JPS63268996A - オイル回転ポンプ劣化警報装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は油を用いた減圧用ポンプにおける油の劣化を
警報により知らせるための装置に係り、特に低圧化学気
相成長装置等の半導体、’ｉｃＪ造装置に用いられる減
圧ポンプに適用して好適な油回転ポンプ劣化警報装置に
関する。

［従来の技術］ 半導体製造プロセスのうち低圧化学気相成長（以下、Ｌ
Ｐ　−ＣＶＤという）等のプロセスにおいては、第３図
に示すようにオイル回転減圧ポンプ１　（以下、減圧ポ
ンプという）により反応系を低圧にして反応を行わせる
が、この際多量に発生する反応副生成物や酸化性ガスが
減圧ポンプ内に取り込まれ、こ九によりポンプオイルが
ゲル化し、減圧ポンプのモータの回転が抑制される。こ
のため、モータに負荷がかかり、モータの加熱、故障が
生じていた。このようなオイルの劣化によるモータのト
ラブルを防ぐため、従来、第４図に示すような安全機構
が設けられている。すなわち、減圧ポンプ１のモータ２
の電源用リード線に渦電流計４を設け、渦゛准流計４で
検知された電流が判定回路５に予め設定された値より大
きくなった時に、インターロック機構６を作動させてモ
ータ２と電源の接続を遮断すると共に、ＬＰ　−ＣＶＤ
装置等の本体装置１０のＣＰＵ７に信号を送り１本体装
置１０を緊急停止トさせていた。

［発明が解決しようとする問題点コ ところで、このような従来の安全機構においてはＬＰ　
−ＣＶＤ装置の場合５反応中に本体装置が突然停止する
ことになるのでデポジション途中のウェハ１１　（第３
図、通常５０〜１００枚）がすべて不良品となってしま
うという問題があった。この発明はインターロック機構
が働く曲にモータオイルの劣化状態をチェックしてこの
ような緊急停止による不良品の発生を防止することを目
的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するために本発明のオイル回転ポンプ劣
化警報装置は、オイル回転ポンプの電源用リード線に設
けられた電流センサ、該電流センサにより検知された電
流値を予め設定した電流値と比較して前記検知された電
流値が前記予め設定した電流値より大きい時、出力側に
信号を出す判定回路、該判定回路からの信号により警報
を発する警報手段より成ることを特徴とし、更に前記判
定回路には、従来と同様オイル回転ポンプが備えられる
装置本体のＣＰＵ等制御部に接続されるインターロック
機構が接続されているものとする。

［作用］ 装置のメンテナンス時あるいは始動前にオイル回転ポン
プのみを駆動させる。この時、オイル回転ポンプのオイ
ルの劣化等によりモータの回転数が低下し、モータに負
荷がかかるとリード線に過剰の電流が流れる。電流セン
サはこのリード線の電流値を検知して判定回路に送る。

判定回路は検知された電流値と予め設定された値とを比
較し検知された電流値が予め設定された値より大きい場
合は出力側に信号を出す。この信号によってｖ報手段が
駆動し警報を発する。操作者等は警報手段の音声、ラン
プの点灯等によりオイル回転ポンプの劣化状態を知るこ
とができる。

［実施例］ 以下、本発明を第１図に示す実施例に基き説明する。

第１図において従来例（第３図）と同じものについては
同一番号と付した。オイル回転ポンプ１はＬＰ−ＣＶＤ
等の低圧装置１０に備えられた減圧ポンプでそのモータ
２はリード線３によりｆｆｉ源と接続さ九、リード線３
には電流センサとしての渦電流計４が設けられる。渦電
流計４は判定回路５と接続される。判定回路５は渦電流
計４から入力された電流値を予め設定さ九た値と比較し
、渦電流計４から入力された電流値が予め設定さ」ｔた
値より大きい時にその出力側に信号を出力する。出力側
はインターロック機構６に接続されると共に５警報駆動
回路８に接続される。インターロック機構６は判定回路
５からの信号によってリード線３に設けられたスイッチ
６ａをＯＦＦにしてモータ２と電源を遮断すると共に装
置本体１０のＣＦ’　Ｕ　７に作用し本体１０を停止ト
させる安全機構である。

