JPWO2009072341A1 - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 プローブカード
3 載置台
3a チャック
3b 基台
10 回路基板
11 検査用接触構造体
12 ピッチ変換基板
14 アクチュエータ
15 ホルダ
15a 外周ホルダ
15b スティフナ
20 中間基板
21 上面弾性シート
22 下面弾性シート
30 導電部
40 導電部
80 アクチュエータ
100 制御部
200 抵抗測定器
300 プローブ
301 支持部材
311 梁部
312 接触子
320 抵抗測定器
330 アクチュエータ
U 電極パット
W ウェハ
Claims (15)
- 被検査体の電気的特性を検査するプローブ装置であって、
回路基板と、
前記回路基板の被検査体側に設けられ、検査時に当該被検査体と前記回路基板との間の電気的な導通を図る検査用接触構造体と、
前記回路基板と前記検査用接触構造体の間に設けられ、当該検査用接触構造体を支持する支持部材と、を有し、
前記支持部材の上面には、前記検査用接触構造体と前記被検査体の接触圧力を一定の圧力に維持するアクチュエータが設けられている。 - 請求項1に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体と前記被検査体が接触する際の一定の圧力を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記検査用接触構造体の抵抗値が所定の値になるように前記アクチュエータ内の圧力を制御する。 - 請求項2に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体の抵抗値を測定する抵抗測定器をさらに有し、
前記制御部は、前記抵抗測定器によって測定された前記検査用接触構造体の抵抗値に基づいて、当該測定された抵抗値が前記所定の値になるように前記アクチュエータ内の圧力を制御する。 - 請求項1に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体の少なくとも下面には、検査時に前記被検査体に接触する弾性シートが設けられている。 - 請求項4に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体は、平板状の中間体と、当該中間体の上下の両面に取り付けられた弾性シートを備えた3層構造を有する。 - 請求項4に記載のプローブ装置において、
前記回路基板には電子回路の複数の接続端子が設けられ、
前記支持部材は、前記回路基板の複数の接続端子の間隔を変更するピッチ変換基板である。 - 請求項1に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体は、前記支持部材に片持ち支持される梁部と、前記梁部の自由端部から前記被検査体側に延伸し、検査時に前記被検査体に接触する接触子と、を有する。 - 請求項1に記載のプローブ装置において、
前記回路基板の上方には、当該回路基板を固定する固定部材が設けられ、
前記アクチュエータは、前記回路基板を貫通し、前記固定部材に固定されている。 - 被処理体の電気的特性を検査するプローブ装置であって、
回路基板と、
前記回路基板の被検査体側に設けられ、検査時に当該被検査体と前記回路基板との間の電気的な導通を図る検査用接触構造体と、
前記検査用接触構造体に対向するように被検査体を保持する保持部材と、を有し、
前記保持部材の下面には、前記検査用接触構造体と前記被検査体の接触圧力を一定の圧力に維持するアクチュエータと、を有する。 - 請求項9に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体の少なくとも下面には、検査時に前記被検査体に接触する弾性シートが設けられている。 - 請求項9に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体は、平板状の中間体と、当該中間体の上下の両面に取り付けられた弾性シートを備えた3層構造を有する。 - 請求項9に記載のプローブ装置において、
前記検査用接触構造体は、前記支持部材に片持ち支持される梁部と、前記梁部の自由端部から前記被検査体側に延伸し、検査時に前記被検査体に接触する接触子と、を有する。 - 請求項9に記載のプローブ装置において、
前記アクチュエータは、複数設けられている。 - 請求項13に記載のプローブ装置において、
前記複数のアクチュエータのそれぞれの上下方向の位置に基づいて、前記被検査体が水平になるように制御する制御部を有する。 - 請求項14に記載のプローブ装置において、
前記制御部は、前記検査用接触構造体と前記被検査体が接触する際の一定の圧力を制御する。
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