JPWO2007058240A1 - 基板処理方法、フォトマスクの製造方法及びフォトマスク、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 露光による基板上のレジストのパターニング工程を含む基板処理方法であって、
所定のパターンの投影像の先鋭特性に基づいてデバイス線幅特性を予測する工程と;
予測されたデバイス線幅特性に基づいて、前記パターンの露光条件を調整する工程と;を含む基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像の像強度分布における所定位置での微分値である基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像の像強度分布における所定位置でのログスロープである基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像のコントラストである基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、前記パターニング工程及び現像工程を経て得られるレジストパターンのプロファイルが用いられる基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、
前記投影像の先鋭特性に基づいてレジストパターンのプロファイルを予測し、
その予測したレジストパターンのプロファイルに基づいて、前記デバイス線幅特性を予測する基板処理方法。 - 請求項6に記載の基板処理方法において、
前記レジストパターンの加熱処理による変形を考慮して、レジストパターンのプロファイルを予測する基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記レジストのパターニング工程の後に、現像工程及びエッチング工程を含み、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、所定のパターンの投影像の先鋭特性及び前記エッチング工程におけるエッチング特性に基づいてデバイス線幅特性を予測する基板処理方法。 - 請求項8に記載の基板処理方法において、
前記露光条件を調整する工程では、予測されたデバイス線幅特性に基づいて、エッチング後のパターンの線幅が所望の値となるように、露光条件を調整する基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記露光条件は、前記パターンの露光量、線幅、及び照明条件の少なくとも1つを含む基板処理方法。 - 請求項10に記載の基板処理方法において、
前記露光条件は少なくとも前記パターンの線幅を含み、フォトマスク上のパターンの線幅を変更することで前記露光条件を調整する基板処理方法。 - 請求項10に記載の基板処理方法において、
前記露光条件は少なくとも前記露光量を含み、前記露光時にレジストに照射されるエネルギビームのエネルギ量を少なくとも変更することで前記露光条件を調整する基板処理方法。 - 請求項10に記載の基板処理方法において、
前記露光条件は少なくとも前記照明条件を含み、前記パターンにエネルギビームを照射する照明系の瞳面上でのエネルギ分布を変更することで前記露光条件を調整する基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記露光条件は少なくとも前記露光時にレジストに照射されるエネルギビームのスペクトル特性を含む基板処理方法。 - 請求項14に記載の基板処理方法において、
前記スペクトル特性は、前記エネルギビームのスペクトルの強度分布の積分値に基づいて定まる第1スペクトル幅と、前記スペクトルの強度のピーク値に対して強度が所定割合まで低下するときの幅である第2スペクトル幅との少なくとも一方を含む基板処理方法。 - 請求項1に記載の基板処理方法において、
前記パターニング工程で1回の露光により孤立パターンと密集パターンとをレジストに転写するに際し、
該両パターンのそれぞれで、レジストパターンの線幅とエッチング後のパターンの線幅とが所望の関係になるように、前記露光条件を調整する基板処理方法。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の基板処理方法を用いて、基板上にパターンを形成するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 請求項17に記載のデバイス製造方法において、
前記リソグラフィ工程は、配線パターン及びトランジスタのゲートパターンの少なくとも一方を形成する基板処理工程を含むデバイス製造方法。 - 露光による基板上のレジストのパターニング工程で用いられるフォトマスクの製造方法であって、
前記フォトマスクに形成すべきパターンの投影像の先鋭特性に基づいてデバイス線幅特性を予測する工程と;
予測された前記デバイス線幅特性に基づいて前記パターンの少なくとも一部でその線幅を変更し、その少なくとも一部で線幅が変更されたパターンをマスク基板に形成する工程と;を含むフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像の像強度分布における所定位置での微分値であるフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像の像強度分布における所定位置でのログスロープであるフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記先鋭特性は、前記投影像のコントラストであるフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、前記パターニング工程及び現像工程を経て得られるレジストパターンのプロファイルが用いられるフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、
前記投影像の先鋭特性に基づいてレジストパターンのプロファイルを予測し、
その予測したレジストパターンのプロファイルに基づいて、前記デバイス線幅特性を予測するフォトマスクの製造方法。 - 請求項24に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記レジストパターンの加熱処理による変形を考慮して、レジストパターンのプロファイルを予測するフォトマスクの製造方法。 - 請求項19に記載のフォトマスクの製造方法において、
前記レジストのパターニング工程の後に、現像工程及びエッチング工程を含み、
前記デバイス線幅特性を予測する工程では、所定のパターンの投影像の先鋭特性及び前記エッチング工程におけるエッチング特性に基づいてデバイス線幅特性を予測するフォトマスクの製造方法。 - 露光による基板上のレジストのパターニング工程で用いられるフォトマスクであって、
請求項19〜26のいずれか一項に記載の製造方法を用いてパターンが形成されるフォトマスク。 - 請求項27に記載のフォトマスクを用いて、基板上にパターンを形成するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 請求項28に記載のデバイス製造方法において、
前記リソグラフィ工程は、配線パターン及びトランジスタのゲートパターンの少なくとも一方を形成する基板処理工程を含むデバイス製造方法。
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