JPWO2018088441A1 - 窒化物半導体基板とその製造方法 - Google Patents

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Abstract

窒化物半導体基板（１）は、サファイア基板（２）と、その上に形成され、Ａｌを含むIII 族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層（３）とを備える。サファイア基板の窒化物半導体層が形成されている側の面（２１）は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部（２１１）を１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で有する。凹部（２１１）と凹部の直上の面（３１１）とで形成される空間（４）を有する。窒化物半導体層のサファイア基板側の面（３１）のうち、凹部（２１１）の直上の面（３１１）と平坦面（２１２）に接触する面（３１２）との高さの差ΔＨが１０ｎｍ以下である。窒化物半導体層の凹部（２１１）の上側の部分（３２）はIII族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する。

Description

本発明は、サファイア基板上に窒化物半導体層が形成された窒化物半導体基板に関する。
サファイア基板上に窒化物半導体層を形成する方法としては、特許文献１に記載された方法が知られている。
特許文献１に記載された方法は、分子線エピタキシ（ＭＢＥ）法による窒化物半導体の成長方法であって、基板上にバッファー層を形成する工程と、バッファー層上に、第１の温度で第１の窒化物結晶を形成する工程と、第１の窒化物結晶上に第１の温度よりも高温の第２の温度で第１の窒化物結晶を形成する工程とを含む。
特許文献１に記載された方法は、残留不純物濃度が低いなどの利点を有するＭＢＥ法によって、サファイア基板上などに結晶欠陥密度の低い窒化物半導体を成長させることを目的としている。
特開２０１５−１６８５９４号公報
現状では、サファイア基板上に結晶性と表面平坦性を両立させた窒化物半導体層を形成する技術について、十分な検討が行われていない。
本発明の課題は、サファイア基板上に、結晶性と表面平坦性に優れた窒化物半導体層が形成された基板を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の第一態様は、下記の構成(1) 〜(5) を有する窒化物半導体基板を提供する。
(1) サファイア基板と、前記サファイア基板上に形成され、Ａｌを含むIII 族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層と、を備えた窒化物半導体基板である。
(2) サファイア基板の窒化物半導体層が形成されている側の面は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部を、１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で有する。
(3) 上記凹部と、窒化物半導体層の上記凹部の直上の面と、で形成される空間を有する。
(4) 窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差が、１０ｎｍ以下である。
(5) 窒化物半導体層の上記凹部の上側の部分は、Ａｌを含むIII族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する。
本発明の第二態様は、下記の(11)〜(13)に示す第一工程〜第三工程を有する窒化物半導体基板の製造方法を提供する。
(11)サファイア基板上に、Ａｌを含むIII 族元素および窒素からなる窒化物半導体を主成分とする厚さ０．１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の凹部形成用膜を形成する第一工程。
(12)第一工程後のサファイア基板を１１００℃以上１３５０℃以下の温度でアニールすることで、凹部形成用膜に貫通穴を形成するとともに、サファイア基板の凹部形成用膜が形成されている面に、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部を、１ｃｍ2当たり３×１０9個以上１×１０11個以下の割合で形成する第二工程。
(13)第二工程後のサファイア基板の凹部形成用膜上に、Ａｌを含むIII族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層を形成する第三工程。
本発明の態様によれば、サファイア基板上に、結晶性と表面平坦性に優れた窒化物半導体層が形成された窒化物半導体基板を提供することができる。
実施形態の窒化物半導体基板を示す断面図である。 実施形態の窒化物半導体基板の製造方法を説明する断面図である。
〔本発明の態様についての説明〕
従来の一般的な方法では、凹部が形成されたサファイア基板上に窒化物半導体層を形成した場合、窒化物半導体層の凹部の上側の部分は、Ｖ族元素である窒素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造となる傾向にある。また、窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差は１０ｎｍよりも大きくなる傾向にある。いずれの場合も、窒化物半導体層の表面は良好な平坦性が得られない傾向にある。つまり、従来技術では、結晶性と表面平坦性の両立が困難であった。
