JPS6361936A - 複屈折測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、屈折率が一様でない複屈折媒体において、そ
の複屈折量を簡便に測定する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来の複屈折測定方法は、固体物理Ｖｏｌ　１２　、　
ＮＩＬｌｏ（１９７７）第５８１頁から第５８７頁にお
いて論じられている。この測定方法によれば、ボラリメ
ータ（またはエリプソメータ）を用いて、平行光を被測
定物である複屈折媒体に照射し、セナルモン法により複
屈折を測定する。セナルモン法は、光源から導ひかれた
光を、グラントムソンプリズムのような偏光子によって
直線偏光とし、この偏光方向に対して媒体の結晶軸が４
５度となるように（すなわち方位角が４５度であるよう
に）複屈折媒体を置き、これを透過または反射した光を
１／４波長板に照射することにより、複屈折媒体のもつ
位相差による楕円偏光をつくりだす。さらにこの楕円偏
光を、別の１／４波長板に照射し、さらに偏光子と同様
にグラントムリン・プリズムなどから成る検光子に通し
、検光子を光軸中心に回転させて消光位置に合わせ、こ
のときの回転角と、複屈折が無い場合の消光位置におけ
る検光子の回転角との角度差から、複屈折媒体の位相差
を測定する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記したように従来の複屈折測定方法では、複屈折媒体
に方位角４５度で光を照射しなければならず、測定の前
作業として媒体の結晶軸を見つけ、これに対して４５度
傾けた光を照射することが必要であった。また測定に際
しても検光子の回転が必要である。このようなことから
従来技術では測定に時間を要するばかりでなく、被測定
物が静止状態になければ測定できず、例えば光ディスク
のカバーガラスのような、回転動作中の複屈折媒体の測
定は不可能であった。

本発明の目的は、上記従来技術にあったような複屈折測
定における作業量を大幅に軽減し、測定時間を短縮する
とともに、被測定物が動作状態にあっても測定が可能な
複屈折測定装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するために、本発明では複屈折媒体を透
過または反射した光を、偏光ビームスプリッタにより二
分岐し、さらに二分岐した光を光電変換したのちその差
動出力を検出し、この差動出力値から前記複屈折媒体の
位相差、方位角などの複屈折量を測定する方法をとった
。

〔作用〕

上記差動光学系において、被測定物に複屈折性が無い場
合、これを透過または反射してきた光を偏光ビームスプ
リッタで二分岐し、それぞれの光量を比較すると両者は
一致するのに対して、複屈折性がある場合には、二分岐
した光に光量差を生ずる。すなわちこの光量差は、媒体
の複屈折量である位相差と、媒体に入射する偏光方向と
媒体結晶軸との角度、すなわち方位角により生ずるもの
であり、本発明では、この光量差を光電変換後の差動ア
ンプ出力により検出し、被測定物の複屈折量を測定する
ものである。

これによれば従来技術にあったような、結晶軸を見つけ
出しこれに対して方位角４５度で光を入射させるような
作業は不要であり、また測定に際して消光位置を見つけ
出すために検光子を回転させる作業も不要である。した
がって本発明の複屈折測定方法を用いれば、測定作業量
および時間を大幅に軽減でき、さらに被測定物が動作状
態にあっても測定を可能にすることができる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の実施例につき説明する。

第１図は、本発明の一実施例である光磁気再生装置を示
したものであり、また第２図は、第１図における光磁気
再生装置の一部分の側面図を示したものである。光磁気
再生装置は、光磁気信号の検出用に差動光学系を有して
おり、その構成自体が本発明の複屈折補正機能をもつ。

