JPS6366470A - プロ−ブ装置 - Google Patents
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- JPS6366470A JPS6366470A JP62070158A JP7015887A JPS6366470A JP S6366470 A JPS6366470 A JP S6366470A JP 62070158 A JP62070158 A JP 62070158A JP 7015887 A JP7015887 A JP 7015887A JP S6366470 A JPS6366470 A JP S6366470A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31926—Routing signals to or from the device under test [DUT], e.g. switch matrix, pin multiplexing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3177—Testing of logic operation, e.g. by logic analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
- G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/22—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
- G06F11/25—Testing of logic operation, e.g. by logic analysers
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プローブ装置、特に電気計測システムに用い
るプローブ装置に関するものである。
るプローブ装置に関するものである。
一般に、電気計測システムは、オシロスコープ 、又
はロジックアナライザのような測定器とプローブ装置と
より成る。プローブ装置は、プローブ本体、プローブチ
ップ及びケーブルとにより構成され、プローブチップは
、プローブ本体から伸びていて被測定デバイス（ＯＵＴ
）の計測点と接触するものである。ケーブルは、測定器
とプローブ本体を接続するものである。プローブ本体に
は、プローブチップとケーブル間に両者を結合するプロ
ーブ回路が組み込まれている０例えば、インピーダンス
整合回路や減衰器のような回路が含まれる。テクトロニ
クス社製Ｐ ６２０２型のような能動プローブにはプロ
ーブ本体に能動回路素子を組み込んであるが、これらの
能動素子には電源が必要なため、プローブ回路に電源を
接続しなくてはならない。
はロジックアナライザのような測定器とプローブ装置と
より成る。プローブ装置は、プローブ本体、プローブチ
ップ及びケーブルとにより構成され、プローブチップは
、プローブ本体から伸びていて被測定デバイス（ＯＵＴ
）の計測点と接触するものである。ケーブルは、測定器
とプローブ本体を接続するものである。プローブ本体に
は、プローブチップとケーブル間に両者を結合するプロ
ーブ回路が組み込まれている０例えば、インピーダンス
整合回路や減衰器のような回路が含まれる。テクトロニ
クス社製Ｐ ６２０２型のような能動プローブにはプロ
ーブ本体に能動回路素子を組み込んであるが、これらの
能動素子には電源が必要なため、プローブ回路に電源を
接続しなくてはならない。
測定器を用いて正確な測定結果を得るには、電気計測シ
ステムの信号取込み（取出し）部が校正されていること
が必要である。電気計測システムの５８号取込み部には
、プローブ装置及び測定器の入力回路が含まれる。デジ
タル・ストレージ・オシロスコープ（ＤＳＯ）の場合に
は、これらの入力回路は、プローブ装置から受けたアナ
ログ信号をデジタル信号に変換して取込みメモリに格納
するためのアナログ・デジタル変換器（八〇Ｃ）を含ん
でいる。現在、校正を行うには、所定の波形の信号源に
プローブチップを接続して、実際に測定器上で得られた
測定結果が予測したものと一致するように、測定器の校
正回路を調整して行っている。信頼性の高い測定をする
ためには、プローブ装置の温度などのような信号取込み
状況の変化を考慮して、頻繁に測定器の校正を行わねば
ならない、しかし、校正は一般に煩雑な作業と見られて
いるので、使用者の多くは測定器の校正を充分な頻度で
行っていないのが現状である。
ステムの信号取込み（取出し）部が校正されていること
が必要である。電気計測システムの５８号取込み部には
、プローブ装置及び測定器の入力回路が含まれる。デジ
タル・ストレージ・オシロスコープ（ＤＳＯ）の場合に
は、これらの入力回路は、プローブ装置から受けたアナ
