JPS6337549A - Charged particle beam device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To make a JB part resettable surely to the hypoploid image surrounded by a marker with switching operation alone, by installing a device, rotating a device in accord with rotation of a sample image displaying a display position of the marker on a displaying device with scanning rotation, and another device displaying the sample image in the part displayed by the marker on the display device after enlarging it. CONSTITUTION:When a switch s1 is connected to the (a) side, a sample 4 is scanned by an electron beam with an optical axis O1 as the center, and a hypoploid image is displated on a cathode-ray tube 7. Accordingly, if a switch s3 is connected to the (F) side, a marker display signal is generated out of a marker signal generating circuit 16 and thereby a framelike marker F is displayed on this CRT 7. After that, when the switch s1 is selected to the (b) side, operating an angle signal generating circuit 11, and rotation in a sample scanning direction by the electron beam is indicated, the scanning direction of the electron beam on the sample is rotated, so that a sample image and a marker are displayed on the CRT 7. The switch s3 is connected to the (e) side, while a switch S2 is connected to the (d) side. The image made up of enlarging a JB part on the sample is displayed on a picture tube 7. With this constitution, resetting for an area to be enlarged becomes unnecessary, thus operability is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は表示装置に表示される試料像中の任意の箇所を
任意の倍率で且つ任意の角度回転させて観察可能にした
荷電粒子線装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention provides a charged particle beam device that enables observation of any location in a sample image displayed on a display device at any magnification and by rotating any angle. Regarding.

［従来の技術］ 走査電子顕微鏡のうちには、低倍像中に次に拡大して表
示すべき位置を示すための輝点又は枠等のマーカーを表
示し得るようにしたものがある。[Prior Art] Some scanning electron microscopes are capable of displaying a marker such as a bright spot or frame in a low-magnification image to indicate the position to be enlarged and displayed next.

このような装置においては、まず、低倍像を観察して次
に拡大して表示しようとする像の部分にこの輝点等を移
動させ、次にスイッチ操作によりこの輝点に対応した試
料上の点を中心として電子線により狭く走査させ、それ
によりＣＲＴ等に先に指示した低倍像中の部分を拡大し
て表示するようにしている。又、合わせて走査像を任意
の角度回転して表示装置上に表示するための走査回転装
置を付汎しているものが多い。In such a device, first a low-magnification image is observed, then a bright spot is moved to the part of the image to be enlarged and displayed, and then a switch is operated to move the bright spot on the sample corresponding to the bright spot. The electron beam is narrowly scanned around the point , thereby enlarging and displaying the portion in the low magnification image previously indicated on a CRT or the like. In addition, many of them are equipped with a scanning rotation device for rotating the scanned image by an arbitrary angle and displaying the rotated image on a display device.

この様な従来の装置において、例えば、最初に第５図（
ａ）に示す試料上の領域を走査しているものとする。但
し、第５図（ａ）において、Ｘ及びＹは走査電子顕微鏡
のＸ及びＹ方向偏向コイルによる偏向方向を表わしてお
り、０１は電子線光軸を表わしているものとする。この
状態では、ＣＲＴには、第６図（ａ）に示す如き像が表
示されている。尚、第６図（ａ）において、Ｆは次に拡
大して表示しようとする部分を示すための枠状マーカー
である。さて、この状態で走査回転装置を操作して、試
料上における電子線の走査方向を角度θａだけ回転させ
たとすると、試料上における電子線の走査ｉｌｉ域は第
５図（ｂ）に示す如きものとなり、このとき表示装置に
は第６図（Ｃ）に示す如き像が表示される。このとき、
表示装置の画面中心からマーカーの中心までの水平及び
垂直方向の距離をＸＩ　、Ｙｌとする。そこで、スイッ
チを操作して、このＸＩ　、Ｙｌを表わす信号に基づい
て第６図（ａ）における試料のＪＢに対応した部分を中
心に狭く電子線を走査しようとすると、既に走査回転を
行なっているため、実際には第５図（ｂ）における点０
２　＝を中心に電子線が狭く走査されてしまい、目的と
する視野の拡大像を得ることができない。尚、第５図（
ｂ）においてＸ。In such a conventional device, for example, first the image shown in FIG.
Assume that the area on the sample shown in a) is being scanned. However, in FIG. 5(a), X and Y represent the deflection directions by the X and Y direction deflection coils of the scanning electron microscope, and 01 represents the electron beam optical axis. In this state, an image as shown in FIG. 6(a) is displayed on the CRT. In FIG. 6(a), F is a frame-shaped marker for indicating the part to be enlarged and displayed next. Now, if we operate the scanning rotation device in this state and rotate the scanning direction of the electron beam on the sample by an angle θa, the scanning area of the electron beam on the sample will be as shown in Fig. 5(b). At this time, an image as shown in FIG. 6(C) is displayed on the display device. At this time,
Let XI and Yl be the horizontal and vertical distances from the center of the screen of the display device to the center of the marker. Therefore, if you operate the switch and try to narrowly scan the electron beam around the part of the sample corresponding to JB in Figure 6(a) based on the signals representing XI and Yl, the scanning rotation has already been performed. Therefore, the point 0 in Fig. 5(b) is actually
The electron beam is narrowly scanned around 2 =, making it impossible to obtain an enlarged image of the desired field of view. Furthermore, Figure 5 (
In b) X.