これに対して、本発明の第二態様の方法によれば、第一工程および第二工程により、サファイア基板の主面（第三工程で窒化物半導体層を形成する面）に、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部が、１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で形成される。これにより、第三工程で窒化物半導体層を形成する際に、初期の段階で形成される部分に転位が集中するため、その後に形成される部分の結晶性が向上する。
また、第一工程で、サファイア基板上に、上記構成の凹部形成用膜を形成することにより、第二工程で上記構成の凹部を上記割合で形成することができるとともに、第三工程で初期の段階で形成される窒化物半導体層を、下記の構成(a) (b) を満たすものとすることができる。
(a) 窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差が、１０ｎｍ以下となる。
(b) 窒化物半導体層の上記凹部の上側の部分は、Ａｌを含むIII族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する。
これにより、窒化物半導体層の初期段階後に形成される部分は、島状成長する割合が低くなるため、第三工程で、表面（サファイア基板とは反対側の面）の平坦性に優れた窒化物半導体層が形成される。
また、得られる窒化物半導体基板は、窒化物半導体層の上記構成の凹部の直上の面とこの凹部とで形成される空間を有する。
〔実施形態〕
以下、この発明の実施形態について説明するが、この発明は以下に示す実施形態に限定されない。以下に示す実施形態では、この発明を実施するために技術的に好ましい限定がなされているが、この限定はこの発明の必須要件ではない。
なお、以下の説明で使用する図において、図示されている各部の寸法関係は、実際の寸法関係と異なる場合がある。
＜窒化物半導体基板＞
図１に示すように、この実施形態の窒化物半導体基板１は、サファイア基板２と、サファイア基板２上に形成された窒化物半導体層３とからなる。窒化物半導体層３は、Ａｌを含むIII族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層である。
サファイア基板２の窒化物半導体層３が形成されている主面２１は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部２１１を、１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で、好ましくは３×１０9ｃｍ-2以上１×１０11ｃｍ-2以下の割合で有する。
窒化物半導体基板１は、凹部２１１と、窒化物半導体層３の凹部２１１の直上の面３１１と、で形成される空間４を有する。窒化物半導体層３のサファイア基板側の面３１のうち、凹部２１１の直上の面３１１と平坦面２１２に接触する面３１２との高さの差ΔＨが、１０ｎｍ以下である。
窒化物半導体層３の凹部２１１の上側の部分３２は、Ａｌを含むIII族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する。
＜窒化物半導体基板の製造方法＞
この実施形態の窒化物半導体基板の製造方法を、図２を用いて説明する。
先ず、サファイア基板２の略平坦な主面２１上に、有機金属堆積法（ＭＯＣＶＤ法）を用いて、Ａｌを含むIII族元素および窒素からなる窒化物半導体を主成分とし、厚さが０．１ｎｍ以上２ｎｍ以下の凹部形成用膜３０１を成膜する（第一工程）。図２（ａ）はこの状態を示す。凹部形成用膜３０１としては、例えば、ＡｌＮ、ＧａＮ及びＩｎＮのうちの少なくともいずれか１つ、又はこれらの混晶を５００℃以上９００℃以下の範囲で成膜する。
次に、第一工程後のサファイア基板２を１１００℃以上１２５０℃以下の温度でアニールする（第二工程）。これにより、凹部形成用膜３０１に貫通穴３０１ａが形成され、サファイア基板２の主面２１に凹部２１１が形成される。図２（ｂ）はこの状態を示す。凹部２１１は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下であり、１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で形成される。第二工程のアニール時間は、６００秒以上１２００秒以下の範囲とすることが好ましい。
なお、第一工程および第二工程の条件を例えば以下のようにすることで、サファイア基板２の主面２１に、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部２１１を、１ｃｍ2当たり３×１０9個以上１×１０11個以下の割合で形成することができる。
凹部形成用膜３０１としては、例えば、ＡｌＮ、ＧａＮ及びＩｎＮのうちの少なくともいずれか１つ、又はこれらの混晶を５００℃以上１０５０℃以下の範囲で成膜する。第二工程のアニール温度を１１００℃以上１３５０℃以下に、好ましくは１２００℃以上１３００℃以下にする。第二工程のアニール時間を６００秒以上１８００秒以下の範囲とする。
次に、図２（ｂ）の状態のサファイア基板２の凹部形成用膜３０１上に、Ａｌを含むIII 族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層を形成する（第三工程）。この実施形態の第三工程では、図２（ｃ）に示すように、窒化物半導体層３として、初期層３０２、第一層３０３、および第二層３０４をこの順に形成する。その結果、図１に示す窒化物半導体基板１が得られる。
