JPWO2010095378A1 - 出力装置および試験装置 - Google Patents
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Abstract
入力信号に応じた出力信号を出力する出力装置であって、それぞれが入力信号に応じた波形の中間信号を出力する複数のドライバと、複数のドライバのそれぞれから出力された中間信号を加算して、出力信号として出力する加算部と、指定されたスルーレートに応じて、複数のドライバ間における、入力信号が変化し始めてから中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差を設定する制御部と、を備える出力装置を提供する。
Description
本発明は、出力装置および試験装置に関する。
データ信号と並行してクロック信号を伝送するDDR等のデバイスが知られている。このようなデバイスは、クロック信号の1サイクル中において複数ビットのデータを転送することができるので、データの転送レートを高くすることができる。
ところで、このようなデバイスでは、取得可能なデータ信号およびクロック信号のスルーレートの範囲が、当該デバイスの品質によって変化する。従って、このようなデバイスは、出荷時等において、試験装置により、所定のスルーレートの信号を取得することができるか否かの試験がされている。
そこで本発明の1つの側面においては、上記の課題を解決することのできる出力装置および試験装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、入力信号に応じた出力信号を出力する出力装置であって、それぞれが前記入力信号に応じた波形の中間信号を出力する複数のドライバと、前記複数のドライバのそれぞれから出力された前記中間信号を加算して、前記出力信号として出力する加算部と、指定されたスルーレートに応じて、前記複数のドライバ間における、前記入力信号が変化し始めてから前記中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差を設定する制御部と、を備える出力装置、および、このような出力装置を備える試験装置を提供する。
本発明の第2の態様においては、入力信号に応じた出力信号を出力する出力装置であって、前記入力信号に応じた波形の中間信号を出力するドライバと、前記入力信号に応じた波形の補正信号を出力する補正ドライバと、前記補正ドライバから出力された前記補正信号の高周波数成分を通過させるハイパスフィルタと、前記ドライバから出力された前記中間信号および前記ハイパスフィルタを通過した前記補正信号を加算して、前記出力信号として出力する加算部と、指定されたスルーレートに応じて、前記補正ドライバから出力される前記補正信号の電圧レベルを設定する制御部と、を備える出力装置、および、このような出力装置を備える試験装置を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本実施形態に係る出力装置10の構成を示す。出力装置10は、入力信号に応じた電圧波形の出力信号を出力する。出力装置10は、複数の可変遅延部22と、複数のドライバ24と、複数の電源部26と、複数の出力抵抗28と、複数の伝送路30と、加算部32と、制御部34と、キャリブレーション部36と、記憶部38とを備える。
複数の可変遅延部22のそれぞれは、複数のドライバ24のそれぞれに一対一で対応付けられている。各可変遅延部22は、制御部34により遅延量が設定される。各可変遅延部22は、当該出力装置10が入力した入力信号を、設定された遅延量分遅延して出力する。
複数のドライバ24のそれぞれは、対応する可変遅延部22により遅延された入力信号を受け取り、受け取った入力信号に応じた波形の中間信号を出力する。各ドライバ24は、一例として、与えられた電圧信号を増幅して出力するバッファ回路である。複数のドライバ24は、例えば、略同一の特性を有する同一種類の電圧バッファ回路である。
複数の電源部26は、複数のドライバ24のそれぞれに一対一で対応付けられている。各電源部26は、対応するドライバ24に駆動電圧を与えて、対応するドライバ24が出力する中間信号の電圧レベルを制御する。各電源部26は、一例として、制御部34により駆動電圧のレベルが設定される。
複数の出力抵抗28のそれぞれは、複数のドライバ24のそれぞれに一対一で対応付けられている。複数の伝送路30のそれぞれは、複数のドライバ24のそれぞれに一対一で対応付けられている。
