JPWO2018079494A1 - Liquid processing method and liquid processing apparatus - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 352
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 134
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 66
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 42
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 142
- 239000010408 film Substances 0.000 description 121
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
平坦な膜を基板に精度良く形成することができる液処理方法及び液処理装置を提供する。液処理方法は、第1の工程S1及び第2の工程S2を含む。第1の工程S1では、基板(ウエハ)を回転させながら外周部に形成された中心部より厚い膜にエッチング液を供給する。第1の工程S1では、エッチング液が供給される位置よりも基板の中心側にエッチング液による膜のエッチングを阻害するエッチング阻害液を供給して外周部の膜をエッチングする。第2の工程S2は第1の工程S1の後に行われ、第2の工程S2では回転する基板にエッチング液を供給して予め設定された膜厚までエッチングする。Provided are a liquid processing method and a liquid processing apparatus capable of accurately forming a flat film on a substrate. The liquid processing method includes a first step S1 and a second step S2. In the first step S1, an etching solution is supplied to a film thicker than the central portion formed on the outer peripheral portion while rotating the substrate (wafer). In the first step S1, an etching inhibiting liquid that inhibits etching of the film by the etching liquid is supplied to the center side of the substrate from the position where the etching liquid is supplied to etch the outer peripheral film. The second step S2 is performed after the first step S1, and in the second step S2, an etching solution is supplied to the rotating substrate to perform etching to a preset film thickness.
Description
本発明は、基板に形成された膜を平坦化する液処理方法及び液処理装置に関する。 The present invention relates to a liquid processing method and a liquid processing apparatus for planarizing a film formed on a substrate.
一般に、半導体デバイスの製造工程では、処理対象の半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する)の表面において酸化膜や窒化膜等の薄膜が絶縁膜として形成されている。この薄膜を形成する方法として化学蒸着法(CVD)等が広く用いられている。ウエハの周縁部における薄膜の厚さが中心部における薄膜の厚さよりも大きくなって、薄膜が全体として擂り鉢状に形成されることがある。このような不均一な膜厚を有する薄膜は種々の不具合を招き、例えば薄膜にコンタクトホールを形成する場合には、コンタクトホールの径がばらついて製品歩留まりが低下することがある。 Generally, in the process of manufacturing a semiconductor device, a thin film such as an oxide film or a nitride film is formed as an insulating film on the surface of a semiconductor wafer to be processed (hereinafter, simply referred to as a "wafer"). Chemical vapor deposition (CVD) is widely used as a method of forming this thin film. The thickness of the thin film at the peripheral portion of the wafer may be larger than the thickness of the thin film at the central portion, and the thin film may be formed in a bowl shape as a whole. A thin film having such a non-uniform film thickness causes various problems, and, for example, in the case of forming a contact hole in the thin film, the diameter of the contact hole may vary and the product yield may be reduced.
特許文献1は、擂り鉢状の膜に対して処理液を供給し、当該膜を平坦にエッチングする技術を開示する。 Patent Document 1 discloses a technique for supplying a treatment liquid to a bowl-like film and etching the film flat.
しかしながら特許文献1に開示された技術では、擂り鉢状の膜の外周部を処理液により所望量だけエッチングして、膜全体を精度良く平坦にすることは容易ではなかった。このように、基板の全体にわたって平坦な膜を精度良く形成するためには更なる改善が求められていた。 However, according to the technique disclosed in Patent Document 1, it is not easy to etch the outer peripheral portion of the bowl-like film by a desired amount with a processing solution and flatten the entire film accurately. Thus, further improvement has been required to form a flat film precisely over the entire substrate.
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、平坦な膜を基板に精度良く形成することができる液処理方法及び液処理装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide a liquid processing method and a liquid processing apparatus capable of forming a flat film on a substrate with high accuracy.
本発明の一態様は、中心部の膜より外周部の膜が厚い基板に対してエッチング液を供給して当該膜をエッチングする液処理方法であって、基板を回転させながら外周部に形成された中心部より厚い膜にエッチング液を供給するとともにエッチング液が供給される位置よりも基板の中心側にエッチング液による膜のエッチングを阻害するエッチング阻害液を供給して外周部の膜をエッチングする第1の工程と、第1の工程の後に、回転する基板にエッチング液を供給して予め設定された膜厚までエッチングする第2の工程と、を備える液処理方法に関する。 One embodiment of the present invention is a liquid processing method in which an etching solution is supplied to a substrate having a thicker film at the outer periphery than the film at the central part to etch the film, and the film is formed at the outer periphery while rotating the substrate. The etching solution is supplied to the film thicker than the central portion, and the etching inhibiting solution for inhibiting the etching of the film by the etching solution is supplied to the center side of the substrate than the position where the etching solution is supplied. The present invention relates to a liquid processing method including a first step and a second step of supplying an etching solution to a rotating substrate and etching the substrate to a predetermined film thickness after the first step.
本発明の他の態様は、中心部の膜より外周部の膜が厚い基板に対してエッチング液を供給して膜をエッチングする液処理装置であって、基板を回転可能に保持する基板保持部と、基板保持部を回転させる回転機構と、基板保持部に保持される基板に形成された膜に液を供給する液供給機構と、少なくとも液供給機構を制御するコントローラと、を備え、コントローラは、基板保持部により保持されて回転する基板の膜に対して液供給機構からエッチング液及びエッチング阻害液を供給する第1の工程であって、基板を回転させながら外周部に形成された中心部より厚い膜にエッチング液を供給するとともにエッチング液が供給される位置よりも基板の中心側にエッチング液による膜のエッチングを阻害するエッチング阻害液を供給して外周部の膜をエッチングする第1の工程と、第1の工程の後に、回転する基板にエッチング液を供給して予め設定された膜厚までエッチングする第2の工程と、を行う液処理装置に関する。 Another aspect of the present invention is a liquid processing apparatus for supplying an etching solution to a substrate having a thicker film at the outer peripheral portion than the central film and etching the film, wherein the substrate holding portion rotatably holds the substrate. A rotation mechanism for rotating the substrate holding unit, a liquid supply mechanism for supplying a liquid to a film formed on the substrate held by the substrate holding unit, and a controller for controlling at least the liquid supply mechanism; A first step of supplying an etching liquid and an etching inhibition liquid from a liquid supply mechanism to a film of a substrate held and rotated by a substrate holding unit, wherein a central portion formed on an outer peripheral portion while rotating the substrate While supplying the etching solution to a thicker film and supplying the etching inhibition solution that inhibits the etching of the film by the etching solution to the center side of the substrate than the position where the etching solution is supplied, the outer peripheral portion A first step of etching the film, after the first step, a second step of etching a rotating substrate to a thickness that is set in advance by supplying an etching liquid to a liquid processing apparatus for performing.