これらの図において、１は光反射性の磁気記録膜２、お
よびカバーガラス３を有する光磁気ディスクであり、モ
ータ４によって回転する。記録信号の再生は、直線偏光
光源である半導体レーザ５から出るレーザ光が、コリメ
ートレンズ６により平行光とされ、ビーム整形プリズム
７でほぼ円形の光強度分布に整形されたのち、ビームス
プリッタである第１の偏光子８で、一部を反射し、残り
を透過する。このうちの透過レーザ光は、さらに旋光板
または位相板である波長板９およびミラー１ｏを介して
、対物レンズ１１により集光され、カバーガラス３を透
過して記録膜２上に照射される。このとき、記録膜２に
照射されたレーザ光は、カー効果によって記録膜２の記
録部および未記録部の磁気モーメントの配向状態により
偏光面が変化する。（すなわちカー回転を生じる。） さらにこの記録膜２からの反射光は、再たびカバーガラ
ス３を透過したのち、対物レンズ１１で平行光に戻り、
ミラー１０および波長板９を介して、第１の偏光子８で
、カー効果による信号成分を含む偏光方向のレーザ光（
例えばＳ偏光）がほぼ全て反射され、これと（社）°の
位相差のある偏光成分（例えばＰ偏光）は、一部反射し
残りを透過される。このＳ偏、光およびＰ偏光の反射レ
ーザ光は、さらにビームスプリッタである第２の偏光子
１２により・偏光子８と同様にＳ偏光はほぼ全てを反射
、Ｐ偏光は一部を反射、残りを透過する。ここで透過し
たレーザ光は、凸レンズ１３で集光され、円柱レンズ１
４を介してサーボ用光検出器１５に入射する。

このサーボ用光検出器１５は、その検出方法に応じて複
数に分割されており、それらの出力信号２６を処理して
、フォーカス誤差信号およびトラック誤差信号（検出法
は省略）を得て、ディスク１上にレーザ光が正確に位置
決めされるように、対物レンズを制御する。一方、第２
の偏光子１２で反射したカー効果による信号成分を含む
レーザ光は、凸レンズ１６で集光され、偏光ビームスプ
リッタ１７に入射して二分岐される。二分岐されたレー
ザ光のうち、一方は、第１の光検出器１８αに入射し、
また他方は、第２の光検出器１８　ｂ　Ｊこ入射し、そ
れぞれ電気信号へ変換される。本実施例では、このレー
ザ光を二分岐する手段として偏光ビームスプリッタを用
いたので、これらの二分岐されたレーザ光のそれぞれが
、検光子を通過したことになる。

したがって、検光子１７と第１の光検出器１８αは、第
１の光電変換系１９を構成し、また検光子１７と第２の
光検出器１８　ｈは、第２の光電変換系２０を構成する
ことになる。さらにこれらの光検出器１８α。

１８　ｈで検出された信号は、プリアンプ２１および２
２で増幅され、差動回路田に入力される。差動回路ｎで
は、プリアンプ２１または２２により入力された各信号
の同位相の成分が差し引かれ、同時に逆位相の成分が加
算されることから、再生信号の振幅は２倍となって出力
寓される。

次に、この差動出力信号夙についてさらに詳細に説明す
る。

第３図は、第１図の光電変換１９　、２０に検出される
信号を示す説明図である。この図において、】０１およ
び１０２は、レーザ光のＰ偏光およびＳ偏光方向、１０
３および１０４は、第１図の検光子１７における透過軸
を示している。図に示すように、レーザ光が記録膜２に
照射されると、その反射レーザ光は、記録部と未記録部
にて、角度θにおよび一部にの偏光面の回転を生ずる。

この現象がカー効果であり、この回転角θにはカー回転
角と呼ばれる。光電変換系１９および２０に入射する光
量Ｐは、高周波の光磁気信号であるＡＣ光量成分ＰＡＣ
と、サーボ信号および測定対象である複屈折成分を含む
ＤＣ光量成分ＰＤＣに分類でき、それぞれ＋１１　、　
＋２１式にて表わされる。

Ｐ、ｔｃ＝（１（−〇ｘ）　’（＋θＫ））°η”ｄｉ
、ｋ　　　　（１１Ｐｎｃ　−２（Ｉ（−〇ｘ　）＋１
（＋θＩ））°η”ｄｉｓｋ　　　ｆ２）ここで、 η：ディスク上入射から光検出器１８　ａ　、　１８　
ｂまでの光利用率（偏光子８，１２の二色性を除く） Ｐｄｉｓｋ　’ディスク１への入射光量（Ｆ）また上式
におけるＩは、第３図に示す振幅Ｅ１゜Ｂｙにより、（
３１式にて表わされる。

１　＝：　（Ｅ□）２＋（Ｅｙ）”　　　　　　　　　
　＋３１ここで、 Ｅ工：検光子１７で検出されるＳ偏光の振幅Ｅｙ二二元
光子７で検出されるＰ偏光の振幅さらにＥ工、Ｅ、は、
直線偏光であるレーザ光をストークスパラメータで表わ
し、各偏光要素をミューラ行列で組合わせると、（４）
式のように表わせる。