初期層３０２の形成は、サファイア基板２の表面温度を８００℃以上９００℃以下に保った状態で、ＭＯＣＶＤ法により形成する。初期層３０２としてＡｌＮを形成する場合には、初期層３０２の膜厚を０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下にすることが好ましい。
第一層３０３の形成は、ＭＯＣＶＤ法により行い、その際の表面温度は例えば１２００℃以上１３５０℃以下の範囲とする。第一層３０３の膜厚は５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下とすることが好ましい。
第二層３０４の形成はＭＯＣＶＤ法により行い、その際の表面温度は、例えば１０５０℃以上１１５０℃以下または１０００℃以上１１５０℃以下の範囲とする。第二層３０４の膜厚は１５００ｎｍ以上４５００ｎｍ以下または１５００ｎｍ以上５０００ｎｍ以下とすることが好ましい。
なお、初期層３０２の形成は行わなくてもよい。
上記各工程において、Ａｌ原料としては、例えばトリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）を用いることができる。Ｇａ原料としては、例えばトリメチルガリウム（ＴＭＧａ）を用いることができる。Ｎ原料としては、例えば、アンモニア（ＮＨ3）を用いることができる。Ｉｎ原料としては、例えば、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）を用いることができる。
上記各工程を行うことにより、サファイア基板２上に、第一層３０３および第二層３０４を含み、第二層３０４の方が第一層３０３よりも転位密度の小さい窒化物半導体層３が形成された窒化物半導体基板を得ることができる。
この実施形態の方法によれば、本発明の第二態様の方法が実施されることで、第三工程で、表面（サファイア基板とは反対側の面）３３の平坦性に優れた窒化物半導体層３が形成される。その結果、図１に示すように、サファイア基板２上に、結晶性と表面３３の平坦性に優れた窒化物半導体層３が形成された窒化物半導体基板１が得られる。
以下に、窒化物半導体基板の構成要素と、紫外線発光装置およびこれを備える装置について説明する。
＜サファイア基板＞
サファイア基板は、主面に、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下であり、分布密度が１×１０9ｃｍ-2以上１×１０11ｃｍ-2以下である凹部と、平坦部と、を有する。凹部の分布密度は、３×１０9ｃｍ-2以上１×１０11ｃｍ-2以下であることが好ましく、７×１０９ｃｍ-2以上１×１０11ｃｍ-2以下であることがより好ましく、１×１０１０ｃｍ-2以上１×１０11ｃｍ-2以下であることがさらに好ましい。
ここで、凹部とは、サファイア基板の主面に複数形成されており、主面に対して窪んだ部分を意味する。また、窪みの内部は空洞となっており、窒化物半導体層との界面の間には、空間が形成されている。また、平坦部とは、サファイア基板の主面の平坦な部分を意味する。
また、凹部の最大開口寸法は、凹部の開口端の開口内側に引くことが可能な直線の最大長さで定義される。例えば凹部の開口端が円形である場合には、円の直径が凹部の最大開口寸法となる。また凹部の開口端が多角形状である場合には、多角形の対角線の最大長さが凹部の最大開口寸法となる。
凹部の有無、凹部の最大開口寸法及び凹部の分布密度については、サファイア基板の主面を断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）又は平面ＴＥＭで観察することによって、観察又は測定することができる。
なお、この場合には、断面図中に存在する凹部の横方向、つまり、サファイア基板の主面に平行な方向に延びる凹部の長さを凹部の最大開口寸法として定義する。
また、この場合、分布密度については、平面ＴＥＭ測定から観測される凹部の個数を測定面積で除したものの平均値、または断面ＴＥＭ測定から断面中の凹部の個数を測定範囲及び測定試料奥行長さで除した値のうち、密度の多い方を分布密度とし、５断面の平均値を、サファイア基板の凹部の分布密度として定義する。
また、凹部の深さは５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが好ましい。これにより、サファイア基板の主面上に窒化物半導体層を形成する際に、初期の段階で形成される窒化物半導体層部分への転位集中の度合いをさらに高め、その後に形成される窒化物半導体層部分の結晶性がさらに向上する。ここで、凹部の深さとは、凹部の、開口端を含む面に垂直な方向の最大深さを意味する。凹部の深さは、前述の断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により測定が可能である。
また、凹部の底面の最大寸法（Ｔ）は凹部の最大開口寸法（Ｋ）の１／１０以下、つまり、Ｔ／Ｋ≦０．１であることが好ましい。
これにより、サファイア基板の主面上に窒化物半導体層を形成する際に、初期の段階で形成される窒化物半導体層部分への転位集中の度合いをさらに高め、その後に形成される窒化物半導体層部分の結晶性がさらに向上する。
ここで、凹部の底面とは、凹部の開口端から最も深い位置にあり、サファイア基板の主面に対して略平行な面を意味する。また、底面の最大寸法とは、凹部の最大開口寸法と同じく、底面の内側に引くことが可能な直線の最大長さで定義される。凹部の開口端から最も深い位置にサファイア基板の主面に対して平行な面が存在しない場合、つまり例えば凹部の先端が尖っている場合や、凹部の底面がサファイア基板の主面に対して傾斜している場合等には、底面の最大寸法は零とする。
