部位である。
本形態で張出部１３７は、第一面１３０ａから厚さ方向（ｚ方向）Ｔ_１０１（図５３参照）の位置で蒸気流路溝（蒸気流路）の幅方向（ｙ方向）に最も突出した頂部１３７ａを具備し、この頂部１３７ａから凝縮液流路（壁部１３５ａ）に向けて延びる、断面視で外周液流路部１３４側に凹の円弧状の張出面１３７ｂが具備されている。そして張出面１３７ｂは壁部１３５ａに連結している。ただし張出面は円弧状である必要はなく、断面視で外周液流路部１３４側に凹の円弧以外の曲線状であってもよい。
張出部のさらなる他の形態例については後で示すが、張出部は、上記したベーパーチャンバー１における張出部６、張出部７と同様に、蒸気流路溝（蒸気流路）側に幅方向に突出した部位で、蒸気流路が最も狭められた先端である頂部から凝縮液流路（壁部）に向けて延びる面を備える張出面を具備し、張出面は壁部に連結又は壁部を含むように構成されている。

このような張出部１３７によれば、その形状によって張出面１３７ｂに凝縮液が集まり易く、張出部１３７を通じて凝縮液流路３と蒸気流路４との作動流体の移動が円滑となり、熱輸送能力を高めることができる。

また、張出面１３７ｂの表面は特に限定されることはないが、粗面や微小な階段状の面としてもよい。これにより凝縮液の保持力を高めることができる。
張出面の面粗さ（ＩＳＯ ２５１７８）は、例えば株式会社キーエンス製のレーザー顕微鏡(型番：ＶＫ−Ｘ２５０)にて測定できる。そしてこの面粗さの算術平均高さＳａは０．００５μｍ以上であることが好ましく、０．０３μｍ以上であることがより好ましい。また最大高さＳｚは０．０５μｍ以上であることが好ましく、０．３μｍ以上であることがより好ましい。

図４９乃至図５１、図５３にＷ_１０２で示した外周液流路部１３４の幅（液流路溝１３５が配列される方向の大きさ）は、上記した第一シート１０の外周液流路部１４のＷ_２と同様に考えることができる。

張出部１３７について、図５３にＷ_１０４で示した張出量（壁部１３５ａの端部から頂部１３７ａのｙ方向における距離）は、上記したベーパーチャンバー１の張出量Ｗ_Ｒ１１、張出量Ｗ_Ｒ１２と同様に考えることができる。すなわち、本形態でも、ｙ方向において張出部１３７の張出量Ｗ_１０４を異ならせることができる。また、領域を分け（例えば領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、及び領域Ｒ_３）、張出部１３７の張出量Ｗ_１０４を領域毎に異ならせることができる。

また、図５３にＴ_１０１で示した壁部１３５ａの頂部から張出部１３７の頂部１３７ａまでの厚さ方向距離は、外周液流路部１３４の厚さをＴ_１０２としたとき、Ｔ_１０１をＴ_１０２で割った値で０．０５以上であることが好ましく、０．１５以上であってもよく、０．３以上であってもよい。一方、Ｔ_１０１をＴ_１０２で割った値は１．０以下であればよく、０．８以下であってもよく、０．６以下でもよい。当該Ｔ_１０１をＴ_１０２で割った値の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、Ｔ_１０１をＴ_１０２で割った値の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、本形態では当該値が０．５であり頂部１３７ａが外周液流路部１３４の厚さ方向中央となる位置に配置されている。

図４７乃至図５１に戻って内側液流路部１３８について説明する。内側液流路部１３８も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部、及び張出部１４１を具備する部位である。図５５には図５１のうち矢印Ｉ_１０５で示した部分を拡大して示した。図５５にも内側液流路部１３８の断面形状が表れている。また、図５６には図５５に矢印Ｉ_１０６で示した方向から見た内側液流路部１３８を平面視した（ｚ方向から見た）した拡大図を示した。