ｙは前記距離ＸＩ　、Ｙｌに対応した試料上の距離を表
わしている。y represents the distance on the sample corresponding to the distances XI and Yl.

そこで、この像中のＪＢに対応した部分を中心に拡大像
を表示しようとする場合、第６図（Ｃ）に示す試料像を
観察しながら、同図（ｂ）の如く、まず、マーカーＦを
ＪＢの位置まで移動させる。Therefore, when trying to display an enlarged image centered on the part corresponding to JB in this image, while observing the sample image shown in FIG. 6(C), first, as shown in FIG. Move to JB's position.

しかる後、スイッチを操作して拡大像の表示に切替える
と、第２図（ｄ）に示す拡大された試料像が得られる。Thereafter, when the switch is operated to switch to displaying an enlarged image, the enlarged sample image shown in FIG. 2(d) is obtained.

そして次にこの拡大された高倍像を更に回転させて第２
図（ｅ）に示すような試料像とすることができる。しか
し、この状態から再びスイッチを操作して元の第６図（
ｂ）に示された！＆（試料像とマーカー像）を見るつも
りでいたとしても、既に拡大像のときに回転されている
ので、その角度で回転した試料像が表示されてしまい、
もはやマーカーはＪＢの部分からずれてしまう。Then, this enlarged high-magnification image is further rotated to create a second image.
A sample image as shown in Figure (e) can be obtained. However, from this state, by operating the switch again, the original figure 6 (
As shown in b)! & Even if you intend to look at the sample image and marker image, the image has already been rotated when the enlarged image is displayed, so the sample image rotated at that angle will be displayed.
The marker no longer deviates from the JB part.

従って、高倍像の観察を行なう段階においては、走査回
転を行なわないように注意するか、走査回転を行なわな
い元の状態に戻してから低倍像に戻さねばならず、操作
性に大きな問題があった・そこで従来、このような問題
点を解決し、高倍像の段階で走査像の回転を行なった場
合にも、スイッチ操作を行なうだけで確実に元の像、即
ち、ＪＢの部分をマーカーが囲んだ低倍像に復帰できる
ようにした。Therefore, at the stage of observing a high-magnification image, one must be careful not to perform scanning rotation, or return to the original state without scanning rotation before returning to a low-magnification image, which poses a major problem in operability. So, in the past, we solved this problem, and even when the scanned image was rotated at the high magnification stage, the original image, that is, the JB part, could be reliably marked with a simple switch operation. It is now possible to return to a low-magnification image surrounded by

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述した従来装置においては、低倍像中
のＪＢの部分を次に拡大するため第６図（ａ）に示すよ
うにマーカーＦで囲んだ後、低倍像を異なった方向から
観察するため走査回転を行なうと、表示像は第６図（Ｃ
）に示すようになり、像は回転するがマーカーは回転し
ないため、最初に設定した領域を拡大表示しようとする
際には、マーカーを再度最初に設定した領域まで移動さ
せなければならず、操作が面倒であった。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional apparatus described above, in order to enlarge the JB part in the low-magnification image, after surrounding it with a marker F as shown in FIG. 6(a), When scanning and rotating the low-magnification image to observe it from different directions, the displayed image becomes as shown in Figure 6 (C
), the image rotates but the marker does not, so when you try to enlarge the area that was originally set, you have to move the marker again to the area that was originally set, and the operation was troublesome.

