JPWO2019077671A1 - Mounting head and component mounting machine - Google Patents

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Abstract

装着ヘッドは、チャックが装着ヘッドに保持されることにより第一エア通路に連通し、ピストンを移動させるエアを流通させる第一供給通路と、チャックが装着ヘッドに保持されることにより第二エア通路に連通し、第一供給通路とは異なるエアの供給系統を構成し、供給系統が供給する正圧または負圧のエアを流通させる第二供給通路と、バルブ装置の切り換えに伴って変動する第二供給通路におけるエアの流通状態に基づいて、チャックが部品をクランプしているか否かを判定する判定部と、を備える。The mounting head communicates with the first air passage when the chuck is held by the mounting head, and a first supply passage through which air for moving the piston flows, and a second air passage when the chuck is held by the mounting head. A second supply passage that communicates with the first supply passage, forms a different air supply system from the first supply passage, and allows positive pressure or negative pressure air supplied by the supply system to flow, and a second supply passage that changes with switching of the valve device. And a determination unit that determines whether or not the chuck is clamping the component based on the flow state of the air in the two supply passages.

Description

本発明は、装着ヘッドおよび部品装着機に関するものである。   The present invention relates to a mounting head and a component mounting machine.

部品装着機は、回路基板に部品を装着する装着処理を実行する。部品の保持に用いられるチャックは、部品装着機による装着処理において、装着の対象である部品を複数の爪片によりクランプする（特許文献１を参照）。部品装着機は、例えばチャックを撮像して取得された画像データを画像処理し、チャックが部品をクランプしているか否かの保持検査を行うことがある。特許文献２には、チャックが部品のクランプに失敗した場合に、チャックの開閉動作に用いられる負圧エアをリークさせることにより、上記の保持検査を行う構成が開示されている。   The component mounting machine executes a mounting process for mounting components on a circuit board. A chuck used for holding a component clamps a component to be mounted with a plurality of claw pieces in a mounting process by a component mounting machine (see Patent Literature 1). For example, the component mounting machine may perform image processing on image data acquired by capturing an image of a chuck, and perform a holding inspection on whether or not the chuck is clamping a component. Patent Document 2 discloses a configuration in which when the chuck fails to clamp a component, the above-described holding inspection is performed by leaking negative pressure air used for opening and closing the chuck.

国際公開第２０１３／１４０５７１号International Publication No. WO 2013/140571 国際公開第２０１４／１１８８２０号International Publication No. WO 2014/118820

チャックが部品をクランプしているか否かの保持検査は、その検査結果が以降の装着処理に影響するため、正確に且つ迅速に行われることが望ましい。
本明細書は、チャックが部品をクランプしているか否かの保持検査をより正確に且つ迅速に行うことができる装着ヘッドおよび部品装着機を提供することを目的とする。It is desirable that the holding inspection as to whether or not the chuck is clamping the component be performed accurately and quickly because the inspection result affects the subsequent mounting process.
It is an object of the present specification to provide a mounting head and a component mounting machine capable of more accurately and promptly performing a holding inspection as to whether or not a chuck is clamping a component.

本明細書は、正圧または負圧のエアを供給されて部品をクランプするチャックを着脱可能に保持する装着ヘッドであって、前記チャックは、前記部品をクランプする複数の爪片と、互いに独立してエアを流通させる第一エア通路および第二エア通路と、前記第一エア通路を介して供給されるエアにより移動するピストンと、前記ピストンの位置に応じて複数の前記爪片を開閉させる開閉機構と、大気に開放される大気圧エア通路と、前記ピストンが規定位置まで移動した場合に、前記第二エア通路と大気圧エア通路の連通状態と遮断状態とを切り換えるバルブ装置と、を有し、前記装着ヘッドは、前記チャックが前記装着ヘッドに保持されることにより前記第一エア通路に連通し、前記ピストンを移動させるエアを流通させる第一供給通路と、前記チャックが前記装着ヘッドに保持されることにより前記第二エア通路に連通し、前記第一供給通路とは異なるエアの供給系統を構成し、前記供給系統が供給する正圧または負圧のエアを流通させる第二供給通路と、前記バルブ装置の切り換えに伴って変動する前記第二供給通路におけるエアの流通状態に基づいて、前記チャックが前記部品をクランプしているか否かを判定する判定部と、を備える装着ヘッドを開示する。   The present specification relates to a mounting head that detachably holds a chuck that clamps a component supplied with air at a positive pressure or a negative pressure, wherein the chuck is independent of a plurality of claw pieces that clamp the component. A first air passage and a second air passage through which air flows, a piston moved by air supplied through the first air passage, and a plurality of the claw pieces opened and closed according to the position of the piston. An opening / closing mechanism, an atmospheric pressure air passage opened to the atmosphere, and a valve device for switching between a communication state and a cutoff state between the second air passage and the atmospheric pressure air passage when the piston moves to a predetermined position. The mounting head has a first supply passage that communicates with the first air passage by the chuck being held by the mounting head, and circulates air that moves the piston. The chuck is held by the mounting head and communicates with the second air passage to form a supply system for air different from the first supply passage. Positive or negative pressure air supplied by the supply system is provided. And a determination unit that determines whether or not the chuck is clamping the component based on a flow state of air in the second supply passage that fluctuates with the switching of the valve device. Are disclosed.

本明細書は、上記の装着ヘッドと、前記装着ヘッドに保持された前記チャックによりクランプされた前記部品を基板に装着する装着処理を実行する制御装置と、を備える部品装着機を開示する。   The present specification discloses a component mounting machine that includes the mounting head described above and a control device that performs a mounting process of mounting the component clamped by the chuck held by the mounting head on a substrate.

このような装着ヘッドの構成によると、チャックが部品のクランプに失敗するクランプミスが発生すると、ピストンが規定位置まで移動し、バルブ機構の切り換えに伴って第二エア通路と大気エア通路の連通状態と遮断状態が切り換えられる。このとき、第二エア通路には第二供給通路が連通していることから、第二供給通路のエアの流通状態が変動する。このような構成により、装着ヘッドは、チャックが部品を保持しているか否かの保持検査を行うことができる。   According to such a configuration of the mounting head, when a clamping error occurs in which the chuck fails to clamp the component, the piston moves to the predetermined position, and the communication state between the second air passage and the atmospheric air passage is accompanied by switching of the valve mechanism. And the cutoff state is switched. At this time, since the second supply passage communicates with the second air passage, the air flow state of the second supply passage changes. With such a configuration, the mounting head can perform a holding test on whether or not the chuck holds the component.

また、第二供給通路が第一供給通路とは異なる供給系統を構成することから、バルブ装置の切り換えにより一方の流通状態の変動が他方の流通状態に影響することが抑制される。これにより、バルブ装置の動作を安定させることができる。また、変動した第二供給通路の流通状態が安定するため、保持検査をより正確に行うことができる。さらに、第二エア通路と大気エア通路の連通状態と遮断状態の切り換えは、第二供給通路の流通状態を即時に変動させる。これにより、チャックが部品をクランプしているか否かを迅速に判定することが可能となる。結果として、保持検査をより正確に且つ迅速に行うことができる。   Further, since the second supply passage forms a supply system different from that of the first supply passage, a change in one flow state due to the switching of the valve device is suppressed from affecting the other flow state. Thereby, the operation of the valve device can be stabilized. In addition, since the changed flow state of the second supply passage is stabilized, the holding inspection can be performed more accurately. Further, switching between the communication state and the cutoff state of the second air passage and the atmospheric air passage causes the flow state of the second supply passage to be immediately changed. This makes it possible to quickly determine whether or not the chuck is clamping the component. As a result, the retention test can be performed more accurately and quickly.

このような部品装着機の構成によると、装着処理の実行中にクランプミスが発生したことを検出できる。これにより、例えば部品カメラの撮像により取得された画像データを用いてクランプが成功しているか失敗しているかを判断していた構成と比較して、より早いタイミングでクランプミスを検出できる。また、部品を装着するまでの間に何らかの要因により部品を落下させてしまった場合に、クランプミスを検出できるので、無駄な装着動作を省略でき、またリトライ処理やエラー処理などに迅速に移行することができる。結果として、装着処理の精度を向上できるとともに、全体の所要時間を短縮できる。   According to such a configuration of the component mounting machine, it is possible to detect that a clamping error has occurred during the execution of the mounting process. As a result, for example, a clamping mistake can be detected at an earlier timing than in a configuration in which it is determined whether clamping has succeeded or failed using image data obtained by imaging with a component camera. In addition, when a component is dropped for some reason before the component is mounted, a clamping error can be detected, so that useless mounting operation can be omitted, and a quick transition to retry processing or error processing can be performed. be able to. As a result, the accuracy of the mounting process can be improved, and the overall required time can be reduced.

実施形態における装着ヘッドを用いて装着処理を実行する部品装着機の構成を示す平面図である。It is a top view showing composition of a component mounting machine which performs mounting processing using a mounting head in an embodiment. 図１における装着ヘッドおよびチャックを示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing the mounting head and the chuck in FIG. 1. 装着ヘッドおよびチャックに構成されるエア供給回路を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram illustrating an air supply circuit configured in the mounting head and the chuck. 図２における装着ヘッドおよびチャックの断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a mounting head and a chuck in FIG. 2. 図４における装着ヘッドおよび開状態（アンクランプ状態）のチャックを拡大して示す側面図である。FIG. 5 is an enlarged side view showing the mounting head and the chuck in an open state (unclamped state) in FIG. 4. 図４における装着ヘッドおよび閉状態（クランプ状態）のチャックを拡大して示す側面図である。FIG. 5 is an enlarged side view showing a mounting head and a chuck in a closed state (clamp state) in FIG. 4. 図４における装着ヘッドおよびクランプミス状態のチャックを拡大して示す側面図である。FIG. 5 is an enlarged side view showing the mounting head and the chuck in a clamp mis-state in FIG. 4. 部品装着機による装着処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the mounting processing by a component mounting machine. 装着ヘッドによる部品の保持検査を示すフローチャートである。9 is a flowchart showing a holding inspection of a component by a mounting head. 部品装着機による保持検査に用いられる閾値の校正処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the calibration process of the threshold value used for holding | maintenance inspection by a component mounting machine.