ログ信号をデジタル信号に変換して取込みメモリに格納
するためのアナログ・デジタル変換器（八〇Ｃ）を含ん
でいる。現在、校正を行うには、所定の波形の信号源に
プローブチップを接続して、実際に測定器上で得られた
測定結果が予測したものと一致するように、測定器の校
正回路を調整して行っている。信頼性の高い測定をする
ためには、プローブ装置の温度などのような信号取込み
状況の変化を考慮して、頻繁に測定器の校正を行わねば
ならない、しかし、校正は一般に煩雑な作業と見られて
いるので、使用者の多くは測定器の校正を充分な頻度で
行っていないのが現状である。
上述のように、電気計測システムにとって校正は不可欠
の作業であり、温度変化等に応じて頻繁に行われるべき
であるが、従来の方法は、煩雑で時間もかかる上に測定
作業も中断される欠点がある。
の作業であり、温度変化等に応じて頻繁に行われるべき
であるが、従来の方法は、煩雑で時間もかかる上に測定
作業も中断される欠点がある。
従って、本発明の目的は、プローブチップをＤ［ＩＴか
ら離すことなく、必要し応じて自動的に校正が行なえる
プローブ装置を堤供し、常に校正された電気計測システ
ムを実現して測定の信頼性を向上すると共に、校正に要
する時間及び測定中断時間の短縮により、測定作業の効
率を向上させることである。
ら離すことなく、必要し応じて自動的に校正が行なえる
プローブ装置を堤供し、常に校正された電気計測システ
ムを実現して測定の信頼性を向上すると共に、校正に要
する時間及び測定中断時間の短縮により、測定作業の効
率を向上させることである。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明によれ
ば、プローブ本体は、測定点にプローブチップを介して
接触させるプローブチップ端子、プローブケーブルを介
して測定器に接続するケーブルボート、測定器、プロー
ブ回路、関数発生器及びスイッチ手段を含んでいる。こ
のスイッチ手段の第１状態では、プローブチップ端子を
プローブ回路を介してケーブルボートに接続し、このス
イッチ手段の第２状態では、プローブチップ端子に代わ
って関数発生器をプローブ回路に接続する。この第２状
態では、関数発生器が所定波形の信′号をプローブ回路
に伝送する。
ば、プローブ本体は、測定点にプローブチップを介して
接触させるプローブチップ端子、プローブケーブルを介
して測定器に接続するケーブルボート、測定器、プロー
ブ回路、関数発生器及びスイッチ手段を含んでいる。こ
のスイッチ手段の第１状態では、プローブチップ端子を
プローブ回路を介してケーブルボートに接続し、このス
イッチ手段の第２状態では、プローブチップ端子に代わ
って関数発生器をプローブ回路に接続する。この第２状
態では、関数発生器が所定波形の信′号をプローブ回路
に伝送する。
本発明を使用する電気計測システムは、測定器、プロー
ブ本体、及びプローブ本体のケーブルポートを測定器に
接続するためのプローブケーブルを含んでいる。プロー
ブ本体は、ケーブルポートに接続する出力端子及び入力
端子をもつプローブ回路を含むほか、関数発生器及びス
イッチ手段を含んでいる。スイッチ手段の第１状態では
、プローブ回路の入力端子はプローブ本体のプローブチ
ップ端子に接続され、スイッチ手段の第２状態では、プ
ローブ回路の入力端子は関数発生器に接続される。この
第２状態では、関数発生器により所定波形の信号がプロ
ーブ回路に伝送される。
ブ本体、及びプローブ本体のケーブルポートを測定器に
接続するためのプローブケーブルを含んでいる。プロー
ブ本体は、ケーブルポートに接続する出力端子及び入力
端子をもつプローブ回路を含むほか、関数発生器及びス
イッチ手段を含んでいる。スイッチ手段の第１状態では
、プローブ回路の入力端子はプローブ本体のプローブチ
ップ端子に接続され、スイッチ手段の第２状態では、プ
ローブ回路の入力端子は関数発生器に接続される。この
第２状態では、関数発生器により所定波形の信号がプロ
ーブ回路に伝送される。
図は、本発明の実施例を含む電気計測システムを示すブ
ロック図である０図に示すように、電気計測システムは
、ＤＳＯのような測定器（２）及びプローブ装置（４）
を含んでいる。プローブ装置（４）はプローブケーブル
（６）、プローブ本体（８）、測定ブローブチ、ブαｅ
及び刺激プローブチップＧＯを含んでいる。
ロック図である０図に示すように、電気計測システムは
、ＤＳＯのような測定器（２）及びプローブ装置（４）
を含んでいる。プローブ装置（４）はプローブケーブル
（６）、プローブ本体（８）、測定ブローブチ、ブαｅ
及び刺激プローブチップＧＯを含んでいる。
プローブチップ０＠は、ＤＯＴ ０３の測定点と電気的
接触をする。プローブ本体（８）には、プローブチップ
ａｌとプローブケーブルの唯一の測定信号伝送路（６０
