JPS6357932B2 - - Google Patents
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- JPS6357932B2 JPS6357932B2 JP56197514A JP19751481A JPS6357932B2 JP S6357932 B2 JPS6357932 B2 JP S6357932B2 JP 56197514 A JP56197514 A JP 56197514A JP 19751481 A JP19751481 A JP 19751481A JP S6357932 B2 JPS6357932 B2 JP S6357932B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は誘電体フイルムの表面に金属電極を蒸
着などにより形成した金属化フイルムを巻回、ま
たは積層することにより構成される金属化フイル
ムコンデンサの製造方法に関するものである。
着などにより形成した金属化フイルムを巻回、ま
たは積層することにより構成される金属化フイル
ムコンデンサの製造方法に関するものである。
従来、金属化フイルムコンデンサは以下に述べ
るような方法により製造されていた。まず、第１
図に示すようにポリプロピレンフイルム、ポリエ
ステルフイルム、ポリカーボネートフイルムなど
の誘電体フイルム１の両面に、真空蒸着法などに
よりアルミニウム、亜鉛等の金属電極２を前記誘
電体フイルム１の幅方向の端部に１mm〜５mm程度
の非金属化部分３を設けて形成することにより、
両面金属化フイルムを得、そしてその金属化フイ
ルムの両面に、ポリカーボネート、アセチルセル
ロール等の誘電体層４を塗布した後、これを巻回
し、その後その巻回した素子の両端面に亜鉛、
錫、銅、鉛等の金属材料を溶射して電極引出し部
５を形成し、さらにその電極引出し部５にリード
線６を溶接等により接続してコンデンサ素子を
得、そのコンデンサ素子に適当な外装を施すこと
によりコンデンサを得ている。
るような方法により製造されていた。まず、第１
図に示すようにポリプロピレンフイルム、ポリエ
ステルフイルム、ポリカーボネートフイルムなど
の誘電体フイルム１の両面に、真空蒸着法などに
よりアルミニウム、亜鉛等の金属電極２を前記誘
電体フイルム１の幅方向の端部に１mm〜５mm程度
の非金属化部分３を設けて形成することにより、
両面金属化フイルムを得、そしてその金属化フイ
ルムの両面に、ポリカーボネート、アセチルセル
ロール等の誘電体層４を塗布した後、これを巻回
し、その後その巻回した素子の両端面に亜鉛、
錫、銅、鉛等の金属材料を溶射して電極引出し部
５を形成し、さらにその電極引出し部５にリード
線６を溶接等により接続してコンデンサ素子を
得、そのコンデンサ素子に適当な外装を施すこと
によりコンデンサを得ている。
このような巻回型コンデンサの他に、積層型コ
ンデンサも多数生産されており、この場合はボビ
ンに巻回した後、切断して製造するという方式が
多く用いられているが、基本的な構造は、ほぼ巻
回型と同じである。
ンデンサも多数生産されており、この場合はボビ
ンに巻回した後、切断して製造するという方式が
多く用いられているが、基本的な構造は、ほぼ巻
回型と同じである。
ところで、このようにして製造される金属化フ
イルムコンデンサにおいて、非金属化部分３は電
極引出し部５を形成した時に、金属電極２が互い
に反対側の電極引出し部５と接触するのを防ぐ目
的で設けられるものであり、この非金属化部分３
は、コンデンサ使用時に印加される電圧に耐える
絶縁性を有していることが必要である。この絶縁
性の要求により、従来のフイルムコンデンサで
は、定格電圧の低いものでも非金属化部分の幅を
1.0mm程度設けるのが一般的であつた。
イルムコンデンサにおいて、非金属化部分３は電
極引出し部５を形成した時に、金属電極２が互い
に反対側の電極引出し部５と接触するのを防ぐ目
的で設けられるものであり、この非金属化部分３
は、コンデンサ使用時に印加される電圧に耐える
絶縁性を有していることが必要である。この絶縁
性の要求により、従来のフイルムコンデンサで
は、定格電圧の低いものでも非金属化部分の幅を
1.0mm程度設けるのが一般的であつた。
しかしながら、この非金属化部分３は、コンデ
ンサの静電容量に全く寄与しない部分であり、ロ
スになる部分である。従つて、静電容量に寄与し