１．実施形態
１−１．部品装着機１０の構成
部品装着機１０は、図１に示すように、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５、および制御装置１６を備える。基板搬送装置１１は、ベルトコンベアなどにより構成され、基板９０を搬送方向へと順次搬送する。基板搬送装置１１は、部品装着機１０の機内に基板９０を搬入するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による部品の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。1. Embodiment 1-1. 1. Configuration of Component Placement Machine 10 As shown in FIG. 1, the component placement machine 10 includes a board transfer device 11, a component supply device 12, a component transfer device 13, a component camera 14, a board camera 15, and a control device 16. The substrate transfer device 11 is configured by a belt conveyor or the like, and sequentially transfers the substrates 90 in the transfer direction. The board transfer device 11 loads the board 90 into the component mounting machine 10 and positions the board 90 at a predetermined position in the machine. After the component mounting process by the component mounting machine 10 is completed, the substrate transfer device 11 unloads the substrate 90 out of the component mounting machine 10.

部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、Ｘ軸方向に並んでセットされたフィーダ１２１を有する。フィーダ１２１は、多数の部品が収納されたキャリアテープを送り移動させて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品を採取可能に供給する。   The component supply device 12 supplies components to be mounted on the substrate 90. The component supply device 12 has a feeder 121 set side by side in the X-axis direction. The feeder 121 feeds and moves a carrier tape in which a large number of components are stored, and supplies the components at a supply position located on the distal end side of the feeder 121 so as to be able to collect the components.

部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１および移動台１３２を備える。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構により移動台１３２を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に移動可能に構成されている。移動台１３２には、図示しないクランプ部材により装着ヘッド２０が交換可能に固定される。装着ヘッド２０は、部品供給装置１２により供給される部品を採取して基板９０の所定の装着位置に装着する。   The component transfer device 13 includes a head driving device 131 and a moving table 132. The head driving device 131 is configured to be able to move the movable table 132 in a horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) by a linear motion mechanism. The mounting head 20 is exchangeably fixed to the movable table 132 by a clamp member (not shown). The mounting head 20 collects components supplied by the component supply device 12 and mounts the components on a predetermined mounting position on the substrate 90.

装着ヘッド２０には、１または複数の保持部材が着脱可能に設けられる。上記の保持部材としては、例えば負圧エアを供給されて部品を吸着する吸着ノズルや、部品をクランプするチャックなどが採用され得る。本実施形態において、装着ヘッド２０は、図２に示すように、１つのチャック３０をＺ軸方向に移動可能に、且つＺ軸に平行なθ軸周りに回転可能に支持する。装着ヘッド２０およびチャック３０の詳細構成については後述する。   One or a plurality of holding members are detachably provided on the mounting head 20. As the above-mentioned holding member, for example, a suction nozzle that is supplied with negative pressure air to suck a component, a chuck that clamps a component, or the like can be employed. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the mounting head 20 supports one chuck 30 so as to be movable in the Z-axis direction and rotatable around a θ-axis parallel to the Z-axis. Detailed configurations of the mounting head 20 and the chuck 30 will be described later.

部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置である。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、外部入力される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４、および基板カメラ１５は、撮像により取得した画像データを送出する。   The component camera 14 and the board camera 15 are digital imaging devices having an imaging element such as a charge coupled device (CCD) or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). The component camera 14 and the board camera 15 perform imaging based on a control signal input externally. The component camera 14 and the board camera 15 send out image data obtained by imaging.

部品カメラ１４は、図１に示すように、光軸がＺ軸方向の上向きとなるように部品装着機１０の基台に固定されている。部品カメラ１４は、チャック３０などの保持部材に保持された部品を下方から撮像可能に構成されている。基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向の下向きとなるように部品移載装置１３の移動台１３２に設けられる。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像可能に構成されている。   As shown in FIG. 1, the component camera 14 is fixed to the base of the component mounting machine 10 so that the optical axis faces upward in the Z-axis direction. The component camera 14 is configured to be able to image a component held by a holding member such as the chuck 30 from below. The board camera 15 is provided on the moving table 132 of the component transfer device 13 so that the optical axis faces downward in the Z-axis direction. The board camera 15 is configured to be able to image the board 90 from above.

制御装置１６は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置１６は、基板９０に部品を装着する装着処理において、部品装着機１０に複数設けられた各種センサから出力される情報、画像処理などによる認識処理の結果を入力する。そして、制御装置１６は、制御プログラムや予め設定されている規定の装着条件などに基づいて、部品移載装置１３へと制御信号を送出する。これにより、装着ヘッド２０に支持されたチャック３０などの保持部材の位置および回転角度が制御される。装着処理の詳細については後述する。   The control device 16 mainly includes a CPU, various memories, and a control circuit. The controller 16 inputs information output from various sensors provided in the component mounting machine 10 and a result of recognition processing by image processing or the like in the mounting process of mounting components on the board 90. Then, the control device 16 sends a control signal to the component transfer device 13 based on a control program, predetermined mounting conditions, and the like. Thereby, the position and the rotation angle of the holding member such as the chuck 30 supported by the mounting head 20 are controlled. Details of the mounting process will be described later.

１−２．装着ヘッド２０の詳細構成
装着ヘッド２０は、正圧または負圧のエアを供給されて部品をクランプするチャック３０を着脱可能に保持する。本実施形態において、チャック３０は、負圧エアを供給されて、開状態（アンクランプ状態）から閉状態（クランプ状態）へと動作するタイプである。装着ヘッド２０は、図２に示すように、ヘッド本体２１、負圧エア供給源２２、第一供給通路２３、第二供給通路２４、ヘッド制御部２５、および凹部２６を備える。1-2. Detailed Configuration of Mounting Head 20 The mounting head 20 detachably holds a chuck 30 that is supplied with air of a positive pressure or a negative pressure and clamps a component. In the present embodiment, the chuck 30 is of a type that operates from an open state (unclamped state) to a closed state (clamped state) by supplying negative pressure air. As shown in FIG. 2, the mounting head 20 includes a head main body 21, a negative pressure air supply source 22, a first supply passage 23, a second supply passage 24, a head control unit 25, and a recess 26.

ヘッド本体２１は、移動台１３２に着脱可能にクランプされる。負圧エア供給源２２は、互いに異なる供給系統（図３の第一エア供給回路Ｃｓ１および第二エア供給回路Ｃｓ２）により負圧エアを凹部２６およびチャック３０にそれぞれ供給する。負圧エア供給源２２は、例えばヘッド本体２１に設けられたエアポンプ等により構成される。   The head main body 21 is detachably clamped to the moving table 132. The negative pressure air supply source 22 supplies negative pressure air to the recess 26 and the chuck 30 by different supply systems (the first air supply circuit Cs1 and the second air supply circuit Cs2 in FIG. 3). The negative pressure air supply source 22 is configured by, for example, an air pump or the like provided on the head main body 21.

第一供給通路２３および第二供給通路２４は、負圧エア供給源２２により供給される負圧エアを流通させる。第一供給通路２３は、チャック３０の開閉動作に用いられる負圧エアを流通させる供給系統（第一エア供給回路Ｃｓ１）を構成する。第二供給通路２４は、装着ヘッド２０がチャック３０を保持するのに用いられる負圧エアを流通させる供給系統（第二エア供給回路Ｃｓ２）を構成する。   The first supply passage 23 and the second supply passage 24 allow the negative pressure air supplied from the negative pressure air supply source 22 to flow. The first supply passage 23 constitutes a supply system (first air supply circuit Cs1) through which negative-pressure air used for opening and closing the chuck 30 flows. The second supply passage 24 constitutes a supply system (second air supply circuit Cs2) through which negative-pressure air used for holding the chuck 30 by the mounting head 20 flows.

ヘッド制御部２５は、部品装着機１０の制御装置７０による動作指令に応じて、チャック３０のθ軸周りの角度、上下方向位置、および開閉の切り換えなどを制御する。また、ヘッド制御部２５は、チャック３０が部品をクランプしているか否かを判定する判定部２５１を有する。判定部２５１による部品の保持判定の詳細については後述する。   The head control unit 25 controls the angle of the chuck 30 around the θ axis, the vertical position, switching between opening and closing, and the like in accordance with an operation command from the control device 70 of the component mounting machine 10. Further, the head control unit 25 includes a determination unit 251 that determines whether the chuck 30 is clamping a component. Details of the component holding determination by the determination unit 251 will be described later.

ここで、装着ヘッド２０は、チャック３０を保持する保持機構を備える。上記の保持機構としては、例えば装着ヘッド２０側の係止部材をチャック３０の被係止部に係止させて、チャック３０を保持する構成を採用し得る。本実施形態において、装着ヘッド２０は、チャック３０との境界部に形成された負圧室Ｂｎに負圧エアを供給することにより、チャック３０を保持する構成を採用する。装着ヘッド２０の下部のうちチャック３０の上面に接触する保持面には、θ軸を中心とする環状の凹部２６が形成される。   Here, the mounting head 20 includes a holding mechanism that holds the chuck 30. As the above-described holding mechanism, for example, a configuration in which a locking member on the mounting head 20 side is locked to a locked portion of the chuck 30 to hold the chuck 30 may be adopted. In the present embodiment, the mounting head 20 adopts a configuration in which the chuck 30 is held by supplying negative pressure air to a negative pressure chamber Bn formed at the boundary with the chuck 30. An annular concave portion 26 centered on the θ axis is formed on a holding surface of the lower portion of the mounting head 20 that contacts the upper surface of the chuck 30.

凹部２６の外径は、チャック３０におけるチャック本体３１の上面の外径よりも小径に形成される。凹部２６は、チャック本体３１の上面が装着ヘッド２０の保持面に接触することにより、チャック本体３１の上面とともに環状の負圧室Ｂｎを形成する。負圧室Ｂｎには、第二供給通路２４を介して、負圧エア供給源２２による負圧エアが供給される。これにより、装着ヘッド２０は、装着ヘッド２０の下部に接触したチャック３０を負圧エアにより吸着して保持する。   The outer diameter of the concave portion 26 is formed smaller than the outer diameter of the upper surface of the chuck body 31 in the chuck 30. The concave portion 26 forms an annular negative pressure chamber Bn together with the upper surface of the chuck body 31 when the upper surface of the chuck body 31 contacts the holding surface of the mounting head 20. The negative pressure air from the negative pressure air supply source 22 is supplied to the negative pressure chamber Bn via the second supply passage 24. Thereby, the mounting head 20 sucks and holds the chuck 30 in contact with the lower part of the mounting head 20 by the negative pressure air.