例えば、各出力抵抗28は、一端が、対応するドライバ24の出力端子に接続される。各伝送路30は、一端が、対応する出力抵抗28におけるドライバ24が接続されていない他端に接続される。各伝送路30は、出力抵抗28が接続されていない他端が、加算部32に接続される。このように直列に接続された各出力抵抗28および各伝送路30は、対応するドライバ24から出力された中間信号を加算部32へと伝播することができる。
加算部32は、複数のドライバ24のそれぞれから出力された中間信号を、出力抵抗28および伝送路30を介して受け取る。そして、加算部32は、複数のドライバ24のそれぞれから出力された中間信号を加算して、出力信号として出力する。
加算部32は、一例として、複数の入力側抵抗56と、出力側抵抗58とを有する。複数の入力側抵抗56のそれぞれは、複数のドライバ24のそれぞれに一対一で対応付けられている。
各入力側抵抗56は、対応するドライバ24が出力した中間信号を入力する入力ノード52と、接続ノード50との間に設けられる。出力側抵抗58は、接続ノード50と、出力信号を外部へと出力する出力ノード54との間に設けられる。このような加算部32は、複数のドライバ24のそれぞれから出力された中間信号の電圧レベルを加算することができる。
本実施形態において、加算部32は、当該出力装置10の出力端12側から見たときの抵抗値が、当該出力装置10の出力端12と基準電位との間に接続された終端抵抗42の抵抗値に一致する。例えば、各出力抵抗28の抵抗値がRΩ(例えば50Ω)であり、終端抵抗42の抵抗値がRΩ(例えば50Ω)である場合には、各入力側抵抗56および出力側抵抗58のそれぞれは、R/2Ω(例えば25Ω)であってよい。また、これに代えて、各入力側抵抗56は0Ω(即ち、各入力ノード52と接続ノード50との間がそれぞれ短絡されている状態)であって、出力側抵抗58は(R×2/3)Ω(例えば33.3Ω)であってもよい。
制御部34は、外部からスルーレートが指定される。制御部34は、指定されたスルーレートに応じて、複数のドライバ24間における、入力信号が変化し始めてから中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差を設定する。制御部34は、一例として、複数の可変遅延部22のそれぞれに対して、指定されたスルーレートに対応する遅延量を設定する。
これに加えて、制御部34は、指定されたスルーレートに応じて、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルを更に設定してもよい。制御部34は、一例として、複数の電源部26のそれぞれに対して、指定されたスルーレートに対応する駆動電圧を設定する。
キャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、複数のドライバ24間における遅延量の差を測定する。キャリブレーション部36は、一例として、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、複数の可変遅延部22のそれぞれの遅延量を測定する。
キャリブレーション部36は、一例として、複数の可変遅延部22のそれぞれに対して遅延量を設定した状態において、複数の可変遅延部22のそれぞれに入力信号を与えて、加算部32から出力された出力信号のスルーレートを測定する。そして、キャリブレーション部36は、複数の可変遅延部22のそれぞれに与える遅延量の差を、例えば所定量ずつ変化させて、同様にスルーレートを測定する。これにより、キャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、複数の可変遅延部22のそれぞれの遅延量を検出することができる。
また、これに加えて、キャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、複数のドライバ24間の遅延量の差、および、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルの組合せを測定してもよい。キャリブレーション部36は、一例として、複数の可変遅延部22のそれぞれに与える遅延量の差および複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルの組合せを、例えば所定量ずつ変化させて、スルーレートを測定してもよい。
