JPS6395601A - 抵抗薄膜 - Google Patents
抵抗薄膜Info
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- JPS6395601A JPS6395601A JP61242402A JP24240286A JPS6395601A JP S6395601 A JPS6395601 A JP S6395601A JP 61242402 A JP61242402 A JP 61242402A JP 24240286 A JP24240286 A JP 24240286A JP S6395601 A JPS6395601 A JP S6395601A
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- small
- nickel
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- Pending
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子部品として使用される抵抗薄膜に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
この種抵抗薄膜として具備すべき好ましい特性としては
、比抵抗が比較的大きいこと、安定性すなわち抵抗値の
経時変化が小さいこと、抵抗温度係数が小さいこと、ま
た抵抗温度係数の経時変化が小さいこと等の種々にわた
る特性が要求される。
、比抵抗が比較的大きいこと、安定性すなわち抵抗値の
経時変化が小さいこと、抵抗温度係数が小さいこと、ま
た抵抗温度係数の経時変化が小さいこと等の種々にわた
る特性が要求される。
従来、抵抗薄膜はスパッタリングや電子ビーム蒸着、抵
抗加熱蒸着等により、基体上に被着することにより作ら
れている。そして、薄膜材料としては、窒化タンタル（
ＴａＮ）、窒化チタン（Ｔｉｅ）やニッケルークローム
（Ｎｉ−Ｃｒ）合金、ニッケルークローム−アルミニウ
ム（Ｎｉ−０ｒ −Ａｌ ）合金、ニッケルークローム
−硅素（Ｎｉ −０ｒ−８ｉ）合金等が実用化されてい
る。
抗加熱蒸着等により、基体上に被着することにより作ら
れている。そして、薄膜材料としては、窒化タンタル（
ＴａＮ）、窒化チタン（Ｔｉｅ）やニッケルークローム
（Ｎｉ−Ｃｒ）合金、ニッケルークローム−アルミニウ
ム（Ｎｉ−０ｒ −Ａｌ ）合金、ニッケルークローム
−硅素（Ｎｉ −０ｒ−８ｉ）合金等が実用化されてい
る。
発明が解決しようとする問題点
しかし、ＴｉＮやＴａＮは微量のＮ２ガスを導入する反
応性着膜を必要とするため、制御が難かしく、再現性が
得にくい。またＴａはレアメタルであり、産地が偏在し
ており、原料価格が不安定でコストダウンの障害となっ
ている。
応性着膜を必要とするため、制御が難かしく、再現性が
得にくい。またＴａはレアメタルであり、産地が偏在し
ており、原料価格が不安定でコストダウンの障害となっ
ている。
Ｎｉ−０ｒは比抵抗が小さい。その酸化皮膜は緻密で耐
熱性、耐薬品性とも優れてはいるが、その抵抗温度係数
は１ｏＯ〜１ｓ ｏ ｐｐｍ ／Ｃと大きい。
熱性、耐薬品性とも優れてはいるが、その抵抗温度係数
は１ｏＯ〜１ｓ ｏ ｐｐｍ ／Ｃと大きい。
さらにＮｉ −Ｏｒ −８ｉ 、 Ｎｉ −０ｒ−４１
は比抵抗が小さいが、緻密で耐熱性、耐薬品性に富み、
抵抗温度係数も小さい。しかじ人ｅもしくはＳｉ量が最
適条件から少しでも外れると抵抗温度係数は大きくなる
ため、人ｅもしくはＳｌの微妙な量の加減が必要である
。
は比抵抗が小さいが、緻密で耐熱性、耐薬品性に富み、
抵抗温度係数も小さい。しかじ人ｅもしくはＳｉ量が最
適条件から少しでも外れると抵抗温度係数は大きくなる
ため、人ｅもしくはＳｌの微妙な量の加減が必要である
。
本発明は、上記のような点に鑑みてなされだものであり
、これらの特性を満足し、かつ安価にして安定的に抵抗
薄膜を提供することを目的とする。
、これらの特性を満足し、かつ安価にして安定的に抵抗
薄膜を提供することを目的とする。
問題点を解決するだめの手段
この問題点を解決するために本発明は、抵抗体の組成を
、ニッケル、クローム、アルミニウムおよび二酸化硅素
より構成して薄膜を形成するものである。
、ニッケル、クローム、アルミニウムおよび二酸化硅素
より構成して薄膜を形成するものである。
作用
この構成になる組成を有した抵抗薄膜は、比抵抗が大き
く、抵抗値の経時変化が小さく、まだ抵抗温度係数は比
較的小さく、抵抗温度係数の経時変化は小さい等の特性
上の優位性をもつ。まだ、資源的にも供給の心配の小な
い材料を使用している点、着膜が容易な点など、安価に
して安定的に抵抗薄膜をつくることができる。
く、抵抗値の経時変化が小さく、まだ抵抗温度係数は比
較的小さく、抵抗温度係数の経時変化は小さい等の特性
上の優位性をもつ。まだ、資源的にも供給の心配の小な
い材料を使用している点、着膜が容易な点など、安価に
して安定的に抵抗薄膜をつくることができる。
実施例
まず、アルミナ基板に電子ビーム法により、２つのハー
スにいれたニッケルークローム−アルミニウムと二酸化
硅素を同時に蒸発して着膜した。
スにいれたニッケルークローム−アルミニウムと二酸化
硅素を同時に蒸発して着膜した。
この時の各成分の比率は下記の表１に示す通りである。
次いで着膜された基体にＯｒ、 Ａｕを着膜し、エツチ
ングにより抵抗体部と導体部を作成する。次に抵抗体部
