JPH0682218A - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
- Publication number
- JPH0682218A JPH0682218A JP5078106A JP7810693A JPH0682218A JP H0682218 A JPH0682218 A JP H0682218A JP 5078106 A JP5078106 A JP 5078106A JP 7810693 A JP7810693 A JP 7810693A JP H0682218 A JPH0682218 A JP H0682218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- coordinate value
- screen
- cursor
- position coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/08—Optical projection comparators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定
ができる光学式測定装置を提供する。 【構成】 カーソル2をスクリーン13上に結像された
測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に
位置させたのち、座標値取込スイッチを押してカーソル
の座標値を順次取り込んでいけば、これらの両座標値を
結ぶ軌跡がスクリーン13の十字線の中心を通過するよ
うに載物台12を移動させる相対移動軌跡を含む測定プ
ログラムが作成されるから、実際に載物台を移動させな
くてもよく、また、測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰でも
が簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができる。
ができる光学式測定装置を提供する。 【構成】 カーソル2をスクリーン13上に結像された
測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に
位置させたのち、座標値取込スイッチを押してカーソル
の座標値を順次取り込んでいけば、これらの両座標値を
結ぶ軌跡がスクリーン13の十字線の中心を通過するよ
うに載物台12を移動させる相対移動軌跡を含む測定プ
ログラムが作成されるから、実際に載物台を移動させな
くてもよく、また、測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰でも
が簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、載物台に載置された測
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備え、この光学系と測定対象物とを相対移動させながら
スクリーン上に結像された画像から測定対象物の寸法な
どを測定する光学式測定装置に関する。
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備え、この光学系と測定対象物とを相対移動させながら
スクリーン上に結像された画像から測定対象物の寸法な
どを測定する光学式測定装置に関する。
【0002】
【背景技術】投影機の中には、測定対象物の画像をスク
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを予め記憶した相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムに従って相対移動させ、その相対移動過程において、
エッジ検出センサが画像の測定エッジ部の通過を検出し
たとき前記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移
動量から測定対象物の寸法などを求めるCNC投影機が
知られている。
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを予め記憶した相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムに従って相対移動させ、その相対移動過程において、
エッジ検出センサが画像の測定エッジ部の通過を検出し
たとき前記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移
動量から測定対象物の寸法などを求めるCNC投影機が
知られている。
【0003】従来、CNC投影機において、光学系と載
物台とを相対移動させる相対移動軌跡を含む測定プログ
ラムを作成するには、測定対象物を載置した載物台を実
際に移動させながら測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に一致させて測定箇所を順番に指定すること
により測定プログラムを作成する方法、あるいは、図面
上のデータを基に測定箇所の位置データをパソコンに直
接キー入力して測定箇所を順番に指定し、その測定箇所
を基に測定プログラムを作成する方法、などが知られて
いる。
物台とを相対移動させる相対移動軌跡を含む測定プログ
ラムを作成するには、測定対象物を載置した載物台を実
際に移動させながら測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に一致させて測定箇所を順番に指定すること
により測定プログラムを作成する方法、あるいは、図面
上のデータを基に測定箇所の位置データをパソコンに直
接キー入力して測定箇所を順番に指定し、その測定箇所
を基に測定プログラムを作成する方法、などが知られて
いる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の方法で
は、測定箇所の指定に実際に載物台を移動させなければ
ならないから、その移動に時間がかかるので能率的でな
い。しかも、載物台を移動させたのち、測定対象物の測
定箇所をスクリーン上の十字線に正確に一致させなけれ
ばならないから、微妙な移動操作が必要な上、個人差が
生じやすいという欠点もある。
は、測定箇所の指定に実際に載物台を移動させなければ
ならないから、その移動に時間がかかるので能率的でな
い。しかも、載物台を移動させたのち、測定対象物の測
定箇所をスクリーン上の十字線に正確に一致させなけれ
ばならないから、微妙な移動操作が必要な上、個人差が
生じやすいという欠点もある。
【0005】また、後者の方法では、図面上のデータを
基に測定箇所の位置データをパソコンに直接キー入力し
なければならないから、時間がかかる上、誰でもが簡単
にできるものではない。従って、特殊技能を持った専門
の作業者に頼らざるを得ないから、CNC投影機の普及
の妨げとなっている。
基に測定箇所の位置データをパソコンに直接キー入力し
なければならないから、時間がかかる上、誰でもが簡単
にできるものではない。従って、特殊技能を持った専門
の作業者に頼らざるを得ないから、CNC投影機の普及
の妨げとなっている。
【0006】ここに、本発明の目的は、このような従来
の欠点を解消し、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所
の指定ができる光学式測定装置を提供することにある。
の欠点を解消し、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所
の指定ができる光学式測定装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】そのため、第1の発明