本発明によれば、平坦な膜を基板に精度良く形成することができる。 According to the present invention, a flat film can be accurately formed on a substrate.
図面を参照して本発明の実施形態について説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
以下では、基板としてウエハを使用し、ウエハに形成された酸化膜を処理液により平坦化する液処理方法及び液処理装置に対して本発明を適用する場合を例示する。 Below, the case where this invention is applied with respect to the liquid processing method and liquid processing apparatus which planarize the oxide film formed in the wafer using a wafer as a board | substrate with a process liquid is illustrated.
[液処理装置の構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る液処理装置100の構成の概略を示す概念図である。液処理装置100は、表面に酸化膜50が形成されたウエハWを水平に且つ回転可能に保持する基板保持部1と、基板保持部1を回転させるモータによって構成される回転機構2と、基板保持部1に保持されるウエハWの酸化膜50に処理液(特にエッチング液)及びリンス液(すなわちエッチング阻害液)を供給する液供給機構4と、基板保持部1に保持されたウエハWを囲繞するように設けられたカップ3とを備える。[Configuration of liquid processing apparatus]
FIG. 1 is a conceptual view showing an outline of the configuration of a
基板保持部1は、回転機構2の回転軸2aに連結されて回転軸2aとともに回転する回転プレート11と、回転プレート11の周縁部に取り付けられた3つの支持ピン12a及び3つの保持ピン12bとを有する。各保持ピン12bは、搬送アーム(図示せず)と基板保持部1との間でのウエハWの受け渡しを妨げないように、回転プレート11の外側の退避位置とウエハWを保持する保持位置との間で回動可能となっている。各保持ピン12bを退避位置に配置した状態で各支持ピン12aがウエハWを受け取った後、各保持ピン12bを回動させて保持位置に配置することで、ウエハWが各支持ピン12a及び各保持ピン12bによって保持される。なお、基板保持部1は図示しない昇降機構によって昇降させられる。
The substrate holding unit 1 is connected to the
液供給機構4は、水平方向へ移動可能な第1の液吐出ノズル21及び第2の液吐出ノズル22を有する。第1の液吐出ノズル21は、酸化膜50を溶解してエッチング処理を行うための処理液(例えば希フッ酸(DHF))を吐出することができる。第2の液吐出ノズル22は、処理液(例えば希フッ酸)及びリンス液(例えば純水(DIW))を選択的に吐出することができる。
The liquid supply mechanism 4 has a first
第1の液吐出ノズル21には第1の液供給ライン23が接続され、第2の液吐出ノズル22には第2の液供給ライン28が接続されている。第1の液供給ライン23には、バルブ24を介して処理液供給ライン26が接続されている。第2の液供給ライン28には、バルブ29を介して処理液供給ライン31が接続されるとともに、バルブ30を介してリンス液供給ライン32が接続されている。バルブ24の開閉を切り換えることで、処理液供給ライン26から第1の液供給ライン23への処理液の供給の有無、及び第1の液吐出ノズル21からの処理液の吐出の有無を切り換えることができる。同様に、バルブ29及びバルブ30の開閉を切り換えることで、処理液供給ライン31から第2の液供給ライン28への処理液の供給の有無、リンス液供給ライン32から第2の液供給ライン28へのリンス液の供給の有無、及び第2の液吐出ノズル22からの処理液又はリンス液の吐出の有無を切り換えることができる。なお、液供給機構4に含まれるこれらのバルブ24、バルブ29及びバルブ30は、コントローラ101によって制御される。また図示は省略しているが、処理液供給ライン26、処理液供給ライン31及びリンス液供給ライン32の各々には、液を送り出すためのポンプ及び流量制御装置等が設けられている。
A first liquid supply line 23 is connected to the first
このようにして設けられる第1の液吐出ノズル21は、後述の第1の工程(図3の符合「S1」参照)において、ウエハWの外周部の酸化膜50に向けて処理液を吐出する第1処理液吐出ノズルとして使われる。一方、第2の液吐出ノズル22は、後述の第1の工程ではウエハWの中央部の酸化膜50に向けてリンス液を吐出するリンス液吐出ノズルとして使われ、後述の第2の工程(図3の符合「S2」参照)ではウエハWの中央部の酸化膜50に向けて処理液を吐出する第2処理液吐出ノズルとして使われる。したがって、第1の液吐出ノズル21は相対的にウエハWの外周側に配置される一方で、第2の液吐出ノズル22は相対的にウエハWの内側に配置される。ここでいう内側とは、ウエハWの回転軸線側を指し、図1に示す液処理装置100では回転軸2aに近い側を意味する。また外周側とは、ウエハWの回転軸線から遠ざかる側を意味する。
The first
第1の液吐出ノズル21は、第2の液吐出ノズル22よりも小径で相対的に吐出流量が少なくなるように設計されている。例えば、第2の液吐出ノズル22の径を1/4インチ程度に設定する一方で、第1の液吐出ノズル21の径を第2の液吐出ノズル22の径の1/2(すなわち1/8インチ)程度に設定することも可能である。小径の第1の液吐出ノズル21は、小流量の処理液を吐出するため、ウエハWの酸化膜50に対して所望量の処理液を精度良く供給することができるとともに、処理液の消費量を抑えることができる。
The first