１−３．チャック３０の詳細構成
チャック３０は、装着対象の部品に応じて種類を選択され、装着ヘッド２０に取り付けられる。装着対象となる部品には、フィーダ１２１に装填されたキャリアテープに収容された部品や、トレイ（図示しない）などに並べて載置された状態で供給されるリード部品などの比較的大型の部品が含まれる。なお、部品供給装置１２は、上記の他に、大型の部品をキャリアテープのキャビティに収納してフィーダ１２１により供給する構成も採用し得る。1-3. Detailed Configuration of Chuck 30 The type of the chuck 30 is selected according to the component to be mounted, and is mounted on the mounting head 20. The components to be mounted include relatively large components such as components contained in a carrier tape loaded in the feeder 121 and lead components supplied in a state of being placed side by side on a tray (not shown). included. In addition, in addition to the above, the component supply device 12 may adopt a configuration in which large components are stored in a cavity of a carrier tape and supplied by the feeder 121.

本実施形態において、チャック３０は、装着ヘッド２０の第一供給通路２３を介して負圧エア供給源２２による負圧エアを供給されて、開状態（アンクランプ状態）と閉状態（クランプ状態）を切り換えられる。チャック３０は、図２−図４に示すように、チャック本体３１、複数の爪片３２、第一エア通路３３、第二エア通路３４、空気圧装置３５、開閉機構３６、大気圧エア通路３７、およびバルブ装置３８を有する。   In the present embodiment, the chuck 30 is supplied with negative-pressure air from the negative-pressure air supply source 22 through the first supply passage 23 of the mounting head 20, and is opened (unclamped) and closed (clamped). Can be switched. As shown in FIGS. 2 to 4, the chuck 30 includes a chuck body 31, a plurality of claw pieces 32, a first air passage 33, a second air passage 34, a pneumatic device 35, an opening / closing mechanism 36, an atmospheric air passage 37, And a valve device 38.

チャック本体３１は、装着ヘッド２０に着脱可能に保持される。チャック本体３１の上面は、環状の平坦部を有する。チャック本体３１の上面における平坦部は、図４に示すように、装着ヘッド２０の保持面に接触するとともに、装着ヘッド２０の凹部２６とともに負圧室Ｂｎを形成する。チャック本体３１は、装着ヘッド２０の保持面に接触した状態で、圧力室Ｂｐに負圧エアが供給されることによって装着ヘッド２０に吸着される。   The chuck body 31 is detachably held by the mounting head 20. The upper surface of the chuck body 31 has an annular flat portion. As shown in FIG. 4, the flat portion on the upper surface of the chuck body 31 contacts the holding surface of the mounting head 20 and forms a negative pressure chamber Bn together with the concave portion 26 of the mounting head 20. The chuck body 31 is attracted to the mounting head 20 by supplying negative pressure air to the pressure chamber Bp in a state of being in contact with the holding surface of the mounting head 20.

複数の爪片３２は、後述する開閉機構３６により開閉されて、チャック３０が対象とする部品を保持する。本実施形態において、チャック３０は、２つの爪片３２を有する２爪タイプである。なお、チャック３０は、３以上の爪片を有する構成としてもよい。第一エア通路３３および第二エア通路３４は、チャック本体３１にそれぞれ形成され、互いに独立してエアを流通させる。このように、第一エア通路３３および第二エア通路３４は、互いに異なる供給系統を構成する。   The plurality of claw pieces 32 are opened and closed by an opening / closing mechanism 36 described later, and the chuck 30 holds a target component. In the present embodiment, the chuck 30 is a two-claw type having two claw pieces 32. Note that the chuck 30 may have a configuration having three or more nail pieces. The first air passage 33 and the second air passage 34 are respectively formed in the chuck body 31 and allow the air to flow independently of each other. Thus, the first air passage 33 and the second air passage 34 constitute different supply systems.

第一エア通路３３の一端は、チャック本体３１の上面のうち中央部において開口する。第一エア通路３３は、チャック３０が装着ヘッド２０に保持されることにより装着ヘッド２０の第一供給通路２３と連通する。第一エア通路３３の他端は、後述する空気圧装置３５と連結される。第一エア通路３３は、第一供給通路２３と連通することにより、負圧エア供給源２２による負圧エアを空気圧装置３５へと流通させる。   One end of the first air passage 33 opens at the center of the upper surface of the chuck body 31. The first air passage 33 communicates with the first supply passage 23 of the mounting head 20 when the chuck 30 is held by the mounting head 20. The other end of the first air passage 33 is connected to a pneumatic device 35 described later. The first air passage 33 communicates the negative pressure air from the negative pressure air supply source 22 to the pneumatic device 35 by communicating with the first supply passage 23.

第二エア通路３４の一端は、チャック本体３１の上面のうち装着ヘッド２０の凹部２６が形成された領域に対応する位置に開口する。これにより、第二エア通路３４は、チャック３０が装着ヘッド２０に保持されることにより、負圧室Ｂｎを介して第二供給通路２４に連通する。第二エア通路３４の他端は、後述するバルブ装置３８に連結される。   One end of the second air passage 34 opens at a position on the upper surface of the chuck body 31 corresponding to a region where the concave portion 26 of the mounting head 20 is formed. Thus, the second air passage 34 communicates with the second supply passage 24 via the negative pressure chamber Bn when the chuck 30 is held by the mounting head 20. The other end of the second air passage 34 is connected to a valve device 38 described later.

空気圧装置３５は、第一エア通路３３を介して供給される負圧エアを用いて、開閉機構３６に動力を付与する。具体的には、空気圧装置３５は、図４に示すように、シリンダ３５１、ピストン３５２、および圧縮ばね３５３を有する。シリンダ３５１は、第一エア通路３３を連結され、負圧エアを供給される。ピストン３５２は、シリンダ３５１の内部に上下方向に摺動可能に配置され、圧力室Ｂｐを形成する。ピストン３５２は、上方に開口した筒状本体を有する。   The pneumatic device 35 applies power to the opening / closing mechanism 36 using negative pressure air supplied through the first air passage 33. Specifically, as shown in FIG. 4, the pneumatic device 35 has a cylinder 351, a piston 352, and a compression spring 353. The cylinder 351 is connected to the first air passage 33 and is supplied with negative pressure air. The piston 352 is disposed inside the cylinder 351 so as to be slidable in the vertical direction, and forms a pressure chamber Bp. The piston 352 has a cylindrical main body that opens upward.

圧縮ばね３５３は、ピストン３５２における筒状本体の底部と、シリンダ３５１の上壁との間に配置される。ピストン３５２は、圧縮ばね３５３の弾性力により、下壁側に付勢される。つまり、ピストン３５２は、シリンダ３５１内に形成された圧力室Ｂｐの空気圧が所定値以上の場合には、圧力室Ｂｐの容積が増加するように下端位置（以下、「初期位置Ｐ１」と称する）に位置する（図４および図５Ａを参照）。   The compression spring 353 is arranged between the bottom of the cylindrical main body of the piston 352 and the upper wall of the cylinder 351. The piston 352 is urged toward the lower wall by the elastic force of the compression spring 353. That is, when the air pressure in the pressure chamber Bp formed in the cylinder 351 is equal to or higher than a predetermined value, the piston 352 is positioned at a lower end position (hereinafter, referred to as an “initial position P1”) so that the volume of the pressure chamber Bp increases. (See FIGS. 4 and 5A).

開閉機構３６は、空気圧装置３５のピストン３５２から動力を付与される。開閉機構３６は、ピストン３５２の位置に応じて複数の爪片３２を開閉させる。具体的には、開閉機構３６は、ピストン３５２の上下方向の位置に応じて一対のクランク３６１を互いに異なる方向に回転させる。開閉機構３６は、一対のクランク３６１の角度に応じて水平方向に一対のブロック３６２を移動させる。一対のブロック３６２は、チャック本体３１の図示しないレールにより水平方向に移動可能に支持されている。一対のブロック３６２には、一対の爪片３２が取り付けられている。   The opening and closing mechanism 36 is supplied with power from a piston 352 of the pneumatic device 35. The opening and closing mechanism 36 opens and closes the plurality of claw pieces 32 according to the position of the piston 352. Specifically, the opening / closing mechanism 36 rotates the pair of cranks 361 in different directions according to the vertical position of the piston 352. The opening / closing mechanism 36 moves the pair of blocks 362 in the horizontal direction according to the angle of the pair of cranks 361. The pair of blocks 362 are supported by a rail (not shown) of the chuck body 31 so as to be movable in the horizontal direction. A pair of claw pieces 32 are attached to the pair of blocks 362.

このような構成により、２つの爪片３２は、空気圧装置３５に負圧エアが供給されておらずピストン３５２が初期位置Ｐ１にある場合には、互いに最も離間した開状態とされる。一方で、圧力室Ｂｐの空気圧が所定値未満となった場合に、ピストン３５２は、圧縮ばね３５３の弾性力に抗して圧力室Ｂｐの容積が減少するように上方に移動する。２つの爪片３２は、ピストン３５２が初期位置Ｐ１から上方に移動した場合には、互いに接近し、２つの爪片３２の間の部品９５をクランプ可能な閉状態とされる（図５Ｂを参照）。   With such a configuration, when the negative pressure air is not supplied to the pneumatic device 35 and the piston 352 is at the initial position P1, the two claw pieces 32 are in the open state most apart from each other. On the other hand, when the air pressure in the pressure chamber Bp becomes less than the predetermined value, the piston 352 moves upward such that the volume of the pressure chamber Bp decreases against the elastic force of the compression spring 353. When the piston 352 moves upward from the initial position P1, the two claw pieces 32 approach each other and are brought into a closed state in which the component 95 between the two claw pieces 32 can be clamped (see FIG. 5B). ).

