JPWO2002046974A1 - 設計支援システム及び設計支援方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体製造装置等で使用される流体制御装置(装置本体以外にも、例えば、真空排気ライン等を含む)等をネットワークを介して設計等することを支援できる設計支援システム及び設計支援方法に関する。
背景技術
半導体ウエハに対して酸化膜の形成、ドーパントの拡散、アニールあるいはCVDといった熱処理を行う装置として縦型熱処理装置が知られている。この装置は図22に示すように装置本体AとユーティリティボックスBとから構成される。装置本体Aは、ウエハカセットCの搬入出ステージ211と、カセットCやウエハの搬送系及び縦型の熱処理炉212とを備えている。ユーティリティボックスBは、入出力ユニット、例えば駆動部のコントローラ等を含む制御ユニットと、熱処理炉内を真空排気するための排気ユニット221と、熱処理炉212内に処理ガスを供給するためのガス供給機器が設けられたガス供給ユニット222とを備える。装置本体AとユーティリティボックスBとの間にはガス供給管223及び排気管224が配管され、かつケーブル(図示せず)が配線されている。
ガス供給ユニット222は、熱処理炉212の近くに配置される必要がある。その理由は、1)ガス供給ユニット222が遠くに設置されていると、ガスを切り換えるときに配管内のガスを置換するのに長い時間がかかり、2)ガスの流量及び圧力を調整するときに応答が悪いからである。このため、ユーティリティボックスBを装置本体Aと同一のフロアでかつ近傍に設置することが望ましい。
ウエハが大口径化している等の理由により、縦型熱処理装置は、従来より大型化しており、1台の占有スペースが広くなっている。一方、縦型熱処理装置が設置されるクリーンルームは、建設コスト及びランニングコストが高く、このコストを考慮すると、熱処理装置1台を運転するためのコストが高くなるという問題がある。
このような問題を解決する手法の1つとして、ガス供給ユニットを構成するガス供給機器をユニット化(ブロック化)する手法がある。例えば、ガス供給機器、例えば減圧弁、開閉弁、流量計(マスフローコントローラ)、逆止弁、圧力計等を、図23や図24に示すような組立ユニット205にユニット化する手法である。
各ユニット205は、図23に示すように、角型のガス流路エレメント254と、ガス流路エレメント254の上に搭載されるマスフローメータや開閉弁等の機器本体255とからなる。ガス流路エレメント254は、図23に示すように、ガス流路251が内部に形成され、結合部252、253を備えた例えばステンレス鋼からなる角型の装置である。結合部252、253はガス流路エレメント254同士を結合するためのものであり、例えば互いに密合する凸部(252)及び凹部(253)として構成される。この組立ユニット205は、所定の流路網を形成するように組み合わされた複数のガス流路エレメント254から構成され、配管を用いる構成に比べてガス供給ユニットを小型化できる。
このような技術を開示する文献として、特開平11−251500号公報、特開平10−281385号公報、特開平10−99623号公報、特開平10−169859号公報、特開平10−169881号公報、特開2000−35148号公報などがある。
このようなガス供給ユニットを設計する場合、設計者(又は営業担当者)は、顧客(装置の納入先)の要望(要求仕様)に基づいて、図25に示すようなフロー図や図26に示すような平面図を描き、これに基づいて、設計(ユニットの選択・組合わせ・配置)を行う。
このため、顧客からの要望(要求仕様)を、一旦持ち帰り、自社のCADシステムを用いて設計し、これを顧客に提案している。しかし、顧客の要求仕様に基づいて設計したガス供給ユニットが、顧客が要求する設置スペースに収まるとは限らない。また、実際に設計したガス供給ユニットの製造コストが顧客の許容額を超えることもある。逆にユニットの小型化に成功したために従来より多くのガスの種類や数を載せたいと顧客の希望が出されて、ガス供給ユニットが半導体製造装置内に占有できるスペースの最大効率まで載せるような設計変更が顧客から出される場合もある。
このような場合等には、顧客と再度打ち合わせを行って、仕様を変更する等の対応が必要になる。このため、顧客の要求仕様を受領してから、設計が完了するまでに相当の時間を要してしまう。特に顧客が遠方である場合には、顧客との打ち合わせのために、相当の負担がかかることになる。
近時のコンピュータ技術の発達に伴って、営業担当者あるいは設計者が、携帯型の設計装置を持参し、顧客と仕様を打ち合わせながら、設計を行い、顧客の仕様に合致しない場合に、再度設計を行うような手法も考えられる。しかし、この手法では、各端末の管理が煩雑である。例えば、ユニット部品の改廃、価格の変更、関連法規の変更等が発生した場合に、設計装置毎に個別に対応しなければならず、更新漏れ等が発生し易い。
同様の問題は、ガス供給ユニットの設計に限定されず、顧客の要求仕様に基づいて設計を行う様々な場面で発生する。
また、従来のフロー図は、その流体の通路は明確であるが、各機器の大きさや隣り合う機器間の間隔等については全く考慮していない。一方、従来の平面図では、各機器の大きさや隣り合う機器間の間隔等は明確であるが、各機器内の流体の通路については把握しにくいものとなっている。
上記のようにフロー図と平面図とは互いの欠点を補うものであるが、これらフロー図及び平面図を作成して、接続部材を決めたり、部品リストや見積書を作成したりするのでは、その作業にかかる手間が大きくなり、しかも、それらの作業に人的なエラーが発生するおそれも多くなる。
この発明は上記実状に鑑みてなされたもので、設計作業を容易にすることを目的とする。
また、この発明は、設計に要する時間的、金銭的コストを抑えることを目的とする。
また、この発明は、設計作業を容易化し、かつ、顧客との間で対話形式でシステムを設計する事を可能とすることを目的とする。
また、流体の通路だけでなく各機器の大きさ等についても明確にしたフロー図を作成可能とすることを目的とする。
さらに、この発明は、流体制御装置等の設計等の業務における効率を向上させることを目的とする。
発明の開示
本発明の第1の観点にかかる設計支援システムは、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部と、ユーザ端末からの入力を、ネットワークを介して受け付けて、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部と、を備える。
前記フロー図作成部は、例えば、ユーザ端末の表示装置にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末からの指示に従って、当該フロー図作成画面上で前記シンボルマークを組み合わせてフロー図を作成する。
前記フロー図作成部は、例えば、前記ユーザ端末の画像読取装置で読み取られた図面データに従って、前記シンボルマークを用いたフロー図を作成する。