本発明はこのような従来の欠点を解決して、低倍像の走
査回転を行なっても上述したマーカー位置の再設定を行
う必要の無い操作性に優れた荷電粒子線装置を提供する
ことを目的としている。The present invention solves these conventional drawbacks and provides a charged particle beam device with excellent operability that does not require the above-mentioned resetting of marker positions even when scanning and rotating a low magnification image. The purpose is

［問題点を解決するための手段１ そのため本発明は、走査信号発生回路、該走査信号発生
回路よりの走査信号の供給に基づいて荷電粒子線により
試料を二次元的に走査するための偏向器、前記走査信号
の供給に基づいて走査される試料像表示手段、該表示手
段上に次に拡大して表示すべき部分を示すためのマーカ
ーを試料像に重畳して表示するための手段、該マーカー
の表示位置を任意に移動させるための手段、前記走査信
号を変換して前記偏向器に送ることにより前記荷電粒子
線を任意の角度回転させて試料を走査させるための走査
回転手段、該走査回転に伴って前記マーカーの表示位置
を前記表示手段に表示される試料像の回転に合わせて回
転させるための手段と、該マーカーで表示された部分の
試料像を前記表示手段に拡大して表示するための手段を
備えたことを特徴としている。[Means for Solving the Problems 1] Therefore, the present invention provides a scanning signal generating circuit and a deflector for two-dimensionally scanning a sample with a charged particle beam based on the supply of a scanning signal from the scanning signal generating circuit. , a sample image display means that is scanned based on the supply of the scanning signal, a means for superimposing and displaying a marker on the sample image on the display means for indicating a portion to be enlarged and displayed next; means for arbitrarily moving the display position of the marker; scanning rotation means for converting the scanning signal and sending it to the deflector to rotate the charged particle beam at an arbitrary angle to scan the sample; means for rotating the display position of the marker in accordance with the rotation of the sample image displayed on the display means, and a portion of the sample image displayed by the marker enlarged and displayed on the display means; It is characterized by having the means to do so.

［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。[Example] Embodiments of the present invention will be described in detail below based on the drawings.

第１図は本発明を走査電子顕微鏡に適用した場合の一実
施例を示すブロック図である。図中１は顕微鏡筒で、該
鏡局内の適宜な位百に設けられた電子銃２から射出され
た電子ビームは、電子レンズ３により試料４上に集束さ
れると共に、試料走査用偏向コイル５Ｘ、５Ｙにより試
料上を二次元的に走査する。該走査により試料４から発
生した二次電子９反射電子等は検出器６によって検出さ
れ、ＣＲＴ７のグリッドに送られるので、該ＣＲＴ７の
画面上には、試料像が表示される。通常の観察によって
基本走査像をＣＲＴ７の画面上に表示づるには、スイッ
チｓ１．ｓ２　、ｓ３を夫々端子ａ、ｃ、ｅに接続する
。この時、水平走査回路８Ｘと垂直走査回路８Ｙよりの
水平及び垂直走査信号Ｈ，Ｖは加算回路１７Ｘ、１７Ｙ
、倍率制御回路９Ｘ、９Ｙを介して夫々偏向コイル５Ｘ
、５Ｙへ供給されると共に、ＣＲＴ７の偏向コイル１０
Ｘ、１０Ｙへも供給される。倍率制御回路９Ｘ。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment in which the present invention is applied to a scanning electron microscope. In the figure, reference numeral 1 denotes a microscope tube, and electron beams emitted from electron guns 2 installed at appropriate locations in the mirror station are focused onto a sample 4 by an electron lens 3, and deflection coils 5X for sample scanning. , 5Y scan the sample two-dimensionally. Secondary electrons 9, reflected electrons, etc. generated from the sample 4 by the scanning are detected by the detector 6 and sent to the grid of the CRT 7, so that the sample image is displayed on the screen of the CRT 7. To display the basic scanned image on the screen of the CRT 7 by normal observation, switch s1. Connect s2 and s3 to terminals a, c, and e, respectively. At this time, the horizontal and vertical scanning signals H and V from the horizontal scanning circuit 8X and the vertical scanning circuit 8Y are sent to the adding circuits 17X and 17Y.
, deflection coils 5X through magnification control circuits 9X and 9Y, respectively.
, 5Y, and the deflection coil 10 of the CRT 7.
It is also supplied to X and 10Y. Magnification control circuit 9X.

９Ｙは基本走査像の倍率を制御するための回路である。9Y is a circuit for controlling the magnification of the basic scanning image.