本実施形態において、ピストン３５２は、圧力室Ｂｐの空気圧が十分に低圧であり、且つ２つの爪片３２が何もクランプしていない状態、即ちチャック３０が部品のクランプに失敗したクランプミス状態では、筒状本体の上部がシリンダ３５１の上壁に接触する。このとき、ピストン３５２は、上端位置（以下、「規定位置Ｐ２」と称する）に位置し、規定位置Ｐ２よりも上方への移動を規制された状態にある（図５Ｃを参照）。   In the present embodiment, the piston 352 is in a state in which the air pressure in the pressure chamber Bp is sufficiently low and the two claw pieces 32 are not clamping anything, that is, in a clamping error state in which the chuck 30 has failed to clamp a component. , The upper part of the cylindrical body contacts the upper wall of the cylinder 351. At this time, the piston 352 is located at the upper end position (hereinafter, referred to as a “specified position P2”), and is in a state where the upward movement of the piston 352 is restricted above the specified position P2 (see FIG. 5C).

大気圧エア通路３７は、チャック本体３１に形成され、大気に開放されるエア通路である。本実施形態において、大気圧エア通路３７は、シリンダ３５１の下部が開口することにより形成される。大気圧エア通路３７は、シリンダ３５１の内部においてピストン３５２の筒状本体により圧力室Ｂｐと隔てられた部位である。本明細書において「大気圧」とは、装着ヘッド２０が配置された部品装着機１０の機内の空気圧をいう。   The atmospheric pressure air passage 37 is an air passage formed in the chuck body 31 and opened to the atmosphere. In the present embodiment, the atmospheric pressure air passage 37 is formed by opening a lower portion of the cylinder 351. The atmospheric pressure air passage 37 is a portion separated from the pressure chamber Bp by the cylindrical main body of the piston 352 inside the cylinder 351. In this specification, “atmospheric pressure” refers to the air pressure inside the component mounting machine 10 in which the mounting head 20 is disposed.

バルブ装置３８は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２まで移動した場合に、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７との間を遮断状態から連通状態に切り換える。本実施形態において、バルブ装置３８は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２に到達する直前から第二エア通路３４に大気圧エア通路３７を連通させ始める。そして、バルブ装置３８は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２まで移動した場合に、第二エア通路３４に大気圧エア通路３７を連通させる。   When the piston 352 moves to the prescribed position P2, the valve device 38 switches the state between the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 from the cutoff state to the communication state. In the present embodiment, the valve device 38 starts communicating the atmospheric pressure air passage 37 with the second air passage 34 immediately before the piston 352 reaches the specified position P2. Then, when the piston 352 moves to the prescribed position P2, the valve device 38 causes the second air passage 34 to communicate with the atmospheric pressure air passage 37.

そして、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７が連通した部位の断面積は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２に到達したときに最大となる。そして、ピストン３５２が規定位置Ｐ２から初期位置Ｐ１側へと所定量だけ戻るように移動すると、バルブ装置３８により第二エア通路３４と大気圧エア通路３７とが連通しない遮断状態とされる。   The cross-sectional area of the part where the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 communicate with each other becomes maximum when the piston 352 reaches the specified position P2. Then, when the piston 352 moves so as to return from the specified position P2 to the initial position P1 by a predetermined amount, the valve device 38 enters a cutoff state in which the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 are not communicated.

ここで、上記のように機能するバルブ装置３８は、ピストン３５２の移動に連動して第二エア通路３４と大気圧エア通路３７の連通状態と遮断状態とを切り換え可能であれば、種々の態様を採用し得る。本実施形態において、バルブ装置３８は、第二エア通路３４および空気圧装置３５により構成される。具体的には、第二エア通路３４は、図５Ａ−図５Ｃに示すように、シリンダ３５１の内周面における所定位置に開口するように形成される。   Here, the valve device 38 that functions as described above can be in various modes as long as it can switch between a communication state and a cutoff state between the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 in conjunction with the movement of the piston 352. Can be adopted. In the present embodiment, the valve device 38 includes the second air passage 34 and the pneumatic device 35. Specifically, the second air passage 34 is formed so as to open at a predetermined position on the inner peripheral surface of the cylinder 351 as shown in FIGS. 5A to 5C.

そして、第二エア通路３４は、図５Ｃに示すように、ピストン３５２が規定位置Ｐ２に到達したときに、ピストン３５２の筒状本体の下端が第二エア通路３４の最下部よりも上方に位置することにより、大気圧エア通路３７に連通される。つまり、ピストン３５２は、バルブ装置３８のスプールとして機能する。ピストン３５２は、初期位置Ｐ１（図５Ａを参照）、および部品９５をクランプして移動を規制された位置（図５Ｂを参照）では、第二エア通路３４の開口部をシールすることにより、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７を遮断する。   Then, as shown in FIG. 5C, when the piston 352 reaches the specified position P2, the lower end of the cylindrical body of the piston 352 is positioned above the lowermost part of the second air passage 34, as shown in FIG. 5C. By doing so, it is communicated with the atmospheric pressure air passage 37. That is, the piston 352 functions as a spool of the valve device 38. The piston 352 seals the opening of the second air passage 34 at the initial position P1 (see FIG. 5A) and at a position where the movement of the piston 95 is restricted by clamping the component 95 (see FIG. 5B). The two air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 are shut off.

なお、上記のように第二エア通路３４と大気圧エア通路３７が連通した部位の断面積、即ち大気圧エア通路３７に対する第二エア通路３４の開口面積は、所定の大きさに予め設定されている。これにより、バルブ装置３８は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２まで移動した場合に、負圧エア供給源２２から供給される負圧エアの空気圧（Ｖｎ１）より高く、且つ装着ヘッド２０がチャック３０を吸着して保持した状態を維持可能な空気圧（Ｖｎ２）まで負圧室Ｂｎが増圧するように第二エア通路３４に大気圧エア通路３７を連通させる（Ｖｎ１＜Ｖｎ２＜Ｖａ （Ｖａは大気圧））。   The cross-sectional area of the portion where the second air passage 34 communicates with the atmospheric pressure air passage 37 as described above, that is, the opening area of the second air passage 34 with respect to the atmospheric pressure air passage 37 is set to a predetermined size in advance. ing. Accordingly, when the piston 352 moves to the prescribed position P2, the valve device 38 is higher than the air pressure (Vn1) of the negative pressure air supplied from the negative pressure air supply source 22, and the mounting head 20 sucks the chuck 30. The atmospheric pressure air passage 37 is communicated with the second air passage 34 so that the negative pressure chamber Bn is increased to an air pressure (Vn2) that can maintain the held state (Vn1 <Vn2 <Va (Va is atmospheric pressure)). .

このように、バルブ装置３８は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２まで移動した場合に、装着ヘッド２０からチャック３０が脱落しない程度に負圧室Ｂｎを増圧する。結果として、負圧室Ｂｎを介して第二エア通路３４に連通した第二供給通路２４におけるエアの流通状態が変動する。また、チャック３０のクランプ状態またはクランプミス状態において、圧力室Ｂｐへの負圧エアの供給が遮断されると、ピストン３５２が圧縮ばね３５３の弾性力により初期位置Ｐ１まで戻る。   As described above, when the piston 352 moves to the prescribed position P2, the valve device 38 increases the pressure in the negative pressure chamber Bn to such an extent that the chuck 30 does not fall off from the mounting head 20. As a result, the state of air flow in the second supply passage 24 communicating with the second air passage 34 via the negative pressure chamber Bn fluctuates. Further, when the supply of the negative pressure air to the pressure chamber Bp is interrupted in the clamping state or the erroneous clamping state of the chuck 30, the piston 352 returns to the initial position P1 by the elastic force of the compression spring 353.

これにより、チャック３０は、再びアンクランプ状態となる。このとき、第二エア通路３４は、ピストン３５２の移動に伴って大気圧エア通路３７から遮断される。これにより、第二エア通路３４および負圧室Ｂｎは、負圧エア供給源２２から供給される負圧エアの空気圧（Ｖｎ１）まで再び減圧される。結果として、負圧室Ｂｎを介して第二エア通路３４に連通した第二供給通路２４におけるエアの流通状態が変動する。   Thereby, the chuck 30 is again in the unclamped state. At this time, the second air passage 34 is shut off from the atmospheric pressure air passage 37 as the piston 352 moves. Accordingly, the pressure in the second air passage 34 and the negative pressure chamber Bn is reduced again to the air pressure (Vn1) of the negative pressure air supplied from the negative pressure air supply source 22. As a result, the state of air flow in the second supply passage 24 communicating with the second air passage 34 via the negative pressure chamber Bn fluctuates.

１−４．エア供給回路Ｃｓ１，Ｃｓ２の構成
装着ヘッド２０およびチャック３０は、図３に示すように、第一エア供給回路Ｃｓ１および第二エア供給回路Ｃｓ２を構成する。第一エア供給回路Ｃｓ１は、チャック３０の開閉動作に用いられる負圧エアを流通させる供給系統である。第二エア供給回路Ｃｓ２は、装着ヘッド２０がチャック３０を保持するのに用いられる負圧エアを流通させる供給系統である。1-4. Configuration of Air Supply Circuits Cs1 and Cs2 The mounting head 20 and the chuck 30 constitute a first air supply circuit Cs1 and a second air supply circuit Cs2, as shown in FIG. The first air supply circuit Cs1 is a supply system that circulates negative pressure air used for opening and closing the chuck 30. The second air supply circuit Cs2 is a supply system that circulates negative-pressure air used for holding the chuck 30 by the mounting head 20.

第一エア供給回路Ｃｓ１は、図３に示すように、装着ヘッド２０における第一供給通路２３、第一負圧バルブ４１、およびチャック３０における第一エア通路３３により構成される。第一負圧バルブ４１は、負圧エア供給源２２と第一供給通路２３の連通状態と遮断状態とを切り換える。第一負圧バルブ４１は、本実施形態において、２位置のソレノイドバルブである。   As shown in FIG. 3, the first air supply circuit Cs1 includes a first supply passage 23 in the mounting head 20, a first negative pressure valve 41, and a first air passage 33 in the chuck 30. The first negative pressure valve 41 switches between a communication state and a cutoff state between the negative pressure air supply source 22 and the first supply passage 23. The first negative pressure valve 41 is a two-position solenoid valve in the present embodiment.

