JPS63262455A - 真空浸炭炉とその操業方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分針〉 本発明は、加熱室と冷却室との２室からなり浸炭処理を
行なう半連続式の真空浸炭炉とその操業方法に間する。

〈従来の技術〉 従来、この種の加熱室と冷却室の２室からなる真空浸炭
炉では、第２図に示す特開昭５８−１３０２７０号公報
に記載されているものがある。

この真空浸炭炉１は、加熱室２が高温環境の真空中およ
び大気中において化学的・強度的に安定な発熱体２ａお
よび断熱材２ｂから構成されるとともに、加熱室またび
油槽３ａを備えた冷却Ｎ３が真空容器４で覆われ、加熱
室２と冷却室３とには共に真空排気源Ｖが接続されてい
る。また、加熱室２には浸炭ガス源Ｃ９冷却Ｎ３には冷
却室３内を大気圧以上に加圧可能な窒素ガス等の不活性
ガス源Ｇがそれぞれ接続されている。

なお、５は装入扉、６は中間真空扉、７は搬出扉、８は
内部移送装置、９は昇降台であり、さらに、５ａは内部
装入ｉ、６ａは内部中間扉であるこの真空浸炭炉ｌの操
業について述べると、っぎのようである（第１表参照）
。

まず、予め加熱室２を大気圧状態で所定の温度に加熱し
ておく。

第１工程・・・装入扉５・５ａを開放し、第１被熱物Ｍ
１を加熱室２に装入し、直ちに装入扉５・５ａを閉鎖す
る。

第２工程・・・加熱室２を真空排気源Ｖによって真空排
気しながら、第１被熱物Ｍ１を所定温度まで真空加熱し
、その後、浸炭ガス源Ｃによって所定の浸炭処理をする
。そして再び真空にし拡散処理をし、さらに焼入温度ま
で降温均熱加熱する。なお、その間に冷却室３を真空排
気しておく。

第３工程・・・中間真空扉６・６ａを開放し、内部移送
装置８によって被熱物Ｍ１を冷却室３の昇降台９に移送
し、直ちに中間真空扉６・６ａを閉鎖する。

第４工程・・・不活性ガス源Ｇからのガスを供給して冷
却室３を大゛気圧以上に加圧しつつ、昇降台９を降下さ
せて第１被熱物Ｍ１を焼入処理する。その間に、高温の
加熱室２へ空気を導入して大気圧状態とし、さらに、装
入扉５・５ａを開放して加熱室２に第２被熱物Ｍ２を装
入し、直ちに装入扉５・５ａを閉鎖する。なお、冷却室
３を大気圧以上に加圧する理由は、加熱室２内に空気が
入り込む際その空気が冷却室３内に入り込まないように
するためである。

第５工程・・・昇降台９を上昇させ、搬出５ｉ１７を開
放して第１被熱物Ｍ１を炉ｉ外へ搬出し、直ちに搬出扉
７を閉鎖して冷却室３を真空排気する。その間に、第２
被熱物Ｍ２を第２工程と同様に取扱う。

以下、定常状態では、第３・４・５工程が繰り返される
。

〈発明が解決しようとする問題点〉 従来の真空浸炭炉１は、被熱物Ｍ１・Ｍ２の加熱室２へ
の装入時、加熱室２を大気中にさらすことから、浸炭処
理中に発熱体１ａや断熱材１ｂに付着する煤を焼除する
ことができ、加熱Ｍ２内を清浄化することに効果がある
。

しかし、従来の真空浸炭炉１では、加熱室２から冷却室
３へ被熱物Ｍを移送する際、被熱物Ｍを酸化させないよ
う、冷却Ｎ３を真空にしており、加熱室２ばかりでなく
冷却室３も真空構造にする必要がある。そのため、浸炭
処理に不可欠な油焼入の油槽３ａを備えた大ぎな容積の
冷却室３も真空構造にする必要が生じ、種々の高強度の
外壁や真空シール材を備えた大きな真空容器４が必要と
なり、組付工数及びコストがかかる。

そしてまた、加熱室２から冷却室３への被熱物Ｍの移送
を真空状態で行なうことから、内部移送装置８や中間真
空扉６・６ａの駆動装置を真空容器４内に配設する必要
が生じ、この種の駆動装置を特殊な機構や部品で構成し
“なければならず、上記問題を助長してしまう。