は、載物台に載置された測定対象物の光学画像をスクリ
ーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定装置にお
いて、前記スクリーン上の定位置において光学画像内の
測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、前
記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用い
てスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値検
出手段と、このカーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の2つの指定点を結ぶ線分上の像領
域が前記エッジ検出センサに検出されるように前記載物
台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記エッジ
検出センサが測定エッジ部の通過を検出したときの前記
相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求める演算
手段と、を設けたことを特徴とする。
は、載物台に載置された測定対象物の光学画像をスクリ
ーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定装置にお
いて、前記スクリーン上の定位置において光学画像内の
測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、前
記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用い
てスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値検
出手段と、このカーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の2つの指定点を結ぶ線分上の像領
域が前記エッジ検出センサに検出されるように前記載物
台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記エッジ
検出センサが測定エッジ部の通過を検出したときの前記
相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求める演算
手段と、を設けたことを特徴とする。
【0008】また、第2の発明は、載物台に載置された
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上を移動可
能に設けられたカーソルを用いてスクリーンに結像され
た光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を
検出するカーソル位置座標値検出手段と、このカーソル
位置座標値検出手段によって指定された光学画像内の指
定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線分上
の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるように前
記載物台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記
エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出したとき
の前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求め
る演算手段と、を設けたことを特徴とする。
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上を移動可
能に設けられたカーソルを用いてスクリーンに結像され
た光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を
検出するカーソル位置座標値検出手段と、このカーソル
位置座標値検出手段によって指定された光学画像内の指
定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線分上
の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるように前
記載物台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記
エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出したとき
の前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求め
る演算手段と、を設けたことを特徴とする。
【0009】また、第3の発明は、載物台に載置された
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上に互いに
直交する方向に沿って所定間隔ピッチで配列された導体
よりなるグリッドパターンを含み、前記スクリーン上を
移動可能なカーソルを用いてスクリーン上に結像された
光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を検
出する第1のカーソル位置座標値検出手段と、透明な材
料によって平板状に形成された透視ボードおよびこの透
視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定間隔ピッ
チで配列された導体よりなるグリッドパターンを含み、
前記透視ボード上を移動可能なカーソルによって透視ボ
ード上に透視された描画内の任意箇所を指定したときの
位置座標値を検出する第2のカーソル位置座標値検出手
段と、これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段に
よって指定された光学画像内の2つの指定点を結ぶ線分
上の像領域、または、カーソル位置座標値検出手段によ
って指定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定
方向へ向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検
出センサに検出されるように前記載物台と光学系とを相
対移動させる制御手段と、前記エッジ検出センサが測定
エッジ部の通過を検出したときの前記相対移動量を用い
て測定対象物の寸法などを求める演算手段と、を設けた
ことを特徴とする。
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上に互いに
直交する方向に沿って所定間隔ピッチで配列された導体
よりなるグリッドパターンを含み、前記スクリーン上を
移動可能なカーソルを用いてスクリーン上に結像された
光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を検
出する第1のカーソル位置座標値検出手段と、透明な材
料によって平板状に形成された透視ボードおよびこの透
視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定間隔ピッ
チで配列された導体よりなるグリッドパターンを含み、
前記透視ボード上を移動可能なカーソルによって透視ボ
ード上に透視された描画内の任意箇所を指定したときの
位置座標値を検出する第2のカーソル位置座標値検出手
段と、これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段に