また第1の液吐出ノズル21は、ウエハWの延在方向に対して傾斜して設けられている。第1の液吐出ノズル21から吐出される処理液は、ウエハWの外周側に向かって吐出される。これにより、処理液がウエハWの酸化膜50上に着地した際の、ウエハWの内側への処理液の跳ね返りを抑えることができる。また第1の液吐出ノズル21から吐出される処理液は、ウエハWの回転方向に対して非垂直な方向であって、ウエハWの回転方向に関してはウエハWの回転方向と同方向に吐出される。これにより、第1の液吐出ノズル21からの処理液のウエハWに対する相対速度が小さくなり、酸化膜50上における処理液の跳ね返りや、酸化膜50上での処理液の意図しない方向への広がりを抑えることができる。なお、第1の液吐出ノズル21からの処理液の吐出方向の詳細については、後述する(図4及び図5参照)。
The first
一方、第2の液吐出ノズル22はウエハWの延在方向に対して垂直に配置されており、第2の液吐出ノズル22から吐出された処理液及びリンス液は、ウエハWの酸化膜50に向かって鉛直方向に飛翔する。ただし、第2の液吐出ノズル22はウエハWの延在方向に対して傾斜して設けられてもよく、第2の液吐出ノズル22から非鉛直方向へ処理液及びリンス液が吐出されてもよい。
On the other hand, the second
第1の液吐出ノズル21は第1のノズルホルダー21aに保持され、第2の液吐出ノズル22は第2のノズルホルダー22aにより保持されている。第1のノズルホルダー21aには駆動機構48が接続され、第2のノズルホルダー22aには駆動機構52が接続されている。第1の液吐出ノズル21及び第1のノズルホルダー21aは駆動機構48によって移動させられ、第2の液吐出ノズル22及び第2のノズルホルダー22aは駆動機構52によって移動させられる。
The first
なお、上述の液供給機構4は一例にすぎない。例えば、上述の液吐出ノズル22はリンス液吐出ノズル及び処理液吐出ノズルとして共用されるが、第2の液吐出ノズル22の代わりに、バルブ29を介して処理液供給ライン31に接続される処理液吐出ノズルと、バルブ30を介してリンス液供給ライン32に接続されるリンス液吐出ノズルとが別個に設けられてもよい。
In addition, the above-mentioned liquid supply mechanism 4 is only an example. For example, the above-described
カップ3は、遠心力の影響を受けて回転するウエハWから飛翔する処理液やリンス液を受け止め、外部へ排出する。カップ3の底部には排気通路3a及びドレイン管3b、3cが設けられており、排気通路3aは排気ポンプ(図示せず)の吸い込み側に連通する。
The
液処理装置100の各構成部は、CPU等の計算機(コンピュータ)及びメモリを含むコントローラ101に接続され、当該コントローラ101によって制御される。図1に示す液処理装置100では、バルブ24、バルブ29、バルブ30、駆動機構48、駆動機構52及び回転機構2が、コントローラ101によって制御される。またコントローラ101には、ユーザインターフェース102及び記憶部103も接続されている。ユーザインターフェース102には、液処理装置100の各構成部を管理するために管理者がコマンドの入力操作等を行うためのキーボード、及び液処理装置100の各構成部の稼働状況を表示するディスプレイ等が含まれる。記憶部103は、コンピュータによって読み取り可能な任意の非一時的な記録媒体によって構成され、例えばCD−ROM、ハードディスク、フレキシブルディスク、或いは不揮発性メモリなどによって構成可能である。この記憶部103には、液処理装置100で実行される各種処理をコントローラ101の制御にて実現するための制御プログラムや処理条件データ等が記録されたレシピ、及び各構成部の制御に必要な他の情報が格納されている。したがってコントローラ101は、例えば、ユーザインターフェース102を介して管理者からの指示等を受けて、対応のレシピを記憶部103から呼び出して実行することができる。本実施形態の記憶部103には、後述の液処理方法の各種手順をコントローラ101に実行させるためのプログラムも記録されている。
Each component of the
[基板の表面プロファイル]
図2は、処理対象のウエハWの水平方向位置と厚みとの関係例を概念的に示すグラフである。図2は、ウエハWのある断面を基準としており、横軸は、ウエハWの回転軸線からの水平方向への距離を表す「水平方向位置」を示し、縦軸は、基準水平面からの高さ方向への距離を表す「ウエハの厚み」を示す。したがってウエハWの回転軸線上の位置は、図2の横軸の「0」によって示される。なお、図2ではウエハWの厚さが線形的に変化しているが、図2は理解を容易にするために簡略的に示されたグラフに過ぎず、実際のウエハWの厚さは、より不規則的に変化しうる。Substrate surface profile
FIG. 2 is a graph conceptually showing an example of the relationship between the horizontal position and the thickness of the wafer W to be processed. FIG. 2 is based on a cross section of the wafer W, and the horizontal axis indicates “horizontal position” representing the distance in the horizontal direction from the rotation axis of the wafer W, and the vertical axis indicates the height from the reference horizontal surface. Indicates the "wafer thickness" that represents the distance in the direction. Therefore, the position of the wafer W on the rotation axis is indicated by "0" on the horizontal axis of FIG. Although the thickness of the wafer W changes linearly in FIG. 2, FIG. 2 is only a graph schematically shown for ease of understanding, and the actual thickness of the wafer W is It may change more irregularly.