１１は角度信号発生回路であり、角度信号発生回路１１
を操作して、前記基本走査像に対応する試料走査領域の
中心位置を中心として電子線の走査方向を角度θ回転さ
せる様に指示すると、角度信号発生回路１１よりｓｉｎ
θとＣＯＳθの信号を発生する。これら信号は第１座標
変換回路１２Ｘ、１２Ｙに送られ、回路１２Ｘ、１２Ｙ
は夫々前記水平走査信号Ｈと垂直走査信号Ｖに基づいて
（Ｈ−ｃｏｓθ＋Ｖ−ｓｉｎθ）、（Ｖ・ｃｏｓθ−Ｈ
・ｓｉｎθ） なる出力信号を発生する。第１座標変換回路１２Ｘ、１
２Ｙは基本走査像あるいはマーカーあるいは拡大像を回
転させるための信号を発生する。この第１座標変換回路
１２Ｘ、１２Ｙの出力信号は補助倍率制御回路１３Ｘ、
１３Ｙに供給されて、１以下の減衰率で減衰される。こ
の減資率は、低倍のり本走査像をどの程度拡大して表示
するかを指示するための補助倍率指定回路１８よりの信
号に基づいてυ１１１１される。１４Ｘ、１４Ｙはマー
カーＦのＣＲＴ７上における表示位置の中心を指定する
信号Ｘ、Ｙを発生するための回路であり、中心位置設定
回路１４Ｘ、１４Ｙよりの直流信号Ｘ。11 is an angle signal generation circuit; the angle signal generation circuit 11
When the scanning direction of the electron beam is instructed to be rotated by an angle θ around the center position of the specimen scanning area corresponding to the basic scanning image, the angle signal generating circuit 11 generates a sin
Generates θ and COS θ signals. These signals are sent to the first coordinate conversion circuits 12X, 12Y, and the circuits 12X, 12Y
are (H-cos θ+V-sin θ) and (V・cos θ-H) based on the horizontal scanning signal H and vertical scanning signal V, respectively.
・sinθ) Generates an output signal. First coordinate conversion circuit 12X, 1
2Y generates a signal for rotating the basic scan image, marker, or enlarged image. The output signals of the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y are transmitted to the auxiliary magnification control circuit 13X,
13Y and is attenuated at an attenuation rate of 1 or less. This capital reduction rate is υ1111 based on a signal from the auxiliary magnification specifying circuit 18 for instructing how much the low magnification original scanned image is to be enlarged and displayed. 14X and 14Y are circuits for generating signals X and Y for specifying the center of the display position of the marker F on the CRT 7, and are DC signals X from the center position setting circuits 14X and 14Y.

Ｙは第２座標変換回路１５Ｘ、１５Ｙへ供給されている
。第２座標変換回路１５Ｘ、１５Ｙには、前記角度信号
発生回路１１からｓｉｎθ、　ＣＯＳθの値に対応した
信号が供給されており、前記信号Ｘ。Y is supplied to second coordinate conversion circuits 15X and 15Y. The second coordinate conversion circuits 15X and 15Y are supplied with signals corresponding to the values of sin θ and COS θ from the angle signal generation circuit 11, and the signal X.

Ｙとこれら走査回転角に関した信号に基づいて夫々（Ｘ
−ＣＯ３Ｏ＋ｙ　−ｓｉｎθ）、（Ｙ−ｃｏｓθ−Ｘ　
ｓｉｎθ）に対応した直流信号を発生する。第２座標変
換回路１５Ｘ、１５Ｙよりの出力信号はスイッチＳ２の
端子ｄを介して各々加算回路１７Ｘ。Based on the signals related to Y and these scanning rotation angles,
-CO3O+y -sinθ), (Y-cosθ-X
sin θ). The output signals from the second coordinate conversion circuits 15X and 15Y are sent to the respective adder circuits 17X via the terminal d of the switch S2.