）とをつなぐ従来のプローブ回路（８０）を組み込んで
ある。ＤＯＴ（ロ）に生じる現象を示す電気信号は、プ
ローブチップＯＩからプローブ本体（８）及び信号伝送
路（６０）を通って測定器（２）へと送られる。
接触をする。プローブ本体（８）には、プローブチップ
ａｌとプローブケーブルの唯一の測定信号伝送路（６０
）とをつなぐ従来のプローブ回路（８０）を組み込んで
ある。ＤＯＴ（ロ）に生じる現象を示す電気信号は、プ
ローブチップＯＩからプローブ本体（８）及び信号伝送
路（６０）を通って測定器（２）へと送られる。
周知のように、ＯＳＯは減衰器Ｑ１、八〇〇 （２２）
及び取込みメモリ（２４）を含んでいる。ケーブル（６
）の中の信号伝送路（６０）を通って入った信号は、減
衰器酋で必要な減衰を受けてＡＤＣ（２２）のもつダイ
ナミックレンジ（動作範囲）内の信号となり、この減衰
アナログ信号はＡＤＣ（２２）によりデジタル信号に変
換される。このデジタル信号は、取込みメモリ（２４）
に書き込まれた後、測定結果を得るためにオシロスコー
プの処理回路（２６）によって処理される。
及び取込みメモリ（２４）を含んでいる。ケーブル（６
）の中の信号伝送路（６０）を通って入った信号は、減
衰器酋で必要な減衰を受けてＡＤＣ（２２）のもつダイ
ナミックレンジ（動作範囲）内の信号となり、この減衰
アナログ信号はＡＤＣ（２２）によりデジタル信号に変
換される。このデジタル信号は、取込みメモリ（２４）
に書き込まれた後、測定結果を得るためにオシロスコー
プの処理回路（２６）によって処理される。
減衰器（至）、八〇Ｃ（２２）、メモリ（２４）及び処
理回路（２６）は、制御回路（２８）の制御によって動
作する。 ＡＤＣ（２２） 、メモリ（２４）、処理回
路（２６）及び制御回路（２８）を動作させる電力は、
電源（３０）から供給される。
理回路（２６）は、制御回路（２８）の制御によって動
作する。 ＡＤＣ（２２） 、メモリ（２４）、処理回
路（２６）及び制御回路（２８）を動作させる電力は、
電源（３０）から供給される。
この電源（３０）は、プローブケーブル（６）中の７１
Ｒ８体（６２）を介してプローブ回路 （８０）に接
続されている。
Ｒ８体（６２）を介してプローブ回路 （８０）に接
続されている。
プローブ本体（８）は、プローブ回路（８０）のほかに
スイッチ装置（８２）及び関数発生器（８４）を内蔵す
る。
スイッチ装置（８２）及び関数発生器（８４）を内蔵す
る。
関数発生器（８４）は、データ出力（８８）と制御出力
（８６）とを有する。スイッチ装置（８２）は、関数発
生器（８４）のデータ出力（８８）及びブローブチ７プ
叫に接続されている２つのデータ入力端子と、プローブ
回路（８０）及び刺激ブローブチ）・プ０υに接続され
ている２個のデータ出力端子を有する。スイッチ装置（
８２）は、第１状態のときブローブチフプＯＩとプロー
ブ回路（８０）を接続し、更に自由選択によりデータ出
力（８８）を刺激プローブチップａＤに接続する。スイ
ッチ装置（８２）は、第２状態で、プローブ、 チッ
プ叫と刺激プローブチップＯＤを切り離し、データ出力
（８８）をプローブ回路（８０）に接続する。関数発生
器（８４）が制御出力（８６）に与える信号は、スイッ
チ装置（８２）の２つの状態を決めるのに使用される。
（８６）とを有する。スイッチ装置（８２）は、関数発
生器（８４）のデータ出力（８８）及びブローブチ７プ
叫に接続されている２つのデータ入力端子と、プローブ
回路（８０）及び刺激ブローブチ）・プ０υに接続され
ている２個のデータ出力端子を有する。スイッチ装置（
８２）は、第１状態のときブローブチフプＯＩとプロー
ブ回路（８０）を接続し、更に自由選択によりデータ出
力（８８）を刺激プローブチップａＤに接続する。スイ
ッチ装置（８２）は、第２状態で、プローブ、 チッ
プ叫と刺激プローブチップＯＤを切り離し、データ出力
（８８）をプローブ回路（８０）に接続する。関数発生
器（８４）が制御出力（８６）に与える信号は、スイッ
チ装置（８２）の２つの状態を決めるのに使用される。
関数発生器（８４）は、位相ロックループ（ＰＬＬ）
（９０）、メモリ装置 （９２）、デジタル・アナログ
変換器（ＤＡＣ）（９４）、低域通過フィルタ（ＬＰＦ
） （９６）及びデコーダ（９８）を含んでいる。メモ
リ装置（９２）は、複数の独立して選択できる読出し専
用メモリ（ＲＯＭ） （９２Ａ）。
（９０）、メモリ装置 （９２）、デジタル・アナログ
変換器（ＤＡＣ）（９４）、低域通過フィルタ（ＬＰＦ
） （９６）及びデコーダ（９８）を含んでいる。メモ
リ装置（９２）は、複数の独立して選択できる読出し専
用メモリ（ＲＯＭ） （９２Ａ）。
（９２Ｂ） 、・・・を含んでいる。関数発生器（８４
）は、プローブケーブル（６）中の電源導体（６２）、
データクロック導体（６４）、データ伝送導体（６６）
及びデータ導体（６８）に接続されている。電気計測シ