＜窒化物半導体層＞
窒化物半導体層は、前述のサファイア基板の主面上に形成され、Ａｌを含む層である。また、窒化物半導体層のサファイア基板の凹部上の部分はIII族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造（以下、「III族極性面の部分」、「III族極性面」とも称する）を有し、窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と、平坦部面に接触する面との高さの差が１０ｎｍ以下である。
ここで、窒化物半導体層の凹部上の部分がIII族極性面であることの確認方法は、以下の通りである。
まず、窒化物半導体基板を、８０℃に加熱された５０ｗｔ％のＫＯＨ溶液に１０分浸漬する。その後、ＫＯＨ溶液から取り出した窒化物半導体基板の窒化物半導体層の表面を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察し、窒化物半導体基板の断面を断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により観察する。
窒化物半導体層のＶ族極性面の部分は、III族極性面の部分と比べてＫＯＨ溶液に対するエッチングレートが早いため、窒化物半導体基板をＫＯＨ溶液に浸漬させると、窒化物半導体層のＶ族極性面の部分が大きくエッチングされることとなる。
窒化物半導体層の極性面は、III族極性面か、Ｖ族極性面のいずれかとなるため、上記の条件を用いて窒化物半導体層の表面を観察することで、ＫＯＨ溶液でエッチングされていない部分が、窒化物半導体層のIII族極性面であると確認することができる。
そして、窒化物半導体基板の断面を断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により観察することにより、窒化物半導体層のうち、サファイア基板の凹部上の部分がIII族極性面であることを確認することができる。ここでは、５断面を観察し、凹部上の部分の９割以上がIII族極性面である場合に、「窒化物半導体層の凹部上の部分がIII族極性面である」とする。
また、窒化物半導体基板の表面（サファイア基板とは反対側の面）に窒化物半導体層以外の層が形成されている場合は、表面を物理的に研削研磨し、窒化物半導体層を露出させることで、上記のＫＯＨ溶液による判別が可能となる。
また、「窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差」が１０ｎｍ以下であることは、断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による観察より確認が可能である。
ここでは、窒化物半導体基板の断面を５断面で「窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差」を観察し、その平均値を「窒化物半導体層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差」とする。
窒化物半導体層の材料としては、Ａｌを含むIII族元素と窒素との化合物であれば特に限定されないが、ＡｌＮ、ＡｌＧａＮ、ＡｌＩｎＮ等が例示できる。
窒化物半導体層がＡｌを含むことは、蛍光Ｘ線元素分析法（ＸＲＦ）、ラザフォード後方散乱分光（ＲＢＳ）、二次イオン質量測定ＳＩＭＳおよびＸ線光電子分光（ＸＰＳ）により確認することが可能である。
Ａｌ原料としては、例えば、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）を用いることができる。Ｇａ原料としては、例えば、トリメチルガリウム（ＴＭＧａ）やトリエチルガリウム（ＴＥＧａ）を用いることができる。またＮ原料としては例えば、アンモニア（ＮＨ３）を用いることができる。Ｉｎ原料としては、例えば、トリメチルインジウム（ＴＭＩｎ）を用いることができる。
また、窒化物半導体層の結晶性が、（０００２）面において４５arcsec以上７０arcsec以下であり、（１０−１２）面において２４０arcsec以上２９０arcsec以下であることが好ましい。これにより、窒化物半導体層の上に形成する層の結晶性を向上させることが可能となる。ここで、窒化物半導体層の結晶性については、Ｘ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価することが可能である。
また、窒化物半導体層の表面の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）が０．１５ｎｍ以上１ｎｍ以下であることが好ましい。これにより、窒化物半導体層の上に形成する層の結晶性を向上させることが可能となる。ここで、窒化物半導体層の表面の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）は、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）用いて測定することが可能である。ＡＦＭの測定範囲は例えば一辺が４μｍの正方形とする。
また、窒化物半導体層の平坦部上の部分はIII 族極性面であることが好ましい。これにより、窒化物半導体層の表面平坦性をさらに向上させることが可能となる。
＜紫外線発光素子＞
この実施形態の紫外線発光素子は、上述した実施形態の窒化物半導体基板を備える。