１７Ｙへ供給される。前記中心位置設定回路１４Ｘ、１
４Ｙの出力信号Ｘ、ＹはスイッチＳ３の端子ｆを介して
マーカー信号発生回路１６にも供給可能となっており、
マーカー信号発生回路１６には前記第１座標変換回路１
２Ｘ、１２Ｙの出力信号が供給されている。マーカー信
号発生回路１６は第１座標変換回路１２Ｘ、１２Ｙの出
力信号と夫々中心位置設定回路１４Ｘ、１４Ｙの出力信
号が一致した瞬間に高輝度信号を発生して前記ＣＲＴ７
に送るため、ＣＲＴ７の画面には前記マーカーＦが表示
される。前記補助倍率指定回路１３の出力信号は前記マ
ーカー信号発生回路１６にも送られており、マーカー信
号発生回路１６は補助倍率指定回路１８よりの指定信号
に基づいてＣＲＴ７に表示されるマーカーの大きさを変
更する。Supplied to 17Y. The center position setting circuit 14X, 1
The output signals X and Y of 4Y can also be supplied to the marker signal generation circuit 16 via the terminal f of the switch S3.
The marker signal generation circuit 16 includes the first coordinate conversion circuit 1.
2X and 12Y output signals are supplied. The marker signal generation circuit 16 generates a high-intensity signal at the moment when the output signals of the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y match the output signals of the center position setting circuits 14X and 14Y, respectively.
The marker F is displayed on the screen of the CRT 7. The output signal of the auxiliary magnification designation circuit 13 is also sent to the marker signal generation circuit 16, and the marker signal generation circuit 16 determines the size of the marker displayed on the CRT 7 based on the designation signal from the auxiliary magnification designation circuit 18. change.

以上の構成において、スイッチＳ１をａ側に接続すると
、第５図（ａ）に示す如く、光軸０１を中心として試料
４が電子線で走査され、第２図（ａ）に示す低倍像がＣ
ＲＴ７に表示される。そこで、スイッチＳ３をｆ側に接
続すると、第１座標変換回路１２Ｘ、１２Ｙの出力信号
がマーカー信号発生回路１６に送られているため、マー
カー信号発生回路１６よりマーカー表示信号が発生して
ＣＲＴ７には枠状のマーカーＦが表示される。In the above configuration, when the switch S1 is connected to the a side, the sample 4 is scanned by the electron beam around the optical axis 01 as shown in FIG. 5(a), and the low magnification image shown in FIG. 2(a) is is C
Displayed on RT7. Therefore, when the switch S3 is connected to the f side, since the output signals of the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y are sent to the marker signal generation circuit 16, a marker display signal is generated from the marker signal generation circuit 16 and sent to the CRT 7. A frame-shaped marker F is displayed.