ステムの校正が必要になると、関数発生器（８４）はデ
ータ伝送導体（６６）上に論理状ａ１を設定されて動作
状態（イネーブル）になり、制御回路（２Ｂ）は、デー
タを直列ビット・データとしてデータ導体（６８）を通
して関数発生器（８４）に送る。デコーダ（９８）は、
制御信号を発生して、スイッチ（８２）を第２状ｓ ＜
（８０）とく８８）を接続する状態）にすると共にＰ
ＬＬ （９０）をイネーブルし、更にメモリ装置（９２
）中の特定の１７０Ｍ（例えばＲＯＭ （９２Ａ） ）
を選択する０次に、制御回路（２８）はＤＳＯ中のマス
タークロック発生器（３２）を動作させ、同クロック発
生器（３２）はデータクロック導体（６４）を介してＰ
ＬＬ （９０）へクロックパルスを送る０図示しないが
、ＰＬＬ （９０）は電圧制御発振器（ＶＣＯ）を含み
、ＰＬＬ（９０）がイネーブルされマスタークロックを
受けとると、ｖＣＯはマスタークロフタと同期して発振
を開始する。 ＰＬＬ（９０）は、マスタークロック信
号がなくなった後も、短時間マスタークロックに同期し
た発振を継続するよう設計されている。従って、ＰＬＬ
がマスタークロックと同期できるように充分時間が経過
してから、データクロック導体（６４）を接地しても、
ＰＬＬ（’１０）は発振を続けて選択したＲＯＭ ＜９
２Ａ）へスレーブクロックを印加する。こうして、ＲＯ
Ｍ （９２Ａ）にストアされているデジタルデータ値を
所定の順序で読出し、ＤＡＣ（９４）へ送る。 ＤＡＣ
（９４）は、デジタルデータ値に対応するアナログ電圧
を発生する。これらのアナログ電圧を関数発生器の出力
端子（８８）に直接送ってもよく、その場合、アナログ
出力信号の波形は例えば矩形波、規則的な階段波又は不
連続の電圧レベル波形等になる。また、このアナログ電
圧を低域通過フィルタ（ＬＰＦ） （９６）に通して例
えば正弦波を含むアナログ出力信号として出力端子（８
日）に出力してもよい、関数発生器（８４）のアナログ
出力信号は、スイッチ装置（８２）を介してプローブ回
路（８０）に送られる。従って、関数発生器（８４）は
局部校正信号源として動作し、これにより、使用者がブ
ローブチンプをＤＩＩＴ（１２）から切り離して校正信
号発生器に接続することなく計測システムの信号取込み
部を校正することが可能になる。関数発生器（８４）に
内蔵されたＰＬＬ （９０）の使用により、マスターク
ロックと同期した後にデータクロック導体（６４）を接
地できるので、信号伝送路の信号とマスタークロックの
間にクロストークが起こる危険を回避できる。
）は、プローブケーブル（６）中の電源導体（６２）、
データクロック導体（６４）、データ伝送導体（６６）
及びデータ導体（６８）に接続されている。電気計測シ
ステムの校正が必要になると、関数発生器（８４）はデ
ータ伝送導体（６６）上に論理状ａ１を設定されて動作
状態（イネーブル）になり、制御回路（２Ｂ）は、デー
タを直列ビット・データとしてデータ導体（６８）を通
して関数発生器（８４）に送る。デコーダ（９８）は、
制御信号を発生して、スイッチ（８２）を第２状ｓ ＜
（８０）とく８８）を接続する状態）にすると共にＰ
ＬＬ （９０）をイネーブルし、更にメモリ装置（９２
）中の特定の１７０Ｍ（例えばＲＯＭ （９２Ａ） ）
を選択する０次に、制御回路（２８）はＤＳＯ中のマス
タークロック発生器（３２）を動作させ、同クロック発
生器（３２）はデータクロック導体（６４）を介してＰ
ＬＬ （９０）へクロックパルスを送る０図示しないが
、ＰＬＬ （９０）は電圧制御発振器（ＶＣＯ）を含み
、ＰＬＬ（９０）がイネーブルされマスタークロックを
受けとると、ｖＣＯはマスタークロフタと同期して発振
を開始する。 ＰＬＬ（９０）は、マスタークロック信
号がなくなった後も、短時間マスタークロックに同期し
た発振を継続するよう設計されている。従って、ＰＬＬ
がマスタークロックと同期できるように充分時間が経過
してから、データクロック導体（６４）を接地しても、
ＰＬＬ（’１０）は発振を続けて選択したＲＯＭ ＜９
２Ａ）へスレーブクロックを印加する。こうして、ＲＯ
Ｍ （９２Ａ）にストアされているデジタルデータ値を
所定の順序で読出し、ＤＡＣ（９４）へ送る。 ＤＡＣ
（９４）は、デジタルデータ値に対応するアナログ電圧
を発生する。これらのアナログ電圧を関数発生器の出力
端子（８８）に直接送ってもよく、その場合、アナログ
出力信号の波形は例えば矩形波、規則的な階段波又は不
連続の電圧レベル波形等になる。また、このアナログ電
圧を低域通過フィルタ（ＬＰＦ） （９６）に通して例
えば正弦波を含むアナログ出力信号として出力端子（８
日）に出力してもよい、関数発生器（８４）のアナログ
出力信号は、スイッチ装置（８２）を介してプローブ回
路（８０）に送られる。従って、関数発生器（８４）は
局部校正信号源として動作し、これにより、使用者がブ