記憶部38は、キャリブレーション部36による測定結果を記憶する。記憶部38は、一例として、制御部34に対して指定されるスルーレートと、複数の可変遅延部22のそれぞれに設定する遅延量との対応関係を表すテーブルを記憶する。そして、制御部34は、指定されたスルーレートに対応する複数の可変遅延部22のそれぞれの遅延量を読み出して、読み出した遅延量を対応する可変遅延部22に設定する。これにより、制御部34は、キャリブレーション部36による測定結果に基づいて、複数のドライバ24間における遅延量の差を設定することができる。
また、これに加えて、記憶部38は、制御部34に対して指定されるスルーレートと、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルとの対応関係を表すテーブルを更に記憶してもよい。そして、制御部34は、指定されたスルーレートに対応する複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルを読み出して、読み出した電圧レベルに対応する駆動電圧を対応する電源部26に設定する。これにより、制御部34は、キャリブレーション部36による測定結果に基づいて、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルを設定することができる。
図2および図3は、出力装置10に与えられる入力信号、第1から第3のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号、および、出力装置10から出力される出力信号の一例を示す。図2は、複数のドライバ24間における、入力信号が変化し始めてから中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差が0の場合の信号を示す。図3は、第1のドライバ24と第2のドライバ24との間における遅延量の差がt1、第2のドライバ24と第3のドライバ24との間における遅延量の差がt2の場合の信号を示す。
出力信号の振幅は、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の振幅の合計である。例えば、3個のドライバ24から出力される中間信号の電圧振幅のそれぞれがVボルトである場合、出力信号の電圧振幅は3×Vボルトとなる。
また、出力信号が変化し始めてから変化が終えるまでの期間(変化期間と呼ぶ場合もある。)は、最も早く変化し始める中間信号の変化開始タイミングから、最も遅く変化をし終える中間信号の変化終了タイミングまでの期間となる。例えば、第1〜第3のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の変化期間がTであり、第1のドライバ24と第2のドライバ24との間の遅延量の差がt1、第2のドライバ24と第3のドライバ24との遅延量の差がt2である場合、出力信号の変化期間は、T+t1+t2となる。
なお、本例において、信号が変化し始めるタイミング(即ち、変化開始タイミング)は、信号のレベルが、安定時レベルから、振幅の第1割合(例えば20%)分変化したタイミングである。また、本例において、信号が変化し終えるタイミング(即ち、変化終了タイミング)は、信号のレベルが、安定時レベルから、振幅の第2割合(第2割合は第1割合より大きい、例えば80%)分変化したタイミングである。
ここで、信号のスルーレートは信号の傾き(即ち、信号の時間変化量)である。そして、複数のドライバ24間における遅延量の差が大きいと、出力信号の変化期間は大きくなる。従って、出力信号のスルーレートは、複数のドライバ24間における遅延量の差が大きいほど小さくなる。このことから、制御部34は、複数のドライバ24間における遅延量の差を変化させることにより、出力信号のスルーレートを変化させることができる。
また、中間信号の合計の振幅が大きいと、出力信号の振幅も大きくなる。従って、出力信号のスルーレートは、中間信号の合計の振幅が大きいほど大きくなる。このことから、制御部34は、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルを更に変化させることによっても、出力信号のスルーレートを変化させることができる。
なお、制御部34は、複数のドライバ24間における遅延量の差を0とすることにより、出力信号のスルーレートを最も大きくすることができる。また、制御部34は、複数のドライバ24間における遅延量の差を、均等にずらすことにより、出力信号を線形性良く変化させることができる。例えば、制御部34は、第1のドライバと第2のドライバとの間の遅延量の差t1と、および、第2のドライバと第3のドライバとの間の遅延量の差t2とを同一にすることにより、出力信号を線形性良く変化させることができる。