この実施形態の紫外線発光素子は、窒化物半導体層の主成分がＡｌＮである窒化物半導体基板と、窒化物半導体層上に形成された窒化物半導体積層部であって、窒化物半導体層側から、ｎ型窒化物半導体層、発光層、およびｐ型窒化物半導体層を、この順に有する窒化物半導体積層部と、を備える。
窒化物半導体層が、本実施形態に係るサファイア基板上に形成されたＡｌＮ層であることで、この窒化物半導体層の上に結晶性の良好な窒化物半導体積層部を形成することができる。従って、本発明の窒化物半導体基板を利用することで、発光効率の優れた紫外線発光素子を得ることができる。窒化物半導体積層部の形成方法の一例としては、有機金属堆積法（ＭＯＣＶＤ法）を用いることが可能である。
＜紫外線発光装置＞
この実施形態の紫外線発光素子は、各種の装置に適用することができる。例えば、紫外線ランプが用いられている既存の全ての装置に適用することができ、用いられている紫外線ランプと置き換えることができる。特に、波長３００ｎｍ以下の深紫外線を用いている装置に適用することができる。
また、例えば、医療及びライフサイエンス分野、環境分野、産業及び工業分野、生活及び家電分野、農業分野、その他分野の装置に適用することができる。
さらに、薬品や化学物質の合成・分解装置、液体・気体・固体（容器、食品、医療機器等）殺菌装置、半導体等の洗浄装置、フィルム・ガラス・金属等の表面改質装置、半導体・フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）・プリント基板（ＰＣＢ）・その他電子品製造用の露光装置、印刷・コーティング装置、接着・シール装置、フィルム・パターン・モックアップ等の転写・成形装置、紙幣・傷・血液・化学物質等の測定・検査装置に適用可能である。
液体殺菌装置の例としては、冷蔵庫内の自動製氷装置・製氷皿及び貯氷容器・製氷機用の給水タンク、冷凍庫、製氷機、加湿器、除湿器、ウォーターサーバの冷水タンク・温水タンク・流路配管、据置型浄水器、携帯型浄水器、給水器、給湯器、排水処理装置、ディスポーザ、便器の排水トラップ、洗濯機、透析用水殺菌モジュール、腹膜透析のコネクタ殺菌器、災害用貯水システム等が挙げられるがこの限りではない。
気体殺菌装置の例としては、空気清浄器、エアコン、天井扇、床面用や寝具用の掃除機、布団乾燥機、靴乾燥機、洗濯機、衣類乾燥機、室内殺菌灯、保管庫の換気システム、靴箱、タンス等が挙げられるがこの限りではない。
固体殺菌装置（表面殺菌装置を含む）の例としては、真空パック器、ベルトコンベヤ、医科用・歯科用・床屋用・美容院用のハンドツール殺菌装置、歯ブラシ、歯ブラシ入れ、箸箱、化粧ポーチ、排水溝のふた、便器の局部洗浄器、便器フタ等が挙げられるがこの限りではない。
＜紫外線受光素子＞
この実施形態の紫外線受光素子は、上述した実施形態の窒化物半導体基板を備える。
この実施形態の紫外線受光素子は、窒化物半導体層の主成分がＡｌＮである窒化物半導体基板と、窒化物半導体層上に形成され、ＡｌおよびＧａを含む第一の窒化物半導体層と、前記第一の窒化物半導体層上に形成され、ＡｌおよびＧａを含み、Ａｌ含有率が前記第一の窒化物半導体層よりも多い第二の窒化物半導体層と、第二の窒化物半導体層上に形成された電極対と、を備える。
窒化物半導体層が、本実施形態に係るサファイア基板上に形成されたＡｌＮ層であることで、この窒化物半導体層の上に結晶性の良好な第一および第二の窒化物半導体層を形成することができる。従って、本発明の窒化物半導体基板を利用することで、受光効率の優れた紫外線受光素子を得ることができる。第一および第二の窒化物半導体層の形成方法の一例としては、有機金属堆積法（ＭＯＣＶＤ法）を用いることが可能である。
＜紫外線受光装置＞
この実施形態の紫外線発光素子は、各種の装置に適用することができる。例えば、紫外線センサが用いられている既存の全ての装置に適用することができ、用いられている紫外線センサと置き換えることができる。特に、波長３００ｎｍ以下の深紫外線を用いている装置に適用することができる。
適用例としては、炎センサ、一酸化窒素センサ、オゾンセンサ、尿素センサなどが挙げられるが、この限りではない。
以下、本発明の窒化物半導体基板の実施例及び比較例について説明する。
［実施例１］
以下の方法で窒化物半導体基板を作製した。
先ず、サファイア基板の略平坦な主面上に、有機金属堆積法（ＭＯＣＶＤ法）でＡｌＮ層（凹部形成用膜）を０．３ｎｍ成膜した。このときのサファイア基板の表面温度は８００℃とした。
次に、このＡｌＮ層（凹部形成用膜）が成膜されたサファイア基板を、１１００℃で１０分間アニールすることで、主面に最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下の凹部を形成した。断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０10ｃｍ-2であった。
次に、サファイア基板の表面温度を８５０℃に保った状態で、サファイア基板の凹部形成用膜（ＡｌＮ層）上に、ＡｌＮ層（初期層）を３ｎｍ、ＭＯＣＶＤ法で成膜した。
次に、サファイア基板の表面温度を１２５０℃に保った状態で、ＡｌＮ層（初期層）の上に、ＡｌＮ層（第一層）を１００ｎｍ、ＭＯＣＶＤ法で成膜した。
次に、ＡｌＮ層（第一層）の上に、サファイア基板の表面温度を１１００℃に保った状態で、ＡｌＮ層（第二層）を３５００ｎｍ、ＭＯＣＶＤ法で成膜した。