ローブチンプをＤＩＩＴ（１２）から切り離して校正信
号発生器に接続することなく計測システムの信号取込み
部を校正することが可能になる。関数発生器（８４）に
内蔵されたＰＬＬ （９０）の使用により、マスターク
ロックと同期した後にデータクロック導体（６４）を接
地できるので、信号伝送路の信号とマスタークロックの
間にクロストークが起こる危険を回避できる。
関数発生器（８４）から受けた校正信号に対応して出力
するＡＤＣ（２２）の出力信号波形は、予期した波形と
比較し、その比較結果を計測システムの信号取込み部の
校正に用いる０例えば、ＡＤＣ（２２）から出力した校
正信号のデジタル信号を取込みメモリ（２４）に書き込
む前に処理するか、又は取込みメモリに予め書き込んだ
校正信号データをその後の測定データ処理の前に処理す
るようにして校正することができる。
するＡＤＣ（２２）の出力信号波形は、予期した波形と
比較し、その比較結果を計測システムの信号取込み部の
校正に用いる０例えば、ＡＤＣ（２２）から出力した校
正信号のデジタル信号を取込みメモリ（２４）に書き込
む前に処理するか、又は取込みメモリに予め書き込んだ
校正信号データをその後の測定データ処理の前に処理す
るようにして校正することができる。
図示した計測システムでは、９０丁（１２）に刺激（試
験）信号を出力することもできる０ＤＯＴ（１２）に刺
激を与えるには、関数発生器（８４）がイネーブル状態
の間、ｉ制御回路から関数発生器にデータを送り、スイ
ッチｍ Ｗ（８２）を第２状態におけばよい、関数発生
器（８４）のアナログ出力信号は刺激ブローブチツブα
Ｄを介してＤｔｌＴ（１２）に出力され、ＤＯＴの測定
点でブローブチツブ＜ＩＩにより取出された信号は、マ
スタークロックの影響を全く受けることなくプローブ回
路（８０）とケーブル（６）を介してＤＳＯに送られる
。
験）信号を出力することもできる０ＤＯＴ（１２）に刺
激を与えるには、関数発生器（８４）がイネーブル状態
の間、ｉ制御回路から関数発生器にデータを送り、スイ
ッチｍ Ｗ（８２）を第２状態におけばよい、関数発生
器（８４）のアナログ出力信号は刺激ブローブチツブα
Ｄを介してＤｔｌＴ（１２）に出力され、ＤＯＴの測定
点でブローブチツブ＜ＩＩにより取出された信号は、マ
スタークロックの影響を全く受けることなくプローブ回
路（８０）とケーブル（６）を介してＤＳＯに送られる
。
本発明は、以上説明した特定のプローブ装置のみに限ら
ず、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨から逸脱す
ることなく様々な変形・変更が可能である０例えば、関
数発生器としては、プローブ回路に予期した通りの波形
の信号が印加できれば、どのような形態であってもよい
、もし、関数発生器の出力信号が矩形波だけで足りれば
、メモリ装！ （９２）の出力を直接出力端子（８８）
へ送ればよい、また、信号伝送路（６０）と他の導体（
６４） 、 （６６） 。
ず、特許請求の範囲に記載した本発明の要旨から逸脱す
ることなく様々な変形・変更が可能である０例えば、関
数発生器としては、プローブ回路に予期した通りの波形
の信号が印加できれば、どのような形態であってもよい
、もし、関数発生器の出力信号が矩形波だけで足りれば
、メモリ装！ （９２）の出力を直接出力端子（８８）
へ送ればよい、また、信号伝送路（６０）と他の導体（
６４） 、 （６６） 。
（６Ｂ）とに別のケーブルを使用する場合、マスターク
ロックでメモリ装置（９２）を直接クロック駆動すれば
よ＜ 、ＰＬＬ（９０）は不必要であろう、更に、ＦＲ
ＯＭのような電気的に書き換え可能なプログラマブル・
メモリ装置を使用して関数発生器の出力信号、を様々に
変化させることもできる。この場合、ＰＲＯ）ｌはデー
タ導体（６８）を介してロードすればよい。
ロックでメモリ装置（９２）を直接クロック駆動すれば
よ＜ 、ＰＬＬ（９０）は不必要であろう、更に、ＦＲ
ＯＭのような電気的に書き換え可能なプログラマブル・
メモリ装置を使用して関数発生器の出力信号、を様々に
変化させることもできる。この場合、ＰＲＯ）ｌはデー
タ導体（６８）を介してロードすればよい。
（６０）及び（６４）のように高速信号を伝える伝送路
は、一般に信号損失を避けるためシールドを施す必要が
ある。シールド線の数を減らすには、信号路（６０）を
関数発生器にマスタークロックを送るために共用とすれ
ばよい、この場合、デコーダ（９８）で制御される別の
スイッチをプローブ回路（８０）と信号路（６０）の間
に挿入して、信号取込み時には信号路（６０）とプロー
ブ回路を接続し、校正又は刺激信号出力時には、信号路
（６０）と関数発生器を接続するようにする。この場合
には、マスタークロックを関数発生器に送っている間、
測定信号を取込むことができないのは勿論である。従っ