これら図からわかるように、内側液流路部１３８は本体１３１のうち、外周液流路部１３４の環状である環の内側に形成された部位である。本形態の内側液流路部１３８は、本体３１の平面視（ｚ方向から見たとき）長方形の長辺に平行な方向（ｘ方向）に延び、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１３８が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。

ここで、内側液流路部１３８は、第一面１３０ａ側に液流路溝１３９、壁部１３９ａ、連通開口部１３９ｂを備えており、その形態は上記した内側液流路部１５の液流路溝１５ａ、壁部１５ｂ、及び、連通開口部１５ｃの形態と同様に考えることができ、その説明も妥当する。なお、液流路溝１３９は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側は開口している。第一シート１１０が第三シート１３０に重ねられることでこの開口が塞がれて凝縮液流路１０３となる。
一方、本形態で内側液流路部１３８の第二面１３０ｂ側は平坦面とされている。

また本形態では内側液流路部１３８に張出部１４１が設けられている。張出部１４１は蒸気流路溝１４２との境界面に形成された部位であり、蒸気流路溝１４２側に突出する部位である。
本形態で張出部１４１は、第一面１３０ａから厚さ方向（ｚ方向）Ｔ_１０３の位置で蒸気流路溝（蒸気流路）の幅方向（ｙ方向）に最も突出した頂部１４１ａを具備し、この頂部１４１ａから凝縮液流路（壁部１３９ａ）に向けて延びる、断面視で内側液流路部１３８側に凹の円弧状の張出面１４１ｂが具備されている。そして張出面１４１ｂは壁部１３９ａに連結している。ただし張出面は円弧状である必要はなく、断面視で内側液流路部１３８側に凹の円弧以外の曲線状であってもよい。
張出部のさらなる他の形態例については後で示すが、張出部は、上記したベーパーチャンバー１における張出部６、張出部７と同様に、蒸気流路溝（蒸気流路）側に幅方向に突出した部位で、蒸気流路が最も狭められた先端である頂部から凝縮液流路（壁部）に向けて面を備える張出面を具備し、張出面は壁部に連結又は壁部を含むように構成されている。

このような張出部１４１によれば、上記のような形状によって張出面１４１ｂに凝縮液が集まり易く、張出部１４１を通じて凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４との作動流体の移動が円滑となり、熱輸送能力を高めることができる。

また、張出面１４１ｂの表面は特に限定されることはないが、粗面や微小な階段状の面としてもよい。これにより凝縮液の保持力を高めることができる。
張出面の面粗さ（ＩＳＯ ２５１７８）は、例えば株式会社キーエンス製のレーザー顕微鏡(型番：ＶＫ−Ｘ２５０)にて測定できる。そしてこの面粗さの算術平均高さＳａは０．００５μｍ以上であることが好ましく、０．０３μｍ以上であることがより好ましい。また最大高さＳｚは０．０５μｍ以上であることが好ましく、０．３μｍ以上であることがより好ましい。

図４９乃至図５１、及び図５５にＷ_１０５で示した内側液流路部１３８の幅（内側液流路部１３８と蒸気流路溝１４２が配列される方向の大きさで、最も大きな値）は、上記した第一シート１０の内側液流路部１５のＷ_４と同様に考えることができる。

また、図５１にＰ_１０２で示した複数の内側液流路部３８のピッチは、上記した第一シート１０の内側液流路部１５のＰ_２と同様に考えることができる。

張出部１４１について、図５５にＷ_１０７で示した張出量（壁部１３９ａの端部から頂部１４１ａのｙ方向における距離）は、上記したベーパーチャンバー１の張出量Ｗ_Ｒ１１、張出量Ｗ_Ｒ１２と同様に考えることができる。すなわち、本形態でも、ｙ方向において張出部１４１の張出量Ｗ_１０７を異ならせることができる。また、領域を分け（例えば領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、及び領域Ｒ_３）、張出部１４１の張出量Ｗ_１０７を領域毎に異ならせることができる。