第一負圧バルブ４１は、ソレノイドが給電により励磁されると開状態となり、負圧エア供給源２２と第一供給通路２３を連通状態とする。第一供給通路２３が負圧エアを流通すると、チャック３０の空気圧装置３５に負圧エアが供給される。これにより、チャック３０の複数の爪片３２が閉状態へと移行する。装着ヘッド２０のヘッド制御部２５は、制御装置１６の制御指令に応じて第一負圧バルブ４１を動作させて、チャック３０を開閉させる。   The first negative pressure valve 41 is opened when the solenoid is energized by power supply, and establishes a communication state between the negative pressure air supply source 22 and the first supply passage 23. When the first supply passage 23 flows the negative pressure air, the negative pressure air is supplied to the pneumatic device 35 of the chuck 30. Thereby, the plurality of claw pieces 32 of the chuck 30 shift to the closed state. The head control unit 25 of the mounting head 20 operates the first negative pressure valve 41 in response to a control command from the control device 16 to open and close the chuck 30.

第二エア供給回路Ｃｓ２は、図３に示すように、装着ヘッド２０における第二供給通路２４、第二負圧バルブ５１、検出センサ５２、およびチャック３０における第二エア通路３４により構成される。第二負圧バルブ５１は、負圧エア供給源２２と第二供給通路２４の連通状態と遮断状態とを切り換える。第二負圧バルブ５１は、本実施形態において、２位置のソレノイドバルブである。   As shown in FIG. 3, the second air supply circuit Cs2 includes the second supply passage 24 in the mounting head 20, the second negative pressure valve 51, the detection sensor 52, and the second air passage 34 in the chuck 30. The second negative pressure valve 51 switches between a communication state and a cutoff state between the negative pressure air supply source 22 and the second supply passage 24. The second negative pressure valve 51 is a 2-position solenoid valve in the present embodiment.

第二負圧バルブ５１は、ソレノイドが給電により励磁されると開状態となり、負圧エア供給源２２と第二供給通路２４を連通状態とする。第二供給通路２４が負圧エアを流通すると、負圧室Ｂｎに負圧エアが供給される。これにより、装着ヘッド２０がチャック３０を吸着して保持した状態が維持される。装着ヘッド２０のヘッド制御部２５は、制御装置１６の制御指令に応じて第二負圧バルブ５１を動作させて、チャック３０を着脱する。   The second negative pressure valve 51 is opened when the solenoid is energized by power supply, and connects the negative pressure air supply source 22 and the second supply passage 24 to each other. When the negative pressure air flows through the second supply passage 24, the negative pressure air is supplied to the negative pressure chamber Bn. Thereby, the state where the mounting head 20 sucks and holds the chuck 30 is maintained. The head controller 25 of the mounting head 20 operates the second negative pressure valve 51 in accordance with a control command from the control device 16 to attach and detach the chuck 30.

検出センサ５２は、第二供給通路２４におけるエアの流通状態の変動を検出する。検出センサ５２としては、第二供給通路２４の空気圧をエアの流通状態として検出可能な圧力センサや、第二供給通路２４のエア流量をエアの流通状態として検出可能な流量センサを採用し得る。装着ヘッド２０のヘッド制御部２５は、検出センサ５２による検出結果に基づいて、第二供給通路２４が連結された負圧室Ｂｎが適切な空気圧となっているか否かを判定する。   The detection sensor 52 detects a change in the air flow state in the second supply passage 24. As the detection sensor 52, a pressure sensor capable of detecting the air pressure in the second supply passage 24 as an air flow state or a flow sensor capable of detecting the air flow rate of the second supply passage 24 as an air flow state may be employed. The head controller 25 of the mounting head 20 determines whether or not the negative pressure chamber Bn to which the second supply passage 24 is connected has an appropriate air pressure based on the detection result of the detection sensor 52.

より詳細には、ヘッド制御部２５は、負圧室Ｂｎに負圧エアを供給して装着ヘッド２０がチャック３０を吸着して保持した状態において、第二供給通路２４および負圧室Ｂｎが所定の空気圧（例えば、上記の空気圧Ｖｎ２）より低圧に維持されているか否かを監視する。このように、ヘッド制御部２５は、検出センサ５２による検出結果を用いて、装着ヘッド２０によるチャック３０の保持状態の良否を判定している。上記のように、本実施形態において、検出センサ５２は、主として上記のような保持状態の良否判定に用いられることを主の目的として第二エア供給回路Ｃｓ２に設けられている。   More specifically, the head supply unit 25 controls the second supply passage 24 and the negative pressure chamber Bn to be in a predetermined state while supplying the negative pressure air to the negative pressure chamber Bn so that the mounting head 20 sucks and holds the chuck 30. It is monitored whether the air pressure is maintained lower than the air pressure (for example, the above air pressure Vn2). As described above, the head control unit 25 determines whether the holding state of the chuck 30 by the mounting head 20 is good or not using the detection result of the detection sensor 52. As described above, in the present embodiment, the detection sensor 52 is provided in the second air supply circuit Cs2 mainly to be used for determining whether the holding state is good or not.

本実施形態において、第一エア供給回路Ｃｓ１および第二エア供給回路Ｃｓ２は、上記のように、負圧エア供給源２２が供給する負圧エアをそれぞれ流通させ、例えば図略のチェックバルブやアキュムレータにより互いに異なるエアの供給系統を構成する。ここで、「互いに異なるエアの供給系統」とは、一方の供給系統におけるエアの流通状態の変動が他方の供給系統におけるエアの流通状態に与える影響が十分に小さいことをいう。   In the present embodiment, the first air supply circuit Cs1 and the second air supply circuit Cs2 allow the negative pressure air supplied from the negative pressure air supply source 22 to flow as described above, for example, a check valve and an accumulator (not shown). , Thereby configuring different air supply systems. Here, the “different air supply systems” means that the influence of the change in the air flow state in one supply system on the air flow state in the other supply system is sufficiently small.

換言すると、エアの供給系統が異なる場合には、一方の供給系統が仮に大気圧となった際に、他方の供給系統で必要とされる空気圧が維持される。このように、装着ヘッド２０およびチャック３０は、一方の供給系統におけるエアの流通状態の変動によっては、他方の供給系統における機能（チャック３０の開閉、装着ヘッド２０によるチャック３０の保持）が失われないように構成される。   In other words, when the air supply systems are different, when one of the supply systems reaches atmospheric pressure, the air pressure required by the other supply system is maintained. In this manner, the mounting head 20 and the chuck 30 lose their functions (opening / closing of the chuck 30 and holding of the chuck 30 by the mounting head 20) in the other supply system depending on the fluctuation of the air flow state in one supply system. Not to be configured.

さらに、上記のエア供給回路Ｃｓ１，Ｃｓ２は、チャック３０のクランプミスを検出可能に構成される。具体的には、チャック３０がクランプミス状態となると、複数の爪片３２を閉じるように、ピストン３５２は、規定位置Ｐ２まで移動する（図５Ｃを参照）。これにより、チャック３０のバルブ装置３８が第二エア通路３４に大気圧エア通路３７を連通させる。そうすると、第二エア通路３４および負圧室Ｂｎの空気圧が増圧する。   Further, the air supply circuits Cs1 and Cs2 are configured to be able to detect a clamping error of the chuck 30. Specifically, when the chuck 30 is in the clamping error state, the piston 352 moves to the specified position P2 so as to close the plurality of claw pieces 32 (see FIG. 5C). As a result, the valve device 38 of the chuck 30 allows the atmospheric pressure air passage 37 to communicate with the second air passage 34. Then, the air pressure in the second air passage 34 and the negative pressure chamber Bn increases.

検出センサ５２は、上記のようにバルブ装置３８の切り換えに伴って変動する第二供給通路２４におけるエアの流通状態の変動を検出する。ここで、ヘッド制御部２５の判定部２５１は、検出センサ５２による検出結果（エアの流通状態）に基づき第二エア通路３４に大気圧エア通路３７が連通したことを検出した場合に、チャック３０が部品をクランプしていないクランプミス状態にあると判定する。   The detection sensor 52 detects a change in the air flow state in the second supply passage 24 that changes with the switching of the valve device 38 as described above. Here, when the determination unit 251 of the head control unit 25 detects that the atmospheric pressure air passage 37 communicates with the second air passage 34 based on the detection result (air circulation state) of the detection sensor 52, the chuck 30 Is determined to be in a clamping error state where the component is not clamped.

本実施形態において、判定部２５１は、バルブ装置３８の切り換えに伴って変動する第二供給通路２４におけるエアの流通状態の変動量Ａｃが予め設定された閾値Ｔｈを超えた場合に（Ａｃ＞Ｔｈ）、チャック３０が部品をクランプしていないと判定する。なお、クランプミスの原因は、例えば部品供給装置１２により部品が適正に供給されていなかったり、チャック３０が適正に動作しなかったりすることが想定される。   In the present embodiment, the determination unit 251 determines that when the fluctuation amount Ac of the air circulation state in the second supply passage 24 that fluctuates with the switching of the valve device 38 exceeds a preset threshold Th (Ac> Th> ), It is determined that the chuck 30 is not clamping the component. It is assumed that the cause of the clamping error is, for example, that the component is not properly supplied by the component supply device 12 or that the chuck 30 does not operate properly.

また、クランプミスには、部品を正常にクランプしてから基板９０上の装着位置までの搬送中に落下させた状態が含まれる。そのため、ヘッド制御部２５は、装着処理の実行中において、チャック３０が部品のクランプを試行してから、部品を基板９０上の装着位置に装着を試行するまでの期間、判定部２５１の判定結果に基づいてクランプミスが発生していないか監視する。   In addition, the clamping error includes a state in which the component is properly clamped and dropped during transportation to the mounting position on the substrate 90. Therefore, during the execution of the mounting process, the head control unit 25 determines the determination result of the determination unit 251 during a period from when the chuck 30 attempts to clamp the component to when the component is attempted to be mounted at the mounting position on the substrate 90. It is monitored whether a clamping error has occurred based on the data.

１−５．部品装着機１０による装着処理
部品装着機１０による装着処理について、図６および図７を参照して説明する。制御装置１６は、装着処理において、図６に示すように、チャック３０により部品の採取を試行する（ステップ１１（以下、「ステップ」を「Ｓ」と表記する））。より詳細には、制御装置１６は、部品供給装置１２において所定種類の部品を供給するフィーダ１２１の上方まで装着ヘッド２０を移動させる。そして、制御装置１６は、チャック３０を下降させて部品をクランプした後に、再びチャック３０を上昇させる。1-5. Mounting Process by Component Mounting Machine 10 The mounting process by the component mounting machine 10 will be described with reference to FIGS. In the mounting process, the control device 16 attempts to pick up a component by the chuck 30 as shown in FIG. 6 (step 11 (hereinafter, “step” is described as “S”)). More specifically, the control device 16 moves the mounting head 20 to a position above the feeder 121 that supplies a predetermined type of component in the component supply device 12. Then, the controller 16 lowers the chuck 30 to clamp the component, and then raises the chuck 30 again.