て、関数発生器には、マスタークロックが遮断された後
少なくとも短時間安定してクロックを発生するスレーブ
クロック発生器を内蔵する必要がある。
は、一般に信号損失を避けるためシールドを施す必要が
ある。シールド線の数を減らすには、信号路（６０）を
関数発生器にマスタークロックを送るために共用とすれ
ばよい、この場合、デコーダ（９８）で制御される別の
スイッチをプローブ回路（８０）と信号路（６０）の間
に挿入して、信号取込み時には信号路（６０）とプロー
ブ回路を接続し、校正又は刺激信号出力時には、信号路
（６０）と関数発生器を接続するようにする。この場合
には、マスタークロックを関数発生器に送っている間、
測定信号を取込むことができないのは勿論である。従っ
て、関数発生器には、マスタークロックが遮断された後
少なくとも短時間安定してクロックを発生するスレーブ
クロック発生器を内蔵する必要がある。
〈発明の効果〉
上述のように、本発明のプローブ装置を使用することに
より、測定器に不可欠であるにも拘らず煩雑なため今ま
であまり行われなかった校正作業が完全に自動化される
上に、校正に要する時間の短縮及び測定中断時間の短縮
が可能になる。更に、測定結果の信鎖性が向上するなど
極めて著しい効果が得られる。
より、測定器に不可欠であるにも拘らず煩雑なため今ま
であまり行われなかった校正作業が完全に自動化される
上に、校正に要する時間の短縮及び測定中断時間の短縮
が可能になる。更に、測定結果の信鎖性が向上するなど
極めて著しい効果が得られる。
図は、本発明の好適実施例を示すブロック図である。
（２）・・・測定器（ＤＳＯ） 、＋４１・・・プロー
ブ装置、（２）・・・被測定ヂノマイス、（８２）・・
・スイッチ手段、（８４）・・・関数発生器。 手続ネ市正書 （方式） 昭和６２年 ８月２６日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 昭和６２年 特 許 願 第 ７０１５８号３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数 （１） 明細書第１３頁１５行「図は、」とあるを「
第１図は、」と訂正する。 （２）図面を別紙のとおり訂正する。 以 上
ブ装置、（２）・・・被測定ヂノマイス、（８２）・・
・スイッチ手段、（８４）・・・関数発生器。 手続ネ市正書 （方式） 昭和６２年 ８月２６日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 昭和６２年 特 許 願 第 ７０１５８号３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数 （１） 明細書第１３頁１５行「図は、」とあるを「
第１図は、」と訂正する。 （２）図面を別紙のとおり訂正する。 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、測定器に接続して使用するプローブ装置において、 関数発生器とスイッチ手段を設け、該関数発生器の出力
を被測定デバイスに刺激信号として印加するか又は上記
測定器に校正信号として供給するかを選択可能にしたこ
とを特徴とするプローブ装置。 ２、上記関数発生器は、上記測定器からマスタークロッ
ク信号を受けこれに同期して動作するものである特許請
求の範囲第１項記載のプローブ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US848548 | 1977-11-04 | ||
| US06/848,548 US4758779A (en) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | Probe body for an electrical measurement system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366470A true JPS6366470A (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=25303595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62070158A Pending JPS6366470A (ja) | 1986-04-07 | 1987-03-24 | プロ−ブ装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4758779A (ja) |
| EP (1) | EP0241142B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6366470A (ja) |
| CA (1) | CA1258883A (ja) |
