JPS6385703A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、カラーのビデオカメラの心臓部である撮像管
や固体撮像素子、あるいはカラー液晶表示装置等に用い
られるカラーフィルターの製造方法に関する。

（従来の技術） カラーフィルターは、ガラス等の透明基板または固体撮
像素子等の基体上に形成されるもので、天然色の色信号
を得るのに欠かせないものである。

しかし、カラーフィルターは、第４図に平面図として示
すように、例えば、赤（几）、青（Ｂ）、緑（Ｇ）の各
色分解フィルター層（１）が、基体（２）上にミクロン
オーダーの微細なパターンとして形成されているもので
あり、各色の色分解フィルター（１Ｒ）、（１Ｂ）、（
１Ｇ）相互の位置関係は、寸分の狂いもない精確さが要
求されている。この（１）の領域外に位置合わせマーク
（３Ｒ）、（３Ｂ）、（３Ｇ）基体（２）の左右に１ケ
所ずつ設けている。

位置合わせマーク（３）は、金属クロムの蒸着層をフォ
トエツチングの手法により、図に示すように十文字ある
いはその他の適当なパターンをなしていた。

（発明が解決しようとする問題点） 上述の様な従来技術では、各層の色分解フィルター層の
パターンは類似している為に、色分解フィルターのパタ
ーンの位置合わせマークと、他の色の色分解フィルター
のパターンを取り違えるということであった。

（問題を解決する為の手段） 上述の様な問題点を解決する為に、色分解フィルターの
複数の位置合わせマーク間の距離を、色によって変える
様にする。

なお、複数の位置合わせマークの距離を、全ての色につ
いて変えても良いが、短長短という様に、次の色の色分
解フィルターの位置合わせマークの距離を変える事によ
っても相当な効果を得る事が出来る。

このときの基体とはガラス板が一般的であるが、合成樹
脂等透明性のあるものであればいかなるものでも指す、 また、色分解フィルター層とは、ＲＧＢ三色のものが多
いつ・、これまた何色のものでも指し示す。

また、位置合わせマークについては十字のものが一般的
であるが、必ずしもこれに限られることはない。星形等
種々なものがある。

また、写真的手法とは基体上の表面にレジストを均一に
塗布し、その上より色分解フィルター層に対応するパタ
ーンのマスクを載せ、紫外線や可視光や赤外線などの光
線を照射してレジストを硬化した上で非照射部分を除去
して層を構成する手・法もしくは、予め被形成物を基体
上の表面に均一に塗布し、その上より均一にレジストを
塗布し、その上より色分解フィルター層に対応するパタ
ーこのマスクを載せ、紫外線や可視光や赤外線などの光
線を照射してレジストを硬化した上で非照射部分のレジ
ストを除去し、その上よりエツチングを行なって上にレ
ジストが載っている部分を除いて被形成物を除去し、更
に残っているレジストを全て除去することで被形成物を
パターン成形する手法を指し示す。

（作　用） 本発明の様に、色分解フィルターのパターンを位置合わ
せするときに、そのパターンの複数の位置合わせマーク
間の距離が違っていると、作業者がこの色分解フィルタ
ーのパターンを取り違えても、取り違えたパターンとは
各々の距離が違う為に、それが間違った色分解フィルタ
ーの位置合わせマークであることを確実に認識すを様に
なる。

特に本発明の様なカラーフィルターの場合、色分割フィ
ルターのパターン自体が類似しており、従って各々の色
分解フィルターのパターンを混同することがあったもの
であるが、取り違えがなくなった。また、普通サイズの
カラーフィルターにおいては左右二ケ所のパターンで間
に合わせたものが多いが、別に複数個であっても良い。

（実施例） 本発明の一実施例を、図面を用いて詳細に説明する。第
１図は、本発明に用いられる基体に予め設けられている
位置合わせマークの第一色目の左端と右端の部分平面図
であり、基体（２）上に金属クロムの蒸着を施す。次に
、感光性樹脂を全面に均一に塗布し、写真的手法すなわ
ち所望のパターンの開口部を有する露光マスクを介して
残存したい部分だけを露光し、現像することにより所望
のパターンの金属クロムのパターンを得る。この金属ク
ロムのパターは、十字形の位置合わせマーク（３）が全
部の色分割フィルター層に相当するだけ各々左右に設け
られている。

次に、樹脂染色フィルターと称して、例えば、ゼラチン
、低分子量ゼラチン、グリユー、カゼイン等の染色され
やすいポリペプチド系の水溶性樹脂と、光架橋剤である
重クロム酸塩やジアゾニウム塩を水に溶解して得られる
ネガ型の感光性樹脂を、基体（２）上に均一に塗布し、
写真的手法すなわち所望のパターンの開口部を有する露
光マスクを介して残存したい部分だけを露光し、現像す
ることにより所望のパターン状の被染色膜を得、この被
染色膜を染料液に漬けることにより染色して、第一色目
の色分解フィルター層（１Ｒ）とするものである。

このとき、第一色目の色分解フィルター層を作成すると
きは、左右の基体（２）上の位置合わせマーク（３ｆＬ
）と露光用のマスク上の位置合わせマークを両方整合さ
せる。このとき、別の色の位置合わせマーク、例えば（
３Ｂ）と取り違えた場合でも、左の（３Ｂ）に合わせて
も右の（３Ｂ）とは、距離力を違って合わない。従って
作業者は（５Ｂ）に合わそ５としたのが間違いと判り、
正しい（３Ｒ）の位置合わせマークを用いて色分解フィ
ルターと合わせる様になる。なお、色分解フィルター層
（１几）、位置合わせマーク（３几）として、樹脂染色
型のものをあげたが、別にこれと限られる筈はなく、染
料や顔料を蒸着して得られるカラーフィルターや、コロ
イド顔料の電着塗装法により作成されたカラーフィルタ
ーであっても、本発明の製法が適用できることはもちろ
んである。

以上あげた様な色分解フィルター層の形成を各色分だけ
行なうと、カラーフィルターが出来上る。

（発明の効果） 本発明により、色分解フィルターのパターンを取り違え
て、他の色の色分解フィルターに合わせて位置合せを行
なう事がなくなり、カラーフィルターの歩留りが向上し
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に用いられる基体に予め設けられてい
る位置合わせマークの第一色目部分を示す平面図であり
、第２図は、従来例の同平面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に、二色以上の色分解フィルター層を写真
   的手法により所定の位置にパターン状に形成するカラー
   フィルターの製造方法において、該色分解フィルターの
   複数の位置合わせマーク間の距離を、色によって変えて
   いる事を特徴とするカラーフィルターの製造方法。