また、図５５にＴ_１０３で示した壁部１３９ａの頂部１４１ａから張出部１４１の頂部１４１ａまでの厚さ方向距離は、内側液流路部１３８の厚さをＴ_１０４としたとき、Ｔ_１０３をＴ_１０４で割った値で０．０５以上であることが好ましく、０．１５以上であってもよく、０．３以上であってもよい。一方、Ｔ_１０３をＴ_１０４で割った値は１．０以下であればよく、０．８以下であってもよく、０．６以下でもよい。当該Ｔ_１０３をＴ_１０４で割った値の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、Ｔ_１０３をＴ_１０４で割った値の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、本形態では当該値が０．５であり頂部１４１ａが内側液流路部１３８の厚さ方向中央となる位置に配置されている。

次に蒸気流路溝１４２について説明する。蒸気流路溝４２は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路１０４の一部を構成する。図４９、図５０には平面視した蒸気流路溝１４２の形状、図５１には蒸気流路溝１４２の断面形状がそれぞれ表れている。

これら図からもわかるように、本形態で蒸気流路溝１４２は本体１３１のうち、外周液流路部１３４の環状である環の内側に形成された溝（スリット）により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１４２は、隣り合う内側液流路部１３８の間、及び、外周液流路部１３４と内側液流路部１３８との間に形成され、本体１３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１４２が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。本形態の蒸気流路溝１４２は第三シート１３０の第一面１３０ａと第二面１３０ｂ側とを連通するように構成されており、すなわちスリット状の溝であり、第一面１３０ａ及び第二面１３０ｂ側に開口している。
従って、図５１からわかるように第三シート１３０は、ｙ方向において、外周液流路部１３４及び内側液流路部１３８と蒸気流路溝１４２とが交互に繰り返された形状を備えている。

図４９乃至図５１にＷ_１０８で示した蒸気流路溝１４２の幅（内側液流路部１３８と蒸気流路溝１４２が配列される方向の大きさで、蒸気流路溝のうち最も狭い部分における幅）は、上記第一シート１０の蒸気流路溝１６のＷ_６と同様に考えることができる。

蒸気流路連通溝１４４は、複数の蒸気流路溝１４２を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１４２の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。

本形態の蒸気流路連通溝１４４は、図４９、図５０、及び、図５２からわかるように、内側液流路部１３８、蒸気流路溝１４２が延びる方向の両端部と、外周液流路部１３４との間に形成されている。

蒸気流路連通溝１４４は、隣り合う蒸気流路溝１４２を連通させるように形成されている。本形態で蒸気流路連通溝１４４は図５２からわかるように、第一面１３０ａ側の溝１４４ａ、第二面１３０ｂ側の溝１４４ｂを有しており、溝１４４ａと溝１４４ｂとの間に連結部１４４ｃを具備している。この連結部１４４ｃは内側液流路部１３８と外周液流路部１３４とを連結し内側液流路部３８を保持している。
また、図４９、図５０に表れているように、本形態では蒸気流路連通溝１４４のうち、第三シート１３０の注入部１３２に設けられた溝１３２ａの端部が配置される部位では、連結部１４４ｃに穴１４４ｄが設けられ、溝１４４ａと溝１４４ｂとが連通している。これにより溝１３２ａからの作動液注入を阻害することなく、より円滑な作動液注入ができるようにしている。

図４９、図５０、図５２にＷ_１０９で示した蒸気流路連通溝１４４の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、上記した第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｗ_７と同様に考えることができる。

本形態で蒸気流路連通溝１４４の溝１４４ａ、溝１４４ｂの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。

次に、第一シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート１３０が組み合わされてベーパーチャンバー１０１とされたときの構造について説明する。この説明により、ベーパーチャンバー１０１が具備する形状、並びに、第一シート１１０、第二シート１２０、及び第三シート１３０が有するべき各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。