本実施形態の液処理方法及び液処理装置100の処理対象のウエハWは、中心部よりも外周部の方が相対的に大きな厚みを有する。より具体的には、ウエハWに形成された酸化膜50の厚みが、中心部よりも外周部の方が大きい。したがって図2に示すように、ウエハWの中心部である回転軸線が通過する位置(図2の横軸の「0」参照)から水平方向に一定の範囲ではウエハWはほぼ同じ厚みを有するのに対し、ウエハWの最外周部近傍の位置(図2の横軸の左右両端部近傍参照)ではウエハWの厚みが急激に増大している。
The wafer W to be processed by the liquid processing method and
このようなウエハWの酸化膜50を平坦にするため、以下に説明する液処理方法では、まず、酸化膜50の外周部のうち内側部から盛り上がっている部分(図2の符合「Q」参照)が処理液によりエッチングされ、酸化膜50の外周部と中心部との厚み差が低減される。その後、内側部及び外周部を含む酸化膜50の全体が処理液によりエッチングされ、酸化膜50の全体が所望の厚さになるようにエッチング処理が行われる。このように2段階に分けてエッチング処理を行うことによって、外周部と中心部との厚み差を効果的に低減して、酸化膜50の全体を精度良く平坦化することができる。
In order to flatten the
[液処理方法のフロー]
次に、上述の液処理装置100を使って行われる液処理方法について説明する。[Flow of liquid processing method]
Next, a liquid processing method performed using the above-described
以下の第1の工程及び第2の工程を含む液処理方法は、コントローラ101が各部を適宜制御することによって行われる。コントローラ101は、ウエハWの酸化膜50の表面プロファイルに関するデータ(以下、「表面プロファイルデータ」とも称する)を取得し、当該データに基づいてバルブ24、バルブ29及びバルブ30の開閉を制御する。コントローラ101は、表面プロファイルデータを任意の方法で取得することができる。例えば、ウエハWが液処理装置100に搬入される前に酸化膜50の表面プロファイルが測定されることにより取得された表面プロファイルデータを、コントローラ101は外部装置から取得してもよい。またコントローラ101は、基板保持部1に保持されたウエハWの酸化膜50の表面プロファイルを図示しない計測装置により測定させて、当該計測装置から表面プロファイルデータを取得してもよい。
The liquid processing method including the following first step and second step is performed by the
図3は、液処理方法の一例を示すフローチャートである。以下に説明する液処理方法では、中心部に形成された酸化膜50の厚みよりも外周部に形成された酸化膜50の厚みの方が大きい基板に対して処理液が供給され、酸化膜50のエッチングが行われる。
FIG. 3 is a flowchart showing an example of the liquid processing method. In the liquid processing method described below, the processing liquid is supplied to a substrate in which the thickness of the
図3に示す液処理方法では、まず、ウエハWの外周部における酸化膜50の厚みを調整する第1の工程S1が行われ、その後、ウエハWの酸化膜50の全体の厚みを調整する第2の工程S2が行われる。第1の工程S1では、ウエハWを回転させながら、外周部に形成された中心部より厚い酸化膜50に処理液が供給されるとともに、当該処理液が供給される位置よりもウエハWの中心側に、処理液による酸化膜50のエッチングを阻害するリンス液を供給して外周部の酸化膜50のエッチングが行われる。そして、第1の工程S1の後に行われる第2の工程S2では、回転するウエハWに処理液を供給し、予め設定された膜厚までエッチングが行われる。
In the liquid processing method shown in FIG. 3, first, a first step S1 of adjusting the thickness of
すなわち第1の工程S1では、回転するウエハWに形成された酸化膜50に対し、第1の液吐出ノズル21から処理液を供給する一方で、第2の液吐出ノズル22からリンス液を供給する。この際、第1の液吐出ノズル21から吐出された処理液が供給されるウエハWの外周側の酸化膜50上の位置よりも、ウエハWの中心側の酸化膜50上の位置に、第2の液吐出ノズル22から吐出されたリンス液が供給される。すなわち第1の工程S1では、処理液の着地位置よりもリンス液の着地位置の方がウエハWの中心側となる。これにより、処理液によってウエハWの外周側の酸化膜50のエッチングを進行させることができる。このように第1の工程S1では、ウエハWの外周側の酸化膜50のみが重点的にエッチングされる。さらに、ウエハWの内側の酸化膜50をリンス液によって保護することができる。すなわち、ウエハWの外周部(特に最外周部近傍の位置)に処理液を供給する場合に、ウエハW上において処理液の供給位置よりも中心側にリンス液を供給しないと、ウエハWに着地した処理液が中心側にも広がって、本来であればエッチングが望まれていないウエハWの中心側部分もエッチングされる可能性がある。一方、本実施形態のように、中心側にリンス液を供給した状態でウエハWの外周部に処理液を供給することで、ウエハWの中心側部分をリンス液で覆って処理液から保護することができる。
That is, in the first step S1, while the processing liquid is supplied from the first
なお第1の工程S1は、酸化膜50に対するリンス液の供給が開始された後に、酸化膜50に対する処理液の供給が開始されることで行われる。すなわち、図3に示す液処理方法がスタートすると、第2の液吐出ノズル22から酸化膜50へのリンス液の供給が開始され(図3のS11参照)、その後、第1の液吐出ノズル21からの処理液の供給が開始される(S12)。具体的には、上述のステップS11の前は、図1に示すバルブ24、バルブ29及びバルブ30の全てが閉状態である。そして、コントローラ101の制御下でバルブ30が開かれることによってステップS11が開始され、ウエハWの中央部の酸化膜50に向けて第2の液吐出ノズル22からリンス液が吐出される。酸化膜50上に供給されたリンス液は、ウエハWの回転に伴って外周側に広がり、酸化膜50の表面全体を被覆する。続いて、コントローラ101の制御下でバルブ24が開かれることによってステップS12が開始され、ウエハWの外周側の酸化膜50に向けて第1の液吐出ノズル21から処理液が吐出される。
The first step S1 is performed by starting the supply of the processing liquid to the
ステップS12における処理液の供給開始は、第2の液吐出ノズル22から吐出されたリンス液が酸化膜50上の十分な範囲を被覆した後(より好ましくは、少なくとも第1の液吐出ノズル21から吐出される処理液の着地地点よりも内側の範囲をリンス液が被覆した後)に行われることが好ましい。これにより、ウエハWの内側における酸化膜50がリンス液によって保護された状態で処理液が供給されるため、処理液の跳ね返りの影響を抑制することができる。
The supply of the treatment liquid in step S12 is started after the rinse liquid discharged from the second
また特に、第1の工程S1において酸化膜50に供給される処理液は、以下の条件1及び条件2を満たすように、第1の液吐出ノズル21から吐出される。
In particular, the processing liquid supplied to the