本発明は、上述の問題を解決するもので、被熱物の処理
に支障をきたすことなく、組付工数及゛びコストを低減
できる真空浸炭炉とその操業方法を提供することを目的
とする。

く問題点を解決するための手段〉 本発明に係る真空浸炭炉は、加熱室と冷却室との２室か
らなる真空浸炭炉であって、 加熱室が、高温環境の真空中及び大気中において化学的
・強度的に安定な発熱体及び断熱材から形成され、前部
に被熱物装入用の装入扉を備えるとともに後部に被熱物
搬出用の中間真空扉を備え、さらに真空排気源、浸炭ガ
ス源、及び不活性ガス源を接続させ、 冷却室が、中間真空扉を介して前部を加熱室に接続させ
、内部に油槽を備えるとともに後部に被熱物搬出用の搬
出扉を備え、さらに不活性ガス源を接続させ、 加熱室のみが真空容器に覆われている、ことを特徴とす
るものである。

また、本発明に係る真空浸炭炉の操業方法は、予め加熱
室を大気圧状態で所定温度に加熱しておくとともに、冷
却室を不活性ガスの供給により常時大気圧状態の不活性
ガス雰囲気としておぎ、下記第１〜５工程を行なうこと
を特徴とするものである。

■第１工程 装入扉を開放して第１被熱物を加熱室へ装入し、装入扉
を閉鎖する。

■第２工程 加熱室において第１被熱物を真空加熱し、その後、第１
被熱物を浸炭、拡散、及び昇温均熱加熱する。

■第３工程 加熱室を不活性ガスの供給により大気圧状態として中間
真空扉を開放し、第１被熱物を大気圧状態の不活性ガス
雰囲気に保たれた冷却室へ８送し、その後、中間真空扉
を閉鎖する。

■第４工程 第１被熱物な油焼入するとともに、装入扉を開放して第
２被熱物を加熱室へ装入し、その後、装入扉な閉鎖する
。

■第５工程 搬出扉を開放して油焼入した第１被熱物を冷却室から搬
出し、その後、搬出扉を閉鎖し、その間に後続の第２被
熱物を前記第２工程以降で処理する。

〈発明の作用・効果〉 本発明に係る真空浸炭炉とその操業方法では、被熱物の
加熱室から冷却室への移送時、加熱室と冷却室とが共に
大気圧状態の不活性ガス雰囲気になっていることから、
被熱物が酸化されず支障なく移送される。そして、被熱
物は、冷却室において大気圧状態の不活性ガス雰囲気で
油焼入され、その後炉外へ搬出されることとなり、支障
なく所定の浸炭処理が施される。

すなわち、本発明では、加熱室だけを真空容器で覆い、
冷却室を常時不活性ガスの供給によって大気圧状態の不
活性ガス雰囲気としておくだけでよく、冷却室を真空容
器で覆うような真空構造にすることが不要となる。

そのため、大台な容積の冷却室を高価な真空構造としな
くともよいことから、従来必要であった大ぎな真空容器
でなくともよく、真空浸炭炉の組付工数及びコストを低
減させることができる。

また、炉内での被熱物の移送手段や中間真空扉の駆動装
置を従来のような真空容器内に配設する必要がないこと
から、これらの装置を特殊なものでなく通常の機構の市
販品で構成することができ、炉の組付工数及びコストの
低減を助長できる。

特に、冷却室に不活性ガスを常時大気□圧状態で供給し
ていることから、炉内での被熱物の移送時、搬出扉や中
間真空扉を開け、冷却室側の炉外に配置する移送手段を
介して被熱物を移送できるように構成すれば、炉内に被
熱物の移送手段を配設しなくともよく、一層真空浸炭炉
の組付工数及びコストを低減させることができ、また移
送手段の保守点検も容易となる。

以上のように、本発明に係る真空浸炭炉とその操業方法
では、従来必要であった種々の構造・機構等を被熱物の
処理に支障をきたすことなく簡略化する己とができ、炉
の組付工数及びコストを著しく低減することができる。

また、本発明に係る真空浸炭炉では、常時加熱室及び冷
却室の炉内に浸炭ガスを供給するガス浸炭炉と相違し、
加熱室での浸炭処理時のみに浸炭ガスが供給されること
から、ガス浸炭炉のように爆発の危険性もない。