図５７には、図４７にＩ_１０７−Ｉ_１０７で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を表した。図５８には図４７にＩ_１０８−Ｉ_１０８で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した切断面を示した。
図５９には図５７にＩ_１０９で示した部分、図６０には図５７にＩ_１１０で示した部分をそれぞれ拡大して表した。
なお、図５７乃至図６０に表れる断面では蒸気流路１０４と蒸気流路１０３とは壁部１３５ａ及び壁部１３９ａにより隔てられているが、壁部１３５ａ及び壁部１３９ａはそれぞれ連通開口部１３５ｂ及び連通開口部１３９ｂを備えている。従って、蒸気流路１０４と蒸気流路１０３とは連通開口部１３５ｂ及び連通開口部１３９ｂにより連通している。

図４７、図４８、及び図５７乃至図６０よりわかるように、第三シート３０の第一面１３０ａ側に第一シート１１０の内面１１０ａが重ねられ、第三シート１３０の第二面１３０ｂ側に第二シート１２０の内面１２０ａが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバー１０１とされている。このとき、第三シート１３０の本体１３１と第一シート１１０の本体１１１、第三シート１３０の本体１３１と第二シート１２０の本体１２１とが重なり、第三シート１３０の注入部１３２の第一シート１１０の注入部１１２、第三シート１３０の注入部１３２と第二シート１２０の注入部１２２とが重なっている。

このような第一シート１１０、第二シート１２０及び第三シート１３０の積層体により、本体１１１、本体１２１及び本体１３１に具備される各構成が図５７乃至図６０に表れるように配置される。具体的には次の通りである。

第三シート１３０の第一面１３０ａ側に設けられた外周接合面１３３ａと第一シート１１０の内面の１１０ａの外周部の面とが重なるように配置されているとともに、第三シート１３０の第二面１３０ｂ側に設けられた外周接合面１３３ｂと第二シート１２０の内面１２０ａの外周部の面とが重なるように配置されており接合されている。これにより、第一シート１１０と第二シート１２０との間に、第三シート１３０の形状に基づく中空部が形成されてベーパーチャンバー用シートとされ、この中空部に作動流体が封入されることで密閉空間１０２を具備するベーパーチャンバーとなる。

第三シート１３０の外周液流路部１３４の第一面１３０ａ側に第一シート１１０の内面１１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝１３５の開口が第一シート１１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路１０３となる。

同様に、第三シート１３０の内側液流路部１３８の第一面１３０ａ側に第一シート１１０の内面１１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝１３９の開口が第一シート１１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路１０３となる。

このように、断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。

また、複数の凝縮液流路１０３を設けることにより、１つの凝縮液流路１０３の流路断面積を小さく（細く）しつつも、凝縮液流路１０３の合計の流路断面積を大きく取ることができるので毛細管力を高く維持しつつ凝縮液の流れを円滑にすることができる。

凝縮液流路３が具備する形状は、上記した第三シート３０で説明した形状及び寸法と同様に考えることができる。
また、ベーパーチャンバー１で説明した、隣り合う凝縮液流路間の壁部の幅（Ｓ_Ａ）や、凝縮液流路３の横断面の断面積Ｓ_Ｂとの関係（Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂ）についても、本形態で同様に考えることができる。すなわち、図６１に、図６０のうち、２つの凝縮液流路１０３に注目して拡大図で表したように、壁部１３９ａ（壁部１３５ａも同様に考えることができる。）の幅Ｓ_Ａは２０μｍ以上であることが好ましく、３０μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。また、壁部の幅Ｓ_Ａ（μｍ）は３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下とすることができ、１００μｍ以下でもよい。これにより、限られた内部空間を有効活用でき、蒸気流路及び凝縮液流路の本数を増やすことができる。これら幅Ｓ_Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｓ_Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、壁部１３５ａ、１３９ａの幅Ｓ_Ａ（μｍ）と、これに隣り合う凝縮液流路１０３の横断面（流れ方向（流路長手方向）に直交する方向の断面）の断面積Ｓ_Ｂ（μｍ^２）との関係で、Ｓ_ＡをＳ_Ｂで除した値（Ｓ_Ａ／Ｓ_Ｂ）が０．００５（μｍ^−１）以上０．０４（μｍ^−１）以下の範囲としてもよい。