両端の導体部にリード線を接続し、試料とした。この試
料の抵抗温度係数、比抵抗を各１０個の平均値で調べた
結果を下記の表２に示す。
ングにより抵抗体部と導体部を作成する。次に抵抗体部
両端の導体部にリード線を接続し、試料とした。この試
料の抵抗温度係数、比抵抗を各１０個の平均値で調べた
結果を下記の表２に示す。
また表２には、参考として、ニッケルークロームを用い
、上記と同一条件で作成した試料の特性値を併せて示し
ている。
、上記と同一条件で作成した試料の特性値を併せて示し
ている。
さらに温度２６℃で、電力１．３Ｗを１ 、３ ｍ５ｅ
ｏ。
ｏ。
印加し、０．７ｍ５ｅｃ、 切るということをくりか
えす負荷寿命試験（発熱部＝抵抗体部は空中にあり何物
にも接触していない）を行なったところ、図に示すよう
な結果を得た。それぞれ実施例１による特性ａ１参考例
にニッケルークローム）による特性すを比較したもので
ある。
えす負荷寿命試験（発熱部＝抵抗体部は空中にあり何物
にも接触していない）を行なったところ、図に示すよう
な結果を得た。それぞれ実施例１による特性ａ１参考例
にニッケルークローム）による特性すを比較したもので
ある。
（以下余白）
表１
表２
以上のように本発明によれば、ニッケルークローム−ア
ルミニウムおよび二酸化硅素を組成とする抵抗薄膜は、
機械的性能として、■表面は緻密で硬く、■耐熱性、耐
薬品性に富んでいる。また電気的性能として、■比抵抗
が大きく、■抵抗温度係数が比較的小さく、マた１×１
ｏサイクルの負荷寿命試験においても抵抗値変化率が小
さく、抵抗温度係数変化率が小さいという特徴を有し、
本発明の抵抗薄膜が長期使用状態においても安定であり
、寿命的にも効果のあることがわかる。また、生産上の
観点から、■組成が多少ズしても抵抗温度係数には犬さ
な差が生じない、■反応性着膜でなく着膜できるので制
御もむずかしくない等作りやすい膜ということができる
。
ルミニウムおよび二酸化硅素を組成とする抵抗薄膜は、
機械的性能として、■表面は緻密で硬く、■耐熱性、耐
薬品性に富んでいる。また電気的性能として、■比抵抗
が大きく、■抵抗温度係数が比較的小さく、マた１×１
ｏサイクルの負荷寿命試験においても抵抗値変化率が小
さく、抵抗温度係数変化率が小さいという特徴を有し、
本発明の抵抗薄膜が長期使用状態においても安定であり
、寿命的にも効果のあることがわかる。また、生産上の
観点から、■組成が多少ズしても抵抗温度係数には犬さ
な差が生じない、■反応性着膜でなく着膜できるので制
御もむずかしくない等作りやすい膜ということができる
。
発明の効果
以上のように本発明の抵抗薄膜は、各種の特性において
良好な値を示し、かつ安価にして、安定的に製造するこ
とができ、その産業性は犬なるものがある。
良好な値を示し、かつ安価にして、安定的に製造するこ
とができ、その産業性は犬なるものがある。
図は本発明品と従来品による負荷寿命試験結果を比較し
て示す特性図である。
て示す特性図である。
Claims (1)
- ニッケル、クローム、アルミニウムおよび二酸化硅素か
らなることを特徴とする抵抗薄膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242402A JPS6395601A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61242402A JPS6395601A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395601A true JPS6395601A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17088608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61242402A Pending JPS6395601A (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | 抵抗薄膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63147305A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | Tdk Corp | 金属薄膜抵抗体 |
| JP2007027299A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜抵抗体およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法 |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61242402A patent/JPS6395601A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63147305A (ja) * | 1986-12-11 | 1988-06-20 | Tdk Corp | 金属薄膜抵抗体 |
| JP2007027299A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜抵抗体およびそれを用いた電子部品ならびにその製造方法 |
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