〈実ｔＪｔ！４例〉 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図に示す実施例の真空浸炭炉１）は、加熱室１２と
冷却室１３との２室から４＋’ａ成され、加熱室１２だ
けが真空容器１４に覆われている。

加熱室１２は、真空客器１４内に断熱材１２ｂと発熱体
１２ａを配設させて構成されている。

発熱体１２ａは、高温強度が大で、高温状態で直接空気
に触れても酸化燃焼せず、また熱亀裂が生じなくて、高
温真空時でも蒸発しない抵抗発熱体を使用する。例えば
再結晶処理を施した炭化ケイ素系発熱体、またはその表
面にアルミナ溶射被覆層を形成させたもの、あるいは、
最高加熱温度が’１０００℃以下、真空圧０．２ト一ル
程度ならばニッケル・クロム系合金発熱体、鉄・クロム
系合金発熱体などが使用できる。

断熱材１２ｂは、熱伝導率が小さく、高温状態、で繰返
し真空→大気にさらされても化学的に安定な耐火材、例
えば高純度セラミックファイバーで構成したものを使用
する。

そして、加熱室１２の前部（図中左側）には、被熱物Ｍ
装入用の装入扉１５が配設されている。

この装入＃１５は、加熱室１２と真空容器１４との兼用
の扉であり、リンク機構１５トガイドレール１５２を介
して炉１）に配置される図示しない駆動装置によって上
下方向で開閉されるように構成されている。

加熱室１２の後部（図中右側）には、被熱物Ｍ搬出用の
中間真空５ｉ１）６が配設されている。この中間真空５
ｉ１）６は、装入ｍｔ５と同様に、加熱室１２と真空容
器１４との兼用の扉であり、リンク機構１６トガイドレ
ール１６２・チェーン１６３・スプロケット１６４を介
し、一方のスプロケット１６４の釉に接続される炉１）
外の図示しない駆動装置によって、上下方向で開閉され
るように構成されている。

また、加熱室１２には、真空ポンプ等から構成される真
空排気源Ｖが真空弁２２を備えた管路２１を介して接続
されるとともに、浸炭ガス源Ｃが電磁弁２４及び流量調
整器２５を備えた管路２３を介して接続されている。さ
らに、加熱室１２には不活性ガスとしての窒素ガスを供
給する窒素ガス源Ｇが電磁弁２９を備える管路２８を介
して接続されている。

なお、１８は炉床レール、２０は浸炭ガスを攪拌するフ
ァンである。

冷却室１３は、中間真空扉１６の部位で加熱室１２後部
に接続され、内部に油焼入を行なう油槽１３ａを備えて
いる。

冷却室１３の後部（図中右側）には、被熱物Ｍ搬出用の
搬出扉１７が配設され、この搬出扉１フは、装入扉１５
と同様に、リンク機構１７トガイドレール１７２を介し
て炉１）外に配置される図示しない駆動装置によって上
下方向で開閉されるものである。

また、冷却室１３内を常時大気圧状態で窒素ガス雰囲気
とするよう、冷却室１３には、流Ｎ調整器３１を備える
管路３０を介して窒素ガス源Ｇが接続されている。ちな
みに、実施例の場合、炉１）の操業時には、冷却室１３
内が常時大気圧状態を維持できるよう、大気圧より若干
加圧（約２０ａｍ　Ｈ２０）　Ｌ／て窒素ガスを流出さ
せるものであるそして、この冷却室１３は、従来の冷却
室３のように操業時に真空状態を維持する必要がなく、
窒素ガス雰囲気の大気圧状態を維持できればよいため、
その外壁を高強度の構造にしたり、真空シール材等を利
用しなくともよい。

なお、１９は、被熱物Ｍの油ｉｆ＠　１３　ａへの没入
・引上げを行なう昇降台であり、冷却室１３外に設けら
れたエアシンリダ３４により駆動されるものである。３
２は、流量調整器３３を備えた窒素ガスの廃棄用管路で
ある。

また、この炉１）の前方には、装入扉１５の位置に対応
して被熱物Ｍの装入用コンベヤ３５が配設され、炉１）
の後方には、搬出扉１７の位置に対応して被熱物Ｍの搬
出用コンベヤ３フが配設されている。