他の部位について説明する。図５７からわかるように、蒸気流路溝１４２の開口が第一シート１１０及び第二シート１２０により塞がれることで中空部の一部を形成し、ここが作動流体の流路を形成し、蒸気が流れる第１流路である蒸気流路１０４となる。

蒸気流路１０４が具備する形状は、上記した第三シート１３０で説明した形状寸法、及び、ベーパーチャンバー１の蒸気流路４と同様に考えることができる。

また、外周液流路部１３４及び内側液流路部１３８には、張出部１３７及び張出部１４１が設けられている。これにより、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４との間に配置され、蒸気流路１０４側に突出した張出部１３７、張出部１４１が具備されている。
本形態で張出部１３７及び張出部１４１は、蒸気流路１０４の幅方向（蒸気流路４、凝縮液流路３が配列される方向、ｙ方向）に最も突出した頂部１３７ａ、頂部１４１ａを具備し、頂部１３７ａ、頂部１４１ａから凝縮液流路３（壁部）が具備された側に向けて延び、壁部に連結し、断面で円弧状の張出面１３７ｂ、張出面１４１ｂが具備されている。
すなわち張出部は、凝縮液流路１０３と蒸気流路１０４との間に配置され、蒸気流路１０４を幅方向に狭めるように突出しており、その最も突出した部位（頂部）から凝縮液流路１０３（壁部）に向けて近づく面を含む張出面を具備する。

そしてその張出量（Ｗ_１０４、Ｗ_１０７）は、上記したベーパーチャンバー１の張出量Ｗ_Ｒ１１、張出量Ｗ_Ｒ１２と同様に考えることができる。すなわち、本形態でも領域を分け（例えば領域Ｒ_１、領域Ｒ_２、及び領域Ｒ_３）、領域間で張出量を上記の関係を有するように構成することができる。

図５８からわかるように、第三シート１３０の蒸気流路連通溝１４４の溝１４４ａの開口が第一シート１１０で、溝１４４ｂの開口が第二シート１２０でそれぞれ塞がれることにより複数の蒸気流路１０４が連通する中空部が形成され、密閉空間の一部となって作動流体が流れる流路となる。

注入部１１２、注入部１２２、及び注入部１３２についても図４７、図４８に表れているように、注入部１３２の第一面１３０ａ側に注入部１１２、注入部１３２の第二面１３０側に注入部１２２が重なり、第三シート１３０の第二面１３０ｂ側の注入溝１３２ａの開口が第二シート１２０の注入部１２２に塞がれ、外部と中空部（凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４）とを連通する注入流路１０５が形成されている。
ただし、注入流路１０５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間１０２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバー１０１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１１２、注入部１２２、及び注入部１３２は、ベーパーチャンバー１０１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバー１０１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。

ベーパーチャンバー１０１の密閉空間１０２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバーに用いられる作動流体を用いることができる。

以上のようなベーパーチャンバー１０１によっても、ベーパーチャンバー１と同様に作用し、その効果を得ることができる。

図６２乃至図６７には、張出部の形状に注目して他の形態例を説明する図を表した。いずれも図６０に相当する図である。なお、これら張出部の形態を外周液流路部に適用することもできる。また、張出部の張出量もベーパーチャンバー１の張出部６と同様に考えることもできる。

図６２の形態例では、張出部２４１の頂部２４１ａが、図６０の頂部１４１ａに比べて厚さ方向で凝縮液流路１０３に近い位置に配置されている。具体的には図６２に示したＴ_２０３をＴ_２０４で割った値が０．２以上０．４以下の範囲とされている。
この形態によれれば、張出面２４１ｂと第一シート１１０とに挟まれる空間が小さいため、毛細管力が強く働きやすく、上記効果を奏するものとなる。