また、制御部34は、一例として、出力信号の変化期間が、複数のドライバ24のそれぞれが出力する中間信号の変化時間を合計した時間以下となる範囲で、複数のドライバ24間における遅延量の差を設定する。例えば、第1〜第3のドライバ24のそれぞれから出力される各中間信号の変化期間がTである場合、制御部34は、出力信号の変化期間が3×T以下となる範囲で、複数のドライバ24間における遅延量の差を設定する。これにより、制御部34は、出力信号を線形性良く変化させることができる。
図4は、複数のドライバ24間における遅延量の差を変化させた場合における、出力信号の立上り波形の第1例を示す。図5は、複数のドライバ24間における遅延量の差を変化させた場合における、出力信号の立下り波形の第1例を示す。
図4および図5は、3チャンネルのドライバ24間における遅延量の差を、0psから300psまで50ps/ステップで変化させた各場合における波形を表わす。この図4および図5に示されるように、出力装置10は、複数のドライバ24における遅延量の差を変化させることにより、出力信号のスルーレートを段階的に変化させることができる。
図6は、複数のドライバ24間における遅延量の差を変化させた場合における、出力信号の立上り波形の第2例を示す。図7は、複数のドライバ24間における遅延量の差を変化させた場合における、出力信号の立下り波形の第2例を示す。
図6および図7は、図4および図5の場合と同様に、3チャンネルのドライバ24間における遅延量の差を0psから300psまで50ps/ステップで変化させた各場合における波形を表わす。制御部34は、図6および図7に示されるように、例えば、入力信号が変化し始めてから出力信号が所定の電圧レベルとなるまでの時間が同一となるように、複数のドライバ24間における遅延量の差を設定してもよい。例えば、制御部34は、出力信号の振幅が50%のタイミングが、スルーレートの変化に関わらず同一となるように、複数のドライバ24間における遅延量の差を設定してもよい。
図8は、本実施形態の第1変形例に係る出力装置10の構成を示す。本変形例に係る出力装置10は、図1に示された出力装置10と略同一の構成および機能を採るので、図1に示された出力装置10が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
本変形例に係る出力装置10は、一のドライバ24と、補正ドライバ70と、2個の電源部26と、2個の出力抵抗28と、2個の伝送路30と、ハイパスフィルタ72と、加算部32と、制御部34と、キャリブレーション部36と、記憶部38とを備える。
補正ドライバ70は、入力信号を受け取り、受け取った入力信号に応じた波形の補正信号を出力する。補正ドライバ70は、一例として、与えられた電圧信号を増幅して出力するバッファ回路である。ドライバ24および補正ドライバ70は、一例として、略同一の特性を有する同一種類の電圧バッファ回路である。
2個の電源部26は、一方がドライバ24に対応付けられ、他方が補正ドライバ70に対応付けられる。補正ドライバ70に対応する電源部26は、補正ドライバ70に駆動電圧を与えて、補正ドライバ70が出力する補正信号の電圧レベルを設定する。なお、補正ドライバ70に対応付けられている電源部26は、制御部34から駆動電圧が設定され、補正ドライバ70から出力される中間信号を設定された電圧レベルの電圧で出力させる。
また、補正ドライバ70は、一例として、電源部26から与えられる駆動電圧に応じて、入力信号を反転した波形の補正信号も出力する。補正ドライバ70は、一例として、補正信号の反転または非反転を切り替える回路を内部に有する構成であってよい。補正ドライバ70は、一例として、電源部26から正の駆動電圧が与えられた場合には、入力信号に対して非反転波形の補正信号を出力し、電源部26から負の駆動電圧が与えられた場合には、入力信号に対して反転波形の補正信号を出力する構成であってもよい。
2個の出力抵抗28は、一方がドライバ24に対応付けられ、他方が補正ドライバ70に対応付けられる。2個の伝送路30は、一方がドライバ24に対応付けられ、他方が補正ドライバ70に対応付けられる。補正ドライバ70に対応付けられている出力抵抗28および伝送路30は、直列接続されて、補正ドライバ70から出力された補正信号を加算部32へと伝播する。
ハイパスフィルタ72は、補正ドライバ70から出力された補正信号の高周波数成分を通過させて、加算部32へと伝播する。ハイパスフィルタ72は、一例として、補正ドライバ70に対応する伝送路30と加算部32との間に、直列に挿入されたコンデンサであってよい。