そして、装入用コンベヤ３５内には、装入扉１５解放時
装入用コンベヤ３５上の被熱物Ｍを加熱室１２内の炉床
レール１８上の所定位置に移送可能な押出ロッド３６が
設けられている。また、搬出用コンベヤ３７内には、先
端を冷却室１３内に挿入させ、中間真空Ｊ７ｉ１）６の
解放時に加熱室１２内の被熱物Ｍを冷却室１３内の昇降
台１９上に移送させたり、また、排出扉１７の解放時に
冷却室１３内の被熱物Ｍ、を炉１）外へ搬出させたりす
る引出ロッド３８が配設されている。

なお、押出ロッド３６や引出ロッド３８は、被熱物Ｍの
移送時、上面に被熱物Ｍをそれぞれ載置させているパレ
ットＰを引掛け、このパレットＰを介して被熱物Ｍの移
送を行なうものである。

つぎに、実施例の真空浸炭炉１）の操業について説明す
る（第２表参照）。

まず、予め、加熱室１２を大気圧状態で所定の温度に加
熱しておくとともに、流量調整器３１を調整して窒素ガ
ス源Ｇから冷却室１３内へ所定流量の窒素ガスを供給し
、冷却室！３内を大気圧状態の窒素ガス雰囲気としてお
く。なお、各界１５・１６・１７は閉鎖させておく。

第１工程 装入扉１５を開放し、押出ロッド３６を使用して装入用
コンベヤ３５上の第１被熱物Ｍ１を炉床レール１８上の
所定位置に移送し、第１被熱物Ｍ１を加熱室１２へ装入
する。そして直ちに装入扉１５を閉鎖する。

第２工程 電磁弁２２を開いて加熱室１２を真空状態に減圧すると
ともに、第１被熱物Ｍ１を所定の浸炭温度まで昇温均熱
加熱し、その後電磁弁２２を閉じる。

そして、所定の浸炭温度を維持した状態で、電磁弁２４
を開いて加熱室１２内に浸炭ガスを所定流量で所定時間
併給し、′ｙ％１被熱物Ｍ１を浸炭する。

その後、高温を維持した状態で、電磁弁２４を閉じると
ともに、再び電磁弁２２を開いて加熱室１２内を真空状
態とし、浸炭された第１被熱物Ｍ１の表層部の炭素の芯
部への拡散を行なう。

そしてその後、第１被熱物Ｍ１を油焼入に最適な温度と
なるよう降温均熱加熱する。

第３工程 電磁弁２２を閉じるとともに電磁弁２９を開き、加熱室
１２内に窒素ガスを供給して、加熱室１２を冷却室１３
と同様な大気圧状態の窒素ガス雰囲気とし、その後、中
間真空扉１６を開放する。

そして、引出ロッド３８を使用し、炉床レール１８上の
第１被熱物Ｍ１を昇降台１９上に移送して、第１被熱物
Ｍ１を冷却室１３へ移送し、その後、中間真空扉１６を
閉鎖する。ちなみに、この第１被熱物Ｍ１の移送時では
、加熱室１２と冷却室１３とが共に窒素ガス雰囲気とな
っていることから、第１被熱物Ｍ１は、酸化されること
がなく、支障なく移送される。

第４工程 エアシリンダ３４を作動させて昇降台１９を降下させ、
第１被熱物Ｍ１を油４ｉ　１３　ａ内に投入して油焼入
する。

これと同時に、装入扉１５を開放し、押出ロッド３６を
介して装入用コンベヤ３５上の後続の第２被熱物Ｍ２を
加熱室１２の炉床レール１８上の所定位置に装入し、そ
の後直ちに装入扉１５を閉鎖する。その際、加熱室１２
内には空気が流入することから、発熱体１２ａや断熱材
１２ｂに付着していた浸炭ガスの煤が焼除され、加熱室
１２内の清浄化が図れる。

第５工程 エアシリンダ３４を介して油槽１３ａ中の昇降台１９及
び第１被熱物Ｍ１を上昇させて元の位置に戻す。そして
、搬出扉１７を開放し、引出ロッド３８を介して昇降台
１９上から搬出用コンベヤ３７上（第１被熱物Ｍ１を移
送し、第１被熱物Ｍ１を冷却室１３から撤出後、搬出５
ｉ１）７を閉鎖する、また、加熱室１２内では、第２工
程と同様に第２被熱物Ｍ２を処理する。