図６３の形態例では、張出部３４１の頂部３４１ａから延びる張出面３４１ｂが断面視で直線状である。上記した張出面１４１ｂ、張出面２４１ｂはいずれも内側液流路部１３８側に凹の円弧状であったが、本形態では張出面３４１ｂが断面で直線状である。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。

図６４の形態例では、張出部４４１の頂部４４１ａが面状であるとともに、張出面４４１ｂは、複数の凝縮液流路１０３及び蒸気流路１０４が配列される方向に平行（ｙ方向）に延びる面を備えている。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。

図６５の形態例では、張出部５４１の頂部５４１ａから延びる張出面５４１ｂが断面視で蒸気流路１０４側に凸の円弧状である。ただし円弧状である必要はなく、断面視で蒸気流路１０４側に凸の円弧以外の曲線状であってもよい。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。この形態では、張出面５４１ｂが凝縮液流路１０３に近づくにつれて第一シート１１０との間隔が狭い部位を比較的多く形成することができ、毛細管力の効率よい利用が期待できる。

図６６の形態例では、張出部６４１の頂部６４１ａが、蒸気流路１０４のうち凝縮液流路１０３側とは反対側となる面にまで離隔して設けられている例である。このような形態でも張出面６４１ｂを形成することができ上記効果を奏するものとなる。
ただし、張出面と第一面１１０ａとの間を狭くすることによって、より強い毛細管力を利用する観点からは、上記した各形態例のように、頂部は厚さ方向において、蒸気流路のうち厚さ方向に対向する内面に一致しない側面のいずれかに配置されることが好ましい。

図６７の形態例では、凝縮液流路１０３が、内側液流路部１３８の厚さ方向の両方に形成されている。この例では張出部７４１は、その頂部７４１ａから、当該両方の凝縮液流路１０３に向けてそれぞれ張出面７４１ｂを形成することができ、厚さ方向両方に存在する凝縮液流路３のそれぞれに対して上記の効果を奏するものとなる。

本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。一方、各形態に示される全構成要素から、得られる効果に応じて１つ又は複数の構成要素のみを抽出して適用したり、各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除したりしてもよい。

１、１０１ ベーパーチャンバー
２、１０２ 密閉空間
３、１０３ 凝縮液流路
３ａ 内面溝
４、１０４ 蒸気流路
６、７ 張出部
１０、１１０ 第一シート
１０ａ、１１０ａ 内面
１０ｂ、１１０ｂ 外面
１０ｃ、１１０ｃ 側面
１１、１１１ 本体
１２、１１２ 注入部
１３ 外周接合部
１４ 外周液流路部
１４ 液流路溝
１４ｃ 連通開口部
１５ 内側液流路部
１５ａ 液流路溝
１５ｃ 連通開口部
１６ 蒸気流路溝
１７ 蒸気流路連通溝
２０、１２０ 第二シート
２０ａ、１２０ａ 内面
２０ｂ、１２０ｂ 外面
２０ｃ、１２０ｃ 側面
２１、１２１ 本体
２２、１２２ 注入部
２３ 外周接合部
２４ 外周液流路部
２５ 内側液流路部
２６ 蒸気流路溝
２７ 蒸気流路連通溝
１３０ 第三シート
１３１ 本体
１３２ 注入部
１３３ 外周接合部
１３４ 外周液流路部
１３７ 張出部
１３８ 内側液流路部
１４１ 張出部
１４２ 蒸気流路溝
１４４ 蒸気流路連通溝

Claims (15)

