JPWO2011068146A1 - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
Description
基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子と、外部からの垂直磁界成分を水平方向への磁界成分に変換し、前記水平方向へ変換された磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える前記磁気抵抗効果素子と非接触の軟磁性体と、を有することを特徴とするものである。
前記軟磁性体は前記前後方向に延出形成されており、前記磁気抵抗効果素子は、前記軟磁性体よりも短く形成され、複数の前記磁気抵抗効果素子が前記軟磁性体の前記左右方向の両側に配置されていることが好ましい。これにより、一つの軟磁性体に対して複数の磁気抵抗効果素子を配置することができ、磁気センサの小型化を促進することが可能である。また磁気抵抗効果素子に対する配置の自由度が高い。例えば左右方向に配置される磁気抵抗効果素子は、左右方向に相対向するように配置してもよいし、前後方向にずらして配置してもよい。
H2、H3 水平方向に変換された磁界成分
H4〜H6 水平磁界成分
P 固定磁性層の固定磁化方向
S、S1〜S18 磁気抵抗効果素子
1 Z軸磁気センサ
2、16 基板
3 第1の軟磁性体
3b (第1の軟磁性体の)下面
3b1、3b2 下面端部
4 接続部
5 配線層
6〜9 電極パッド
10、17 絶縁層
11、12 第2の軟磁性体
14 素子部
18 軟磁性体
33 反強磁性層
34 固定磁性層
35 非磁性層
36 フリー磁性層
50 Y軸磁気センサ
70 X軸磁気センサ
71 支持体
Claims (8)
- 基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子と、外部からの垂直磁界成分を水平方向への磁界成分に変換し、前記水平方向へ変換された磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える前記磁気抵抗効果素子と非接触の軟磁性体と、を有することを特徴とする磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子は、前記軟磁性体の下面端部の近傍に配置されている請求項1記載の磁気センサ。
- 複数の前記磁気抵抗効果素子が、前記軟磁性体の下面端部の両側近傍に夫々配置されている請求項2記載の磁気センサ。
- 平面視にて直交する2方向の一方を前後方向、他方を左右方向としたとき、
前記軟磁性体は前記前後方向に延出形成されており、前記磁気抵抗効果素子は、前記軟磁性体よりも短く形成され、複数の前記磁気抵抗効果素子が前記軟磁性体の前記左右方向の両側に配置されている請求項3記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子は、磁化方向が固定された固定磁性層と、前記固定磁性層に非磁性層を介して積層され磁化方向が変動可能なフリー磁性層とを有し、各磁気抵抗効果素子の前記固定磁性層の磁化方向は同じ方向であり、各磁気抵抗効果素子によりブリッジ回路が構成されている請求項3記載の磁気センサ。
- 前記軟磁性体は、間隔を空けて複数本設けられ、平面視にて、前記間隔内に位置する前記磁気抵抗効果素子は、前記間隔の中心位置よりもどちらかの前記軟磁性体に寄って形成されている請求項1記載の磁気センサ。
- 平面視にて直交する2方向の一方を前後方向、他方を左右方向としたとき、
第1の軟磁性体は前記左右方向に間隔を空けて複数本設けられ、各第1の軟磁性体は、前記前後方向に延出形成されており、各第1の軟磁性体の前後方向の両端側に、前記左右方向に平行な第2の軟磁性体が形成されている請求項1記載の磁気センサ。 - 前記基板上に前記磁気抵抗効果素子が形成され、前記磁気抵抗効果素子上から前記基板上にかけて絶縁層が形成され、前記絶縁層上に前記軟磁性体が形成されている請求項1記載の磁気センサ。
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