上記のＭＯＣＶＤ法による成膜の際には、Ａｌ原料としてトリメチルアルミニウム（ＴＭＡｌ）、Ｎ原料としてアンモニア（ＮＨ3）を用いた。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）で評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝５０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝２５０arcsecを得た。この評価は、（株）リガクの全自動水平型多目的Ｘ線回折装置「SmartLab」を用いて行った。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、０．５ｎｍであった。この測定は、ＡＦＭとして、エスアイアイ・ナノテクノロジー（株）製の「Nanocute」を用い、一辺が４μｍの正方形を測定範囲とし、oper-ated in the noncontact modeで行った。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．０ｎｍであった。
［実施例２］
凹部形成用膜の膜厚を４ｎｍとした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は５×１０10ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝６０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝２７０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、０．５ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．０ｎｍであった。
［実施例３］
凹部形成用膜の膜厚を１０ｎｍとした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は８×１０10ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝７０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝２９０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、０．８ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．５ｎｍであった。
［実施例４］
アニールの時間を２０分間とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０10ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝４５arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝２４５arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、０．３ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は２．５ｎｍであった。
［実施例５］
アニールの時間を５分間とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０10ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝４５arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝２４０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、０．２ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．０ｎｍであった。
［比較例１］
凹部形成用膜を形成しなかった以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
得られた窒化物半導体基板について、断面ＴＥＭ測定を実施したところ、サファイアとＡｌＮ層の界面に凹部は存在しなかった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝３５０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝８５０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、３．３ｎｍであった。
［比較例２］
アニールの時間を２分間とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は４×１０7ｃｍ-2であった。
ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝２８０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝７００arcsecを得た。また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、２．３ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．０ｎｍであった。
［比較例３］
凹部が形成されたサファイア基板上に、サファイア基板の表面温度を８５０℃に保った状態で、ＮＨ３を３０秒間照射した後に、ＡｌＮ層（初期層）を３ｎｍ、ＭＯＣＶＤ法で成膜した。これ以外の点は実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０10ｃｍ-2であった。
ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝２３５arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝４３０arcsecを得た。また、ＡＦＭにより成膜後の表面の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、３．１ｎｍであった。
また、成膜後の表面は複数の六角形のピラー状構造が確認された。このＡｌＮ層を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させ、表面ＳＥＭを観察したところ、前述の六角形ピラー部はエッチングされたことを確認した。その六角形にエッチングされた個所を断面ＴＥＭで観察したところ、凹部の直上の部分に形成されており、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＮ極性面（Ｖ族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．１ｎｍであった。
［比較例４］
第一層の形成温度を１０５０℃とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０10ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝９０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝３３０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、２．２ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は１５．０ｎｍであった。
［比較例５］
凹部形成用膜の形成温度を７５０℃、膜厚を１．０ｎｍとし、アニール温度を１３００℃とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０12ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝１６０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝５２０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、３．５ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は２．５ｎｍであった。
［比較例６］
凹部形成用膜の形成温度を７７０℃、膜厚を０．７ｎｍとし、アニール温度を１３００℃とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は３×１０11ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝１４０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝４４０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、２．７ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III 族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III 族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．５ｎｍであった。
［比較例７］
アニール温度を１０５０℃とした以外は、上記の実施例１と同じ方法で窒化物半導体基板を作製した。
凹部形成用膜（ＡｌＮ層）が成膜されたサファイア基板について、断面ＴＥＭによる測定を行ったところ、凹部の分布密度は６×１０8ｃｍ-2であった。
得られた窒化物半導体基板について、ＡｌＮ層の結晶性をＸ線ロッキングカーブ法（ωスキャン）により評価した結果、（０００２）面においてＦＷＨＭ＝２３０arcsec、（１０−１２）面においてＦＷＨＭ＝６１０arcsecを得た。
また、ＡＦＭにより、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）を測定したところ、２．５ｎｍであった。
また、得られた窒化物半導体基板の表面（ＡｌＮ層）を８０℃のＫＯＨ溶液（５０ｗｔ％）に１０分間浸漬させた後に、断面ＴＥＭで観察した。その結果、凹部直上のＡｌＮ層はほぼエッチングされず、ＡｌＮ層の凹部の直上の部分はＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。さらに、ＡｌＮ層の平坦部の直上の部分もＡｌ極性面（III族極性面）に沿って結晶成長していることが確認された。
また、断面ＴＥＭで観察したところ、ΔＨ（ＡｌＮ層のサファイア基板側の面のうち、凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差）は３．０ｎｍであった。
これらの結果を表１にまとめた。表１では、本発明の態様から外れる構成に下線を施した。
Figure 2018088441
表１から以下のことが分かる。
実施例１〜５の窒化物半導体基板では、ＡｌＮ層の結晶性が（０００２）面において４５arcsec以上７０arcsec以下の範囲内であり、（１０−１２）面において２４０arcsec以上２９０arcsec以下の範囲内となっているが、比較例１〜７の窒化物半導体基板では、ＡｌＮ層の結晶性がこれらの範囲外となっている。