よって指定された光学画像内の2つの指定点を結ぶ線分
上の像領域、または、カーソル位置座標値検出手段によ
って指定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定
方向へ向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検
出センサに検出されるように前記載物台と光学系とを相
対移動させる制御手段と、前記エッジ検出センサが測定
エッジ部の通過を検出したときの前記相対移動量を用い
て測定対象物の寸法などを求める演算手段と、を設けた
ことを特徴とする。
【0010】また、第4の発明は、第1〜第3の発明の
いずれかにおいて、前記エッジ検出センサは、前記光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその位
置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッジ
部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記線
分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよう
に前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を含
む、ことを特徴とする。
いずれかにおいて、前記エッジ検出センサは、前記光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその位
置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッジ
部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記線
分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよう
に前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を含
む、ことを特徴とする。
【0011】
【作用】第1の発明では、カーソルを用いてスクリーン
上に結像された測定対象物の画像の任意の2点を指定す
ると、その指定された2つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分が求められ、この線分がスクリーン上の定位置を通
過するよう載物台と光学系との相対移動が制御される。
従って、測定者は、カーソルをスクリーン上に結像され
た測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点
に位置させ、各点を指定すれば、その2つの指定点の位
置座標値を結ぶ線分、つまり、測定エッジ部を含む像領
域がスクリーン上の定位置を通過するよう載物台と光学
系との相対移動が制御されるから、実際に載物台を移動
させなくてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をス
クリーン上の十字線に正確に一致させなくてもよいか
ら、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができ
るとともに、個人差のない安定した高精度な測定を保障
できる。
上に結像された測定対象物の画像の任意の2点を指定す
ると、その指定された2つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分が求められ、この線分がスクリーン上の定位置を通
過するよう載物台と光学系との相対移動が制御される。
従って、測定者は、カーソルをスクリーン上に結像され
た測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点
に位置させ、各点を指定すれば、その2つの指定点の位
置座標値を結ぶ線分、つまり、測定エッジ部を含む像領
域がスクリーン上の定位置を通過するよう載物台と光学
系との相対移動が制御されるから、実際に載物台を移動
させなくてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をス
クリーン上の十字線に正確に一致させなくてもよいか
ら、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができ
るとともに、個人差のない安定した高精度な測定を保障
できる。
【0012】第2の発明では、カーソルを用いてスクリ
ーン上に結像された測定対象物の画像の任意の1点を指
定すると、その指定された指定点を起点としかつ規定方
向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスク
リーン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相
対移動が制御される。従って、測定者は、カーソルをス
クリーン上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ
部またはその近傍に位置させ、その点を指定すれば、そ
の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線
分、つまり、測定エッジ部を含む像領域がスクリーン上
の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移動が
制御されるから、第1の発明より少ない指定点で同様な
効果を奏することができる。
ーン上に結像された測定対象物の画像の任意の1点を指
定すると、その指定された指定点を起点としかつ規定方
向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスク
リーン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相
対移動が制御される。従って、測定者は、カーソルをス
クリーン上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ
部またはその近傍に位置させ、その点を指定すれば、そ
の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線
分、つまり、測定エッジ部を含む像領域がスクリーン上
の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移動が
制御されるから、第1の発明より少ない指定点で同様な
効果を奏することができる。
【0013】第3の発明では、設計図などを下にして透
視ボードをおくと、透視ボード上には設計図に描かれた
描画が透視される。ここで、カーソルを用いて透視ボー
ド上に透視された描画の任意の2点または1点を指定す
ると、その指定された2つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分または指定された指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスクリー
ン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移
動が制御される。従って、実際の測定対象物を製作しな
くても、設計図などを基に誰でもが簡単にかつ短時間で
測定箇所の指定ができる。
視ボードをおくと、透視ボード上には設計図に描かれた
描画が透視される。ここで、カーソルを用いて透視ボー
ド上に透視された描画の任意の2点または1点を指定す