その後、定常状態では、第３・４・５工程が繰り返され
る。

したがって、この実施例では、冷却室１３を真空状態と
しなくとも支障なく被熱物Ｍの処理が行なえることから
、既述の発明の作用・効果の欄で述べたと同様な効果を
奏する。

そしてまた、この実施例では、可動する装入扉１５・中
間真空扉１６・搬出扉１７・昇降台１９・炉１）内での
被熱物Ｍ移送用の押出・引出ロッド３６・３８等が全て
真空容器１４内に配設されておらず、自動操業する場合
、各可動部品の位置確認用の検出センサを真空容器１４
外に配置させることができ、自動操業時の機構を単純化
でき、自動操業時のハード及びソフトの面で好都合とな
る。

ちなみに、従来の炉１を自動操業させる場合には、真空
中で各種検出スイッチを作動させることがそれらの接点
の寿命を著しく短かくさせることから、各可動部品の位
置にカムやカムロッド等を配置させて、そのカムロッド
等の端部を真空容器外へ出し、その端部の動きを検出ス
イッチで検出するように構成する必要があり、複雑な機
構となっていた。

なお、実施例では常時冷却室１３を大気圧状態の窒素ガ
ス雰囲気としておき、加熱室１２から冷却室１３への被
熱物Ｍの移送時、加熱室１２も大気圧状態の窒素ガス雰
囲気とし、モして被熱物Ｍを移送させるものを示した。

しかし、実施例の場合、加熱室１２から冷却室１３へ移
送して被熱物Ｍを油焼入するまでの時間が比較的短かい
ことから、酸化させても支障がない被熱物を浸炭処理す
る場合には、冷却室１３や加熱室１２内を窒素ガス雰囲
気としなくともよい、すなわち、浸炭処理後、ショツト
ブラスト装置でパリ取り作業を行なうような場合には、
被熱物Ｍ表面に薄い酸化膜が形成されても、その後のパ
リ取り作業中に光輝肌を得ることがでるからである。