本変形例に係る加算部32は、ドライバ24から出力された中間信号およびハイパスフィルタ72を通過した補正信号を受け取る。そして、本変形例に係る加算部32は、ドライバ24から出力された中間信号およびハイパスフィルタ72を通過した補正信号を加算して、出力信号として出力する。
加算部32は、一例として、ドライバ24から出力された中間信号を伝播する伝送路30の出力端と、当該出力装置10の出力端12との間を接続する第1信号線74と、ハイパスフィルタ72の出力端と第1信号線74との間を接続する第2信号線76とを有する。これにより、加算部32は、ドライバ24から出力された中間信号の電圧レベルに、ハイパスフィルタ72から出力された補正信号の電圧レベルを加算して出力端12から出力することができる。
本変形例に係る制御部34は、指定されたスルーレートに応じて、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルを設定する。制御部34は、一例として、補正ドライバ70に対応する電源部26に対して、指定されたスルーレートに対応する駆動電圧を出力させる。
本変形例に係るキャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、補正信号の電圧レベルを測定する。キャリブレーション部36は、一例として、補正ドライバ70に対して所定の駆動電圧を供給した状態において、入力信号を与えて、出力信号のスルーレートを測定する。そして、キャリブレーション部36は、補正ドライバ70に供給する駆動電圧を、例えば所定量ずつ変化させて、同様にスルーレートを測定する。これにより、キャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、補正信号の電圧レベルを検出することができる。
図9および図10は、第1変形例に係る出力装置10に与えられる入力信号、ドライバ24から出力される中間信号、ハイパスフィルタ72の通過前後の補正信号、および、出力装置10から出力される出力信号の一例を示す。図9は、入力信号に対して非反転波形の補正信号を補正ドライバ70が出力する場合の各信号を示す。図10は、入力信号に対して反転波形の補正信号を補正ドライバ70が出力する場合の各信号を示す。
図9に示されるように、入力信号に対して非反転波形の補正信号の高周波数成分は、入力信号の変化方向にピークを有する山形の波形となる。従って、入力信号に対して非反転波形の中間信号に、このような波形の信号を加算した場合には、中間信号の変化の傾きをより急峻にすることができる。
また、入力信号に対して非反転波形の補正信号の高周波数成分は、補正信号の振幅が大きいほど、ピークが大きくなる。従って、入力信号に対して非反転波形の中間信号に、振幅のより大きい非反転波形の補正信号の高周波数成分を加算した場合には、中間信号の変化の傾きをより急峻にすることができる。
また、図10に示されるように、入力信号に対して反転波形の補正信号の高周波数成分は、当該入力信号の変化方向とは逆方向にピークを有する山形の波形となる。従って、入力信号に対して非反転波形の中間信号に、このような波形の信号を加算した場合には、中間信号の変化の傾きをより緩やかにすることができる。
また、入力信号に対して反転波形の補正信号の高周波数成分は、補正信号の振幅が大きいほど、ピークが大きくなる。従って、入力信号に対して非反転波形の中間信号に、振幅のより大きい反転波形の補正信号の高周波数成分を加算した場合には、中間信号の変化の傾きをより緩やかにすることができる。
そして、補正信号の高周波成分のピーク値は、補正信号の電圧レベルが大きいほど大きくなる。このことから、本変形例において、制御部34は、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルを変化させることにより、出力信号のスルーレートを変化させることができる。
図11は、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルを変化させた場合における、出力信号の立上り波形の第1例を示す。図12は、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルを変化させた場合における、出力信号の立上り波形の第2例を示す。