実施例１〜５の窒化物半導体基板では、表面（窒化物半導体層のサファイア基板とは反対側の面）の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）が０．１５ｎｍ以上１ｎｍ以下の範囲内となっているが、比較例１〜７の窒化物半導体基板では、Ｒｑがこの範囲外となっている。
つまり、実施例１〜５の窒化物半導体基板では、サファイア基板上に結晶性と表面平坦性に優れた窒化物半導体層が形成されている。
１ 窒化物半導体基板
２ サファイア基板
２１ サファイア基板の窒化物半導体層が形成されている側の面
２１１ 凹部
２１２ 平坦面
３ 窒化物半導体層
３０１ 窒化物半導体層を構成する凹部形成用膜
３０２ 窒化物半導体層を構成する初期層
３０３ 窒化物半導体層を構成する第一層
３０４ 窒化物半導体層を構成する第二層
３１ 窒化物半導体層のサファイア基板側の面
３１１ 凹部の直上の面
３１２ 平坦面に接触する面
３２ 窒化物半導体層の凹部の上側の部分
３３ 窒化物半導体層の表面（サファイア基板とは反対側の面）
４ 凹部と凹部の直上の面とで形成される空間
ΔＨ 凹部の直上の面と平坦面に接触する面との高さの差

Claims (12)

  1. サファイア基板と、前記サファイア基板上に形成され、Ａｌを含むIII族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層と、を備えた窒化物半導体基板であって、
    前記サファイア基板の前記窒化物半導体層が形成されている側の面は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部を、１ｃｍ2当たり１×１０9個以上１×１０11個以下の割合で有し、
    前記凹部と、前記窒化物半導体層の前記凹部の直上の面と、で形成される空間を有し、
    前記窒化物半導体層の前記サファイア基板側の面のうち、前記凹部の直上の面と、平坦面に接触する面との高さの差が１０ｎｍ以下であり、
    前記窒化物半導体層の前記凹部の上側の部分は、前記III族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する窒化物半導体基板。
  2. 前記サファイア基板の前記窒化物半導体層が形成されている側の面は、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部を、１ｃｍ2当たり３×１０9個以上１×１０11個以下の割合で有する請求項１記載の窒化物半導体基板。
  3. 前記窒化物半導体層の結晶性が、
    （０００２）面において４５arcsec以上７０arcsec以下であり、
    （１０−１２）面において２４０arcsec以上２９０arcsec以下である請求項１または請求項２に記載の窒化物半導体基板。
  4. 前記窒化物半導体層の前記サファイア基板とは反対側の面の二乗平均平方根粗さ（Ｒｑ）が０．１５ｎｍ以上１ｎｍ以下である請求項１から請求項３の何れか一項に記載の窒化物半導体基板。
  5. 前記窒化物半導体層の前記平坦面の上側の部分は、前記III族元素の極性面に沿った成長で生じた結晶構造を有する請求項１から請求項４の何れか一項に記載の窒化物半導体基板。
  6. 前記凹部の深さが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下である請求項１から請求項５の何れか一項に記載の窒化物半導体基板。
  7. 前記凹部の底面の最大寸法は前記凹部の最大開口寸法の１／１０以下である請求項１から請求項６の何れか一項に記載の窒化物半導体基板。
  8. 請求項１から請求項７の何れか一項に記載の窒化物半導体基板であって、前記窒化物半導体層の主成分がＡｌＮである窒化物半導体基板と、
    前記窒化物半導体層上に形成された窒化物半導体積層部であって、前記窒化物半導体層側から、ｎ型窒化物半導体層、発光層、およびｐ型窒化物半導体層を、この順に有する窒化物半導体積層部と、
    を備える紫外線発光素子。
  9. 請求項８に記載の紫外線発光素子を備える紫外線発光装置。
  10. 請求項１から請求項７の何れか一項に記載の窒化物半導体基板であって、前記窒化物半導体層の主成分がＡｌＮである窒化物半導体基板と、
    前記窒化物半導体層上に形成され、ＡｌおよびＧａを含む第一の窒化物半導体層と、
    前記第一の窒化物半導体層上に形成され、ＡｌおよびＧａを含み、Ａｌ含有率が前記第一の窒化物半導体層よりも多い第二の窒化物半導体層と、
    前記第二の窒化物半導体層上に形成された電極対と、
    を備える紫外線受光素子。
  11. 請求項１０に記載の紫外線受光素子を備える紫外線受光装置。
  12. サファイア基板上に、Ａｌを含むIII族元素および窒素からなる窒化物半導体を主成分とする厚さ０．１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の凹部形成用膜を形成する第一工程と、
    前記第一工程後のサファイア基板を１１００℃以上１３５０℃以下の温度でアニールすることで、前記凹部形成用膜に貫通穴を形成するとともに、前記サファイア基板の前記凹部形成用膜が形成されている面に、最大開口寸法が２ｎｍ以上６０ｎｍ以下である凹部を、１ｃｍ2当たり３×１０9個以上１×１０11個以下の割合で形成する第二工程と、
    前記第二工程後の前記サファイア基板の前記凹部形成用膜上に、Ａｌを含むIII族元素および窒素を主成分とする窒化物半導体層を形成する第三工程と、
    を有する窒化物半導体基板の製造方法。
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