JPS6339934U - - Google Patents

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JPS6339934U
JPS6339934U JP13375986U JP13375986U JPS6339934U JP S6339934 U JPS6339934 U JP S6339934U JP 13375986 U JP13375986 U JP 13375986U JP 13375986 U JP13375986 U JP 13375986U JP S6339934 U JPS6339934 U JP S6339934U
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shutter
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light irradiator
lamp
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す光照射器の
要部構成を示す断面図、第２図は従来の紫外線照
射器の要部構成を示す断面図である。 図中．１：ランプ、２：ミラー、３：ブロワ、
４：光透過板、１０ａ，１０ｂ：シヤツター、１
１：シヤツター駆動機構、１２：フイルタ、１３
：フイルタ駆動機構。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 背後にミラーを配置した少くとも１つのラ
    ンプと、このランプの前方に配置したシヤツター
    と、このシヤツターを制御信号によつて駆動する
    シヤツター駆動機構と、前記シヤツターの前方も
    しくは後方に配置したフイルタと、このフイルタ
    を制御信号によつて駆動するフイルタ駆動機構と
    、前記ランプを冷却するためのブロワとによつて
    構成される光照射器であつて、この光照射器は、
    その前面に取付けた光透過板と他の側面とによつ
    て、後部に設けた空気流通用の入出口以外を気密
    に構成されたことを特徴とする光照射器。 (2) シヤツター駆動機構とフイルタ駆動機構は
    制御信号によつて各々独立に駆動することを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の光
    照射器。 (3) シヤツター駆動機構とフイルタ駆動器機構
    は相互に関連して駆動することができることを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の
    光照射器。
JP1986133759U 1986-09-02 1986-09-02 Expired JPH0246045Y2 (ja)

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JPS6339934U true JPS6339934U (ja) 1988-03-15
JPH0246045Y2 JPH0246045Y2 (ja) 1990-12-05

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ID=31034366

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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5321324A (en) * 1976-08-11 1978-02-27 Toyota Motor Corp Heater for engine intake
JPS59196735A (ja) * 1983-04-20 1984-11-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 紫外線照射装置
JPS6045247A (ja) * 1983-05-23 1985-03-11 フユージヨン・セミコンダクター・システムズ フオトレジストの硬化方法及び硬化装置
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JPS62295420A (ja) * 1986-06-16 1987-12-22 Ushio Inc レジスト処理方法
JPS62295417A (ja) * 1986-06-16 1987-12-22 Ushio Inc レジスト処理方法

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JPS62295420A (ja) * 1986-06-16 1987-12-22 Ushio Inc レジスト処理方法
JPS62295417A (ja) * 1986-06-16 1987-12-22 Ushio Inc レジスト処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0246045Y2 (ja) 1990-12-05

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