図11および図12は、振幅が1、2、3ボルトの非反転波形の補正信号(R1、R2、R3)、補正信号無し(R4)、振幅が1、2、3ボルトの反転波形の補正信号(R5、R6、R7)の波形を表す。図11および図12に示されるように、本変形例に係る出力装置10は、補正信号の振幅および波形パターンを変化させることにより、出力信号のスルーレートを段階的に変化させることができる。
また、制御部34は、図12に示されるように、例えば、入力信号が変化し始めてから出力信号が所定の電圧レベルとなるまでの時間が同一となるように、補正信号の振幅および波形パターンを変化させてもよい。例えば、制御部34は、出力信号の振幅が50%のタイミングが、スルーレートの変化に関わらず同一となるように、補正信号の振幅および波形パターンを設定してもよい。
図13は、本実施形態の第2変形例に係る出力装置10の構成を示す。本変形例に係る出力装置10は、図1に示された出力装置10と略同一の構成および機能を採るので、図1に示された出力装置10が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
本変形例に係る出力装置10は、補正ドライバ70と、ハイパスフィルタ72とを更に備える。また、本変形例に係る出力装置10は、それぞれが補正ドライバ70に対応する、電源部26と、出力抵抗28と、伝送路30とを更に備える。
補正ドライバ70およびハイパスフィルタ72は、図8に示された同一符号の部材と同一の機能および構成を有する。また、補正ドライバ70に対応する電源部26、出力抵抗28および伝送路30は、図8に示された、補正ドライバ70に対応する電源部26、出力抵抗28および伝送路30と同一の機能および構成を有する。従って、これらの構成要素については、相違点を除き説明を省略する。
本変形例に係る加算部32は、複数のドライバ24のそれぞれから出力された中間信号を、対応する出力抵抗28および伝送路30を介して受け取る。さらに、加算部32は、ハイパスフィルタ72を通過した補正信号を受け取る。加算部32は、複数のドライバ24から出力された中間信号およびハイパスフィルタ72を通過した補正信号を加算して、出力信号として出力する。
本変形例に係る加算部32は、一例として、第1加算回路82と、第2加算回路84とを有する。第1加算回路82は、複数のドライバ24のそれぞれから出力された中間信号の電圧レベルを加算する。第1加算回路82は、一例として、図1に示される加算部32と同様に、当該出力装置10の出力端12側から見たときの抵抗値が、終端抵抗42の抵抗値に一致する構成である。
第2加算回路84は、第1加算回路82により加算された信号を当該出力装置10の出力端12へと伝播する第1信号線74と、ハイパスフィルタ72の出力端と第1信号線74との間を接続する第2信号線76とを有する。これにより、加算部32は、第1加算回路82により中間信号を電圧加算した後の信号に、ハイパスフィルタ72から出力された補正信号の電圧レベルを加算して出力端12から出力することができる。
本変形例に係る制御部34は、指定されたスルーレートに応じて、複数の可変遅延部22のそれぞれに対して遅延量を設定するとともに、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルを設定する。また、制御部34は、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルを更に設定してもよい。
本変形例に係るキャリブレーション部36は、指定されるスルーレートの出力信号が得られる、複数のドライバ24間の遅延量の差、および、補正ドライバ70から出力される補正信号の電圧レベルおよび波形パターンの組合せを測定する。また、キャリブレーション部36は、一例として、更に、複数のドライバ24のそれぞれから出力される中間信号の電圧レベルとの組合せも測定してよい。
このような本変形例に係る出力装置10は、出力信号のスルーレートをより詳細に変化させることができる。
図14は、本実施形態に係る試験装置100の構成を示す。試験装置100は、図1から図13を参照して説明した出力装置10が備える部材を備える。出力装置10内に備えられる部材と略同一の構成および機能を有する部材については、図14中において同一の符号を付けて、相違点を除き説明を省略する。
試験装置100は、DUT200を試験する。試験装置100は、本体部102と、パフォーマンスボード104とを備える。本体部102は、被試験デバイス(DUT)200に対して信号を供給し、DUT200から信号を取得する。
パフォーマンスボード104は、当該DUT200を搭載する。パフォーマンスボード104は、本体部102と複数の伝送路30を介して接続される。