ている金属電極２の幅、すなわち対向電極幅が比
較的大きいコンデンサの場合、この非金属化部分
３の幅はあまり重要な問題とはならないが、対向
電極幅が小さいコンデンサの場合、材料費面、コ
ンデンサの形状等で重要な問題となつている。
ンサの静電容量に全く寄与しない部分であり、ロ
スになる部分である。従つて、静電容量に寄与し
ている金属電極２の幅、すなわち対向電極幅が比
較的大きいコンデンサの場合、この非金属化部分
３の幅はあまり重要な問題とはならないが、対向
電極幅が小さいコンデンサの場合、材料費面、コ
ンデンサの形状等で重要な問題となつている。
ところで、この非金属化部分としての非金属蒸
着部の形成は、蒸着工程中において、連続進行す
る蒸着基板上に金属蒸着を実施するとともに、必
要部分に非金属蒸着部分をつくりつつ、蒸着工程
を進行させる必要性が存在する。
着部の形成は、蒸着工程中において、連続進行す
る蒸着基板上に金属蒸着を実施するとともに、必
要部分に非金属蒸着部分をつくりつつ、蒸着工程
を進行させる必要性が存在する。
このような必要性に対しては、非金属蒸着部と
しての必要部分をテープで覆うテープマスク方式
および前記必要部分に油を付着させるオイルマス
ク方式が公知である。
しての必要部分をテープで覆うテープマスク方式
および前記必要部分に油を付着させるオイルマス
ク方式が公知である。
しかし、テープマスク方式にあつては、必要部
分を覆うように耐熱テープを移動し、必要部分へ
の蒸着金属を前記耐熱テープに付着させて必要な
部分を得る方式であるため、そのテープ幅は機械
的強度に耐えられるように、一般的には２mm以上
を必要とし、しかもテープが移動しているために
非金属蒸着部分の精度も±0.5mm程度あり、テー
プ方式での１mm以下の極細幅の非金属蒸着部の形
成は困難である。
分を覆うように耐熱テープを移動し、必要部分へ
の蒸着金属を前記耐熱テープに付着させて必要な
部分を得る方式であるため、そのテープ幅は機械
的強度に耐えられるように、一般的には２mm以上
を必要とし、しかもテープが移動しているために
非金属蒸着部分の精度も±0.5mm程度あり、テー
プ方式での１mm以下の極細幅の非金属蒸着部の形
成は困難である。
一方、オイルマスク方式は、金属の蒸着処理を
行うに際して、予め必要とする非金属蒸着部分に
油蒸発器のノズルから油をフイルムに噴射して油
を付着させると、蒸着してきた金属蒸気が被膜を
形成し得ないことを利用した方式である。なお、
この方式において、フイルムに付着した油は、金
属蒸着を行う真空装置中で大部分が蒸発してしま
う。
行うに際して、予め必要とする非金属蒸着部分に
油蒸発器のノズルから油をフイルムに噴射して油
を付着させると、蒸着してきた金属蒸気が被膜を
形成し得ないことを利用した方式である。なお、
この方式において、フイルムに付着した油は、金
属蒸着を行う真空装置中で大部分が蒸発してしま
う。
しかし、このオイルマスク方式により得られる
非金属蒸着部の最小幅は約１mmであり、また
300μｍ程度の周辺部のずれ（蒸着ボケ）が生じ
てしまう。
非金属蒸着部の最小幅は約１mmであり、また
300μｍ程度の周辺部のずれ（蒸着ボケ）が生じ
てしまう。
本発明はこのオイルマスク方式の問題点の解決
を目的としてなされたものであり、0.05mm〜１mm
の極細幅の非金属蒸着部分の形成が可能な製造方
法を提供するものである。すなわち、本発明にお
いては、蒸気金属核の形成を防止する油を、金属
蒸着時に蒸発させることなく、適量の油を残すこ
とで、極細幅の非金属蒸着部を形成することを特
徴とするものである。以下、具体的な実施例に基
づき、さらに詳しく説明する。
を目的としてなされたものであり、0.05mm〜１mm
の極細幅の非金属蒸着部分の形成が可能な製造方
法を提供するものである。すなわち、本発明にお
いては、蒸気金属核の形成を防止する油を、金属
蒸着時に蒸発させることなく、適量の油を残すこ
とで、極細幅の非金属蒸着部を形成することを特
徴とするものである。以下、具体的な実施例に基
づき、さらに詳しく説明する。
3.5μｍの厚さを有するポリエチレンテレフタレ
ートフイルム７上に、第２図に示す真空蒸着機に
よりアルミニウムを300Å〜600Åの厚さに真空蒸
着した。この時、ポリエチレンテレフタレートフ
イルム７は巻取軸８から巻出されてローラーを介
して順次送給され、油蒸発器９のノズルから噴射
される絶縁油が200〜30000Åの厚さで付着された
