JPS6424326U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6424326U JPS6424326U JP11837387U JP11837387U JPS6424326U JP S6424326 U JPS6424326 U JP S6424326U JP 11837387 U JP11837387 U JP 11837387U JP 11837387 U JP11837387 U JP 11837387U JP S6424326 U JPS6424326 U JP S6424326U
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- liquid crystal
- display panel
- crystal display
- film
- layer
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第1図a,bは本考案の液晶表示パネル用電極
基板一実施例の要部平面図、及びA―A′断面図
、第2図a,bは本考案基板一実施例の異なる要
部平面図、及びA―A′断面図、第3図a〜eは
第1図bの本考案基板断面図に対応する製造工程
図、第4図はa―Si形成における放電パワーと
内部応力の関係図、第5図はSiNx形成におけ
る混合ガス比と内部応力の関係図、第6図及び第
7図は夫々スリツトS形状と内部応力の方向との
関係を示す平面図である。 1…金属膜、2…絶縁薄膜、3…半導体薄膜、
4…上層金属配線膜、5…透明導電膜、S…スリ
ツト。
基板一実施例の要部平面図、及びA―A′断面図
、第2図a,bは本考案基板一実施例の異なる要
部平面図、及びA―A′断面図、第3図a〜eは
第1図bの本考案基板断面図に対応する製造工程
図、第4図はa―Si形成における放電パワーと
内部応力の関係図、第5図はSiNx形成におけ
る混合ガス比と内部応力の関係図、第6図及び第
7図は夫々スリツトS形状と内部応力の方向との
関係を示す平面図である。 1…金属膜、2…絶縁薄膜、3…半導体薄膜、
4…上層金属配線膜、5…透明導電膜、S…スリ
ツト。
Claims (1)
- 絶縁基板上に電極膜、絶縁膜、あるいは半導体
膜を積層形成した液晶表示パネル用電極基板に於
いて、これ等の積層構造の少なくとも一層に、該
層を部分的に除去した除去部を多数分散配置せし
めた事を特徴とする液晶表示パネル用電極基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987118373U JPH0717059Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 液晶表示パネル用電極基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987118373U JPH0717059Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 液晶表示パネル用電極基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6424326U true JPS6424326U (ja) | 1989-02-09 |
JPH0717059Y2 JPH0717059Y2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=31362673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987118373U Expired - Lifetime JPH0717059Y2 (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 | 液晶表示パネル用電極基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0717059Y2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0651349A (ja) * | 1992-06-04 | 1994-02-25 | Nec Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH07199223A (ja) * | 1993-12-30 | 1995-08-04 | Nec Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
JP2007012652A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ基板および薄膜トランジスタ基板の製造方法 |
JP2012099847A (ja) * | 2012-01-13 | 2012-05-24 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ基板の製造方法 |
JP2017116904A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
JP2020170148A (ja) * | 2013-06-17 | 2020-10-15 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 表示装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5955786U (ja) * | 1982-10-06 | 1984-04-12 | ホシデン株式会社 | 液晶表示器 |
JPS6155626A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-20 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP1987118373U patent/JPH0717059Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0717059Y2 (ja) | 1995-04-19 |