JPS61295507A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS61295507A JPS61295507A JP60138289A JP13828985A JPS61295507A JP S61295507 A JPS61295507 A JP S61295507A JP 60138289 A JP60138289 A JP 60138289A JP 13828985 A JP13828985 A JP 13828985A JP S61295507 A JPS61295507 A JP S61295507A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- photoresist
- substrate
- dyeing
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明はカラーテレビなどの表示装置に用いられるカ
ラーフィルタの製造方法に関する。
ラーフィルタの製造方法に関する。
[従来の技術]
従来のカラーフィルタの製造方法として知られているも
のを説明する“(特開昭57−190912)。混色を
防ぐために、第6図示のようにガラス基板11に光遮蔽
用の金属膜12を形成し、その上に感光性染色膜13を
形成し、これを基板の反対の方向より光を照射すること
により、金属膜の上の感光性染色膜のみを除去する(第
7図〉。
のを説明する“(特開昭57−190912)。混色を
防ぐために、第6図示のようにガラス基板11に光遮蔽
用の金属膜12を形成し、その上に感光性染色膜13を
形成し、これを基板の反対の方向より光を照射すること
により、金属膜の上の感光性染色膜のみを除去する(第
7図〉。
ついで、フォトレジスト14を塗布して、フォトマスク
15を用いて露光させ(第8図)、現像して、除去した
部分の染色膜13を染色する(第9図)。そして残った
フォトレジスト14を剥離して、以後同じような部分的
染色処理をくり返し施して赤R1緑G1青Bの三色によ
るカラーフィルタをつくっている。
15を用いて露光させ(第8図)、現像して、除去した
部分の染色膜13を染色する(第9図)。そして残った
フォトレジスト14を剥離して、以後同じような部分的
染色処理をくり返し施して赤R1緑G1青Bの三色によ
るカラーフィルタをつくっている。
[発明が解決しようとする問題点]
上述の従来例において、光遮蔽用の金属膜は極めて薄い
ものであるのに対し、染色膜は1〜3μm程度の厚さが
おるので、段差16が生じる。この段差のため、このカ
ラーフィルタの上に後工程で透明電極を付ける際に断線
の原因になったり、抵抗値のバラツキの原因になってい
た。また液晶のセルに用いる際に液晶の配向を乱すとい
う欠点もある。
ものであるのに対し、染色膜は1〜3μm程度の厚さが
おるので、段差16が生じる。この段差のため、このカ
ラーフィルタの上に後工程で透明電極を付ける際に断線
の原因になったり、抵抗値のバラツキの原因になってい
た。また液晶のセルに用いる際に液晶の配向を乱すとい
う欠点もある。
[問題点を解決するための手段°]
この発明は上記従来技術にあ【プる欠点を解決するもの
で、基板に光遮蔽膜を設け、その上に染色膜、およびネ
ガ型のフォトレジストを塗布し、基板の裏側より露光さ
せ、現像して上記光遮蔽膜上のフォトレジストを除去し
て光遮蔽膜上の染色膜に防染処理を施しておき、ついで
上記フォトレジストの残りの部分を除去した後、上記染
色膜への部分的染色処理をくり返すようにしたものであ
る。
で、基板に光遮蔽膜を設け、その上に染色膜、およびネ
ガ型のフォトレジストを塗布し、基板の裏側より露光さ
せ、現像して上記光遮蔽膜上のフォトレジストを除去し
て光遮蔽膜上の染色膜に防染処理を施しておき、ついで
上記フォトレジストの残りの部分を除去した後、上記染
色膜への部分的染色処理をくり返すようにしたものであ
る。
[実施例]
第1図においてガラスなどの透明な基板1上にストライ
プ状に光遮蔽膜2を形成する。光遮蔽膜2の材料として
は微細なパターンを形成するために一般には金属または
金属酸化物が用いられる。
プ状に光遮蔽膜2を形成する。光遮蔽膜2の材料として
は微細なパターンを形成するために一般には金属または
金属酸化物が用いられる。
この上にゼラチンなどの染色膜3を形成し、さらにその
上にネガ型のフォトレジスト4を塗布する。
上にネガ型のフォトレジスト4を塗布する。
そして基板1の反対側から光を照射する。現像して光遮
蔽膜2の上のフ、t t”レジストを除去し、モして防
染処理を施こしてこの部分を防染部分5とする(第2図
)。防染処理としてtよ、クロムミョウバン水溶液など
による処理をおこない、ついで、タンニン酸含有酸性水
溶液および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液などによ
る処理をほどこす。
蔽膜2の上のフ、t t”レジストを除去し、モして防
染処理を施こしてこの部分を防染部分5とする(第2図
)。防染処理としてtよ、クロムミョウバン水溶液など
による処理をおこない、ついで、タンニン酸含有酸性水
溶液および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液などによ
る処理をほどこす。
つぎに残ったフォトレジスト4を除去し、新たにフォト
レジスト6を塗布し、フ第1〜マスク7を用いて露光さ
せ(第3図)、現像して、−色目の色、たとえば赤色の
染料で染色して赤色のカラーフィルタパターンRを形成
する(第4図)。以後同じような部分的染色処理をくり
返し施して、赤R1緑G1青Bのそれぞれのカラーフィ
ルタパターンを形成する(第5図)。
レジスト6を塗布し、フ第1〜マスク7を用いて露光さ
せ(第3図)、現像して、−色目の色、たとえば赤色の
染料で染色して赤色のカラーフィルタパターンRを形成
する(第4図)。以後同じような部分的染色処理をくり
返し施して、赤R1緑G1青Bのそれぞれのカラーフィ
ルタパターンを形成する(第5図)。
[発明の効果]
本発明によれば、カラーフィルタの表面が平坦化され、
また光遮蔽膜上の染色膜の防染に際し、その上のフォト
レジストの穴おけがセルフアライメントにできるので染
色膜の防染処理が正確な位置になされ、混色や色のにじ
みなどを防止することができ、さらに染色膜上のフォト
レジストを均一な厚みに塗布できる。
また光遮蔽膜上の染色膜の防染に際し、その上のフォト
レジストの穴おけがセルフアライメントにできるので染
色膜の防染処理が正確な位置になされ、混色や色のにじ
みなどを防止することができ、さらに染色膜上のフォト
レジストを均一な厚みに塗布できる。
第1図〜第5図は本発明の実施例を工程順に示す断面説
明図、第6図〜第10図は従来例を工程順に示す断面説
明図である。 1・・・・・・基板 2・・・・・・光遮蔽膜 3・・・・・・染色膜 4・・・・・・ネガ型のフォトレジスト。 以上
明図、第6図〜第10図は従来例を工程順に示す断面説
明図である。 1・・・・・・基板 2・・・・・・光遮蔽膜 3・・・・・・染色膜 4・・・・・・ネガ型のフォトレジスト。 以上
Claims (1)
- 透明な基板に光遮蔽膜を部分的に設け、上記光遮蔽膜を
設けた基板面上に染色膜、さらにその上にネガ型のフォ
トレジストを塗布し、基板の反対側より露光させ、現像
して上記光遮蔽膜上の上記フォトレジストを除去してこ
の部分の染色膜に防染処理を施し、ついで上記フォトレ
ジストの残りの部分を除去した後上記染色膜への部分的
染色処理をくり返すことを特徴とするカラーフィルタの
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60138289A JPS61295507A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60138289A JPS61295507A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61295507A true JPS61295507A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15218411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60138289A Pending JPS61295507A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61295507A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243902A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置用カラ−フイルタ− |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60138289A patent/JPS61295507A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243902A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置用カラ−フイルタ− |
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