前記設計支援システムは、機器を接続する接続部材についての情報を蓄積する接続部材情報記憶部と、前記シンボルマークの組み合わせに応じて前記接続部材情報記憶部から接続部材を選択する接続部材選択部と、をさらに備えても良い。
前記設計支援システムは、前記フロー図作成部により作成されたフロー図から配管組立図を作成する配管組立図作成部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記フロー図作成部により作成されたフロー図に係る流体制御装置について、前記ユーザ端末からの発注を受け付ける受注部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記ユーザ端末からの発注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワーク上の発注者端末に発注を行う発注部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記ユーザ端末からの受注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワークを介して入札を受け付ける入札部、を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記シンボルマークと他のマークとを相互に変換するための変換部を備えてもよい。
本発明の第2の観点にかかる設計支援システムは、機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶する記憶部と、ユーザ端末からネットワークを介して供給される指示に応答して、前記記憶部からシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す概要図を作成する概要図作成部と、を備える。
前記記憶部は、例えば、各機器について、その設計図データを記憶する。この場合、前記設計支援システムは、前記概要図作成部により作成された概要図に基づいて、前記記憶部から図形データを読み出し、設計されたシステムの設計図を作成する設計図作成部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計されたシステムを構成する機器のリストを生成するリスト生成部を備えてもよい。
前記記憶部は、各機器について、そのコストを記憶してもよい。この場合、前記設計支援システムは、前記概要図作成部により作成された概要図と前記記憶部に記憶されたコストに基づいて、設計されたシステムのコストを求める部を備える。
前記記憶部は、あらかじめ設計された装置の概要図を蓄積する部を備えてもよい。この場合、前記作成部は、前記蓄積部に記憶された概要図を読み出して、該概要図を編集することにより、新たな概要図を生成する部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計された複数のシステムの内容を対比するための一覧を表示する一覧表示部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計されたシステムを構成する部品を発注する発注部を備えてもよい。
前記機器は、例えば、ガスユニットを構成するためのブロック化された機器から構成され、前記図面は機器の配置とガスの流路を示すフロー図である。
この発明の第3の観点に係る流体制御装置設計装置は、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部と、外部からの入力に応答して、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部と、を備える。
この発明の第4の観点に係る流体制御装置設計方法は、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を作成するための流体制御装置設計方法であって、外部入力に応じて、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークを用いたフロー図を作成する手順を有することを特徴とする。
この発明の第5の観点に係る設計方法は、機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶し、指示に応答して、記憶している機器を組み合わせて構成される装置を設計するサーバに、ネットワークを介して指示を供給し、前記記憶しているシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す図面を作成する。
コンピュータを上述のシステム又は装置として機能させ、或いは、上述の方法の手順を実行させるためのコンピュータプログラムを記憶媒体に記憶して配布したり、ネットワークを介して送受信してもよい。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明のネットワークシステムの実施の形態について説明する。
なお、流体制御装置のフロー図作成手法については、参考例として公開2000−35977号公報に提案されているものがある。本実施の形態は、そのフロー図作成手法を踏まえつつ、ネットワークを利用することによりシステムの標準化、共有化を図り、流体制御装置の設計、さらにはその設計に伴う一連の業務の効率を向上させようとするものである。
(第1の実施の形態)
図1は、本実施の形態のネットワークシステムの全体構成を示す図である。図中、符号100はインターネットやイントラネット等のネットワークである。
符号101はユーザ端末であり、後述するサーバコンピュータ102を利用して流体制御装置のフロー図の作成、さらには流体制御装置の発注等を行うのに使用される。なお、図1にはユーザ端末101を1つしか示さないが、ネットワーク100上に複数存在する。
符号102はデータベースを備えたサーバコンピュータであり、ユーザ端末101からの入力に応じて、図5に示すようにシンボルマークを用いた流体制御装置のフロー図を作成し、さらには部品リストや見積書を作成したり、流体制御装置に関する受注・発注等を行ったりする。本実施の形態においては、このサーバコンピュータ102により、本発明でいうデータ処理装置、流体制御装置設計装置の機能が実現される。
符号103は発注先端末であり、サーバコンピュータ102は、流体制御装置に関してこの発注先端末103に発注を行う。発注の内容としては、流体制御装置の組み付けの下請や、機器や接続部材の納品等が挙げられる。なお、図1には発注先端末103を1つしか示さないが、ネットワーク100上に複数存在するものである。
図2には、サーバコンピュータ102のハードウエア構成の一例を示す。201はCPUであり、データの送受信、結合等を行うためバス206を介して各種構成要素を制御する。このバス206を介して、各構成要素相互間のアドレス信号、制御信号、各種データ等の転送が行われる。
符号202はROMであり、CPU201の制御手順(コンピュータプログラム)を記憶する。CPU201がこの制御手順を実行することにより、データの送受信、結合等の処理を実行することが可能となる。203はRAMであり、データの送受信、結合等のためのワークメモリ、各種構成要素を制御するための一時記憶手段として用いられる。