ここで第３図のように、検光子１７によりＳ偏光方向１
０２より０４回転した透過軸１０３での振幅Ｅ工を検出
するとすれば、 ｓ　儂肋優咄　　　回転角　二色性　方位角　　位相差
方位角　　　　　カー回転　　　方位角　　位相差方位
角　　直線偏光（Ｐ偏光） ここで、 θに：力−回転角（度） θ０：検光子１７の回転角渡） δ：位相差（ｄす） α：方位角（ｄす） Ｒ５：偏光子８，１２の二色性（Ｓ偏光反射率）Ｒｐ　
：　　　　　　　　　　　（Ｐ偏光反射率）この（４）
式を解くと、 （３ｊ、（４）式より、カー回転により生ずるＩ（±θ
、）は次のように表わせる。

Ｉ（−θＫ）＝ＩＥよ（−θｚ）ｌ”　＋　ｌ　Ｅｙ（
−θＫ）１２ニ一匁・血θヶ・房δ・ｋ部鍮・焦θａ−
Ｌ；）”＋（ｃｃｓ鍮・血δ（回θ。・比２α・ｉｓ−
ｍｆｊｅｃａｓ２ｃ１・１ｐ）Ｐ　　（５１１（＋θに
）”　”ｘｃ＋θ、）Ｉ”＋１％（−釦１２＝（ａｓｆ
）ｘ−出θ、・！δ・ｌＲｐ　−５ｔｎ茄ｃｒｓθａ−
Ａ）”＋（部外・血δ（囲θ。・蜘頒・４−六〇。・１
加・〜））”　　＋ｓ＋したがって（５１、＋６１式を
ｆｉ＋　、　＋２１式へ代入し、ｐｉｃＰＤＣを求める
と、 ＰＡＣ（θ、）＝ｉｄｎ２ｆ）ｘ−ｙｄｎ２θ。・（２
）δ・〜・八・η・Ｐｄ１ｉｋ　　　　　　ｆ７１Ｐｒ
ｘ（θ＝ｚ）　＝　（Ｃａ５ｔ）ｒ噛θ。・（２）δ・
７％）”　＋（ｍｆＪｘ・■θ４・＾）２＋（■に一血
δ（Ｃｘｓθ。・５石２α・ｌ←士θ。・−２α・＾）
）２〕＊η・Ｐｄ１ｓｋ　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　ｉ８１となる。さらｌこ光電変換系
１９および加に入射するＤＣ光量は、検光子回転角θ４
（θ６は通常４５度）とπ−０６となるように配置され
ており、それぞれの入射光量は（８）式および（８ｔ式
のようになる。

Ｐｎｃ（π−θ。）＝Ｃ（Ｏｋ−内θ４・■δ・尚）２
＋（血０Ｋ・房θ。・西）２＋（ｃａｓａｘ−出δ（−
回θ４・ｌｄｎ頒・小咄θα・可瀉・爵））２〕＊η　
・Ｐｄ１ｓｋ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｔ８どし
たがって、雨検出系の光量差ΔＰは（９）式にて表わさ
れる。

ｄゝＰＤｃ（π−Ｃａ）−ＰＤｃ（Ｃａ）−ｋ・血２θ
白６・西・ｄδ・５石４α・η・Ｐｄ１ｓｋ　　　　　
（９１さらに（９）式の光量差ΔＰを光電変換すると、
ａｌ式に示す差動電圧出力として、ＤＣ光量成分が検出
される。

ＤＣ−ＤＣ（π−θ、）　　Ｉｘ：（θ７）−ｃｘｙｎ
ｘ−５１ｎ２θ、−４−Ｑ・７δ・＊祇１１　・Ｐｄｔ
Ｊ＆　・Ｋ−Ｒａｌここで、 Ｋ：光検出器１８ｃ、１８ｈの光電変換効率（綬Ｒ：ア
ンプ利得抵抗（Ω） α〔式において、 θｚ＝Ｑの場合、邸１３ｒ　＝　１ θ。＝４５度の場合、自２θ。＝１ である。また光検出器１８ａ、１８ｂの受光光量Ｐｄｔ
ｔは、 〜・函・η・Ｐｄ１ｒｋ　＝　Ｐｄｅｔであり、これら
から１１１式をα１′式のように書換えることができる
。

