JPS6326561A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPS6326561A JPS6326561A JP62102130A JP10213087A JPS6326561A JP S6326561 A JPS6326561 A JP S6326561A JP 62102130 A JP62102130 A JP 62102130A JP 10213087 A JP10213087 A JP 10213087A JP S6326561 A JPS6326561 A JP S6326561A
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は検査装置に関するものである。特に、一般的な
意味において本願人が提案した欧州特許出願第１８２４
７１号及び英国特許第２０５４８３５号の検査装置と同
様な型式の検査装置に関するものである。
意味において本願人が提案した欧州特許出願第１８２４
７１号及び英国特許第２０５４８３５号の検査装置と同
様な型式の検査装置に関するものである。
この検査装置は例えば物体の表面を検査する装置、又は
物体が検査に用いる放射光に対して透明な場合には物体
の内部を検査することができる検査装置とすることがで
きる。
物体が検査に用いる放射光に対して透明な場合には物体
の内部を検査することができる検査装置とすることがで
きる。
本願人が既に提案した欧州特許出願第１８２４７１号公
報には、例えばシート状材料を検査する検査装置が開示
されている。この検査装置では、回転ミラードラム２２
を用いて放射ビームを偏向し、この放射ビームによって
シート１３を走査し、シート１３によって作用を受けた
シート１３からの放射光を反射スクリーン２４まで通過
させている。そして、反射性スクリーン２４上の画像１
５をミラードラム２２の同一の小面を経て目標物３３上
の焦点２５まで反射し、共役画像２５を静止状態とする
（すなわち、画像が目標物上で移動しない状態）と共に
光検出器２７によって受光して検査が行われている。
報には、例えばシート状材料を検査する検査装置が開示
されている。この検査装置では、回転ミラードラム２２
を用いて放射ビームを偏向し、この放射ビームによって
シート１３を走査し、シート１３によって作用を受けた
シート１３からの放射光を反射スクリーン２４まで通過
させている。そして、反射性スクリーン２４上の画像１
５をミラードラム２２の同一の小面を経て目標物３３上
の焦点２５まで反射し、共役画像２５を静止状態とする
（すなわち、画像が目標物上で移動しない状態）と共に
光検出器２７によって受光して検査が行われている。
本発明は、放射源と、多面体ミラースキャナと、放射検
出器とを具え、多面体ミラースキャナの小面からの放射
光による放射ビームによって検査されるべき物体を走査
し、物体によって作用を受けた放射光を多面体ミラース
キャナに入射させ、この入射ビームを多面体ミラースキ
ャナの別の小面で反射する検査装置を提供するものであ
る。
出器とを具え、多面体ミラースキャナの小面からの放射
光による放射ビームによって検査されるべき物体を走査
し、物体によって作用を受けた放射光を多面体ミラース
キャナに入射させ、この入射ビームを多面体ミラースキ
ャナの別の小面で反射する検査装置を提供するものであ
る。
本明細書において“光”及び“光学的“と言う用語を用
いているが、本発明では赤外線及び紫外線のような波長
域の放射光を用いることができるものと理解すべきであ
る。実際には、感光性シートのような材料を試験する場
合、感光性材料の感度域にない波長光を用いることが必
要である。
いているが、本発明では赤外線及び紫外線のような波長
域の放射光を用いることができるものと理解すべきであ
る。実際には、感光性シートのような材料を試験する場
合、感光性材料の感度域にない波長光を用いることが必
要である。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
種々の部品について本願人が提案した欧州特許出願第１
８２４７１号における対応する部品の参照番号を付して
あり、上記欧州特許出願の図面も本明細書において関連
しているものとする。
８２４７１号における対応する部品の参照番号を付して
あり、上記欧州特許出願の図面も本明細書において関連
しているものとする。
第１図にふいて、入射光ビーム１２は回転多面鏡ドラム
２２の小面４１に入射し、この回転多面鏡ドラム２２の
小面で反射してシート１３に入射し、多面鏡ドラム２２
の回転によって光ビームを偏向してシート１３を走査す
る。次にこの光ビームは画像１５が形成される反射スク
リーンまで通過する。尚、この画像１５は必ずしも集束
する必要はないもの理解される。この画像１５は、ミラ
ードラム２２の小面４１を経て光検出器３３上に集束す
る。
２２の小面４１に入射し、この回転多面鏡ドラム２２の
小面で反射してシート１３に入射し、多面鏡ドラム２２
の回転によって光ビームを偏向してシート１３を走査す
る。次にこの光ビームは画像１５が形成される反射スク
リーンまで通過する。尚、この画像１５は必ずしも集束
する必要はないもの理解される。この画像１５は、ミラ
ードラム２２の小面４１を経て光検出器３３上に集束す
る。
今、シート１３にビームを散乱させるような欠陥がある
特別の場合について考えてみる。ビームの散乱によりス
クリーン２４上には微小に規定されたスポットが存在す
る代わりに、ビーム１２が散乱光のより大きな領域を有
する中心スポットを形成するものとする。図面上では、
中心スポットを形成する中心ビーム光路を符号４２で示
し、散乱光より成る周囲領域を形成する周辺ビーム光路
を符号４３で示す。シート１３中に存在する欠陥が明る
い中心スポットを有効に消去するようなものの場合、小
面４１を介して形成した共役画像２５は、検出器３６．
３７の２個の部分からの出力信号がほぼ同程度の大きさ
となるので容易に解析される。
特別の場合について考えてみる。ビームの散乱によりス
クリーン２４上には微小に規定されたスポットが存在す
る代わりに、ビーム１２が散乱光のより大きな領域を有