図4は、第1の液吐出ノズル21及びウエハWを側方から見た場合の配置関係例を示す概念図である。第1の工程S1において第1の液吐出ノズル21から吐出された処理液は、符合「D1」によって示される吐出方向に沿ってウエハWの外周側に向かって飛翔し、ウエハWの外周部における酸化膜50上に着地する(条件1)。とりわけ、第1の工程S1における第1の液吐出ノズル21からの処理液の吐出方向D1が、ウエハWが延在する方向D2に対して成す鋭角の角度αは、「20°≦α≦70°」を満たすことが好ましい。この角度αが当該範囲にある場合、特に効果的に、ウエハWの内側への処理液の跳ね返りを抑えることができる。
FIG. 4 is a conceptual view showing an example of the arrangement relationship when the first
図5は、第1の液吐出ノズル21及びウエハWを上方から見た場合の配置関係例を示す概念図である。第1の工程S1において第1の液吐出ノズル21から酸化膜50に供給される処理液は、ウエハWの回転方向Rに関しては、ウエハWの回転方向Rと同じ方向へ飛翔して酸化膜50上に着地する(条件2)。とりわけ、第1の工程S1において、処理液の進路がウエハWに投影されて形成される投影進行路Pの方向と、当該投影進行路Pの延長線PEとウエハWの最外周部との交点CにおけるウエハWの接線の方向Tとによって形成される鋭角の角度βは、「40°≦β≦80°」を満たすことが好ましい。この角度βが当該範囲にある場合、酸化膜50上における処理液の跳ね返りや、酸化膜50上での処理液の意図しない方向への広がりを、特に効果的に抑えることができる。
FIG. 5 is a conceptual view showing an example of an arrangement relationship when the first
そして、図3に示す第1の工程S1における処理液及びリンス液の供給は、ウエハWの外周部における酸化膜50の厚みが中心部と同じ厚さになるまで続けられる。そして、ウエハWの外周部における酸化膜50の厚みが中心部と同じ厚さに達したら、第1の液吐出ノズル21からの処理液の供給が停止され(S13)、その後、第2の液吐出ノズル22からのリンス液の供給が停止される(S14)。具体的には、コントローラ101の制御下でバルブ24及びバルブ30が閉じられることで、第1の液吐出ノズル21からの処理液の吐出及び第2の液吐出ノズル22からのリンス液の吐出が止められる。
Then, the supply of the processing liquid and the rinse liquid in the first step S1 shown in FIG. 3 is continued until the thickness of the
そして、この第1の工程S1の後に行われる第2の工程S2では、回転するウエハWの酸化膜50に対し、第2の液吐出ノズル22から処理液が供給される。すなわち、上述のステップS14の直後に、コントローラ101の制御下でバルブ29が開かれ、第2の液吐出ノズル22から酸化膜50に対する処理液の供給が開始される(S15)。そして、ウエハWの表面側F1の全体にわたる酸化膜50の厚みが予め設定された厚さになるまで、第2の液吐出ノズル22からの処理液の供給は続けられる。
Then, in the second step S2 performed after the first step S1, the processing liquid is supplied from the second
なお第2の工程S2では、酸化膜50のエッチングをウエハWの全体にわたって行うため、処理液が酸化膜50の表面の全体を覆うように、第2の液吐出ノズル22から酸化膜50上に処理液が供給される。そのため、第2の液吐出ノズル22及び第2のノズルホルダー22aは水平方向に関してウエハWの回転軸線A上に又は回転軸線Aの近傍に配置され、第2の液吐出ノズル22から吐出された処理液は、酸化膜50のうちの回転軸線A上の位置又は回転軸線Aの近傍位置に着地させられる。特に、酸化膜50の全体を均一にエッチングするには、処理液の着地した際の広がりを考慮し、回転軸線Aから少し離れた酸化膜50上の位置に、第2の液吐出ノズル22からの処理液を着地させることが好ましい。なお、回転軸線Aが通過するウエハWの中心に第2の液吐出ノズル22からの処理液を着地させると、遠心力が作用しない場所に常に新鮮な処理液が供給され、ウエハWの中心でのエッチングが他の部分のエッチングよりも進んでしまうため、酸化膜50の全体を均一にエッチングする観点からは好ましくない。このように第2の工程S2では、ウエハWのうち、第1の工程S1で処理液が供給されていた位置には処理液は供給されず、第1の工程S1で処理液が供給されていた位置よりもウエハWの中心側に処理液が供給される。
In the second step S2, since the etching of the
また酸化膜50の十分な範囲を処理液によって覆うためには、第2の液吐出ノズル22からの処理液の吐出量を十分に大きくするとともに、ウエハWの回転数を十分に大きくすることが好ましい。したがって、第2の工程S2における第2の液吐出ノズル22からの処理液の酸化膜50に対する単位時間当たりの供給量は、第1の工程S1における第1の液吐出ノズル21からの処理液の酸化膜50に対する単位時間当たりの供給量よりも大きい。また、第2の工程S2におけるウエハWの回転数は、第1の工程S1におけるウエハWの回転数よりも速い。
In addition, in order to cover a sufficient range of the
例えば、上述のステップS11〜ステップS12の間は、比較的低速である第1の回転速度(例えば200rpm(revolution per minute))で回転するウエハWに対し、比較的多量である第1の供給量(例えば1500ml/min(ミリリットル/分))のリンス液を第2の液吐出ノズル22から供給することで、酸化膜50の表面全体をリンス液で覆うことができる。そして上述のステップS12〜ステップS13の間は、比較的低速である第2の回転速度(例えば200rpm)で回転するウエハWに対し、比較的少量である第2の供給量(例えば500ml/min)のリンス液を第2の液吐出ノズル22から供給し、且つ、比較的少量である第3の供給量(例えば400ml/min)の処理液を第1の液吐出ノズル21から供給することができる。そして上述のステップS13〜ステップS14の間は、上述の第2の回転速度よりも高速である第3の回転速度(例えば750rpm)で回転するウエハWに対し、比較的多量である第4の供給量(例えば1500ml/min)のリンス液を第2の液吐出ノズル22から供給することで、酸化膜50の表面全体をリンス液で覆うことができる。
For example, during steps S11 to S12 described above, the first supply amount is relatively large for a wafer W rotating at a relatively low first rotation speed (for example, 200 rpm (revolution per minute)). The entire surface of the
なお、上述のステップS12〜ステップS13の間におけるウエハWの具体的な回転速度は、ウエハWの外周部の酸化膜50のプロファイルに応じて設定されることが好ましい。すなわちステップS12〜ステップS13において、ウエハW上に供給されたリンス液は、遠心力を受けてウエハWの外周部に向かって広がるが、リンス液に作用する遠心力の大きさはウエハWの回転速度に応じて変わる。その一方で、ウエハW上におけるリンス液と処理液との境界の状態は、リンス液が受ける遠心力の大きさによって変わり、リンス液が大きな遠心力を受けるほど、ウエハWの外周部に供給される処理液のエッチング作用がリンス液によって阻害される。そのため、ウエハWの回転速度が速くなるほど、ウエハWの外周部におけるリンス液の影響が大きくなり、処理液とリンス液との境界近傍におけるエッチング量の変化が緩やかになって、ウエハWの径方向に関するエッチングプロファイルは緩やかな角度を形成する。一方、ウエハWの回転速度が遅くなるほど、ウエハWの外周部におけるリンス液の影響が小さくなり、処理液とリンス液との境界近傍におけるエッチング量の変化が急激になって、ウエハWの径方向に関するエッチングプロファイルは急な角度を形成する。したがってステップS12〜ステップS13の間の工程は、このようなエッチング特性を考慮し、ウエハWの外周部における酸化膜50を中心部の酸化膜50と同じ厚さにエッチングするのに適した回転速度で、ウエハWが回転されることが好ましい。