ΔＶ（、ｃ＝ｍ’δ・ｔｋｎ４１１・Ｐｄ、１・Ｋ−Ｒ
−δ・血４α・’ｔｈｔ　　　　　　　　　　（１Ｇ’
ＣＶｄｅｔ　＝　Ｐｃ１ａｔ　、に−Ｒ）すなわちＨ’
式より、差動出力信号ｉＤｃは・複屈折が無いときの受
光光量の光電変換値Ｖｄｔｔに対して、位相差δ、方位
角αがこれを減少させる方向に作用することを表わして
いる。また１１〔′式に示されるように、本発明の測定
方法は光磁気信号の有無にかかわらず測定可能であるこ
とがわかる。したがってガラス基板のように複屈折が無
い材料を用いてＶｄｇｔを測定しておき、その後目的と
する複屈折媒体の測定を行なえば、たとえそのディスク
が回転していたとしても、差動出力ＩＤＣから位相差δ
、方位角αを求めることができる。

また複屈折の変動周波数は低く、差動後の信号をローパ
スフィルタに通せば、光磁気信号およびサーボ信号等が
混在する中から、複屈折成分を抜きとることができる。

さらにサーボ信号成分がより低周波である場合には、バ
ンドパスフィルタを用いればよい。

次に、この位相差δと方位角αの測定方法を第４図〜第
９図を用いて説明する。これらの図では、第１図におけ
る波長板９を旋光板として用いた場合の測定方法を示し
たものである。

第４図は、第１図におけるディスク主のカバーガラス３
に照射されるレーザ光の偏光方向を示したものであり、
１１０はカバーガラス３の結晶軸、１１１〜１１３は直
線偏光であるレーザ光の入射偏光方向である。この図の
ように、レーザ光の偏光方向１１１とカバーガラス３の
結晶軸１１０が一致せず、方位角αなる角度（反時計方
向に正）関係にあるとき、さらに波長板９をアクチュエ
ータ化により駆動し、旋光角−ｂおよび＋ｂを与え、方
位角（α＋６〕と（α−６）でレーザ光を入射させ、そ
の差動出力を再生すると、第５図（１）のスαおよび２
４ｂの出力波形を得る。そこで、このカバーガラス３の
ある点における位相差δ、方位角αに注目する場合、デ
ィスク１が回転中に、レーザ光が測定点を照したときの
時刻ｔにおける差動出力電圧υ１およびν、を測定する
。具体的には、ディスク１が回転中であってもレーザ光
が同一場所を照射するように、例えばスチル再生状態に
して、差動出力をストレージオシロスコープ等により波
形モニタすればよい。

このようにして同一場所にレーザ光を照射されることに
より、００７式に示すように位相差δは一定で、方位角
（α＋ｂ）と（α−ｂ）の２通りに変えて差動出力を測
定するので、第５図（Ｉ［）に示す２点の値ν１および
ｖ２を測定することになる。これらの値は員′式より、 ｖｌ−＝ｄｌＪ−自４（α−ｈ　）　・Ｖｃｔｅｔ　　
　　　　　（Ｌｌ）υ、−δ・比４（α＋ｂ）・Ｖｄｔ
ｔ　　　　　　　（６）として表わされ、さらに（ロ）
、（６）式より、；η「：Ｄ＝　ｓｆｎ僅「マ５　＝　
Ｍδ、７ｄｔｔしたがって、方位角αは（６）式により
表わされる。

（Ｌ−”　ｔｍ−’　（−工”’　・ｔｍ４　ｈ　）　
　　　　　ｅ３３４　　　　　Ｑ−ν１ この（至）式において、与えた方位角すは既知量、Ｉ’
Ｓ　ｓυ！は測定値であるから、これらから方位角αを
求めることができる。またαが得られたことにより、こ
の値をα環式または（６）式へ代入することにより位相
差δを求めることができる。

さらに、上記実施例では波長板９を旋光板として用い、
既知量の旋光角すを与えることｌζより複屈折媒体の位
相差、方位角を測定する方法を述べたが、この波長板９
を位相板として使用し、既知量の位相差を与えても同様
に測定することができる。