このとき、θ＝０°であるなら、第１座標変換回路１２
Ｘ、１２Ｙの出力信号はＨ，Ｖに他ならない。そこで、
中心位置設定回路１４Ｘ、１４Ｙを操作して像中のＪＢ
の部分を拡大すべくマーカーＦを移動させると共に補助
倍率指定回路１８を操作して枠状マーカーＦの大ぎさを
拡大比Ｍ１に対応した大きさに調整し、第２図（ｂ）に
示すようにする。然る後、低倍像を異なった向きからも
観察するため、スイッチＳ１をｂ側に切換えた後、角度
信号発生回路１１を操作してθ−θａ　（θａ＞０＞な
る角度だけ電子線による試料走査方向の回転を指示する
と、第１座標変換回路１２Ｘ、１２Ｙの出力信号は夫々
（Ｈ−ｃｏｓθａ十Ｖ−ｓｉｎθａ）、（Ｖ−ｃｏｓθ
ａ−Ｈ−ｓｉｎθａ）となり、第５図（ｂ）に示すよう
に試料上における電子線の走査方向が回転する。又、こ
のとき、第１座標変換回路１２Ｘ、１２Ｙの出力信号は
マーカー信号発生回路１６に送られており、第１座標変
換回路１２Ｘ、１２Ｙより送られる出力信号がＨ，Ｖか
ら上式のように変化するため、ＣＲＴ７に表示されるマ
ーカーＦも試料像の回転に連動して回転する。そのため
、ＣＲＴ７には第２図（Ｃ）のような試料像とマーカー
が表示される。そこで、マーカーで囲まれた像中のＪＢ
の部分を拡大して表示しようとする際には、スイッチＳ
３をｅ側に接続してマーカーＦを画面から消すと共に、
スイッチＳ２をｄ側に接続する。すると、加算回路１７
Ｘ、１７Ｙには夫々第２座標変換回路１５Ｘ、１５Ｙか
ら前述した直流出力信号が送られると共に、補助倍率制
御回路１３Ｘ、１３Ｙを介して各々Ｍ１　　”　（Ｈ−
ＣＯ３θａ＋■・Ｓｉｎθａ）とＭｌ　　−（Ｖ　−Ｃ
Ｏ３θａ−Ｈ−ｓｉｎθａ）に対応する信号が送られる
。そのため、電子線は試料上において第５図（ｂ）の点
０２を中心として狭い範囲にわたって走査されるため、
ブラウン管７には第２図（ｅ）に示すように試料上のＪ
Ｂの部分を拡大した像が表示される。又、角度信号発生
器１１から第１座標変換回路１２Ｘ、１２Ｙに異なった
角度θａ　”　（＜０）に対応した信号を供給すること
により、高倍試料像を第２図（ｄ）に示すように角度θ
ａ′だけ回転させることができる。又、補助倍率制御回
路１３Ｘ、１３Ｙにより試料を走査する電子線の走査幅
を縮小することにより、第２図（ｄ）、（ｅ）に示す像
を更に拡大表示することもできる。尚、この場合、元の
第２図（Ｃ）に示す試料像に重畳されるマーカーＦの大
きさは対応して縮小する。ところで、スイッチＳ１をｂ
側に接続したままスイッチＳ２をｅ側に接続し、更にス
イッチｓ３をｆ側に接続すれば、第２図（ｅ）の像から
瞬時に第２図（Ｃ）に示す低倍像に復帰することができ
る。更に又、スイッチｓ１をａ側。At this time, if θ=0°, the first coordinate conversion circuit 12
The output signals of X and 12Y are nothing but H and V. Therefore,
JB in the image by operating center position setting circuits 14X and 14Y.
The size of the frame-shaped marker F is adjusted to correspond to the enlargement ratio M1 by moving the marker F and operating the auxiliary magnification specifying circuit 18 to enlarge the area , as shown in FIG. 2(b). Make it. After that, in order to observe the low-magnification image from different directions, the switch S1 is switched to the b side, and the angle signal generating circuit 11 is operated to generate the electron beam at an angle of θ-θa (θa>0>). When rotation in the sample scanning direction is instructed, the output signals of the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y become (H-cosθa + V-sinθa) and (V-cosθa), respectively.
aH-sin θa), and the scanning direction of the electron beam on the sample rotates as shown in FIG. 5(b). Also, at this time, the output signals of the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y are sent to the marker signal generation circuit 16, and the output signals sent from the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y are converted from H and V as shown in the above equation. Therefore, the marker F displayed on the CRT 7 also rotates in conjunction with the rotation of the sample image. Therefore, the sample image and markers as shown in FIG. 2(C) are displayed on the CRT 7. There, JB in the statue surrounded by markers
When trying to enlarge and display the part, press switch S.
3 to the e side and erase marker F from the screen,
Connect switch S2 to the d side. Then, the addition circuit 17
The aforementioned DC output signals are sent to X and 17Y from the second coordinate conversion circuits 15X and 15Y, respectively, and M1'' (H-
CO3θa+■・Sinθa) and Ml −(V −C
A signal corresponding to O3θa−H−sinθa) is sent. Therefore, since the electron beam is scanned over a narrow range on the sample centered on point 02 in FIG. 5(b),
In the cathode ray tube 7, as shown in Fig. 2(e),
An enlarged image of part B is displayed. Furthermore, by supplying signals corresponding to different angles θa''(<0) from the angle signal generator 11 to the first coordinate conversion circuits 12X and 12Y, a high magnification sample image can be obtained as shown in FIG. 2(d). Angle θ
It can be rotated by a'. Furthermore, by reducing the scanning width of the electron beam that scans the sample using the auxiliary magnification control circuits 13X and 13Y, the images shown in FIGS. 2(d) and 2(e) can be further enlarged and displayed. In this case, the size of the marker F superimposed on the original sample image shown in FIG. 2(C) is correspondingly reduced. By the way, switch S1 is
If the switch S2 is connected to the e side and the switch s3 is further connected to the f side, the image in Fig. 2(e) instantly returns to the low magnification image shown in Fig. 2(C). be able to. Furthermore, switch s1 is set to a side.

スイッチＳ３をｅ側に接続すれば、第２図（ａ）に示す
元の像に戻ることもできる。By connecting the switch S3 to the e side, it is possible to return to the original image shown in FIG. 2(a).