本体部102は、パターン発生器110と、タイミング発生器112と、複数の波形発生部114と、コンパレータ118と、取得部120と、判定部122と、複数のドライバ24と、複数の電源部26と、複数の出力抵抗28とを有する。
パターン発生器110は、当該本体部102から発生する信号の波形および発生タイミングを指定する論理パターンを発生する。さらに、パターン発生器110は、当該本体部102が入力する信号の期待値および信号を取得する取得タイミングを指定する期待パターンを発生する。パターン発生器110は、論理パターンを波形発生部114へ供給する。また、パターン発生器110は、期待パターンを判定部122へ供給する。
タイミング発生器112は、当該本体部102が信号を出力するタイミングを指定するためのタイミング信号を発生する。また、タイミング発生器112は、当該本体部102が信号の値を入力するタイミングを指定するためのストローブ信号を発生する。タイミング発生器112は、タイミング信号を波形発生部114へと供給し、ストローブ信号を取得部120へと供給する。
各波形発生部114は、与えられたタイミング信号をパターン発生器110により指定された発生タイミングに応じた遅延量分遅延する。そして、波形発生部114は、遅延したタイミング信号のタイミングにおいてパターン発生器110により指定された波形の論理信号を発生する。波形発生部114は、発生した論理信号を対応するドライバ24へと供給する。
各ドライバ24は、対応する波形発生部114から与えられた論理信号に応じた電圧レベルの信号を、対応する出力抵抗28および伝送路30を介してパフォーマンスボード104へと供給する。コンパレータ118は、DUT200の対応する端子から信号を入力して、入力した信号の電圧レベルに応じた論理値を表す論理信号を生成する。そして、コンパレータ118は、生成した論理信号を取得部120へ与える。
取得部120は、タイミング発生器112から供給されるストローブ信号を、パターン発生器110により指定された取得タイミングに応じた遅延量分遅延する。そして、取得部120は、遅延したストローブ信号のタイミングにおいて、コンパレータ118から出力された論理信号の論理値を取得する。取得部120は、取得した論理値を判定部122へと供給する。
判定部122は、取得部120により取得された論理値を、パターン発生器110により指定された期待値と一致するか否かを比較する。取得部120は、比較結果を外部の制御装置へと供給する。また、取得部120は、比較結果をメモリ等に書き込んでもよい。
また、本実施形態において、パフォーマンスボード104は、加算部32を有する。加算部32は、複数のドライバ24から出力された信号を加算して、出力信号としてDUT200の所定の端子に供給する。
このような試験装置100において、各波形発生部114は、出力装置10における可変遅延部22として機能する。また、パターン発生器110は、出力装置10における制御部34として機能する。即ち、パターン発生器110は、指定されたスルーレートに応じて、複数の波形発生部114の遅延量を設定する。これにより、試験装置100は、指定されたスルーレートの信号をDUT200へと供給することができる。なお、パターン発生器110は、指定されたスルーレートに応じて、それぞれのドライバ24が出力する中間信号の電圧レベルを更に設定してもよい。
また、パフォーマンスボード104は、ハイパスフィルタ72を更に有してもよい。この場合、ハイパスフィルタ72に信号を供給する一のドライバ24が、補正ドライバ70として機能する。そして、パターン発生器110は、補正ドライバ70として機能するドライバ24が出力する信号の電圧を変化させる。このような構成であっても、試験装置100は、指定されたスルーレートの信号をDUT200へと供給することができる。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
10 出力装置、12 出力端、22 可変遅延部、24 ドライバ、26 電源部、28 出力抵抗、30 伝送路、32 加算部、34 制御部、36 キャリブレーション部、38 記憶部、42 終端抵抗、50 接続ノード、52 入力ノード、54 出力ノード、56 入力側抵抗、58 出力側抵抗、70 補正ドライバ、72 ハイパスフィルタ、74 第1信号線、76 第2信号線、82 第1加算回路、84 第2加算回路、100 試験装置、102 本体部、104 パフォーマンスボード、110 パターン発生器、112 タイミング発生器、114 波形発生部、118 コンパレータ、120 取得部、122 判定部、200 DUT