する中心スポットを形成するものとする。図面上では、
中心スポットを形成する中心ビーム光路を符号４２で示
し、散乱光より成る周囲領域を形成する周辺ビーム光路
を符号４３で示す。シート１３中に存在する欠陥が明る
い中心スポットを有効に消去するようなものの場合、小
面４１を介して形成した共役画像２５は、検出器３６．
３７の２個の部分からの出力信号がほぼ同程度の大きさ
となるので容易に解析される。
しかしながら、中心ビーム４２によって形成された中心
スポットが周囲の散乱光表面領域よりも一層明るくなる
ことは一般なことであり、この結果はスクリーン２４に
反射材料を用いることにより一層顕著になる。スクリー
ン２４の反射材料によって入射光ビームは同一のビーム
径路に沿って反射されるが、微小な円錐角で反射される
。この円錐角は１°より小さくなるであろう。図面から
明かなように、中心ビーム４２のほとんどの光は小面４
１に戻るが、散乱光すなわちビーム光路４３０周辺光は
破線４４で示される円錐状に戻る傾向がある。従って、
散乱光領域の周辺部のほぼ比例した強度の光は小面４１
に戻らず、この結果２個の光検出器部分３６．３７によ
って受光される相対的な光信号に差が生じ、光検出器３
７の受光量が光検出器３６の受光量よりも一層少なくな
る。従って、通常の操作においては、散乱光信号は中心
光信号よりも一層小さいので、散乱光を受光する検出器
からの信号は中心光によって識別できなくなるおそれが
ある。
スポットが周囲の散乱光表面領域よりも一層明るくなる
ことは一般なことであり、この結果はスクリーン２４に
反射材料を用いることにより一層顕著になる。スクリー
ン２４の反射材料によって入射光ビームは同一のビーム
径路に沿って反射されるが、微小な円錐角で反射される
。この円錐角は１°より小さくなるであろう。図面から
明かなように、中心ビーム４２のほとんどの光は小面４
１に戻るが、散乱光すなわちビーム光路４３０周辺光は
破線４４で示される円錐状に戻る傾向がある。従って、
散乱光領域の周辺部のほぼ比例した強度の光は小面４１
に戻らず、この結果２個の光検出器部分３６．３７によ
って受光される相対的な光信号に差が生じ、光検出器３
７の受光量が光検出器３６の受光量よりも一層少なくな
る。従って、通常の操作においては、散乱光信号は中心
光信号よりも一層小さいので、散乱光を受光する検出器
からの信号は中心光によって識別できなくなるおそれが
ある。
従って、本発明は、入射ビーム１２が通過する同一の面
４１を経てスクリーン２４上の画像を観測と共に、スク
リーン２４上の画像１５から少なくとも１個の隣接する
小面例えば小面４６を経て戻ってくる光を収集する光学
装置を提供するものである。この場合、小面４６に入射
する光は中心ビーム４２に比べて散乱光の比例的に増大
した量を含むことは明かであり、細部に亘って散乱光を
・ 考慮しようとする状況下においては、隣接する小面
を利用することは好適な装置となる。小面４６に向かっ
て反射される光を収集する光学装置は、平面ミラー４７
、結像レンズ４８及び光検出器３３と同様な型式の光検
出器４９を有している。
４１を経てスクリーン２４上の画像を観測と共に、スク
リーン２４上の画像１５から少なくとも１個の隣接する
小面例えば小面４６を経て戻ってくる光を収集する光学
装置を提供するものである。この場合、小面４６に入射
する光は中心ビーム４２に比べて散乱光の比例的に増大
した量を含むことは明かであり、細部に亘って散乱光を
・ 考慮しようとする状況下においては、隣接する小面
を利用することは好適な装置となる。小面４６に向かっ
て反射される光を収集する光学装置は、平面ミラー４７
、結像レンズ４８及び光検出器３３と同様な型式の光検
出器４９を有している。
このように、光検出器４９０２個の部分３６゜３７によ
って受光された信号間の相対比は散乱光に比例的なもの
となり、従って散乱光に関する信号は中心ビームの信号
よりも比例的に大きくなる。
って受光された信号間の相対比は散乱光に比例的なもの
となり、従って散乱光に関する信号は中心ビームの信号
よりも比例的に大きくなる。
第２図は本発明による光学装置の好適実施例を詳細に示
す。本光学装置は閉じたキャビネット３５内に装着され
、このキャビネット３５の前面はスロット３０を有して
いる。キャビネット３５の内部にレーザ１１及びビーム
１２を形成するビーム形成光学素子１１Ａを装着する。
す。本光学装置は閉じたキャビネット３５内に装着され
、このキャビネット３５の前面はスロット３０を有して
いる。キャビネット３５の内部にレーザ１１及びビーム
１２を形成するビーム形成光学素子１１Ａを装着する。
、ビーム１２はミラー２９で反射され、ビーム１２を通
過させる中央開口部３１Ａを有するミラーの形態をした
ビームスプリッタ３１に進行する。ビーム１２はフード
２２Ａ内に装着されているミラードラムスキャナ２２ま
で進行し、このミラードラムスキャナ２２は回転してビ
ーム１２を偏向し、このビーム１２によってスロット３
０を経て検査中の物体を走査する。スクリーンで反射さ
れた光の一部は射出するビーム１２を反射する小面４６
に到達し、この小面４６で反射され、更にミラー３１に
よって反射され本願人の欧州特許出願第１８２４．７１
号に記載されているように光学素子３２．２７゜３３．
３Ａに到る。
過させる中央開口部３１Ａを有するミラーの形態をした
ビームスプリッタ３１に進行する。ビーム１２はフード
２２Ａ内に装着されているミラードラムスキャナ２２ま
で進行し、このミラードラムスキャナ２２は回転してビ
ーム１２を偏向し、このビーム１２によってスロット３
０を経て検査中の物体を走査する。スクリーンで反射さ
れた光の一部は射出するビーム１２を反射する小面４６
に到達し、この小面４６で反射され、更にミラー３１に
よって反射され本願人の欧州特許出願第１８２４．７１
号に記載されているように光学素子３２．２７゜３３．
３Ａに到る。
散乱光は、第１図に示されるようにライン４４に沿って
戻り、ミラードラム２２の隣接する小面４６に入射して
ミ、ラー４７に向けて反射され、結像レンズ４８を経て
光検出器４９に入射する。本装置におけるこの部分の操
作は第１図に基づいて説明したように行われる。