以上述べたように、本発明の測定方法によれば、測定点
毎に方位角を見つけ出し光学系を調整すること、検光子
を回転させて消光位置を見つけ出すことが不要となり、
測定作業量および時間を大幅に軽減することができる。

また桧測定物である光ディスク１が回転動作中でも複屈
折を測定することができる。またさらに大きな特長は、
従来の測定方法は上記したボラリメータ等を使用し、通
常は平行光でカバーガラスを透過させ、このときの複屈
折量を測定していたが、本発明の測定方法によれば、光
磁気ディスクの再生に使用する光学ヘッドを用いて、カ
バーガラス３に対物レンズ１１によって絞り込まれたレ
ーザ光を入射、反射させることから、実使用状態におけ
る複屈折測定が可能になるだけでなく、記録膜上で回折
限界まで絞込まれるピットオーダーの測定が可能となり
、測定精度を大幅に向上させることができる。

次に、波長板９およびアクチュエータ化について具体的
に説明する。

第６図〜第９図は、第１図〜第５図にて述べた旋光作用
を生ずる波長板９と、このアクチュエータの一例を示し
たものである。第６図に示すように、この波長板９は結
晶軸１２０が光軸４１に直交する１／２波長板である。

この場合、１／２波長板９を光軸４１に垂直な平面内で
、且つ光軸４１まわりに角度θ回転させると、入射偏光
方向１２１と出射偏光方向１２４とのあいだには角度β
の旋光を生ずる。

第７図は、この回転角θと旋光角βの関係を示したもの
であり、１／２波長板９の回転に併ない、旋光角βは直
線ｙに従がい変化する。

次に、本実施例の旋光板９のアクチュエータ２９につい
て、第８０図、第９図を用いて説明する。

第８図は、このアクチュエータ化の一具体例を示したも
のであり、また、第９図は第８図におけるＡ側からアク
チュエータ化を示した図であり、同一番号を付したもの
は同一なものである。

５１α、５１ｂは内部に永久磁石５ｏα、　ｓｏ　ｂを
含み、共に鉄等の磁性材料からできている固定鉄心、５
２α、５２ｂは固、定鉄心５１ａ　、　５１　ｂをそれ
ぞれ囲むように巻かれたコイルであり、旋光板９が取り
付けである回転部材犯に固定されている。５４は回転部
材おを支持する支接部であり、たとえば、ベアリング等
が使用される。

このように構成したことから、固定鉄心５１ａ。

５１　ｂ中には、磁界が発生しており、さらに、コイル
５２　ａ　、　５２　ｂには旋光板駆動回路ｎにより、
各制御信号に応じた電流が流れるため、回転部材５３は
矢印θ方向へ回転する。したがって、回転部材郭に取り
付けである旋光板９は、その信号電流によって、θ方向
に回転制御され、その結果、旋光板９を通過するレーザ
光に旋光角αを与える。また上記実施例のように、既知
量の方位角すを与えるためには、波長板９を用いずに、
光学ヘッド全体を動かして、第４図の偏光方向１１２　
、１１３に合わせてもよい。

次に位相差を発生させる波長板９と、これに使用するア
クチュエータ囮について説明する。

第１０図〜第１２図は、−例として、結晶軸１２０が光
軸４１と平行な１７２波長板９を、また第１３図〜第１
５図は、結晶軸１２０が光軸４１に斜交する１／２波長
板９を、位相板として用いた場合の偏光特性を示したも
のである。これらの図において、第１図〜第９図と同一
番号を付したものは、同一部分である。

第１０図に示す１７２波長板９は、光軸４１に垂直、す
なわち第１１図においてθ＝０°のとき、第１２図にお
ける位相差δ＝０°であるが、Ｐ偏光方向１２２または
Ｓ偏光方向１２３に角度θ傾けると、第１２図の４２ま
たは招のごとく、位相差δが変化する。また第１３図に
示す１／２波長板９は、第１４図のように、傾きθをθ
１〜θ、のように変えることにより、第１５図の４２ま
たは椙のごとく、位相差δが変化する。

またここでは位相板として１／２波長板を例に示したが
、これ以外の位相制御手段、例えばバビネ補正器および
ソレイユ補正器、または単に光弾性効果等を用いた音響
光学素子などの位相板を用いても、同様な効果を得るこ
とができる。