Claims (10)
- 入力信号に応じた出力信号を出力する出力装置であって、
それぞれが前記入力信号に応じた波形の中間信号を出力する複数のドライバと、
前記複数のドライバのそれぞれから出力された前記中間信号を加算して、前記出力信号として出力する加算部と、
指定されたスルーレートに応じて、前記複数のドライバ間における、前記入力信号が変化し始めてから前記中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差を設定する制御部と、
を備える出力装置。 - 指定されるスルーレートの前記出力信号が得られる、前記複数のドライバ間における前記遅延量の差を測定するキャリブレーション部を更に備え、
前記制御部は、前記キャリブレーション部による測定結果に基づいて、前記複数のドライバ間における前記遅延量の差を設定する
請求項1に記載の出力装置。 - 前記制御部は、指定されたスルーレートに応じて、前記複数のドライバのそれぞれから出力される前記中間信号の電圧レベルを更に設定する
請求項1から2の何れかに記載の出力装置。 - 前記加算部は、当該出力装置の出力端側から見たときの抵抗値が、当該出力装置の出力端と基準電位との間に接続された終端抵抗の抵抗値に一致する
請求項1から3の何れかに記載の出力装置。 - 前記制御部は、前記入力信号が変化し始めてから前記出力信号が予め定められた電圧レベルとなるまでの時間が同一となるように、前記複数のドライバ間における前記遅延量の差を設定する
請求項1から4の何れかに記載の出力装置。 - 前記制御部は、前記出力信号の変化期間が、前記複数のドライバのそれぞれが出力する前記中間信号の変化時間を合計した時間以下となる範囲で、前記複数のドライバ間における前記遅延量の差を設定する
請求項1から5の何れかに記載の出力装置。 - 前記入力信号に応じた波形の補正信号を出力する補正ドライバと、
前記補正ドライバから出力された前記補正信号の高周波数成分を通過させるハイパスフィルタと、
を更に備え、
前記加算部は、前記複数のドライバから出力された前記中間信号および前記ハイパスフィルタを通過した前記補正信号を加算して、前記出力信号として出力し、
前記制御部は、指定されたスルーレートに応じて、前記補正ドライバから出力される前記補正信号の電圧レベルを更に設定する
請求項1から6の何れかに記載の出力装置。 - 入力信号に応じた出力信号を出力する出力装置であって、
前記入力信号に応じた波形の中間信号を出力するドライバと、
前記入力信号に応じた波形の補正信号を出力する補正ドライバと、
前記補正ドライバから出力された前記補正信号の高周波数成分を通過させるハイパスフィルタと、
前記ドライバから出力された前記中間信号および前記ハイパスフィルタを通過した前記補正信号を加算して、前記出力信号として出力する加算部と、
指定されたスルーレートに応じて、前記補正ドライバから出力される前記補正信号の電圧レベルを設定する制御部と、
を備える出力装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
試験信号を前記被試験デバイスに供給する出力装置を備え、
前記出力装置は、
それぞれが入力信号に応じた波形の中間信号を出力する複数のドライバと、
前記複数のドライバのそれぞれから出力された前記中間信号を加算して、前記試験信号として出力する加算部と、
指定されたスルーレートに応じて、前記複数のドライバ間における、前記入力信号が変化し始めてから前記中間信号が変化し始めるまでの遅延量の差を設定する制御部と、
を有する試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
試験信号を前記被試験デバイスに供給する出力装置を備え、
前記出力装置は、
入力信号に応じた波形の中間信号を出力するドライバと、
前記入力信号に応じた波形の補正信号を出力する補正ドライバと、
前記補正ドライバから出力された前記補正信号の高周波数成分を通過させるハイパスフィルタと、
前記ドライバから出力された前記中間信号および前記ハイパスフィルタを通過した前記補正信号を加算して、前記試験信号として出力する加算部と、
指定されたスルーレートに応じて、前記補正ドライバから出力される前記補正信号の電圧レベルを設定する制御部と、
を有する試験装置。
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