戻り、ミラードラム２２の隣接する小面４６に入射して
ミ、ラー４７に向けて反射され、結像レンズ４８を経て
光検出器４９に入射する。本装置におけるこの部分の操
作は第１図に基づいて説明したように行われる。
本発明は上述した実施例だけに限定されず、種々の変形
や変更が可能である。
や変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による検査装置の光学装置の一部を示す
線図、 第２図は本発明の好適実施例の一部を切断して示す斜視
図である。 １２・・・入射ビーム １３・・・シート１５・・・
画像 ２２・・・ミラードラム２４・・・反射
スクリーン ３６．３７・・・光検出器部分 ４１・・・小面 ４２．４４・・・光路４６・
・・別の小面 ４７・・・平面ミラー４８・・・結
像レンズ ４９・・・光検出器特許出願人 シラ
・リミテッド 手 続 補 正 書（方式） 昭和６２年 ８月２４日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿１、事件の表
示 昭和６２年特 許 願第 １０２１３０号２、発明の名
称 検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 シラ・リミテッド ４、代理人 ６、補正の対象
線図、 第２図は本発明の好適実施例の一部を切断して示す斜視
図である。 １２・・・入射ビーム １３・・・シート１５・・・
画像 ２２・・・ミラードラム２４・・・反射
スクリーン ３６．３７・・・光検出器部分 ４１・・・小面 ４２．４４・・・光路４６・
・・別の小面 ４７・・・平面ミラー４８・・・結
像レンズ ４９・・・光検出器特許出願人 シラ
・リミテッド 手 続 補 正 書（方式） 昭和６２年 ８月２４日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿１、事件の表
示 昭和６２年特 許 願第 １０２１３０号２、発明の名
称 検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 シラ・リミテッド ４、代理人 ６、補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放射源と、複数の小面を有するミラースキャナと、
放射検出器手段とを具え、検査されるべき物体を前記ミ
ラースキャナの１個の小面からの反射光による放射ビー
ムによって走査し、この物体によって作用を受けた放射
光をミラースキャナに入射させると共に別の小面で放射
検出器手段に向けて反射するように構成したことを特徴
とする検査装置。 ２、適切に配置された反射体を含み、物体を走査した後
の放射ビームが前記反射体に入射し、この反射体によっ
て物体に向けて反射すると共に前記ミラースキャナに戻
るように構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の検査装置。 ３、前記１個の小面で反射されると共に物体によって作
用を受けた放射光を受光するように別の放射検出器が配
置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項記載の検査装置。 ４、レーザと、このレーザ光をビームに形成する光学素
子と、複数の小面を有し軸を中心にして回転可能なミラ
ースキャナと、光学的集束手段と、光検出器手段とを具
え、前記ビーム形成手段からのビームがミラースキャナ
の第１小面に入射し、ミラースキャナの回転によって検
査されるべき物体を前記ビームによって走査し、物体に
よって作用を受けた放射光が前記物体を経てミラースキ
ャナに入射し、このミラースキャナの別の小面により光
学的集束手段及び光検出器手段に反射されることを特徴
とする物体検査装置。 ５、光学的集束手段及び光検出器手段が設けられ、これ
ら光学的集束手段及び光検出器手段が前記小面で反射さ
れた物体からの放射光を受光するように配置されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の物体検査
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8610305 | 1986-04-28 | ||
| GB868610305A GB8610305D0 (en) | 1986-04-28 | 1986-04-28 | Inspection apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326561A true JPS6326561A (ja) | 1988-02-04 |
| JPH07117500B2 JPH07117500B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=10596952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62102130A Expired - Lifetime JPH07117500B2 (ja) | 1986-04-28 | 1987-04-27 | 検査装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4797558A (ja) |
| EP (1) | EP0244102B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07117500B2 (ja) |
| AT (1) | ATE67035T1 (ja) |
| CA (1) | CA1269739A (ja) |
| DE (1) | DE3772614D1 (ja) |
| GB (1) | GB8610305D0 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3925614A1 (de) * | 1989-08-02 | 1991-02-07 | Sick Optik Elektronik Erwin | Optische abtastvorrichtung zur fehlersuche an durchlaufenden materialbahnen |