符号204はハードディスク記憶装置等の記憶装置であり、シンボルマーク、機器のデータ、接続部材のデータを蓄積するデータベース204aが構築されている。205はインターネット等のネットワーク100に接続するためのネットワークインターフェースである。
一般的に、流体制御装置は、複数の機器を複数の接続部材を介して接続して構成されるものである。機器としては、マスタフローコントローラ、開閉弁、逆止弁、プレッシャレギュレータ、フィルタ、マスフローメータ、圧力センサ等の単機能部材をはじめ、2つの単機能部材を1つのブロックに一体的に設けたもの(例えば、開閉弁やフィルタや圧力センサを組み合わせたもの)、単機能部材(例えば、マスフローコントローラ)の両側に接続部材を一体的に設けたものがある。また、接続部材としては、直方体状ブロックに連通用流体通路が設けられたブロック継手と称されるもの、チューブ型の配管等がある。
データベース204aに蓄積されるシンボルマークとしては、機器の機能、流路、及び外形を表示するものを1つのシンボルマークとする。例えば、弁のようにJIS記号のあるものは、JIS記号にその流体通路及び外形を合わせたものを1つのシンボルマークとする。また、マスフローコントローラのようにJIS記号のないものは、例えばMFCiのような略号にその流体通路及び外形を合わせたものを1つのシンボルマークとする。外形は、平面図上での寸法を表わすものとする。そして、その流体通路だけ或いは長さ等の寸法だけが変わるような場合でも、別の機器すなわちシンボルマークとして扱われる。各機器には適当なアイテムナンバーが付与され、そのアイテムナンバーとシンボルマークとがペアとされて、多数のペアがデータベース204aに蓄積される。
また、機器のデータ及び接続部材のデータは、それぞれ外形三次元寸法(縦、横、高さの最大値及びその他の必要値)と、流体通路平面寸法(流体通路の長さ及び基準位置からの開口の位置)とを含む。これらに加えて、重量、圧力損失、流量等が参考値として適宜使用される。
図3には、ユーザ端末101のハードウエア構成の一例を示す。301はCPUであり、データの送受信、結合等を行うためバス308を介して各種構成要素を制御する。このバス308を介して、各種構成要素間相互のアドレス信号、制御信号、各種データ等の転送が行われる。
符号302はROMであり、CPU301の制御手順(コンピュータプログラム)を記憶する。CPU301がこの制御手順を実行することにより、データの転送、結合等の処理を実行することが可能となる。符号303はRAMであり、データの送受信、結合等のためのワークメモリ、各種構成要素を制御するための一時記憶手段として用いられる。
符号304は保存用記憶装置である。符号305はインターネット等のネットワーク100に接続するためのネットワークインタフェースである。符号306はキーボードやマウス等の入力装置であり、電子文書等を入力するのに用いられる。符号307はディスプレイ等の表示装置であり、各種画面を表示するのに用いられる。
なお、発注先端末103のハードウェア構成については、ユーザ端末101の構成とほぼ同様である。
次に、図4を参照して、上述したサーバコンピュータ102の機能構成について説明する。同図に示すように、サーバコンピュータ102は、JOB管理機能401、フロー図作成機能402、配管組立図作成機能403、配管製作図作成機能404、パーツ(部品)リスト作成機能405、見積書作成機能406、受注機能407、発注機能408、シンボルマーク変換機能409、マスタ管理機能410、運用管理機能411等を有する。
JOB管理機能401は、JOBのステータス管理とバージョン管理とを行う。ステータス管理は、顧客アイテムナンバー、手配元、プロセス名、フロー図番、工番をJOB識別キーとして、各作業(JOB)の進捗(ステータス)を管理するものである。作業ステータスは、“検討”、“暫定”、及び“確定”の3種類とし、JOB作業者のみがハンド人力により修正できる。これにより、各作業の改定状況が管理され、作業確定の一貫性がチェックされる。バージョン管理は、各作業の各々の進捗状態(バージョン)をJOB単位に管理するもので、JOB単位でのバージョン確認、新規登録、複写登録、及び削除を可能とする。
フロー図作成機能402は、ユーザ端末101の表示装置307にネットワーク100を介してフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末100からの指示に従ってデータベース204aに事前登録してある各機器のシンボルマークを画面上の所定位置に順次に貼り付けていくことにより、フロー図を作成するものである。
図5には、フロー図作成機能402により作成されるフロー図の一例を示す。同図において、符号51、52、54、55は開閉弁を、符号53はマスフローコントローラ(MFC)を、56は逆止弁を、57はマスフローメータ(MFM)を、58は圧力センサ(PT)を、59はプレッシャレギュレータ(RO)を、60はフィルタを、61は手動弁(HV)を、62は隣り合うライン間の接続用配管を示す。各記号は機器の名称又は機能を示している。
さらに、図5に示すフロー図において、破線で示す枠は、実際の機器の平面から見た大きさを表わしており、各機器間の間隔も実寸に対応して描かれている。
また、太線は、流体通路を表しており、その端部にある白丸は、流体通路開口(ポート)を表している。
例えば、図5に示すフロー図では、マスフローコントローラ53の入口側に設置置された開閉弁51、52、出口側に設置された開閉弁54、55は、それぞれ1つのブロック63、64に取り付けられた一部品として扱われていることを読み取ることができる。
また、開閉弁51、54がマスフローコントローラ53に通じる流体通路からは、開閉弁52、55に通じる流体通路が分岐し、この分岐通路は、逆止弁56を介して或いは介さずに流体制御装置の幅方向に閉口していることを読み取ることができる。
また、マスフローコントローラ53の入口側及び出口側に設けられたブロック継手65、65については、マスフローコントローラ53に含ませてその大きさが表されていることも分かる。
このようにしたフロー図では、機器が、その機能だけでなく、その流体通路及び外形も表示するシンボルマークで表わされるので、機能、流体通路、及び大きさの全てが一目瞭然となり、上記従来例で述べたフロー図及び平面図の欠点を両方とも除去した図となっている。
図6には、フロー図作成処理のフローチャートを示す。ユーザ端末101からサーバコンピュータ102にアクセスした状態で、フロー図作成機能402が選択されると、具体的には図示しないが、ユーザ端末101の表示装置307には、フロー図作成画面が表示され、機器メニューが表示される(ステップS1)。
ユーザは、ユーザ端末101の入力状態306を用いて、機器メニューをクリックすることにより、データベース204aのシンボルマークファイルから、マスフローコントローラ等の機器を順次選択することができる(ステップS2)。選択した機器は、例えばマウスの移動により、フロー図作成画面上の任意点か機器内の基準点を基準とする適宜な位置に配置される(ステップS3)。