Preferably, the specific rotational speed of wafer W between steps S12 to S13 described above is set in accordance with the profile of
そして上述のステップS14とステップS15とをほぼ同時に行うことで、第2の液吐出ノズル22から吐出される液体を、間断なく、リンス液から処理液に切り換えることができる。そしてステップS15〜ステップS16の間は、ウエハWの回転速度を上記の第3の速度から第4の速度(例えば500rpm)に徐々に低下させつつ、比較的多量である第5の供給量(例えば1500ml/min)の処理液を第2の液吐出ノズル22からウエハWに供給することで、酸化膜50の表面全体を処理液で覆うことができる。
Then, by performing the above-described step S14 and step S15 almost simultaneously, it is possible to switch the liquid discharged from the second
そして、ウエハWの全体にわたる酸化膜50の厚みが所望厚に達したら、コントローラ101の制御下でバルブ29が閉じられて、第2の液吐出ノズル22からの処理液の供給が停止される(S16)。その後、コントローラ101の制御下でバルブ30が開かれて、第2の液吐出ノズル22から酸化膜50にリンス液が供給される(S17)。そして、酸化膜50上に残存する処理液がリンス液によって洗い流された後に、コントローラ101の制御下でバルブ30が閉じられて、第2の液吐出ノズル22から酸化膜50に対するリンス液の供給が停止される(S18)。なお、上述のステップS17〜ステップS18の間は、上述の第4の速度よりも高速な第5の速度(例えば1500rpm)で回転するウエハWに対し、比較的多量である第6の供給量(例えば1500ml/min)のリンス液を第2の液吐出ノズル22から供給することで、酸化膜50の表面全体をリンス液で覆うことができる。
Then, when the thickness of the
そして上述のステップS18の後は、第1の液吐出ノズル21及び第2の液吐出ノズル22からの液体の吐出を停止させた状態で比較的高速(例えば1500ml/min)でウエハWを回転させることで、ウエハWのスピンドライが行われる。上述の一連の処理ステップを経ることによって、ウエハWの酸化膜50は平坦化される。
Then, after step S18 described above, the wafer W is rotated at a relatively high speed (for example, 1500 ml / min) in a state where the discharge of the liquid from the first
以上説明したように本実施形態の液処理装置100及び液処理方法によれば、上述の第1の工程S1及び第2の工程S2が順次行われることによって、平坦な酸化膜50をウエハWに精度良く形成することができる。
As described above, according to the
特に、上述の条件1(図4参照)及び条件2(図5参照)を満たすように第1の液吐出ノズル21から処理液を吐出させることによって、意図しない箇所で酸化膜50がエッチングされてしまうことを効果的に防ぐことができるとともに処理液の跳ね返りや広がりを抑えることができる。
In particular, by discharging the processing liquid from the first
本件発明者は、第1の液吐出ノズル21からの処理液の吐出角度を変えながら酸化膜50のエッチング量を水平方向位置と関連づけて測定し、酸化膜50のエッチング量と水平方向位置との関係を評価した。具体的には、上述の条件1及び条件2を満たす範囲で処理液の吐出角度を変えて複数回の測定を行った検証1と、上述の条件1及び/又は条件2を満たさない範囲で処理液の吐出角度を変えて複数回の測定を行った検証2とを行った。その結果、上述の条件1及び条件2が満たされる検証1では、いずれの場合においても、「処理液によって酸化膜50の除去が観察された酸化膜50上の最も内側の位置」と「当該処理液が酸化膜50上に着地した位置」との差(以下、「処理液ずれ量」と称する)は、概ね10mm(ミリメートル)以内の範囲に収まっていた。一方、上述の条件1及び条件2以外の条件は上記の検証1とほぼ同じにして且つ上述の条件1及び条件2が満たされない検証2では、殆どの場合で処理液ずれ量が10mmを超えており、多くの場合で処理液ずれ量が20mmを超えていた。これらの検証1及び検証2の結果からも、上述の条件1及び条件2を満たすように第1の液吐出ノズル21から処理液を吐出させることによって、処理液の跳ね返りや広がりを抑えることができ、酸化膜50のうち狙った箇所を精度良くエッチングすることができることが分かる。
The inventor of the present invention measures the etching amount of the
なお、処理液によりエッチングされたウエハWの面は疎水化される。疎水化された面上に処理液膜を適切に形成するには、多量の処理液を供給したり、ウエハWを高速に回転させたりすることが必要である。その一方で、上述の第1の工程S1では、ウエハWの内側への処理液の液跳ねを防止する観点から、多量の処理液を供給したり、ウエハWの回転速度を高速に設定したりすることが難しい。したがって、まず上述の第2の工程S2を行って、その後に上述の第1の工程S1を行う手法は、第1の工程S1のエッチング処理が不安定になるため、好ましくない。一方、第2の工程S2に先立って第1の工程S1が行われる図3に示す手法は、第1の工程S1及び第2の工程S2を安定的に行うことができるため、好ましい。 The surface of the wafer W etched by the processing liquid is hydrophobized. In order to properly form the processing liquid film on the hydrophobized surface, it is necessary to supply a large amount of processing liquid and to rotate the wafer W at high speed. On the other hand, in the first step S1 described above, from the viewpoint of preventing the processing liquid from splashing inside the wafer W, a large amount of processing liquid is supplied, or the rotational speed of the wafer W is set high. It is difficult to do. Therefore, the method in which the above-described second step S2 is performed first and then the above-described first step S1 is performed is not preferable because the etching process in the first step S1 becomes unstable. On the other hand, the method shown in FIG. 3 in which the first step S1 is performed prior to the second step S2 is preferable because the first step S1 and the second step S2 can be stably performed.