第３図は本発明の他の実施例を示すための図である。第
１図に示した実施例においては、走査回転を行なった後
、中心位置設定回路１４Ｘ、１４Ｙのうちの一方、例え
ば１４Ｘの出力信号を変えると、マーカーＦは水平方向
には移動せず、像の回転量だけ傾斜した方向に移動して
しまう。そこで、第２図に示す実施例においては、中心
位置設定回路１４Ｘ、１４Ｙの出力信号に代えて第２座
標変換回路１５Ｘ、１５Ｙの出力信号をマーカー信号発
生回路１６に送るようにしている。このようにすれば、
走査像の回転にかかわらず、マーカーＦを水平方向と垂
直方向に独立に移動させることができる。FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIG. 1, if the output signal of one of the center position setting circuits 14X and 14Y, for example 14X, is changed after scanning and rotation, the marker F will not move in the horizontal direction; The image moves in a tilted direction by the amount of rotation. Therefore, in the embodiment shown in FIG. 2, the output signals of the second coordinate conversion circuits 15X and 15Y are sent to the marker signal generation circuit 16 instead of the output signals of the center position setting circuits 14X and 14Y. If you do this,
Regardless of the rotation of the scanned image, the marker F can be moved independently in the horizontal and vertical directions.

第４図は本発明の更に他の実施例を示すための図である
。第１図、第３図に示した実施例は、高倍像を任意に回
転して観察した後も、その回転角度にかかわらず、元の
像即ち、マーカーＦと共に回転した低倍像に瞬時に復帰
することができるので、操作性は非常に浸れているが、
回路が複雑となる。そこで、第４図の実施例は回路をよ
り簡略化したものである。FIG. 4 is a diagram showing still another embodiment of the present invention. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 3, even after the high-magnification image is arbitrarily rotated and observed, the original image, that is, the low-magnification image rotated together with the marker F, is instantly returned regardless of the rotation angle. Since it can be restored, the operability is very good, but
The circuit becomes complicated. Therefore, the embodiment shown in FIG. 4 has a more simplified circuit.

第４図に示す実施例においては、第１．第３図に示した
実施例における第２座標変換回路１５Ｘ。In the embodiment shown in FIG. The second coordinate conversion circuit 15X in the embodiment shown in FIG.

１５Ｙに代えて加算回路１９Ｘ、１９Ｙを用いたもので
、加算回路１９Ｘにおいて中心位置設定回路１４Ｘと第
１座標変換回路１２Ｘの出力信号を加算するようにし、
加算回路１９Ｙにおいて中心位置設定回路１４Ｙと第１
座標変換回路１２Ｙの出力信号を加算するようにしてい
る。このように構成しても、試料像の回転に伴ってマー
カーＦを回転させることができる。Addition circuits 19X and 19Y are used instead of 15Y, and the output signals of the center position setting circuit 14X and the first coordinate conversion circuit 12X are added in the addition circuit 19X,
In the adder circuit 19Y, the center position setting circuit 14Y and the first
The output signals of the coordinate conversion circuit 12Y are added. Even with this configuration, the marker F can be rotated with the rotation of the sample image.

上述したこれら実施例は本発明の一実施例に過ぎず、更
に変形して実施することができる。These embodiments described above are merely examples of the present invention, and further modifications can be made.

例えば、上述したこれら実施例においては、マーカー信
号発生回路１６において、第１座標変換回路１２Ｘ、１
２Ｙの出力信号と中心位置設定回路１４Ｘ、１４Ｙの出
力信号に基づいてマーカー信号を発生させるようにした
が、マーカー信号発生回路に走査信号発生回路８Ｘ、８
Ｙの出力信号と第２座標変換回路１５Ｘ、１５Ｙの直流
出力信号を供給し、両信号に基づいてマーカー信号を発
生させるようにしても良い。For example, in the embodiments described above, in the marker signal generation circuit 16, the first coordinate conversion circuits 12X, 1
Although the marker signal is generated based on the output signal of 2Y and the output signal of the center position setting circuits 14X and 14Y, the marker signal generation circuit is replaced with the scanning signal generation circuit 8X and 8.
The Y output signal and the DC output signals of the second coordinate conversion circuits 15X and 15Y may be supplied, and the marker signal may be generated based on both signals.

尚、本発明は、上述した実施例装置に限定されるもので
は無く、荷電粒子線としてはイオンビームを使用し、電
磁偏向でなく静電偏向を利用する装置にも同様に適用で
きる。It should be noted that the present invention is not limited to the apparatus of the above-described embodiment, but can be similarly applied to an apparatus that uses an ion beam as the charged particle beam and uses electrostatic deflection instead of electromagnetic deflection.