すなわち、ユーザは、2つの開閉弁を2つの都材で構成するか、2つの開閉弁を一体化した1つの部材で構成するか、隣り合う機器を配管を溶接して接続するか、ブロック継手で接続するか等の種々の設計要素を考慮しながら、該当する機能を有する機器を選択する。機器が選択されると、その機器のシンボルマークが両面に表示されるので、これらのシンボルマークをフロー図作成画面上で順次所望の位置に貼り付けていき、フロー図を作成する。
次いで、機器とこれに隣り合う機器の平面寸法がデータベース204aの機器データファイルから引き出され、これらの機器を接続する適切な接続部材がデータベース204aの接続部材データファイルから自動的に選択される(ステップS4)。
このようにして、機器及び接続部材は、それらの平面寸法に応じて自動配置され、流体制御装置のフロー図が自動的に作成されていく(ステップS5)。
ステップS2〜ステップS5までの各処理は、選択終了命令(ステップS6)が出されるまで繰り返され、選択終了命令(ステップS6)が出た時点で一連のフロー図作成処理が終了する。
ここで、接続部材を選択する上記ステップS4では、配置済み機器の隣に次の機器が配置されたときに、両方の機器のブロック形状を識別して対応する接続部材を選択する処理が行われる。接続部材は、例えば、数字を含んだアイテムナンバーで表現され、その数字が開口間距離にほぼ相当するものとされている。両方の機器を接続可能な接続部材は通常複数種類あり、ユーザは、この中から他の条件を考慮して選択し、これにより、要求性能に合致した流体制御装置を構成することができる。接続部材が選択されると、配置済み機器側に選択された接続部材を自動作画するとともに、次の機器を接続部材の他方配置点に自動作画する。
例えば、V字状通路を有するブロック継手を使用する場合、このブロック継手により接続される2つの機器の開口間の最低距離は、機器データから求まり、この接続に使用可能なブロック継手が接続部材データから最低距離より大きければ可という条件で複数種類見出される。この複数種類のブロック継手は、画面に表示される。ユーザは、全体の長さを短くする、隣り合う流体制御器で位置合わせを行う等の流体制御装置の他の仕様を考慮して、適切なブロック継手を選択することができる。
なお、フロー図の作成においては、シンボルマークのアイテムナンバーをフロー図内のシリアル名称として管理し、マスフローコントローラ、プレッシャレギュレータ、及びフィルタの各シンボルマークの選択は、予め作成された“ガス名−流量”関係マトリックスの中からのみ使用可能とする。
図4に戻り、配管組立図作成機能403は、上記のフロー図をMDT機能を使用し、各シンボルマーク及び各接続部材を事前登録された三次元図に置き換えることにより実寸法の配管組立図を自動作成するものである。配管組立図の作成は、フロー図作成の作業ステータスが“暫定”か“確定”時にのみ可能とされている。
配管製作図作成機能404は、上記配管組立図を取り込んで、鳥瞰図、ボトムパーツ配置図、プレハブ配管図、及びタップ配管図等を自動作成するものである。鳥瞰図は、配管組立図に隠線処理を施したもので、その例を図7に示す。同図において、各符号は、図5に示すものとそれぞれ対応している。隠線処理済みの鳥瞰図の作成においては、隠線処理によりパーツの一部又は全部が消去されても、存在そのものは抹消しないこととし、また、フロー図で付与したシンボルマークのアイテムナンバーを必須表示する。
ボトムパーツ配置図は、接続部材のほか、ガスケット、ボルト、パイプ、及び溶接継手を加え、これらを平面図で表すものである。プレハブ配管図は、ボトムパーツ配置図の範囲入力された部位を三次元図として作図するもので、作図する際には、画面上のスタート位置を指示することができるものとする。タップ加工図は、接続部材固定用タップ位置のみを二次元図として作図するものとし、基板(板金)設計用にタップ位置情報を編集する。
パーツ(部品)リスト作成機能405は、上記フロー図や配管組立図より各々の部品リストを自動作成するものである。フロー図に基づく部品リスト作成は、フロー図の作業ステータスが“暫定”及び“確定”時のみ処理可能とする。また、部品リストのヘッダー情報はハンド入力可能とし、自動作成部分は修正不可とする。
見積書作成機能406は、上記フロー図や配管組立図より各々の見積書を自動作成するもので、フロー図より慨略速報見積書を作成し、配管組立図より製造作成見積書や統合見積書とを作成する。フロー図に基づく概略速報見積書の作成は、フロー図の作業ステータスが“暫定”及び“確定”の状態の時にのみ処理可能とする。なお、見積書の不足情報は流体制御装置設計装置102側においてハンド入力可能とし、自動作成部分は修正不可とする。
受注機能407は、上記フロー図に係る流体制御装置について、ユーザ端末101からの発注を受け付けるものである。例えば、フロー図が完成した場合に、ユーザ端末101の表示装置307に発注ボタン等を表示する。ユーザは、当該フロー図を作成した流体制御装置を発注したい場合、当該発注ボタン等を操作すればよい。この受注は、フロー図の作業ステータスが“確定”時のみ処理可能とする。
発注機能408は、上記受注機能407においてユーザ端末101からの発注を受け付けた場合に、部品リストや見積書に基づいて、ネットワーク100上の発注先端末103に発注を行うものである。例えば、サーバコンピュータ102が流体制御装置メーカにより運用されているものである場合、下請け業者の発注先端末103に対して流体制御装置の組み付けを発注したり、各種メーカの発注先端末103に対して機器や接続部材の納品を発注したりすることができる。このように自動発注機能を持たせておけば、大幅な効率化を図ることができ、リードタイム、在庫、人員の大幅削減を実現することが可能となる。
なお、上記発注機能408の代りに、或いは、追加して、入札機能を持たせてもよい。すなわち、ユーザ端末101からの発注があった場合、その流体制御装置の仕様等をネットワーク100上で公開し、流体制御装置の組み付け、機器や機械部材の納品等に関してネットワーク100を介して各社に入札させる。
シンボルマーク変換機能409は、例えば、外部から機器の機能、流路、及び外形についての情報を受け付け、その情報をシンボルマークに変換してデータベース204aに蓄積する。本実施の形態では、上述したようにシンボルマークにJIS記号や略号を使用しているが、機器メーカ等によっては同じ機能を有する機器でも他の記号等で表されるものが存在する。また、各国ごとの規格が存在し、同じ機能を有する機器を表わす記号も異なる。このシンボルマーク変換機能409では、各種記号等で表わされる情報を本システムで定めたシンボルマーク(JIS記号や「MFC」等の略号)に変換して、データベース204aに蓄積する。これにより、システム上でのシンボルマークの統一を図ることができ、利便性を高めることができる。逆に、上記受発注等を行う段階で、システム上でのシンボルマークを他の者が使用する記号等に変換して、当該受発注等を行うようなこともできる。