| US5168167A (en) * | 1991-01-31 | 1992-12-01 | International Business Machines Corporation | Optical scanner having controllable light sources |
| US5293162A (en) * | 1992-03-09 | 1994-03-08 | Bachalo William D | Laser based tracking device for detecting the distance between a vehicle and a roadway marker |
| DE69706964T2 (de) * | 1996-03-07 | 2002-04-04 | Accu Sort Systems Inc | Dynamisches fokussierungsgeraet fuer optische abbildungssysteme |
| US5847834A (en) * | 1997-09-11 | 1998-12-08 | Webview, Inc. | Expandable, continuous illumination source for a web inspection assembly and method |
| US6723816B2 (en) * | 2001-11-02 | 2004-04-20 | Bausch & Lomb Incorporated | High refractive index aromatic-based siloxane difunctional macromonomers |
| US7023542B2 (en) * | 2002-04-03 | 2006-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Imaging method and apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50151189A (ja) * | 1974-05-24 | 1975-12-04 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4018504A (en) * | 1975-05-02 | 1977-04-19 | Sweda International, Inc. | Retro-reflective multiple-X optical scanning system |
| US4170398A (en) * | 1978-05-03 | 1979-10-09 | Koester Charles J | Scanning microscopic apparatus with three synchronously rotating reflecting surfaces |
| GB2054835B (en) * | 1979-07-30 | 1983-07-20 | Sira Institute | Scanning apparatus for flaw detection |
| US4523093A (en) * | 1981-09-03 | 1985-06-11 | Excellon Industries | Scanning beam reference and read system |
| GB8424084D0 (en) * | 1984-09-24 | 1984-10-31 | Sira Ltd | Inspection apparatus |
-
1986
- 1986-04-28 GB GB868610305A patent/GB8610305D0/en active Pending
-
1987
- 1987-04-06 DE DE8787302987T patent/DE3772614D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-04-06 EP EP87302987A patent/EP0244102B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-04-06 AT AT87302987T patent/ATE67035T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-04-27 JP JP62102130A patent/JPH07117500B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1987-04-28 US US07/043,654 patent/US4797558A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-04-28 CA CA000535822A patent/CA1269739A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50151189A (ja) * | 1974-05-24 | 1975-12-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07117500B2 (ja) | 1995-12-18 |
| GB8610305D0 (en) | 1986-06-04 |
| CA1269739A (en) | 1990-05-29 |
| US4797558A (en) | 1989-01-10 |
| EP0244102A1 (en) | 1987-11-04 |
| EP0244102B1 (en) | 1991-09-04 |
| ATE67035T1 (de) | 1991-09-15 |
| DE3772614D1 (de) | 1991-10-10 |
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