警報駆動回路８は例えばベル音あるいは「オイルを交換
してください。」という音声等を発生させる音声発生回
路を内蔵し１判定回路５からの（２号によって作動し、
警報手段９であるスピーカ９ａによってベル音あるいは
音声を発生させると共に、同じく警報手段９である警報
灯９ｂを点灯させ操作者にオイル劣化状態を警告する。

このような本発明のオイル回転ポンプ劣化警報装置は、
オイル回転ポンプ１が取り付けられた装置本体１０の始
ｆ’ｌ＋前チェックあるいはメンテナンス時にｉＴ効に
利用できる。すなわち、装置本体１０が作動していない
状態でオイル回転ポンプ１のみを回転させて渦電流計４
によってモータ２の過負荷を検知し警報を発するように
する。これによって操作と゛はモータオイルの交換等必
要な処理を行うことかできるので、装置本体１０作動時
の緊急停止１−によってデボ中のウェハが無駄になると
いう１１を態を最少限にすることができる。装置本体１
０作動時の予想できないモータの過負荷その他の原因に
よる事故はインターロック機構６によって未然に防ぐこ
とができ、しかもこの際、警報手段９も同時に動作する
ので操作者は直ちにこのような緊急停止１−状態を知る
ことができ、適当な対応をとることかできる。

第２の実施例として第２図に示すように゛１１定回路を
二つ１没け、一方の判定回路５ａは第１図の判定回路５
と同様の所定値によって検知電流との比較を行ない信号
をインターロック機構６に出力するようにし、他方の判
定回路５ｂは判定回路５ｄより若干低く設定された所定
値によって検知電流との比較を行ない、信号を表示装置
に出力するようにしてもよい。

この場合、インターロック機構６が作動するよりも厳し
い条件で警報を発することができるので。

装置本体ＩＯの作動中インターロック機構６が作動する
前にオイル回転ポンプの劣化状態を知ることができ５即
時対応することができる。

尚、これら実施例においては、Ｍｉ報手段として音声ア
ラ−１ｓ　（音声発声回路＋スピーカ）及び警÷ｌｊ灯
の両方を用いているが、いずＪＬか一方あるいは他の警
報７ｒ一段を用いることも可能である。

［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明によｈば１．
１’−ＣＶＤ等の減圧ポンプを用いる半導体製造装置に
おいて、これら′！Ａ置の作動前に予め減圧ポンプの劣
化状態をチェックすることができ、装置の緊急停＋Ｆ、
による不良品の発生を防ぐことができる。また、装置の
作動中であっても装置ｉ’？の緊急停止１・と同時又は
その前に劣化状態を知ることができるので迅速な対応が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図は同第
２の実施例を示す図、第３図は本発明の瞥泪装置か適用
される低圧化学気相形成装置、第・１図は従来の安全Ｉ
Ｕｌｆｆを示す図である。 ｌ・・・・・・・オイル回転ポンプ ２・・・・・・・モータ ３・・・・・・・リート線 １１・・・・・・・電流センサ ５．５ａ、５ｂ・・・・・・・判定回路６・・・・・・
・インターロック機構 ８・・・・・・・警報駆動回路 ９・・・・・・・譬や）４手段 代理人　弁理士　　守　谷　−雄 第１図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. オイル回転ポンプの電源用リード線に設けられた電流セ
   ンサ、該電流センサにより検知された電流値を予め設定
   した電流値と比較して前記検知された電流値が前記予め
   設定した電流値より大きい時、出力側に信号を出す判定
   回路、該判定回路からの信号により警報を発する警報手
   段より成ることを特徴とするオイル回転ポンプ劣化警報
   装置。