次に、制御装置１６は、チャック３０に保持された部品の保持状態を認識する状態認識処理を実行する（Ｓ１２）。より詳細には、制御装置１６は、装着ヘッド２０を部品カメラ１４の上方に移動させ、部品カメラ１４に撮像指令を送出する。制御装置１６は、部品カメラ１４の撮像により取得された画像データを画像処理して、チャック３０にクランプされた部品の姿勢（位置および角度）を認識する。   Next, the control device 16 executes a state recognition process for recognizing a holding state of the component held by the chuck 30 (S12). More specifically, the control device 16 moves the mounting head 20 above the component camera 14 and sends an imaging command to the component camera 14. The control device 16 performs image processing on the image data acquired by the imaging of the component camera 14 to recognize the posture (position and angle) of the component clamped on the chuck 30.

続いて、制御装置１６は、チャック３０により部品の装着を試行する（Ｓ１３）。より詳細には、制御装置１６は、基板９０における所定の装着位置の上方まで装着ヘッド２０を移動させるとともに、チャック３０を位置決めする。このとき、制御装置１６は、状態認識処理（Ｓ１２）の結果に基づいて、チャック３０の位置および角度を補正する。そして、制御装置１６は、チャック３０を下降させて部品を装着した後に、再びチャック３０を上昇させる。   Subsequently, the control device 16 attempts to mount the component using the chuck 30 (S13). More specifically, the control device 16 moves the mounting head 20 to a position above a predetermined mounting position on the substrate 90 and positions the chuck 30. At this time, the control device 16 corrects the position and the angle of the chuck 30 based on the result of the state recognition processing (S12). Then, the control device 16 lowers the chuck 30 and mounts the component, and then raises the chuck 30 again.

そして、制御装置１６は、現在の基板９０に対して装着する全ての部品の装着が終了したか否かを判定し（Ｓ１４）、装着が終了するまでピックアンドプレースサイクル（以下、「ＰＰサイクル」と称する）が繰り返される。制御装置１６は、全ての部品の装着が終了した場合に（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、現在の基板９０に対する装着処理を終了する。その後に、基板搬送装置１１は、現在の基板９０を機外に搬出するとともに、次の基板９０を機内に搬入する。そして、制御装置１６は、上記のＰＰサイクルを繰り返すように装着処理を再び実行する。   Then, the control device 16 determines whether or not the mounting of all components to be mounted on the current board 90 has been completed (S14), and a pick-and-place cycle (hereinafter, referred to as a “PP cycle”) until the mounting is completed. Will be repeated). When all components have been mounted (S14: Yes), the control device 16 ends the current mounting process on the board 90. Thereafter, the substrate transfer device 11 unloads the current substrate 90 out of the device and loads the next substrate 90 into the device. Then, the control device 16 executes the mounting process again so as to repeat the above-described PP cycle.

ここで、装着ヘッド２０におけるヘッド制御部２５は、装着処理の実行中において、部品の保持検査を行う。より具体的には、部品の保持検査は、例えば第一負圧バルブ４１を開状態としてチャック３０の空気圧装置３５に負圧エアが供給されている期間、即ち部品の採取を試行してから部品の装着を試行するまで（Ｓ１１−Ｓ１３）の期間に継続して実行される。ヘッド制御部２５は、図７に示すように、先ず検出センサ５２による検出結果を取得する（Ｓ２１）。   Here, the head control unit 25 of the mounting head 20 performs a component holding inspection during the execution of the mounting process. More specifically, the component holding inspection is performed, for example, while the first negative pressure valve 41 is in an open state and negative pressure air is supplied to the pneumatic device 35 of the chuck 30, that is, after the component is sampled, Is executed continuously during the period (S11-S13) until the user attempts to mount the. As shown in FIG. 7, the head control unit 25 first obtains a detection result by the detection sensor 52 (S21).

次に、判定部２５１は、検出センサ５２による検出結果に基づいて、第二供給通路２４におけるエアの流通状態の変動量Ａｃが予め設定された閾値Ｔｈを比較する（Ｓ２２）。上記の流通状態の変動量Ａｃは、例えば部品の保持検査の実行前の検出値と現在の検出値との差分により算出される。判定部２５１は、変動量Ａｃが閾値Ｔｈ未満の場合には（Ｓ２２：Ｎｏ）、クランプミスが発生していないと判定する。   Next, the determination unit 251 compares the fluctuation amount Ac of the air circulation state in the second supply passage 24 with a preset threshold Th based on the detection result by the detection sensor 52 (S22). The fluctuation amount Ac of the distribution state is calculated by, for example, a difference between a detection value before execution of the component holding inspection and a current detection value. When the fluctuation amount Ac is less than the threshold Th (S22: No), the determination unit 251 determines that no clamping error has occurred.

一方で、判定部２５１は、変動量Ａｃが閾値Ｔｈ以上の場合には（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、クランプミスが発生したものと判定する。そして、ヘッド制御部２５は、チャック３０がクランプミス状態にあることを制御装置１６に通知する（Ｓ２３）。制御装置１６は、クランプミスが部品の採取（Ｓ１１）の実行中に発生した場合には（Ｓ２４：Ｙｅｓ）、部品の採取が正常でないとして、部品の採取を再度試行するリトライ処理を実行する（Ｓ２５）。   On the other hand, when the fluctuation amount Ac is equal to or larger than the threshold Th (S22: Yes), the determination unit 251 determines that a clamping error has occurred. Then, the head control unit 25 notifies the control device 16 that the chuck 30 is in the clamping error state (S23). If the clamping error occurs during the execution of the component collection (S11) (S24: Yes), the control device 16 determines that the component collection is not normal and executes a retry process to retry the component collection (S24). S25).

なお、制御装置１６は、リトライ処理において、クランプミスの原因を回避するように各装置を制御してもよい。例えば、制御装置１６は、対象の部品がフィーダ１２１により供給されている場合には、フィーダ１２１に対してキャリアテープを送り移動させて、部品が確実に供給された状態としてもよい。また、制御装置１６は、対象の部品がトレイにより供給されている場合には、先の部品の採取（Ｓ１１）を試行したトレイの収納部とは異なる収納部の部品を採取するように指定する。   Note that the control device 16 may control each device in the retry process so as to avoid the cause of the clamping error. For example, when the target component is being supplied by the feeder 121, the control device 16 may feed the carrier tape to the feeder 121 and move the carrier tape so that the component is reliably supplied. Further, when the target component is supplied by the tray, the control device 16 specifies that the component of the storage unit different from the storage unit of the tray in which the previous component collection (S11) is tried is collected. .

続いて、制御装置１６は、クランプミスが部品の採取（Ｓ１１）の実行後に発生した場合には（Ｓ２４：Ｎｏ）、部品の採取（Ｓ１１）が正常に終了した後に、クランプした部品を落下させたものとして、エラー処理を実行する（Ｓ２６）。上記のエラー処理としては、例えばクランプミスが発生したタイミングや部品種を含むエラー情報とともに、作業者にメンテナンスが必要であることを報知する。   Subsequently, if a clamping error occurs after the execution of the component collection (S11) (S24: No), the control device 16 drops the clamped component after the component collection (S11) ends normally. Then, error processing is executed (S26). As the above error processing, for example, the operator is notified that maintenance is necessary, together with error information including the timing at which a clamping error has occurred and the type of component.

１−６．閾値Ｔｈの校正処理
本実施形態において、制御装置１６は、ヘッド制御部２５の判定部２５１がクランプミスの発生の有無に用いる閾値Ｔｈの校正処理を実行する。詳細には、制御装置１６は、図８に示すように、先ず初期状態における検出センサ５２による検出値Ｄ１を取得する（Ｓ３１）。なお、上記の「初期状態」とは、装着ヘッド２０がチャック３０を吸着により保持し、且つ空気圧装置３５に負圧エアが供給されておらずチャック３０が開状態（アンクランプ状態）にある状態をいう（図５Ａを参照）。1-6. Calibration Process of Threshold Th In the present embodiment, the control device 16 executes a calibration process of the threshold Th used by the determination unit 251 of the head control unit 25 to determine whether a clamping error has occurred. More specifically, as shown in FIG. 8, the control device 16 first obtains the detection value D1 of the detection sensor 52 in the initial state (S31). The above-mentioned “initial state” means a state in which the mounting head 20 holds the chuck 30 by suction, the negative pressure air is not supplied to the pneumatic device 35, and the chuck 30 is in an open state (unclamped state). (See FIG. 5A).

初期状態では、空気圧装置３５のピストン３５２が初期位置Ｐ１に位置し、ピストン３５２が第二エア通路３４の開口部をシールする。これにより、バルブ装置３８は、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７とを遮断状態としている。次に、制御装置１６は、第一負圧バルブ４１を開状態として第一供給通路２３および第一エア通路３３を介して空気圧装置３５に負圧エアを供給する（Ｓ３２）。   In the initial state, the piston 352 of the pneumatic device 35 is located at the initial position P1, and the piston 352 seals the opening of the second air passage 34. As a result, the valve device 38 keeps the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 shut off. Next, the control device 16 supplies the negative pressure air to the pneumatic device 35 via the first supply passage 23 and the first air passage 33 with the first negative pressure valve 41 opened (S32).

このとき、チャック３０の複数の爪片３２の間には部品などがない状態とされ、チャック３０は、最も閉じた状態まで移行する。これにより、ピストン３５２は、シリンダ３５１の上壁に接触した規定位置Ｐ２まで移動して停止する（図５Ｃを参照）。つまり、バルブ装置３８は、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７を連通状態とする。そうすると、第二エア通路３４、負圧室Ｂｎ、および第二供給通路２４の順にエアが流入し、結果として第二エア通路３４の空気圧が増圧する。   At this time, there is no part or the like between the plurality of claw pieces 32 of the chuck 30, and the chuck 30 shifts to the most closed state. Thereby, the piston 352 moves to the specified position P2 in contact with the upper wall of the cylinder 351 and stops (see FIG. 5C). That is, the valve device 38 brings the second air passage 34 into communication with the atmospheric pressure air passage 37. Then, air flows in the order of the second air passage 34, the negative pressure chamber Bn, and the second supply passage 24, and as a result, the air pressure in the second air passage 34 increases.