第１表　従来の真空浸炭炉の工程 第２工程（第５工程）は 浸炭、拡散、ＩＡ埋も含む 第２表　発明した真空浸炭炉の工程

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す真空浸炭炉の断面図、
第２図は従来の炉を示す断面図である。 １）・・・真空浸炭炉、 １２・・・加熱室、 １２ａ・・・発熱体、 １２ｂ・・・断熱材、 １３・・・冷却室、 １３ａ・・・油槽、 １４・・・真空容器、 １５・・・装入扉、 １６・・・中間真空扉、 １７・・・搬出扉、 Ｍ・・・被熱物、 ■・・・真空排気源、 Ｃ・・・浸炭ガス源、 Ｇ・・・（不活性ガス源）窒素ガス源。 第２図 自　　　発　　　補　　　正 手続補正書 １、事件の表示 昭和６２年　特　許　願　第０９８３３８号２、発明の
名称 真空浸炭炉とその操業方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　特　　許　　出　　願　　人住所 氏　名　　　　　　　　杉　　山　　道　　生明細書の
「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」の各欄 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 （２）明細書第６頁第９〜１０行ｒ・・・に不可欠な油
焼入の油槽３ａを備えた大きな・・・」を「・・・に不
可欠な焼入を行なう油槽３ａ等を備えた大きな・・・」
と補正する。 （３）同第７頁第１４行「・・・させ、内部に油槽を備
えるとともに・・・」を「・・・させ、内部に冷却手段
を備えるとともに」と補正する。 （４）同第８頁第１８行「第１被熱物を油焼入するとと
もに、・・・」を「第１被熱物を冷却手段により焼入す
るとともに、・・・」と補正する。 （５）同第９頁第２行「搬出扉を開放して油焼入した第
１・・・」を「搬出扉を開放して焼入した第１・・・」
と補正する。 （６）同第９頁第１２行「・・・の不活性ガス雰囲気で
油焼入され、」を「・・・の不活性ガス雰囲気で焼入さ
れ、」と補正する。 （７）同第１３頁第１５行「・・・に接続され、内部に
油焼入を行なう油槽」を「・・・に接続され、内部に焼
入を行なう冷却手段として油槽」と補正する（８）同第
１７頁第７行「・・・、第１被熱物Ｍ１を油焼入に最適
」を「・・・、第１被熱物Ｍ１を焼入に最適」と補正す
る。 （９）同第２０頁第１９行の次の行に次の文を挿入する
。 「また、実施例では、被熱物を焼入する冷却手段として
、油槽１３ａを利用するものを示したが、他に、水や水
溶性冷却剤等の焼入液、あるいはガス冷却や流動層冷却
等の周知の冷却手段を利用してもよい。」 ２、特許請求の範囲 （１）加熱室と冷却室との２室からなる真空浸炭炉であ
って、 前記加熱室が、高温環境の真空中及び大気中において化
学的・強度的に安定な発熱体及び断熱材から形成され、
前部に被熱物装入用の装入扉を備えるとともに後部に被
熱物搬出用の中間真空扉を備え、さらに真空排気源、浸
炭ガス源、及び不活性ガス源を接続させ、 前記冷却室が、前記中間真空扉を介して前部を前記加熱
室に接続させ、内部に血工土上を備えるとともに後部゛
に被熱物搬出用の搬出扉を備え、さらに不活性ガス源を
接続させ、 前記加熱室のみが真空容器に覆われている、ことを特徴
とする真空浸炭炉。 （２）予め加熱室を大気圧状態で所定温度に加熱してお
くとともに、冷却室を不活性ガスの供給により常時大気
圧状態の不活性ガス雰囲気としておき、下記第１〜５工
程を行なうことを特徴とする真空浸炭炉の操業方法。 ■第１工程 装入扉を開放して第１被熱物を加熱室へ装入し、装入扉
を閉鎖する。 ■第２工程 加熱室において第１被熱物を真空加熱し、その後、第１
被熱物を浸炭、拡散、及び降温均熱加熱する。 ■第３工程 加熱室を不活性ガスの供給により大気圧状態として中間
真空扉を開放し、第１被熱物を冷却室へ移送し、その後
、中間真空扉を閉鎖する。 ■第４工程 第１被熱物を土工王旦且主ユ焼入するとともに、装入扉
を開放し、て第２被熱物を加熱室へ装入し、その後、装
入扉を閉鎖する。 ■第５工程 搬出扉を開放し」大した第１被熱物な冷却室から搬出し
、その後、搬出扉を閉鎖し、その間に後続の第２被熱物
を第２工程以降で一理する。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）加熱室と冷却室との２室からなる真空浸炭炉であ
   つて、 前記加熱室が、高温環境の真空中及び大気中において化
   学的・強度的に安定な発熱体及び断熱材から形成され、
   前部に被熱物装入用の装入扉を備えるとともに後部に被
   熱物搬出用の中間真空扉を備え、さらに真空排気源、浸
   炭ガス源、及び不活性ガス源を接続させ、 前記冷却室が、前記中間真空扉を介して前部を前記加熱
   室に接続させ、内部に油槽を備えるとともに後部に被熱
   物搬出用の搬出扉を備え、さらに不活性ガス源を接続さ
   せ、 前記加熱室のみが真空容器に覆われている、ことを特徴
   とする真空浸炭炉。
2. （２）予め加熱室を大気圧状態で所定温度に加熱してお
   くとともに、冷却室を不活性ガスの供給により常時大気
   圧状態の不活性ガス雰囲気としておき、下記第１〜５工
   程を行なうことを特徴とする真空浸炭炉の操業方法。 ［１］第１工程 装入扉を開放して第１被熱物を加熱室へ装入し、装入扉
   を閉鎖する。 ［２］第２工程 加熱室において第１被熱物を真空加熱し、その後、第１
   被熱物を浸炭、拡散、及び降温均熱加熱する。 ［３］第３工程 加熱室を不活性ガスの供給により大気圧状態として中間
   真空扉を開放し、第１被熱物を冷却室へ移送し、その後
   、中間真空扉を閉鎖する。 ［４］第４工程 第１被熱物を油焼入するとともに、装入扉を開放して第
   ２被熱物を加熱室へ装入し、その後、装入扉を閉鎖する
   。 ［５］第５工程 搬出扉を開放して油焼入した第１被熱物を冷却室から搬
   出し、その後、搬出扉を閉鎖し、その間に後続の第２被
   熱物を第２工程以降で処理する。