なお、データベース204aに蓄積するデータは、サーバコンピュータ102を運用する者(流体制御装置メーカ等)が登録するだけでなく、ネットワーク100を介して登録できるようにしてもよい。例えば、機器メーカ等が、自己の端末を介して新製品等についての機能、流路、及び外形についての情報をネットワーク100を介してサーバコンピュータ102に提供できるようにしておけば、データベース204aに蓄積されるデータ量が増え、ユーザからみればフロー図作成のための機器の選択の幅が広がり、また、機器メーカからみれば自己の製品の使用を促すことが可能となる。
マスタ管理機能410では、全体のメンテナンス管理が行われ、運用管理機能411では、バックアップ、リストア、障害対策、セキュリティ、本番移行計画等が管理される。
以上述べたように本実施の形態によれば、ネットワーク100上のサーバコンピュータ102を利用して、流体制御装置のフロー図を作成することができ、さらには、当該フロー図に係る流体制御装置について受発注等の一連の業務を行うことも可能となり、流体制御装置の設計、受発注等の各行程における効率を向上させることができる。
さらに、上記のようなインフラが提供されることにより、本システムに流体制御装置のリモートメンテナンス機能を持たせることも可能となる。すなわち、ユーザに納入される流休制御装置についての各種データは、もともとネットワーク100上でやり取りされたものであり、それら各種データをサーバコンピュータ102や各発注先端末103上で処理して、リモートメンテナンスのためのデータとして用いることができる。
なお、この実施の形態では、ユーザ端末101の表示装置307にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末100からの指示に従ってデータベース204aの各機器のシンボルマークを画面上の所定位置に順次に貼り付けていくことにより、フロー図を作成するようにしたが、他のやり方としてもかまわない。
例えば、ユーザ端末101側にスキャナ等の画像読み取り装置を設置しておき、手書き等のフロー図を読み取らせる。サーバコンピュータ102では、当該手書等のフロー図の図面データをネットワーク100を介して受信したならば、その図面データに従ってデータベース204aの各機器のシンボルマークを用いて自動的にフロー図を作成する。この場合、既述したシンボルマーク変換機能を持たせておけば、手書きする者は、自分の最も使いやすい規格の記号等を使って手書きのフロー図を作成することができ、それをサーバコンピュータ102において上記シンボルマークに変換してフロー図を作成することができる。
なお、シンボルマークと他の記号を相互に変換する以外にも、言語(例えば、日本語と英語)、単位(例えば、メートルとインチ)等を自動的に変換する変換機能を持たせてもよい。
第1の実施の形態では、図1に1つのサーバコンピュータ102しか示さなかったが、複数台のサーバコンピュータにより各種処理を分散処理するようにしてもかまわない。
(第2の実施の形態)
次に、この発明の第2の実施の形態を説明する。この第2の実施の形態は、第1の実施の形態の変形例に相当し、第1の実施の形態での説明を基本的に引き継ぐものとする。
図8は、この発明の第2の実施の形態に係る設計支援システムの構成を示す図である。図示するように、このシステムは、インターネットIN上に配置された設計支援サイト11と、インターネットINに、直接、或いは、社内LAN、インターネットゲートウエイ、アクセスポイント等を介して接続されたユーザ端末(設計端末)21と、受注サーバ31とから構成される。
設計支援サイト11は、設計作業を行う装置であり、図9に示すように、設計サーバ111と、ユーザ情報DB(データベース)112と、部品情報DB113と、ジョブ情報DB114と、管理用端末115を備える。
設計サーバ111は、物理的に1台のコンピュータ装置で構成される必要はなく、複数台のコンピュータから構成されてもよい。また、コンピュータは、半導体製造装置メーカの工場に設置するだけでなく、顧客近くのサービスステーションに一部分散して設置し、分散処理にしてもよい。設計サーバ111は、設計プログラムを実行し、ユーザ端末21からの指示に応答して、データベース112〜114に格納されている情報を利用して設計処理を行う。
ユーザ情報DB112は、図10に示すように、このサイト11へのアクセスが認められている各ユーザについて、ID、パスワード、担当者名、担当部署名、メールアドレス、その他(連絡先(電話番号、ファクシミリ番号)等)の情報を記憶する。
ここで、「ID」は、設計サイト11にアクセスすることが認められた者に割り当てられた識別子である。「パスワード」は、設計サイト11をアクセスする際に要求される認証情報である。設計サイト11は、IDにより、アクセス者を識別し、IDとパスワードとの対によりアクセス者を認証する。「会社」はユーザの所属する事業体の名称、例えば、会社名、研究所名、大学名等である。「担当者名」と「部署名」は、各事業体で、設計サイト11へのアクセスを担当する人物の氏名と所属部署である。また、「連絡先」は、担当者の連絡先であり、住所、電話番号、ファクシミリ番号、e−メールアドレス等の情報を含む。このことにより、半導体製造装置のメーカにより認められた者だけが、コンピュータのアクセス権を得る機密管理が可能である。
部品情報DB113は、ブロック型のガスユニット(流体制御装置)を構成する部品の情報を格納するためのDBであり、図11に示すように、部品の名称、パーツ番号(型式)、シンボル画像、三次元モデリングデータ、単価等の情報を格納する。これらのデータは、設計が完成した際の部品発注のための基礎データとなる。
一般に、ブロック型ガスユニットは、複数の機器を複数の接続部材を介して接続して構成される。機器としては、マスフローコントローラ、開閉弁、逆止弁、プレッシャーレギュレータ、フィルタ、マスフローメータ、圧力センサ等の単機能部材を始め、2つの機能部材を1つのブロックに一体的に設けたもの(例えば、開閉弁やフィルタや圧力センサを組み合わせたもの)、単機能部材(例えば、マスフローコントローラ)の両側に接続部材を一体的に設けたものがある。また、接続部材としては、直方体状ブロックに連通用流体通路が設けられたブロック継ぎ手、チューブ型の配管等がある。その流体通路だけ或いは長さ等の寸法だけが異なるような場合でも、別の機器として扱われる。
ここで、名称とは、機器の名称である。型式は機器に固有のパーツ番号である。
シンボル画像は、その機器を表す画像である。シンボル画像としては、機器の機能、流路、及び外形を表示するものを1つのシンボルマークとする。例えば、弁のようにJIS記号のあるものは、JIS記号にその流体通路及び外形を合わせたものを1つのシンボルマークとする。また、マスフローコントローラのようにJIS記号の無いものは、例えば、「MFC」の様な略号にその流体通路及び外形を合わせたものを1つのシンボルマークとする。外形は、平面図上での寸法を表すものとする。各シンボル画像は、ガス流路の端部に基準点を有しており、隣接するシンボル画像の基準点が接続して、ガス流路がずれたり、分断されることがないように、シンボル画像は自動的に配置される。
三次元モデリングデータは、各機器の形状を定義するデータであり、このデータを用いて各機器の六面図、断面図、斜視図を生成可能である。