制御装置１６は、ピストン３５２が規定位置Ｐ２で停止した疑似的なクランプミス状態における検出センサ５２による検出値Ｄ２を取得する（Ｓ３３）。そして、制御装置１６は、閾値Ｔｈを、初期状態における検出値Ｄ１よりも大きく、且つ疑似的なクランプミス状態における検出センサ５２による検出値Ｄ２よりも小さくなるように設定する（Ｄ１＜Ｔｈ＜Ｄ２）（Ｓ３４）。このように、制御装置１６は、バルブ装置３８の切り換えの前後におけるエアの流通状態に基づいて閾値Ｔｈを校正する。   The control device 16 acquires the detection value D2 by the detection sensor 52 in a pseudo clamping error state in which the piston 352 stops at the specified position P2 (S33). Then, the control device 16 sets the threshold value Th so as to be larger than the detection value D1 in the initial state and smaller than the detection value D2 by the detection sensor 52 in the pseudo clamping error state (D1 <Th <D2). ) (S34). As described above, the control device 16 calibrates the threshold value Th based on the air flow state before and after the switching of the valve device 38.

１−７．実施形態の構成による効果
上記のような構成からなる装着ヘッド２０によると、チャック３０の動作に用いられる供給系統（第一エア供給回路Ｃｓ１）とは異なる供給系統（第二エア供給回路Ｃｓ２）におけるエアの流通状態に基づいて、チャック３０が部品を保持しているか否かの保持検査を行うことができる。これにより、ピストン３５２の移動に連動するバルブ装置３８の動作が安定し、保持検査をより正確に行うことができる。1-7. Effects of the Configuration of the Embodiment According to the mounting head 20 configured as described above, in the supply system (second air supply circuit Cs2) different from the supply system (first air supply circuit Cs1) used for the operation of the chuck 30. A holding test can be performed to determine whether or not the chuck 30 holds a component based on the air flow state. Accordingly, the operation of the valve device 38 linked with the movement of the piston 352 is stabilized, and the holding test can be performed more accurately.

さらに、第二エア通路３４と大気エア通路の連通状態と遮断状態の切り換えは、第二供給通路２４の流通状態を即時に変動させる。これにより、チャック３０が部品をクランプしているか否かを迅速に判定することが可能となる。結果として、保持検査をより正確に且つ迅速に行うことができる。   Further, switching between the communication state and the cutoff state between the second air passage 34 and the atmospheric air passage causes the flow state of the second supply passage 24 to be changed immediately. This makes it possible to quickly determine whether or not the chuck 30 is clamping a component. As a result, the retention test can be performed more accurately and quickly.

また、本実施形態において、第二エア供給回路Ｃｓ２は、装着ヘッド２０がチャック３０を吸着して保持するのに用いる負圧エアを流通させる。このような装着ヘッド２０においては、チャック３０を確実に保持するために、第二供給通路２４におけるエアの流通状態が検出センサ５２を用いて管理されている。そのため、判定部２５１は、検出センサ５２による検出結果を流用できるので、設備コストを増大することなく保持検査を行うことが可能となる。   In the present embodiment, the second air supply circuit Cs2 circulates negative pressure air used for the mounting head 20 to suck and hold the chuck 30. In such a mounting head 20, the state of air flow in the second supply passage 24 is managed using the detection sensor 52 in order to securely hold the chuck 30. For this reason, the determination unit 251 can divert the detection result of the detection sensor 52, so that the holding inspection can be performed without increasing the equipment cost.

上記のような構成からなる部品装着機１０によると、装着処理の実行中にクランプミスが発生したことを検出できる。これにより、例えば部品カメラ１４の撮像により取得された画像データを用いてクランプが成功しているか失敗しているかを判断していた構成と比較して、より早いタイミング（例えば、部位の採取（Ｓ１１））でクランプミスを検出できる。   According to the component mounting machine 10 configured as described above, it is possible to detect that a clamping error has occurred during the execution of the mounting process. Thereby, for example, as compared with a configuration in which it is determined whether clamping has succeeded or failed using the image data acquired by the imaging of the component camera 14, earlier timing (for example, collection of a part (S11 )) Can detect a clamping mistake.

また、部品をクランプした後に、装着するまでの間（Ｓ１１−Ｓ１３）に何らかの要因により部品を落下させてしまった場合、特に部品カメラ１４の撮像（Ｓ１２）よりも後で部品を落下させてしまった場合に、クランプミスを検出できる。これにより、無駄な装着動作を省略でき、またエラー処理（Ｓ２６）などに迅速に移行することができる。結果として、装着処理の精度を向上できるとともに、全体の所要時間を短縮できる。   If the component is dropped for some reason after the component is clamped and before it is mounted (S11-S13), the component is dropped particularly after the imaging by the component camera 14 (S12). In this case, a clamping error can be detected. As a result, useless mounting operation can be omitted, and the process can quickly shift to error processing (S26). As a result, the accuracy of the mounting process can be improved, and the overall required time can be reduced.

一方で、制御装置１６は、供給された部品をクランプする際（部品の採取（Ｓ１１））に判定部２５１によりチャック３０が部品をクランプしていないと判定した場合に（Ｓ２４：Ｙｅｓ）、部品のクランプを再度試行するリトライ処理（Ｓ２５）を実行する。これにより、部品カメラ１４の撮像（Ｓ１２）の後にリトライ処理を実行する構成と比較して、リトライ処理の開始を早めることができる。これにより、無駄な撮像処理を省略できるとともに、装着処理の所要時間を短縮できる。   On the other hand, when the controller 16 determines that the chuck 30 has not clamped the component (S24: Yes) when the determining unit 251 determines that the supplied component is to be clamped (component sampling (S11)) (S24: Yes). A retry process (S25) for retrying the clamping is performed. Thus, the start of the retry processing can be earlier than in the configuration in which the retry processing is executed after the imaging by the component camera 14 (S12). Thus, unnecessary imaging processing can be omitted, and the time required for the mounting processing can be reduced.

さらに、実施形態において、制御装置１６は、バルブ装置３８の切り換えの前後におけるエアの流通状態に基づいて閾値Ｔｈを校正する（Ｓ３４）ものとした。また、上記のように第一供給通路２３と第二供給通路２４とは供給系統が異なる。これにより、バルブ装置３８の切り換えにより一方の流通状態の変動が他方の流通状態に影響することが抑制される。そのため、バルブ装置３８の切り換えの前後における第二供給通路２４における流通状態に基づいて、適切な閾値Ｔｈを設定することができる（Ｓ３４）。   Further, in the embodiment, the control device 16 calibrates the threshold value Th based on the air flow state before and after the switching of the valve device 38 (S34). Further, as described above, the first supply passage 23 and the second supply passage 24 have different supply systems. This suppresses a change in one of the flow states due to the switching of the valve device 38 from affecting the other flow state. Therefore, an appropriate threshold Th can be set based on the flow state in the second supply passage 24 before and after the switching of the valve device 38 (S34).

２．実施形態の変形態様
２−１．第二供給通路２４および第二エア通路３４について
実施形態において、第二供給通路２４および第二エア通路３４は、装着ヘッド２０がチャック３０を吸着して保持するのに用いられる負圧エアを流通させる供給系統を構成する。これに対して、第二供給通路２４および第二エア通路３４は、装着ヘッド２０にチャック３０が保持されることにより連通し、第一供給通路２３とは異なる供給系統を構成するのであれば、種々の態様を採用し得る。2. Modification of Embodiment 2-1. Regarding the second supply passage 24 and the second air passage 34 In the embodiment, the second supply passage 24 and the second air passage 34 circulate the negative pressure air used for the mounting head 20 to suck and hold the chuck 30. Configure the supply system to be used. On the other hand, if the second supply passage 24 and the second air passage 34 communicate with each other by the chuck 30 being held by the mounting head 20 and form a supply system different from the first supply passage 23, Various aspects may be employed.

例えば、第二エア供給回路Ｃｓ２は、装着ヘッド２０によるチャック３０の保持とは異なる他の用途に用いられるエアを流通させてもよい。また、第二エア供給回路Ｃｓ２は、クランプミス状態の検出（部品の保持検査）に専用のエアを流通させてもよい。また、第二エア供給回路Ｃｓ２を流通するエアは、正圧エアでもよいし負圧エアでもよい。   For example, the second air supply circuit Cs2 may flow air used for another purpose different from the holding of the chuck 30 by the mounting head 20. Further, the second air supply circuit Cs2 may circulate air dedicated to detection of a clamping error state (part holding inspection). Further, the air flowing through the second air supply circuit Cs2 may be positive pressure air or negative pressure air.

上記のように、第二エア供給回路Ｃｓ２がチャック３０の保持に用いられる負圧エア以外のエアを流通させる構成において、バルブ装置３８は、チャック３０にクランプミスが発生していない正常時において予め第二エア通路３４を大気圧エア通路３７に連通させる構成としてもよい。そして、例えばチャック３０にクランプミスが発生した場合に、バルブ装置３８は、第二エア通路３４と大気圧エア通路３７を遮断状態とする。   As described above, in the configuration in which the second air supply circuit Cs2 circulates air other than the negative pressure air used for holding the chuck 30, the valve device 38 operates in advance when the chuck 30 is normal in which no clamping error occurs. The second air passage 34 may be configured to communicate with the atmospheric pressure air passage 37. Then, for example, when a clamping error occurs in the chuck 30, the valve device 38 shuts off the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37.

このような構成によると、チャック３０の正常時には、第二供給通路２４は、流通する正圧エアまたは負圧エアの空気圧が大気圧側に減圧または増圧した状態にある。そして、チャック３０にクランプミスが発生すると、第二供給通路２４は、流通する正圧エアまたは負圧エアの空気圧まで増圧または減圧する。このように、上記のような構成によっても、バルブ装置３８の切り換えによって第二供給通路２４におけるエアの流通状態が変動する。これにより、判定部２５１は、実施形態と同様に、チャック３０が部品をクランプしているか否かを判定することが可能である。   According to such a configuration, when the chuck 30 is normal, the second supply passage 24 is in a state where the air pressure of the flowing positive pressure air or negative pressure air is reduced or increased to the atmospheric pressure side. Then, when a clamping error occurs in the chuck 30, the pressure in the second supply passage 24 is increased or reduced to the air pressure of the flowing positive pressure air or negative pressure air. As described above, even with the above-described configuration, the air flow state in the second supply passage 24 is changed by switching the valve device 38. Thus, the determination unit 251 can determine whether the chuck 30 is clamping the component, as in the embodiment.