次に、位相板９を駆動させるアクチュエータ益について
説明、する。

第１６図は、このアクチュエータ益の一実施例を示した
ものであり、また第１７図は、第１６図のＡＡ閉断面あ
る。各図において同一番号を付したものは同一部分であ
り、５５はプラスチック等の非磁性材料からできている
アクチュエータ化全体のハウジング、５１および５３は
、共に鉄等の磁性材料からできている鉄心であり、５１
が内部に永久磁石（資）を含む固定鉄心、５３は支持部
材５４により、矢印１１６方向へ回転する可動鉄心であ
る。また５２は、可動鉄心郭の周囲に巻かれたコイル、
５６は、位相板９を可動鉄心団へ固定するための部材で
ある。

このように構成したことから、固定鉄心５１および可動
鉄心５３には、図中の破線矢印１１７に示すような磁界
が発生しており、さらにコイル５２に電流が流されるた
め、可動鉄心５３は矢印１１６方向へ回転する。したが
って位相板９は、その信号電流によって０方向に傾斜制
御され、その結果、位相板９を透過するレーザ光に位相
差を与える。

次に、第１８図および第１９図は、本発明の他の実施例
を示したものである。これらの実施例は、本発明の複屈
折測定に必要な最少限度の構成を示しており、第１８図
は片道光、第１９図は往復光における測定方法である。

これらの図において、３０は被測定物である複屈折媒体
である。レーザ５より発散光で出射した光は、コリメー
トレンズ６により平行光とされ、波長板９を透過し、さ
らに複屈折媒体園を平行光のまま透過する。第１８図で
はそのまま差動光学系に入射するが、第１９図ではミラ
ー３１で反射され、再たび元の光路をもどり、ビームス
プリッタ３２で反射され、差動光学系に入射する。

測定原理、方法は、上記した第１の実施例と同様である
。本実施例の測定系は、平行光を複屈折媒体に透過させ
るという点で、従来のボラリメータ等を使用した測定系
に最も近いが、上記したように本発明の測定方法では、
測定作業、時間の短縮、および被測定物の動的解析がで
きるだけでなく、装置自体も大幅に簡略、低価化するこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように、本発明によれば複屈折媒
体を透過または反射した光の差動出力を測定し、これか
ら複屈折媒体の位相差、方位角を求めるよう番こしたた
め、これらの複屈折Ｉ１１定番こ関し、作業量、測定時
間を大幅に短縮することができ、また被測定物である複
屈折媒体が動作状態にあっても測定が可能である。

さらに本発明は、測定装置の簡略化、低価格化にも効果
があり、゛光ディスク等の複屈折測定に際しては、実際
に使用する光学ヘッドを用いて測定が行なえることから
、測定精度の大幅な向上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本発明の一実施例を示す複屈折測定
方法および装置の説明図、第６図乃至第１７図は波長板
とそのアクチュエータの作業説明図、また第１８図およ
び第１９図は本発明の他の実施例を示す説明図である。 １・・・光ディスク　　　　３・・・カバーガラス５・
・・半導体レーザ　　　９・・・波長板１５　、１８　
ａ　、　１８　ｂ　・・−光検出器■ 箔とえ　　　　　　囁３１ 嘱４図 第Ｓ図 嘱８図　　　　　　　　　第９７ 猶１Ｏ（２１第１Ｉ図　　　　　猶１２図Σ 第１３図　　　第１４図　　　　　第１Ｓ図彩１８図 ｎ 猶１９え ？ｎ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光源と、この光源からの光を複屈折媒体に集光する
   手段と、上記複屈折媒体からの透過光あるいは反射光を
   二分岐する偏光ビームスプリッタと、この分岐された光
   をそれぞれ受光する２個光電変換器と、この光電変換器
   のそれぞれの出力の差により前記複屈折媒体の複屈折量
   を測定することを特徴とする複屈折測定装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、光路中
   に旋光板または位相板を設け、既知量の旋光角または位
   相差を与えることにより２点以上の差動出力を判定し、
   これらの差動出力値と、与えた該既知量である旋光角ま
   たは位相差により、前記複屈折媒体の複屈折量を測定す
   ることを特徴とする複屈折測定装置。