後、クーリングキヤン１０で裏面から冷却され
る。そして、別のクーリングキヤン１１により裏
面から冷却されながら、蒸着源１２から蒸発して
くるアルミニウムが蒸着された後、巻取軸１３に
巻取られる。
ートフイルム７上に、第２図に示す真空蒸着機に
よりアルミニウムを300Å〜600Åの厚さに真空蒸
着した。この時、ポリエチレンテレフタレートフ
イルム７は巻取軸８から巻出されてローラーを介
して順次送給され、油蒸発器９のノズルから噴射
される絶縁油が200〜30000Åの厚さで付着された
後、クーリングキヤン１０で裏面から冷却され
る。そして、別のクーリングキヤン１１により裏
面から冷却されながら、蒸着源１２から蒸発して
くるアルミニウムが蒸着された後、巻取軸１３に
巻取られる。
ここで、前記クリングキヤン１０，１１はでき
るだけ低温の方がよい。
るだけ低温の方がよい。
第３図は、巻取軸１３に巻取られる前の本発明
の方法によつて蒸着された金属化フイルムの一部
を示しており、第３図において１４はポリエチレ
ンテレフタレートフイルム７上に蒸着されたアル
ミニウム、１５は非金属化部分、１６は残留油で
ある。
の方法によつて蒸着された金属化フイルムの一部
を示しており、第３図において１４はポリエチレ
ンテレフタレートフイルム７上に蒸着されたアル
ミニウム、１５は非金属化部分、１６は残留油で
ある。
ここで、第４図〜第６図に従来のオイルマスク
方式により得た金属化フイルムと本発明の方法に
より得た金属化フイルムの非金属化部分を比較し
て示している。なお、第４図〜第６図において、
Ａは油蒸発器９のノズル吐出口の寸法、Ｂは蒸着
後の非金属化部分１５の周辺部の蒸着ボケの寸法
である。
方式により得た金属化フイルムと本発明の方法に
より得た金属化フイルムの非金属化部分を比較し
て示している。なお、第４図〜第６図において、
Ａは油蒸発器９のノズル吐出口の寸法、Ｂは蒸着
後の非金属化部分１５の周辺部の蒸着ボケの寸法
である。
また、第７図に非金属化部分１５の残留油の量
と蒸着ボケの寸法との関係を示している。
と蒸着ボケの寸法との関係を示している。
第４図はクーリングキヤン１０，１１を用いて
冷却を行わずに蒸着を行つた従来の方法によるも
ので、非金属化部分１５の残留油の量が０〜50Å
の厚さの範囲となつた。その蒸着ボケ寸法は、第
７図に示すように約300μｍである。
冷却を行わずに蒸着を行つた従来の方法によるも
ので、非金属化部分１５の残留油の量が０〜50Å
の厚さの範囲となつた。その蒸着ボケ寸法は、第
７図に示すように約300μｍである。
また、第５図は本発明の方法によるもので、誘
電体フイルムとしてのポリエチレンテレフタレー
トフイルム７に油蒸発器９のノズルより噴射され
た絶縁油を200Å〜2200Åの厚みに付着するよう
に噴射させ、次にクーリングキヤン１０，１１に
より、非金属化部分１５の油を冷却させたもので
ある。この時、クーリングキヤン１０，１１の温
度は前述したようにできるだけ低い方がよく、実
験では、−20℃〜−40℃の温度で行つた。また、
クーリングキヤン１１の冷却能力が充分あれば、
クーリングキヤン１０は省略しても、同様の効果
が得られる。さらに、金属蒸着後の非金属化部分
１５の残留油が150Å〜2000Åになるように、油
蒸発器９からの噴射量およびクーリングキヤン１
０，１１の温度を調節するようにした。
電体フイルムとしてのポリエチレンテレフタレー
トフイルム７に油蒸発器９のノズルより噴射され
た絶縁油を200Å〜2200Åの厚みに付着するよう
に噴射させ、次にクーリングキヤン１０，１１に
より、非金属化部分１５の油を冷却させたもので
ある。この時、クーリングキヤン１０，１１の温
度は前述したようにできるだけ低い方がよく、実
験では、−20℃〜−40℃の温度で行つた。また、
クーリングキヤン１１の冷却能力が充分あれば、
クーリングキヤン１０は省略しても、同様の効果
が得られる。さらに、金属蒸着後の非金属化部分
１５の残留油が150Å〜2000Åになるように、油
蒸発器９からの噴射量およびクーリングキヤン１
０，１１の温度を調節するようにした。
このように、残留油が150Å〜2000Åの厚さの
場合、第７図に示すように蒸着ボケは非常に少な
くなり、油蒸発器９のノズル幅と同一の非金属化
部分１５を形成することができる。ここで、油蒸
発器９のノズルより蒸着基板としてのポリエチレ
ンテレフタレートフイルム７に均一の厚みの油を