実施形態において、バルブ装置３８は、空気圧装置３５のピストン３５２がスプールとして機能して構成されるものとした。これに対して、バルブ装置３８は、ピストン３５２の移動に連動して第二エア通路３４と大気圧エア通路３７の連通状態と遮断状態を切り換え可能であれば、種々の態様を採用し得る。例えば、バルブ装置３８は、ピストン３５２の位置に応じて給電状態を切り換えられるソレノイドバルブでもよい。その他に、バルブ装置３８は、例えばピストン３５２に連結されたアームやリンク機構を介してスプールを移動されるメカバルブであってもよい。   In the embodiment, the valve device 38 is configured such that the piston 352 of the pneumatic device 35 functions as a spool. On the other hand, as long as the valve device 38 can switch the communication state and the cutoff state between the second air passage 34 and the atmospheric pressure air passage 37 in conjunction with the movement of the piston 352, various modes can be adopted. For example, the valve device 38 may be a solenoid valve that can switch the power supply state according to the position of the piston 352. Alternatively, the valve device 38 may be, for example, a mechanical valve whose spool is moved via an arm or a link mechanism connected to the piston 352.

また、実施形態において、チャック３０は、負圧エアを供給されて開状態（アンクランプ状態）から閉状態（クランプ状態）となるものとした。これに対して、チャック３０は、正圧エアを供給されてクランプ状態となるタイプを採用してもよい。このようなタイプのチャック３０を対象とする第一エア供給回路Ｃｓ１は、図示しない正圧エア供給源により供給される正圧エアをチャック３０へと流通させる。このような構成においても、実施形態と同様の効果を奏する。   Further, in the embodiment, the chuck 30 is supplied with the negative pressure air to change from the open state (unclamped state) to the closed state (clamped state). On the other hand, the chuck 30 may be of a type that is supplied with positive pressure air and enters a clamped state. The first air supply circuit Cs1 intended for such a type of chuck 30 circulates positive pressure air supplied from a positive pressure air supply source (not shown) to the chuck 30. Even in such a configuration, the same effect as that of the embodiment can be obtained.

１：部品装着機、 １６：制御装置、 ２０：装着ヘッド、 ２１：ヘッド本体、 ２２：負圧エア供給源、 ２３：第一供給通路、 ２４：第二供給通路、 ２５：ヘッド制御部、 ２５１：判定部、 ２６：凹部、 ３０：チャック、 ３１：チャック本体、 ３２：（複数の）爪片、 ３３：第一エア通路、 ３４：第二エア通路、 ３５：空気圧装置、 ３５２：ピストン、 ３６：開閉機構、 ３７：大気圧エア通路、 ３８：バルブ装置、 Ｃｓ１：第一エア供給回路（供給系統）、 Ｃｓ２：第二エア供給回路（供給系統）、 ５２：検出センサ、 ９０：基板、 Ｂｎ：負圧室、 Ｖｎ１，Ｖｎ２：負圧、 Ｖａ：大気圧、 Ｐ１：初期位置、 Ｐ２：規定位置   1: Component mounting machine, 16: Control device, 20: Mounting head, 21: Head main body, 22: Negative pressure air supply source, 23: First supply passage, 24: Second supply passage, 25: Head control unit, 251 : Judgment unit, 26: recess, 30: chuck, 31: chuck body, 32: claw pieces, 33: first air passage, 34: second air passage, 35: pneumatic device, 352: piston, 36 : Open / close mechanism, 37: atmospheric pressure air passage, 38: valve device, Cs1: first air supply circuit (supply system), Cs2: second air supply circuit (supply system), 52: detection sensor, 90: substrate, Bn : Negative pressure chamber, Vn1, Vn2: negative pressure, Va: atmospheric pressure, P1: initial position, P2: specified position

Claims (7)

正圧または負圧のエアを供給されて部品をクランプするチャックを着脱可能に保持する装着ヘッドであって、
前記チャックは、
前記部品をクランプする複数の爪片と、
互いに独立してエアを流通させる第一エア通路および第二エア通路と、
前記第一エア通路を介して供給されるエアにより移動するピストンと、
前記ピストンの位置に応じて複数の前記爪片を開閉させる開閉機構と、
大気に開放される大気圧エア通路と、
前記ピストンが規定位置まで移動した場合に、前記第二エア通路と大気圧エア通路の連通状態と遮断状態とを切り換えるバルブ装置と、を有し、
前記装着ヘッドは、
前記チャックが前記装着ヘッドに保持されることにより前記第一エア通路に連通し、前記ピストンを移動させるエアを流通させる第一供給通路と、
前記チャックが前記装着ヘッドに保持されることにより前記第二エア通路に連通し、前記第一供給通路とは異なるエアの供給系統を構成し、前記供給系統が供給する正圧または負圧のエアを流通させる第二供給通路と、
前記バルブ装置の切り換えに伴って変動する前記第二供給通路におけるエアの流通状態に基づいて、前記チャックが前記部品をクランプしているか否かを判定する判定部と、
を備える装着ヘッド。A mounting head that detachably holds a chuck that is supplied with air of positive pressure or negative pressure and clamps a component,
The chuck is
A plurality of claw pieces for clamping the component,
A first air passage and a second air passage that allow air to flow independently of each other,
A piston that is moved by air supplied through the first air passage;
An opening and closing mechanism for opening and closing the plurality of claw pieces according to the position of the piston,
An atmospheric pressure air passage open to the atmosphere,
When the piston has moved to a predetermined position, a valve device that switches between a communication state and a blocking state of the second air passage and the atmospheric pressure air passage,
The mounting head,
A first supply passage that communicates with the first air passage by the chuck being held by the mounting head and that circulates air that moves the piston;
The chuck is held by the mounting head and communicates with the second air passage to form a supply system for air different from the first supply passage. Positive or negative pressure air supplied by the supply system is provided. A second supply passage through which
A determining unit that determines whether the chuck is clamping the component based on a flow state of air in the second supply passage that fluctuates with switching of the valve device;
A mounting head comprising: 前記バルブ装置は、前記ピストンが前記規定位置まで移動した場合に、前記第二エア通路に前記大気圧エア通路を連通させ、
前記判定部は、前記第二供給通路におけるエアの流通状態に基づき前記第二エア通路に前記大気圧エア通路が連通したことを検出した場合に、前記チャックが前記部品をクランプしていないと判定する、請求項１に記載の装着ヘッド。The valve device, when the piston has moved to the specified position, communicate the atmospheric pressure air passage to the second air passage,
The determination unit determines that the chuck is not clamping the component when detecting that the atmospheric pressure air passage communicates with the second air passage based on a flow state of air in the second supply passage. The mounting head according to claim 1, wherein 前記第二供給通路は、負圧エア供給源から供給される負圧エアを流通し、
前記装着ヘッドは、前記チャックとの境界部に形成された負圧室に前記第二供給通路を介して負圧エアを供給することにより、前記チャックを吸着して保持し、
前記バルブ装置は、前記ピストンが前記規定位置まで移動した場合に、前記負圧エア供給源から供給される負圧エアの空気圧より高く、且つ前記装着ヘッドが前記チャックを吸着して保持した状態を維持可能な空気圧まで前記負圧室が増圧するように前記第二エア通路に前記大気圧エア通路を連通させる、請求項２に記載の装着ヘッド。The second supply passage circulates negative pressure air supplied from a negative pressure air supply source,
The mounting head sucks and holds the chuck by supplying negative pressure air to the negative pressure chamber formed at the boundary with the chuck through the second supply passage.
When the piston moves to the predetermined position, the valve device is higher than the air pressure of the negative pressure air supplied from the negative pressure air supply source, and the state in which the mounting head sucks and holds the chuck. The mounting head according to claim 2, wherein the atmospheric pressure air passage communicates with the second air passage so that the pressure in the negative pressure chamber is increased to an air pressure that can be maintained. 前記装着ヘッドは、前記バルブ装置の切り換えに伴って変動する前記第二供給通路の空気圧またはエア流量をエアの前記流通状態として検出可能な検出センサをさらに備える、請求項１−３の何れか一項に記載の装着ヘッド。   The said mounting head is further provided with the detection sensor which can detect the air pressure or the air flow rate of the said 2nd supply passage which fluctuates with the switching of the said valve apparatus as the said air distribution state. The mounting head according to the paragraph. 請求項１−４の何れか一項に記載の前記装着ヘッドと、
前記装着ヘッドに保持された前記チャックによりクランプされた前記部品を基板に装着する装着処理を実行する制御装置と、
を備える部品装着機。The mounting head according to any one of claims 1-4,
A control device that performs a mounting process of mounting the component clamped by the chuck held by the mounting head on a substrate;
Component mounting machine. 前記制御装置は、供給された前記部品をクランプする際に前記判定部により前記チャックが前記部品をクランプしていないと判定した場合に、前記部品のクランプを再度試行するリトライ処理を実行する、請求項５に記載の部品装着機。   The control device, when clamping the supplied component, when the determination unit determines that the chuck is not clamping the component, executes a retry process to retry clamping of the component. Item 5. A component mounting machine according to Item 5. 前記判定部は、前記バルブ装置の切り換えに伴って変動する前記第二供給通路におけるエアの前記流通状態の変動量が予め設定された閾値を超えた場合に、前記チャックが前記部品をクランプしていないと判定し、
前記制御装置は、前記バルブ装置の切り換えの前後におけるエアの前記流通状態に基づいて前記閾値を校正する、請求項５または６に記載の部品装着機。The determination unit is configured such that, when the amount of change in the flow state of the air in the second supply passage, which fluctuates with switching of the valve device, exceeds a preset threshold, the chuck clamps the component. Judge that there is no
The component mounting machine according to claim 5, wherein the control device calibrates the threshold based on the air flow state before and after the switching of the valve device.
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