［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明に基づく装置
によれば、低倍試料像を走査回転した場合に、この低倍
試料像に重畳して表示される次に拡大すべき領域又は領
域の中心を示すマーカーを像の回転に連動して回転させ
ることができるため、低倍像の走査回転を行なった際に
拡大すべき領域の再設定が不要となり、操作性を向上さ
せることができる。[Effects of the Invention] As is clear from the above description, according to the apparatus based on the present invention, when a low-magnification sample image is scanned and rotated, the next enlarged image displayed superimposed on the low-magnification sample image is Since the marker indicating the target area or the center of the area can be rotated in conjunction with the rotation of the image, there is no need to reset the area to be enlarged when scanning and rotating a low-magnification image, improving operability. can be done.

尚、第３図に示した実施例によれば、低倍幽の回転にか
かわらず、マーカーを画面の水平及び垂直走査方向に独
立に移動させることができ、操作性を更に向上できる。According to the embodiment shown in FIG. 3, the marker can be moved independently in the horizontal and vertical scanning directions of the screen regardless of the rotation of the low magnification, and the operability can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は動
作を説明するためにＣＲＴ画面に表示される像を示すた
めの図、第３図は本発明の他の一実施例装置を示すため
の図、第４図は更に他の実施例を示すための図、第５図
は電子線の試料上の走査を説明するための図、第６図は
動作を説明するためにＣＲＴ画面に表示される像を示す
図である。 ２：電子銃　　　　　　３：電子レンズ４：試料　　　
　　　　６：検出器 ７：ＣＲＴ　　　　　　　ａｘ：水平走査回路８Ｙ：垂
直走査回路　　９Ｘ、９Ｙ：倍率制御回路 １１：角度信号発生回路 １２Ｘ、１２Ｙ：第１座標変換回路 １３Ｘ、１３Ｙ：補助倍率制御回路 １４Ｘ、１４Ｙ：中心位１ｆｌ定回路 １５Ｘ、１５Ｙ：第２座標変換回路 １７Ｘ、１７Ｙ、１９Ｘ、１９Ｙ：加暮回路１８：補助
倍率指定回路FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing an image displayed on a CRT screen to explain the operation, and FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram to show an example device, FIG. 4 is a diagram to show another embodiment, FIG. 5 is a diagram to explain scanning of an electron beam on a sample, and FIG. 6 is a diagram to explain the operation. FIG. 2 is a diagram showing an image displayed on a CRT screen. 2: Electron gun 3: Electron lens 4: Sample
6: Detector 7: CRT ax: Horizontal scanning circuit 8Y: Vertical scanning circuit 9X, 9Y: Magnification control circuit 11: Angle signal generation circuit 12X, 12Y: First coordinate conversion circuit 13X, 13Y: Auxiliary magnification control circuit 14X, 14Y : Center position 1fl constant circuit 15X, 15Y: Second coordinate conversion circuit 17X, 17Y, 19X, 19Y: Kagure circuit 18: Auxiliary magnification designation circuit

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 走査信号発生回路、該走査信号発生回路よりの走査信号
の供給に基づいて荷電粒子線により試料を二次元的に走
査するための偏向器、前記走査信号の供給に基づいて走
査される試料像表示手段、該表示手段上に次に拡大して
表示すべき部分を示すためのマーカーを試料像に重畳し
て表示するための手段、該マーカーの表示位置を任意に
移動させるための手段、前記走査信号を変換して前記偏
向器に送ることにより前記荷電粒子線を任意の角度回転
させて試料を走査させるための走査回転手段、該走査回
転に伴って前記マーカーの表示位置を前記表示手段に表
示される試料像の回転に合わせて回転させるための手段
と、該マーカーで表示された部分の試料像を前記表示手
段に拡大して表示するための手段を備えたことを特徴と
する荷電粒子線装置。a scanning signal generation circuit, a deflector for two-dimensionally scanning a sample with a charged particle beam based on the supply of the scanning signal from the scanning signal generation circuit, and a sample image display scanned based on the supply of the scanning signal. means for displaying a marker superimposed on the sample image on the display means to indicate a portion to be enlarged and displayed next; means for arbitrarily moving the display position of the marker; a scanning rotation means for scanning a sample by rotating the charged particle beam at an arbitrary angle by converting a signal and sending the signal to the deflector; a display position of the marker is displayed on the display means in accordance with the scanning rotation; A charged particle beam comprising means for rotating the sample image according to the rotation of the sample image, and a means for enlarging and displaying the part of the sample image indicated by the marker on the display means. Device.