[変形例]
本発明は、上述の実施形態及び変形例に限定されるものではなく、当業者が想到しうる種々の変形が加えられた各種態様も含みうるものであり、本発明によって奏される効果も上述の事項に限定されない。したがって、本発明の技術的思想及び趣旨を逸脱しない範囲で、特許請求の範囲及び明細書に記載される各要素に対して種々の追加、変更及び部分的削除が可能である。[Modification]
The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but may include various embodiments to which various modifications that can be conceived by those skilled in the art are added, and the effects exhibited by the present invention are also described above. It is not limited to the matter of. Therefore, various additions, modifications, and partial deletions can be made to the elements described in the claims and the specification without departing from the technical concept and spirit of the present invention.
例えば、上述の実施形態ではウエハWの表面側F1の酸化膜50のみが処理液によるエッチングの対象となっていたが、ウエハWの表面側F1に対する処理液及び/又はリンス液の供給とともにウエハWの裏面側F2に対する処理液及び/又はリンス液の供給が行われてもよい。この場合、ウエハWの裏面側F2に対する液の供給開始は、ウエハWの表面側F1に対して液が既に供給されている状態で行われることが好ましい。これにより、ウエハWの裏面側F2に供給された液が、表面側F1に回り込んでしまうことを、効果的に防ぐことができる。
For example, in the above embodiment, only the
例えば上述の第1の工程S1ではリンス液及び処理液がウエハWの表面側F1の酸化膜50に供給され、第2の工程では処理液がウエハWの表面側F1の酸化膜50に供給される。これらの第1の工程S1及び第2の工程S2のうち少なくともいずれか一方において、ウエハWの裏面側F2にも処理液及び/又はリンス液が供給されてもよい。この場合、第1の工程S1及び第2の工程S2のうち少なくともいずれか一方における処理液がウエハWの表面側F1に供給されている状態で、ウエハWの裏面側F2に対する処理液及び/又はリンス液の供給が開始される。一例として、第1の工程S1では比較的多量(例えば1000ml/min)のリンス液をウエハWの裏面側F2に供給してもよく、また第2の工程S2では比較的多量(例えば1000ml/min)の処理液をウエハWの裏面側F2に形成された酸化膜に供給してもよい。なおウエハWの裏面側F2に対する処理液及び/又はリンス液の供給は、表面側F1に設けられたノズル21、22及びバルブ24、29、30と同様の構成を有するノズル及びバルブを裏面側F2に設けて、当該ノズルからウエハWの裏面側F2に向けて処理液及び/又はリンス液を吐出させることで行うことができる。
For example, the rinse liquid and the processing liquid are supplied to the
また、上述の処理液及びリンス液の具体的な組成も特に限定されず、ウエハW等の基板に形成された酸化膜50等の膜を除去することができる液体を処理液として使用することが可能であり、そのような処理液を適切に洗い流すことができる液体をリンス液として使用することが可能である。また第1の液吐出ノズル21から吐出される処理液と第2の液吐出ノズル22から吐出される処理液とは、相互に同じ組成の液体であってもよいし、相互に異なる組成の液体であってもよい。またウエハWの裏面側に供給される処理液は、第1の液吐出ノズル21及び/又は第2の液吐出ノズル22から吐出される処理液と同じ組成であってもよいし、異なる組成であってもよい。またウエハWの裏面側に供給されるリンス液は、第2の液吐出ノズル22から吐出されるリンス液と同じ組成であってもよいし、異なる組成であってもよい。
Further, the specific composition of the above-described processing liquid and rinse liquid is not particularly limited, and a liquid capable of removing a film such as
1 基板保持部
2 回転機構
4 液供給機構
50 酸化膜
100 液処理装置
101 コントローラ
W ウエハ
S1 第1の工程
S2 第2の工程DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (10)
基板を回転させながら外周部に形成された中心部より厚い膜にエッチング液を供給するとともに前記エッチング液が供給される位置よりも前記基板の中心側に前記エッチング液による前記膜のエッチングを阻害するエッチング阻害液を供給して前記外周部の膜をエッチングする第1の工程と、
前記第1の工程の後に、回転する前記基板にエッチング液を供給して予め設定された膜厚までエッチングする第2の工程と、を備える液処理方法。It is a liquid processing method in which an etching solution is supplied to a substrate having a thicker film in the outer peripheral portion than in the central film, and the film is etched,
The etching solution is supplied to a film thicker than the central portion formed on the outer peripheral portion while rotating the substrate, and the etching of the film by the etching solution is inhibited closer to the center of the substrate than the position where the etching solution is supplied. A first step of supplying an etching inhibiting solution to etch the film of the outer peripheral portion;
After the first step, supplying an etching solution to the rotating substrate to etch the substrate to a predetermined film thickness.