ジョブ情報DB114は、サイト11により過去に作成された設計情報を記憶する。この設計情報は、図12に示すように、ジョブ別に、ステータス情報、フロー図データ、三次元モデリングデータ、部品リスト、見積データ等を含む。ステータス情報は、そのジョブが確定した内容であるか否かを示す。フロー図は、ガスの流れと部品の配置とを関連づけて人間の理解を容易にするための図である。三次元モデリングデータは、各部品のモデリングデータから構成されるシステムの三次元設計データである。
管理用端末115は、データベース112〜114の内容を更新する等の管理処理を行う。
一方、図8に示すユーザ端末21は、専用ブラウザがインストールされたパーソナルコンピュータ、ワークステーション等から構成され、通信部、表示部、入力部、制御部等を備える。これらは、例えば、ガス供給ユニットの設計者または営業担当に携帯され、ガス供給ユニットを発注する半導体メーカの担当者と打ち合わせながら、ガス供給ユニットを設計するために使用される。
一方、図8に示す受注サーバ31は、ガス供給ユニットを構成する部品(ブロック)のメーカ等に設置され、設計端末21からの部品(ユニット)の注文を受け付け、事業所内の担当部署に通知する。
次に、上記構成のシステムの動作を説明する。
設計支援サイト11を用いた設計を行うためには、事前にユーザ登録を行い、ユーザDB111に登録する。
設計者または営業担当者は、顧客と打ち合わせながら、設計支援サイト11を用いてガス供給ユニットの設計を行う場合には、自己のユーザ端末21から、ISP(インターネットサービスプロバイダ)等を介して、設計支援サイト11をアクセスする。
設計支援サイト11は、アクセスに応答し、図13に示すトップ画面(ログイン画面)を提供する。設計担当者は、このトップ画面に、IDとパスワードとを入力し、「ログイン」ボタンをクリックする。
設計サーバ111は、IDとパスワードとの対がユーザ情報DB112上の図10に示すテーブルに登録されているか否かを判別し、登録されていなければ、その旨のエラーメッセージを返送する。
一方、IDとパスワードとの対がユーザ情報DB112に登録されていれば、設計サーバ111は、図14に示す作業選択メニューをユーザ端末21に送信する。
ユーザ端末21は、作業選択メニューを受信し、ブラウザに表示する。ここで、ガス供給ユニットを全く新規に設計する場合には、ジョブを登録するために「ジョブ登録」を選択(例えば、クリック)する。また、既に存在するデータを再利用する場合、例えば、設計途中のデータをそのまま利用する場合、或いは、過去に設計したデータを流用して、これを一部改変して設計を行う場合には、「ジョブリストア」を選択する。
また、過去に作成したジョブを検索する場合には、「ジョブ検索」を選択する。
ブラウザは、選択された作業を設計サーバ111に通知する。
設計サーバ111は、「ジョブ登録」の選択に応答して、新規のジョブ番号を採番し、ジョブ情報DB114にジョブを登録し、そのジョブについて処理を選択するために、図15に示す処理選択画面をユーザ端末21に送信する。
一方、設計サーバ111は、「ジョブリストア」の選択に応答して、ジョブを指定する画面をユーザ端末21に通知する。設計者は、この画面上でジョブ(ジョブ番号)を指定し、設計サーバ111に送信する。設計サーバ111は、この通知に応答し、図15に示す処理選択画面をユーザ端末に通知する。
また、設計サーバ111は、「検索」の選択に応答して、ジョブを検索する画面をユーザ端末21に通知する。設計者は、この画面上で検索条件(キーワード等)を指定し、設計サーバ111に送信する。設計サーバ111は、この通知に応答し、ジョブ情報DB114を検索し、検索条件に合致するジョブをジョブ情報DB114から読み出し、そのジョブについて処理を選択するための、図15に示す処理選択画面をユーザ端末21に送信する。
フロー図を作成する場合、設計者は、図15上の処理選択画面上で、「フロー図作成」を選択する。ユーザ端末21は、ジョブ情報と選択された処理とを、設計サーバ111に通知する。
この通知に応答し、設計サーバ111は、指定されたジョブについて、ジョブ情報DB114内にフロー図が既に存在するか否かを判別する。存在する場合には、そのフロー図を読み出して、部品選択用のダイアログボックス、及び処理選択用のメニューと共にユーザ端末21に送信する。ユーザ端末21は、提供された情報を例えば図16Aに示すように画面に表示する。なお、指定されたジョブについて、ジョブ情報DB114内にフロー図が存在しない場合には、部品選択用のダイアログボックスと処理選択用のメニューとをユーザ端末21に送信する。ユーザ端末21は、提供された情報を図16Bに示すように表示する。
設計者は、自己のユーザ端末21の画面に表示されたテキストボックスに部品情報(部品を特定する情報)を入力し、ユーザ端末21は、これを設計サーバ111に送信する。設計サーバ111は、通知された部品のシンボル画像を部品情報DB113から読み出して、そのユーザ端末21に提供する。
ユーザ端末21は、供給されたシンボル画像を表示し、設計者は、このシンボル画像を、クリックアンドドロップ動作により、任意の位置に移動し、設計済みのフロー図に連結する。例えば、設計者は、2つの開閉弁を2つの部材(ブロック)で構成するか、2つの開閉弁を一体化した1つの部材(ブロック)で構成するか、隣り合う機器を配管を溶接して接続するか、ブロック継手で接続するか等の種々の設計要素を考慮しながら、該当する機能を有する機器を選択する。
具体的に、例えば、図17に示す符号511〜611と、512〜612で構成される2系統のガス流路を有するガス供給ユニットを設計する場合、図16Bに示すように、設計段階では、例えば、マスフローコントローラ(MSF)532を弁632に連結して配置することになる。
設計者は、部品情報入力用のテキストボックスに、仕様上要求されている流量や圧力に適合するマスフローコントローラ532を特定する情報を入力する。この情報に応答して、設計サーバ111は、部品情報DB113から、指定されたマスフローコントローラのシンボル画像を読み出し、ユーザ端末21に送信する。
ユーザ端末21は、このシンボル画像を受信して表示する。設計者は、このシンボル図形をクリックアンドドロップ操作により、移動し、設計済のフロー図の弁632に連結する位置に配置する。
この情報は、ユーザ端末21は、マスフローコントローラ532の基準点(ガス流路の端点)が弁632の基準点に丁度連結するように、マスフローコントローラ532のシンボル画像の位置を微調整する。
このような動作を繰り返して、部材を示すシンボル図形を連結することにより、図18に示すようなフロー図(図17に対応する)が完成する。
なお、ユーザ端末21上で、部品を選択すると、設計サーバ111は、そのジョブに対応付けて記憶している部品リストに選択された部品とを追加する。
設計が一旦終了すると、設計者は、ユーザ端末21より設計の完了を設計サーバ111に通知し、設計サーバ111は、設計されたフロー図をジョブ番号と共にジョブ情報DB114に格納する。