付着させるためには、ポリエチレンテレフタレー
トフイルム７を油蒸発器９のノズルに接触させた
方がよい。なお、実験によれば、ノズル幅0.05mm
まで非金属化部分１５の形成が可能であつた。
場合、第７図に示すように蒸着ボケは非常に少な
くなり、油蒸発器９のノズル幅と同一の非金属化
部分１５を形成することができる。ここで、油蒸
発器９のノズルより蒸着基板としてのポリエチレ
ンテレフタレートフイルム７に均一の厚みの油を
付着させるためには、ポリエチレンテレフタレー
トフイルム７を油蒸発器９のノズルに接触させた
方がよい。なお、実験によれば、ノズル幅0.05mm
まで非金属化部分１５の形成が可能であつた。
また、第６図は本発明による方法において、非
金属化部分１５の残留油が2000Åの厚さを超えた
場合のものであり、本発明の方法であつても、残
留物が2000Åの厚さを超えた場合には蒸着ボケが
発生する。これは、油蒸発器９のノズルよりの噴
射量が多すぎたため、油が横に流れ広がり、蒸着
ボケが発生したためである。
金属化部分１５の残留油が2000Åの厚さを超えた
場合のものであり、本発明の方法であつても、残
留物が2000Åの厚さを超えた場合には蒸着ボケが
発生する。これは、油蒸発器９のノズルよりの噴
射量が多すぎたため、油が横に流れ広がり、蒸着
ボケが発生したためである。
以上述べたように本発明の金属化フイルムコン
デンサの製造方法によれば、蒸着基板を油蒸発器
のノズルに接触させ、非金属化部分を金属蒸着器
上を通過する前、または通過時に冷却し、非金属
化部分の残留油を150Å〜2000Åに調節すること
により、極細幅の非金属化部分の形成、すなわち
非金属化部分の幅を従来の１mmより大幅に細くす
ることが可能となり、非金属化部分の静電容量の
ロスが大幅に少なくなり、小型のコンデンサを得
ることができるのである。
デンサの製造方法によれば、蒸着基板を油蒸発器
のノズルに接触させ、非金属化部分を金属蒸着器
上を通過する前、または通過時に冷却し、非金属
化部分の残留油を150Å〜2000Åに調節すること
により、極細幅の非金属化部分の形成、すなわち
非金属化部分の幅を従来の１mmより大幅に細くす
ることが可能となり、非金属化部分の静電容量の
ロスが大幅に少なくなり、小型のコンデンサを得
ることができるのである。
第１図は従来の金属化フイルムコンデンサの概
略構成を示す断面図、第２図は本発明による金属
化フイルムコンデンサの製造方法において、金属
化フイルムを製造するために使用する真空蒸着機
の一例を示す概略構成図、第３図は同方法により
得られる金属化フイルムの一例を示す断面図、第
４図は従来の製造方法により得られる金属化フイ
ルムの一例の要部を示す断面図、第５図は本発明
の方法により得られる金属化フイルムの要部を示
す断面図、第６図は本発明の方法において、残留
油量を所定の値にしなかつた場合の金属化フイル
ムの要部構造を示す断面図、第７図は本発明の方
法における金属化フイルムの残留油量と蒸着ボケ
の寸法との関係を示す図である。 ７……ポリエチレンテレフタレートフイルム、
１０，１１……クーリングキヤン、１４……金属
電極、１５……非金属化部分、１６……残留油。
略構成を示す断面図、第２図は本発明による金属
化フイルムコンデンサの製造方法において、金属
化フイルムを製造するために使用する真空蒸着機
の一例を示す概略構成図、第３図は同方法により
得られる金属化フイルムの一例を示す断面図、第
４図は従来の製造方法により得られる金属化フイ
ルムの一例の要部を示す断面図、第５図は本発明
の方法により得られる金属化フイルムの要部を示
す断面図、第６図は本発明の方法において、残留
油量を所定の値にしなかつた場合の金属化フイル
ムの要部構造を示す断面図、第７図は本発明の方
法における金属化フイルムの残留油量と蒸着ボケ
の寸法との関係を示す図である。 ７……ポリエチレンテレフタレートフイルム、
１０，１１……クーリングキヤン、１４……金属
電極、１５……非金属化部分、１６……残留油。
Claims (1)
- １ オイルマスク方式によつて非金属化部分を形
成して金属化フイルムを得る場合に、前記金属化
フイルムの非金属化部分が金属蒸着器上を通過す
る前、または通過する時にフイルムを冷却し、残
留油量が150Å〜2000Åの厚さになるようにする