| DE (1) | DE3768121D1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001007660A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Advantest Corp | アナログ信号処理回路、ａｄ変換装置、半導体デバイス試験装置およびオシロスコープ |
| JP2009063483A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Yokogawa Electric Corp | 波形測定装置 |
| JP2009204398A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Yokogawa Electric Corp | 波形測定装置 |
| JP2015118088A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | テクトロニクス・インコーポレイテッドＴｅｋｔｒｏｎｉｘ，Ｉｎｃ． | アクセサリ及びその校正方法 |
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| US6028423A (en) * | 1997-12-11 | 2000-02-22 | Sanchez; Jorge | Isolation instrument for electrical testing |
| US20060190204A1 (en) * | 1996-03-27 | 2006-08-24 | Mchardy John | Analyzing the response of an electrochemical system to a time-varying electrical stimulation |
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| US20040123018A1 (en) | 2002-09-30 | 2004-06-24 | Martin Miller | Method and apparatus for analyzing serial data streams |
| US7519874B2 (en) | 2002-09-30 | 2009-04-14 | Lecroy Corporation | Method and apparatus for bit error rate analysis |
| US7437624B2 (en) | 2002-09-30 | 2008-10-14 | Lecroy Corporation | Method and apparatus for analyzing serial data streams |
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| JPS6093973A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験装置の検査装置 |
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-
1986
- 1986-04-07 US US06/848,548 patent/US4758779A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-01-27 CA CA000528285A patent/CA1258883A/en not_active Expired
- 1987-03-10 DE DE8787302056T patent/DE3768121D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-03-10 EP EP87302056A patent/EP0241142B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-03-24 JP JP62070158A patent/JPS6366470A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3768121D1 (de) | 1991-04-04 |
| US4758779A (en) | 1988-07-19 |
| CA1258883A (en) | 1989-08-29 |
| EP0241142A1 (en) | 1987-10-14 |
| EP0241142B1 (en) | 1991-02-27 |
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