前記第2の工程において、前記エッチング液は、前記基板の前記表面側に供給され、
前記第1の工程及び前記第2の工程のうち少なくともいずれか一方において、前記基板の裏面側に第2の液が供給され、
前記第2の液は、前記第1の工程及び前記第2の工程のうち少なくともいずれか一方における前記エッチング液が前記基板の前記表面側に供給されている状態で、前記基板の前記裏面側に供給される請求項1〜5のいずれか一項に記載の液処理方法。In the first step, the etching inhibiting solution and the etching solution are supplied to the surface side of the substrate,
In the second step, the etching solution is supplied to the surface side of the substrate,
In at least one of the first step and the second step, a second liquid is supplied to the back surface side of the substrate,
The second liquid is applied to the back surface side of the substrate in a state where the etching liquid in at least one of the first step and the second step is supplied to the front surface side of the substrate. The liquid processing method according to any one of claims 1 to 5, which is supplied.
基板を回転可能に保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転させる回転機構と、
前記基板保持部に保持される前記基板に形成された膜に液を供給する液供給機構と、
少なくとも前記液供給機構を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、
前記基板保持部により保持されて回転する前記基板の前記膜に対して前記液供給機構からエッチング液及びエッチング阻害液を供給する第1の工程であって、前記基板を回転させながら外周部に形成された中心部より厚い膜にエッチング液を供給するとともに前記エッチング液が供給される位置よりも前記基板の中心側に前記エッチング液による前記膜のエッチングを阻害するエッチング阻害液を供給して前記外周部の膜をエッチングする第1の工程と、
前記第1の工程の後に、回転する前記基板にエッチング液を供給して予め設定された膜厚までエッチングする第2の工程と、を行う液処理装置。A liquid processing apparatus that supplies an etching solution to a substrate having a thicker film at the outer peripheral portion than a central film, and etches the film,
A substrate holding unit that rotatably holds the substrate;
A rotation mechanism for rotating the substrate holding unit;
A liquid supply mechanism that supplies a liquid to a film formed on the substrate held by the substrate holding unit;
A controller that controls at least the liquid supply mechanism;
The controller
It is a first step of supplying an etching solution and an etching inhibiting solution from the liquid supply mechanism to the film of the substrate held and rotated by the substrate holding unit, wherein the substrate is formed on the outer periphery while rotating the substrate The etching solution is supplied to a film thicker than the central portion, and the etching inhibiting solution for preventing the etching of the film by the etching solution is supplied to the center side of the substrate than the position where the etching solution is supplied. A first step of etching a portion of the film;
A liquid processing apparatus for performing an etching process up to a predetermined film thickness by supplying an etching solution to the rotating substrate after the first process;
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016209840 | 2016-10-26 | ||
JP2016209840 | 2016-10-26 | ||
PCT/JP2017/038207 WO2018079494A1 (en) | 2016-10-26 | 2017-10-23 | Fluid treatment method and fluid treatment device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018079494A1 true JPWO2018079494A1 (en) | 2019-07-25 |
JP6755962B2 JP6755962B2 (en) | 2020-09-16 |
Family
ID=62024976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018547659A Active JP6755962B2 (en) | 2016-10-26 | 2017-10-23 | Liquid treatment method and liquid treatment equipment |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6755962B2 (en) |
TW (1) | TW201828356A (en) |
WO (1) | WO2018079494A1 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7141892B2 (en) * | 2018-09-03 | 2022-09-26 | 株式会社プレテック | Etching apparatus and etching method |
JP2020123676A (en) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 信越半導体株式会社 | Etching method |
JP7309485B2 (en) * | 2019-07-04 | 2023-07-18 | 東京エレクトロン株式会社 | Etching apparatus and etching method |
CN114787971A (en) * | 2019-12-16 | 2022-07-22 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate processing method |
JP7386700B2 (en) * | 2019-12-27 | 2023-11-27 | 株式会社Screenホールディングス | Substrate processing method |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000269178A (en) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Nec Corp | Method and apparatus for etching removal as well as method and apparatus for cleaning |
JP2002170808A (en) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Bevel etching apparatus |
JP2003318154A (en) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Method and device for etching substrate |
JP2004335923A (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Sony Corp | Etching method and etching device |
JP2007266302A (en) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokyo Electron Ltd | Liquid processing apparatus, and liquid processing method, as well as computer-readable storage medium |
JP2010010679A (en) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Semes Co Ltd | Substrate processing device and method for selectively etching substrate surface |
JP2010040729A (en) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Sumco Corp | Method for manufacturing soi wafer |
JP2016066740A (en) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate liquid processing method, substrate liquid processing apparatus, and storage medium |
-
2017
- 2017-10-18 TW TW106135574A patent/TW201828356A/en unknown
- 2017-10-23 WO PCT/JP2017/038207 patent/WO2018079494A1/en active Application Filing
- 2017-10-23 JP JP2018547659A patent/JP6755962B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000269178A (en) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Nec Corp | Method and apparatus for etching removal as well as method and apparatus for cleaning |
JP2002170808A (en) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Bevel etching apparatus |
JP2003318154A (en) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Method and device for etching substrate |
JP2004335923A (en) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Sony Corp | Etching method and etching device |
JP2007266302A (en) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tokyo Electron Ltd | Liquid processing apparatus, and liquid processing method, as well as computer-readable storage medium |
JP2010010679A (en) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Semes Co Ltd | Substrate processing device and method for selectively etching substrate surface |
JP2010040729A (en) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Sumco Corp | Method for manufacturing soi wafer |
JP2016066740A (en) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate liquid processing method, substrate liquid processing apparatus, and storage medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6755962B2 (en) | 2020-09-16 |
WO2018079494A1 (en) | 2018-05-03 |
TW201828356A (en) | 2018-08-01 |
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Legal Events
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