ことを特徴とする金属化フイルムコンデンサの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56197514A JPS5897823A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | 金属化フイルムコンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56197514A JPS5897823A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | 金属化フイルムコンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897823A JPS5897823A (ja) | 1983-06-10 |
| JPS6357932B2 true JPS6357932B2 (ja) | 1988-11-14 |
Family
ID=16375727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56197514A Granted JPS5897823A (ja) | 1981-12-07 | 1981-12-07 | 金属化フイルムコンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897823A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012222127A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 金属化フィルムコンデンサ |
| JP2012227401A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 金属化フィルム及び金属化フィルムコンデンサ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0414450Y2 (ja) * | 1986-03-14 | 1992-03-31 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547113A (en) * | 1978-08-30 | 1980-04-03 | Hoechst Ag | Threeedimensional filter element consisting of fiber flat moldings |
| JPS5579867A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-16 | Honshu Paper Co Ltd | Vacuum evaporation method |
-
1981
- 1981-12-07 JP JP56197514A patent/JPS5897823A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547113A (en) * | 1978-08-30 | 1980-04-03 | Hoechst Ag | Threeedimensional filter element consisting of fiber flat moldings |
| JPS5579867A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-16 | Honshu Paper Co Ltd | Vacuum evaporation method |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012222127A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 金属化フィルムコンデンサ |
| JP2012227401A (ja) * | 2011-04-21 | 2012-11-15 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 金属化フィルム及び金属化フィルムコンデンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5897823A (ja) | 1983-06-10 |
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