JPS63250501A - 複合画像センサ - Google Patents
複合画像センサInfo
- Publication number
- JPS63250501A JPS63250501A JP8519487A JP8519487A JPS63250501A JP S63250501 A JPS63250501 A JP S63250501A JP 8519487 A JP8519487 A JP 8519487A JP 8519487 A JP8519487 A JP 8519487A JP S63250501 A JPS63250501 A JP S63250501A
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- JP
- Japan
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- image
- sensor
- measurement
- dimensional
- dimensional sensor
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- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(A) 産業上の利用分野
この発明は、画像センサを利用して対象の寸法等を測定
する装置に関するものである。
する装置に関するものである。
(B) 従来の技術
二次元画像センサを利用した測定装置においては、長さ
の分解能の2乗に比例してデータ量が増加する。このた
め二次元面内の任意の部分の長さを測定出来る高速かつ
高精度な装置を作るのは難しかった。
の分解能の2乗に比例してデータ量が増加する。このた
め二次元面内の任意の部分の長さを測定出来る高速かつ
高精度な装置を作るのは難しかった。
(C) 発明が解決しようとする問題点産業分野にお
ける測定では、いくら精度の高い結果が得られても、所
定の時間より長くかかつては価値のない場合が多い。
ける測定では、いくら精度の高い結果が得られても、所
定の時間より長くかかつては価値のない場合が多い。
本発明は、二次元の測定対象の必要な部分の寸法計測を
、短時間に精度よく行うことを回部にするしのである。
、短時間に精度よく行うことを回部にするしのである。
(D> 問題を解決するため0手段
問題解決するための手段を図に沿って説明する。
第1図は、本発明の構成を示すブロック口である。まず
、被写体〈11)の像がレンズ系(10)により二次元
センサ(6)上に結像するような光学系を構成する。更
にビームスプリッタ−(9)等の手段を用いて、一次元
センサ上にも同じ像が結像されるように構成する。
、被写体〈11)の像がレンズ系(10)により二次元
センサ(6)上に結像するような光学系を構成する。更
にビームスプリッタ−(9)等の手段を用いて、一次元
センサ上にも同じ像が結像されるように構成する。
二次元センサ及び一次元センサからの信号は画像処理系
に入力される。
に入力される。
画像処理系はマイクロプロセッサと、画(象センサイン
ターフエース及び画像処理装置のためのプログラムを内
蔵する従来の画像処理装置からなる。
ターフエース及び画像処理装置のためのプログラムを内
蔵する従来の画像処理装置からなる。
また画像処理系は、一次元センサの位置決めを行う一次
元センサコントロール部へのコントロールは号を出力す
るインターフェースを内蔵している。
元センサコントロール部へのコントロールは号を出力す
るインターフェースを内蔵している。
一次元センナの構成例を第2I2Iに示す、一次元セン
サ(4)は、テーブル(2)を回転させるアクチュエー
タ(1)と、テーブル上の一次元センサ(4)をスライ
ドさせるアクチュエータ(3)により、被写体(11)
の像が結像する平面内の任意の位置に位置決め出来る。
サ(4)は、テーブル(2)を回転させるアクチュエー
タ(1)と、テーブル上の一次元センサ(4)をスライ
ドさせるアクチュエータ(3)により、被写体(11)
の像が結像する平面内の任意の位置に位置決め出来る。
画像処理の手順を第3図に沿って説明する。
画【象処理系には次のような手順で測定を行うプログラ
ムを格納する。
ムを格納する。
(イ) 二次元センサからの画像信号を処理し、固定さ
れた2次元センナ視野(14)内にある測定対象の画(
9,(12’)の特徴点等を検出する。
れた2次元センナ視野(14)内にある測定対象の画(
9,(12’)の特徴点等を検出する。
(ロ) あらかじめ与えられたパラメータと比較し、前
記画像処理信号に基づき画像(12)の中で精密なJj
ll定が必要とされる測定部(15)の位置を算出する
。
記画像処理信号に基づき画像(12)の中で精密なJj
ll定が必要とされる測定部(15)の位置を算出する
。
(ハ) 前記算出データに基づいて、一次元センサの視
野(13)を測定部(15)に位置決、V)するための
信号を出力する。
野(13)を測定部(15)に位置決、V)するための
信号を出力する。
(ニ) 一次元センサからの信号を処理し、精密な長さ
方向の測定結果を算出する。
方向の測定結果を算出する。
(E) 発明の効果
画像センサを用いた寸法計測において、本当に精密な測
定が要求されるのは、被写体のごく一部であることが多
い、しかし高分解能が得られる一次元センサのみを用い
れば、被写体のIi面決め企正確に行わなければならず
二次元センサの持つフレキシビリティが失われてしまう
。
定が要求されるのは、被写体のごく一部であることが多
い、しかし高分解能が得られる一次元センサのみを用い
れば、被写体のIi面決め企正確に行わなければならず
二次元センサの持つフレキシビリティが失われてしまう
。
本発明によれば一次元センサと二次元センサの特徴をう
まく組合せ、二次元センサで粗い画像計測を行った後、
一次元センサによる精密な;!lll定が行える。
まく組合せ、二次元センサで粗い画像計測を行った後、
一次元センサによる精密な;!lll定が行える。
このためラフな位1におかれた被写体に対しても、必要
な部分の精密な長さ測定が短時間に行え、産業上の効果
には大きなものがある。
な部分の精密な長さ測定が短時間に行え、産業上の効果
には大きなものがある。
第1図は本発明の構成を示す図
第2図は一次元センサの取付部の実施例を示す図第3図
は測定の手順を示す図 (1)、(3)はアクチュエータ (2)は回転テーブル (4)は一次元センサ 図 面 第1図 第2図 第3図 センサ視野 (全走査時)
は測定の手順を示す図 (1)、(3)はアクチュエータ (2)は回転テーブル (4)は一次元センサ 図 面 第1図 第2図 第3図 センサ視野 (全走査時)
Claims (1)
- 回転、平行移動が自在に行えるよう、位置決めテーブル
に取付けた一次元画像センサと、固定した二次元画像セ
ンサに、同一の像を投影し、まず二次元センサからの信
号を画像処理系で処理し、粗い測定を行った後、一次元
センサを前記測定データに基づき必要な位置へ移動させ
、一次元センサで精密な測定を行うことを特徴とする複
合画像センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8519487A JPS63250501A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 複合画像センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8519487A JPS63250501A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 複合画像センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63250501A true JPS63250501A (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=13851837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8519487A Pending JPS63250501A (ja) | 1987-04-06 | 1987-04-06 | 複合画像センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63250501A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6266775A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-26 | Tokinaa Kogaku Kk | 電子カメラ |
-
1987
- 1987-04-06 JP JP8519487A patent/JPS63250501A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6266775A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-26 | Tokinaa Kogaku Kk | 電子カメラ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
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