フロー図の設計が終了すると、設計者は、任意の処理、例えば、「組立部作成」、「配管図作成」、「スプール図作成」等の処理を図15の処理選択メニュー上で指定する。これらの処理の選択に応答して、設計サーバ111は、ジョブ番号で特定されるフロー図により特定される各部品のモデリングデータを用いて、設計されたガス供給ユニットの組立図、配管図、スプール図等を図19、図20に示すように作成し、ユーザ端末21に供給する。ユーザ端末21は、図面を受信して、表示する。この際、システム全体の外形寸法も、(縦:横:高)または(x,y,z)等の形式で表示する。
また、設計者が、図15の処理選択メニュー上で「パーツリスト作成」或いは「部品番号リスト」を選択すると、設計サーバ111は、指定されたジョブについて、フロー図の作成段階で作成しておいた部品のリストから、「パーツリスト」或いは「部品番号リスト」を生成し、ユーザ端末12に送信する。ユーザ端末21は、パーツリストを受信して、表示する。
また、設計者が、図15の処理選択メニュー上で「見積書作成」を選択すると、設計サーバ111は、そのジョブについて、各部品の単価、各部品と隣接する部品とを接続するために必要な加工費等を求め、これらを合計して見積書と明細表を作成し、ユーザ端末12に送信する。ユーザ端末21は、「見積書」を受信して、表示する。
設計者は、例えば、顧客と打ち合わせながら、上述の処理を行う。ここで、設計を完了した結果、完成したシステムがが仕様のサイズに収まらない場合や、見積コストが顧客の要望に合致しない場合がある。
このような場合には、設計者は、例えば、その場で、代替案に基づく設計を行う。この際、上述の処理で作成したフロー図を利用して、その一部を改変することによりフロー図を完成させてもよい。この場合には、例えば、既存のフロー図を表示させた状態で、任意のシンボル画像を選択して移動或いは削除し、さらには、任意のシンボル画像を呼び出して、作成済の部分に連結する。
複数の案の設計が完了すると、設計者は、それらのジョブを指定し、一覧表示を指定する。すると、ユーザ端末21は、図21に例示するように、指定されたジョブの図面、コスト見積、部品点数、サイズ等の情報を一覧で表示する。設計担当者及び顧客担当者は、設計した複数のガス供給ユニット間で、占有スペースの大小、ガス流量、流通ガスの種類の数の大小をそれぞれの項目において比較し、顧客の環境において最適な選択を対話形式でインターネットを経由してコンピュータのプログラムをアクセスする事で最適なモデルにたどり着くまで繰り返して実行する。この一連の処理により、半導体製造装置メーカ工場に資料を送る手間を省略して設計を完成することができる。
最後に最適な設計が確定すると、ユーザ端末21は、そのジョブの部品リストを発注情報として、部品会社の受注サーバ31に送信する。受注サーバ31は、受信した部品リストを担当部署に通知する。担当部署は、通知された部品リストに基づいて、部品(ユニット)の作成を開始する。従って、設計から部品の発注に至るまでの期間を短くすることができ、ひいては、部品の納期を短縮することができる。
このような構成とすれば、顧客の面前で、顧客の要望に最も合致した設計を行うことができ、顧客と自己の工場(設計部署)との間を往復するような事態を防止できる。さらに、この設計支援ツールを用いて、決定した設計に必要とする部品リストに基づいて、その機器の製造に必要な部品を部品メーカに発注するシステムとして運用することができる。
また、上述の構成では、例えば、部品のスペック・単価が変更されたような場合には、設計サーバ111の部品情報DB113の内容を管理端末115で更新することにより、全ユーザ端末21での処理に反映することができる。
上記実施の形態では、この発明を半導体製造装置である縦型炉のガス供給ユニットの設計に適用した場合について説明したが、他の装置、例えば、エッチング装置、枚葉式成膜装置、塗布現像装置、洗浄装置などの装置に適用することも可能である。また、ガス供給ユニットに限定されず、真空排気ポンプシステム、プロセスチャンバー、高周波電源ユニットなどの設計システムとしても適用可能である。
なお、上記実施の形態では、設計サーバ111とユーザ端末21とが共同して設計処理を行うように説明したが、設計の手法自体は任意である。例えば、ユーザ端末21に上述の設計プログラムをインストールし、設計開始時点で、設計サーバ111にアクセスして、設計に必要な情報を一旦ダウンロードし、続いて、ユーザ端末21上で全ての設計処理を行い、最後に、処理結果を設計サーバ111を介して、ジョブ情報DB114に格納するような手法を採用してもよい。
逆に、全ての設計動作を設計サーバ111で行い、ユーザ端末21は設計サーバ111の単なるリモート入力装置及び表示装置として機能するようにしてもよい。
なお、この発明のシステムは、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、コンピュータに上述の動作を実行するためのプログラムを格納した媒体(フロッピーディスク、CD−ROM等)から該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する設計サーバ111等を構成することができる。なお、上述の機能を、OSが分担又はOSとアプリケーションの共同により実現する場合等には、OS以外の部分のみを媒体に格納してもよい。
なお、搬送波にプログラムを重畳し、通信ネットワークを介して配信することも可能である。例えば、通信ネットワークの掲示板(BBS)に該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して配信してもよい。そして、このプログラムを起動し、OSの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行させることにより、上述の処理を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、この発明の第1の実施の形態にかかるネットワークシステムの全体構成を示す図である。
図2は、図1に示すサーバコンピュータのハードウエア構成の一例を示す図である。
図3は、図1に示すユーザ端末のハードウエア構成の一例を示す図である。
図4は、図1に示すサーバコンピュータ102の機能構成を示す図である。
図5は、フロー図の一例を示す図である。
図6は、フロー図作成処理を示すフローチャートである。
図7は、フロー図を基にして得られた流体制御装置の三次元図である。
図8は、本発明の第2の実施形態に係る設計支援システムの構成を示す図である。
図9は、図8に示す設計サイト11の構成を示す図である。
図10は、ユーザ情報データベース(DB)の構成例を示す図である。
図11は、部品情報データベースの構成例を示す図である。
図12は、ジョブ情報DBの構成例を示す図である。
図13は、ログイン画面の例を示す図である。
図14は、作業選択メニューの一例を示す図である。
図15は、処理選択メニューの一例を示す図である。
図16Aと図16Bは、フロー図作成処理の一例を示す図である。
図17は、ガス供給ユニットの構成例を示す図である。
図18は、図17の構成例に対応するフロー図の一例を示す図である。