1. 密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
   前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、前記作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、が具備され、
   前記蒸気流路には、前記凝縮液流路及び前記蒸気流路が配列される方向に蒸気流路側に突出した張出部が備えられるとともに、前記蒸気流路が延びる方向において前記張出部の張出量が異なっている、ベーパーチャンバー。
2. 前記蒸気流路が延びる方向に複数の領域に分けたとき、１の前記領域における前記張出部の張出量が、前記１の領域に隣り合う両方の前記領域における前記張出部の張出量よりも小さい、請求項１に記載のベーパーチャンバー。
3. １つの前記蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において３つの領域に分けたとき、中央に配置される領域の前記張出量の平均値が、前記中央に配置される領域の両隣に配置される２つの領域の前記張出量のそれぞれの平均値よりも小さくされている、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバー。
4. １つの前記蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において５つの領域に分けたとき、中央に配置される前記領域における前記張出部の張出量の平均値、及び両端に配置される前記領域における前記張出部の張出量の平均値が、前記中央に配置される前記領域と前記両端に配置される前記領域との間に配置される前記領域における前記張出部の張出量の平均値よりも大きい、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバー。
5. 密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
   前記密閉空間には、前記作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、前記作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、が具備されており、
   前記蒸気流路と前記凝縮液流路とを隔てる壁部には、前記蒸気流路と前記凝縮液流路とを連通する開口部である連通開口部が複数設けられており、
   複数の前記連通開口部のピッチが前記蒸気流路が延びる方向において異なっている、ベーパーチャンバー。
6. 前記蒸気流路が延びる方向において、１の領域に対して前記蒸気流路に沿った方向に並ぶ複数の前記連通開口部が含まれるように複数の領域に分けたとき、前記１の領域における前記連通開口部のピッチが、前記１の領域に隣り合う両方の前記領域における前記連通開口部のピッチよりも大きい、請求項５に記載のベーパーチャンバー。
7. １つの蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において３つの領域に分けたとき、両端に配置される領域に具備される前記連通開口部のピッチの平均値が、両端に配置される前記領域の間に配置される中央の前記領域に具備される前記連通開口部のピッチの平均値よりも小さい、請求項５に記載のベーパーチャンバー。
8. １つの前記蒸気流路を該蒸気流路が延びる方向において５つの領域に分けたとき、中央に配置される前記領域に具備される前記連通開口部のピッチの平均値、及び両端に配置される前記領域に具備される前記連通開口部のピッチの平均値が、前記中央に配置される前記領域と前記両端に配置される前記領域との間に配置される前記領域に具備される前記連通開口部のピッチの平均値よりも小さい、請求項５に記載のベーパーチャンバー。
9. 密閉された空間が形成されており、該空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバーであって、
   前記密閉空間には、前記作動流体が流れる複数の流路が形成され、隣り合う前記流路の間には壁部を有しており、
   前記壁部の幅Ｓ_Ａは、２０μｍ以上３００μｍ以下であり、前記流路の横断面の断面積Ｓ_Ｂ（μｍ^２）との関係であるＳ_ＡをＳ_Ｂで除した値が０．００５（μｍ^−１）以上０．０４（μｍ^−１）以下である、ベーパーチャンバー。
10. 前記流路は、前記作動流体が凝縮した液が流れる複数の凝縮液流路と、前記作動流体が気化した蒸気が流れる蒸気流路と、を有し、
    前記壁部は、隣り合う前記凝縮液流路の間に形成された壁部である、請求項９に記載のベーパーチャンバー。
11. 前記壁部の幅が前記凝縮液流路の幅より小さい請求項９又は１０に記載のベーパーチャンバー。
12. 前記凝縮液流路にはその表面に溝が形成されている、請求項９乃至１１のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
13. 前記壁部には、隣り合う流路を連通する開口部を複数有している請求項９乃至１２のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
14. 前記開口部は、隣り合う壁部で前記流路が延びる方向で位置が異なるように設けられている請求項９乃至１３のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
15. 筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に対して直接又は他の部材を介して接触して配置された請求項１乃至１４のいずれかに記載されたベーパーチャンバーと、を備える、電子機器。

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