図19は、図17及び図18に対応するガスユニットの構成図の例を示す図である。
図20は、図19に示すガスユニットの斜視図の例を示す図である。
図21は、比較表の一例を示す図である。
図22は、従来の縦型半導体製造装置の構成例を示す図である。
図23は、組立ユニットの一例を示す図である。
図24は、組立ユニットの一例を示す図である。
図25は、流体制御装置のフロー図の一例を示す図である。
図26は、流体制御装置の平面図の一例を示す図である。
Claims (21)
- 機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部(204a)と、
ユーザ端末(101)からの入力を、ネットワークを介して受け付けて、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部(201,202)と、
を備えたことを特徴とする設計支援システム。 - 前記フロー図作成部(201,202)は、ユーザ端末の表示装置にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末からの指示に従って、当該フロー図作成画面上で前記シンボルマークを組み合わせてフロー図を作成する、ことを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。
- 前記フロー図作成部(201,202,111)は、前記ユーザ端末の画像読取装置で読み取られた図面データに従って、前記シンボルマークを用いたフロー図を作成することを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。
- 機器を接続する接続部材についての情報を蓄積する接続部材情報記憶部(204a)と、
前記シンボルマークの組み合わせに応じて前記接続部材情報記憶部から接続部材を選択する接続部材選択部(201,202)と、をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。 - 前記フロー図作成部により作成されたフロー図から配管組立図を作成する配管組立図作成部(201,202)を備えたことを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。
- 前記フロー図作成部(201,202)により作成されたフロー図に係る流体制御装置について、前記ユーザ端末からの発注を受け付ける受注部(408)を備えたことを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。
- 前記ユーザ端末からの発注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワーク上の発注者端末(103)に発注を行う発注部(408)を備えたことを特徴とする請求項6に記載の設計支援システム。
- 前記ユーザ端末からの受注を受け付けた場合に、発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワークを介して入札を受け付ける入札部、を備えたことを特徴とする請求項7に記載の設計支援システム。
- 前記シンボルマークと他のマークとを相互に変換するための変換部(409)を備えたことを特徴とする請求項1に記載の設計支援システム。
- 機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶する記憶部(113)と、
ユーザ端末からネットワークを介して供給される指示に応答して、前記記憶部からシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す概要図を作成する概要図作成部(111)と、
を備える設計支援システム。 - 前記記憶部(113)は、各機器について、その設計図データを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図に基づいて、前記記憶部から図形データを読み出し、設計されたシステムの設計図を作成する設計図作成部(111)を備えることを特徴とする請求項10に記載の設計支援システム。 - システムを構成する機器のリストを生成するリスト生成部(111)を備える、ことを特徴とする請求項10に記載の設計支援システム。
- 前記記憶部(113)は、各機器について、そのコストを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図と前記記憶部に記憶されたコストに基づいて、設計されたシステムのコストを求めるコスト取得部(111)を備えることを特徴とする請求項10に記載の設計支援システム。 - 前記記憶部は、あらかじめ設計された装置の概要図を蓄積する部を備え、
前記作成部は、前記蓄積部に記憶された概要図を読み出して、該概要図を編集することにより、新たな概要図を生成する生成部部(111)を備える、ことを特徴とする請求項10に記載の設計支援システム。 - 設計された複数のシステムの内容を対比するための一覧を表示する一覧表示部(111)をさらに備えることを特徴とする請求項10に記載の設計支援システム。
- 設計されたシステムを構成する部品を発注する発注部(111)を備えることを特徴とする請求項11に記載の設計支援システム。
- 前記機器は、ガスユニットを構成するためのブロック化された機器から構成され、前記図面は機器の配置とガスの流路を示すフロー図である、ことを特徴とする請求項11に記載の設計支援システム。
- 機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部(204a,113)と、
外部からの入力に応答して、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部(201,202,111)と、
を備えたことを特徴とする流体制御装置設計装置。 - 機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を作成するための流体制御装置設計方法であって、
外部入力に応じて、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークを用いたフロー図を作成する手順を有することを特徴とする流体制御装置設計方法。 - 機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶し、指示に応答して、記憶している機器を組み合わせて構成される装置を設計するサーバに、ネットワークを介して指示を供給し、前記記憶しているシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す図面を作成する、
ことを特徴とする流体制御装置設計方法。 - コンピュータを、請求項1乃至17のいずれか1項に記載の設計支援システム又は設計支援装置として機能させ、または、コンピュータに、請求項19に又は20に記載の設計方法を実行させるためのプログラム。
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