ると、その指定された2つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分または指定された指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスクリー
ン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移
動が制御される。従って、実際の測定対象物を製作しな
くても、設計図などを基に誰でもが簡単にかつ短時間で
測定箇所の指定ができる。
【0014】第4の発明では、エッジ検出センサが光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されているか
ら、画像歪みによる影響を全く受けることがなく、測定
時に像倍率を変化させても測定のプログラムデータを変
更する必要がないなどの効果が得られる。
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されているか
ら、画像歪みによる影響を全く受けることがなく、測定
時に像倍率を変化させても測定のプログラムデータを変
更する必要がないなどの効果が得られる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の光学式測定装置を図面に示す
実施例に基づいて詳細に説明する。第1実施例 第1実施例の光学式測定装置を図1〜図5に示す。同光
学式測定装置は、図1に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機1と、この投影機1で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するとともに、
その画像の測定エッジ部を検出するカーソル2と、この
カーソル2の位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出装置3と、このカーソル位置座標値検出装置3で検
出されたカーソル2の位置座標値を基に光学系と測定対
象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成する
一方、その測定プログラムに従って光学系と測定対象物
とを相対移動させるとともに、カーソル2によって画像
の測定エッジ部の通過が検出されたときの相対移動量を
取り込み、この移動量から測定対象物の寸法などを測定
する演算制御装置4とから構成されている。なお、5は
前記カーソル座標値検出装置3および演算制御装置4を
載置するスタンドである。
実施例に基づいて詳細に説明する。第1実施例 第1実施例の光学式測定装置を図1〜図5に示す。同光
学式測定装置は、図1に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機1と、この投影機1で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するとともに、
その画像の測定エッジ部を検出するカーソル2と、この
カーソル2の位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出装置3と、このカーソル位置座標値検出装置3で検
出されたカーソル2の位置座標値を基に光学系と測定対
象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成する
一方、その測定プログラムに従って光学系と測定対象物
とを相対移動させるとともに、カーソル2によって画像
の測定エッジ部の通過が検出されたときの相対移動量を
取り込み、この移動量から測定対象物の寸法などを測定
する演算制御装置4とから構成されている。なお、5は
前記カーソル座標値検出装置3および演算制御装置4を
載置するスタンドである。
【0016】前記投影機1は、投影機本体11を有す
る。投影機本体11には、上面に測定対象物を載置する
載物台12が互いに直交するX,Y,Z方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台12の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン13上に結像させる光学系14
が設けられている。前記載物台12は後述する移動機構
を構成するX,Y,Z駆動系16,17,18(図4参
照)によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Px,Py,Pz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン13上
には、図4に示す如く、互いに直交するXおよびY方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン15が設けられている。グリッドパターン1
5には、前記カーソル位置座標値検出装置3からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン15を構成するX方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Y方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
る。投影機本体11には、上面に測定対象物を載置する
載物台12が互いに直交するX,Y,Z方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台12の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン13上に結像させる光学系14
が設けられている。前記載物台12は後述する移動機構
を構成するX,Y,Z駆動系16,17,18(図4参
照)によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Px,Py,Pz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン13上
には、図4に示す如く、互いに直交するXおよびY方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン15が設けられている。グリッドパターン1
5には、前記カーソル位置座標値検出装置3からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン15を構成するX方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Y方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
【0017】前記カーソル2は、前記スクリーン13上
を移動される本体21を有する。本体21には、図2お
よび図3に示す如く、リング状に巻回された位置読取用
誘導コイル22、この誘導コイル22の近傍に設けられ
た読取位置決め用標板23、前記誘導コイル22の中心
軸線上に配置されスクリーン13上の画像を2分割する
プリズム24、このプリズム24によって分割された一
方の画像を拡大する拡大用レンズ25、画像のエッジ部
を検出するエッジ検出センサの光電変換部26A、この
光電変換部26Aに前記プリズム24によって分割され
た他方の画像を結像させるリレーレンズ27および画像
の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ28などがそ
れぞれ設けられている。前記誘導コイル22は、スクリ
ーン13と平行に移動され、誘導電流を出力する。前記
エッジ検出センサの光電変換部26Aは、誘導コイル2
2の中心(読取位置)を中心とする正方形の中心および
各角点に相当する位置に配設された光電変換素子を有す
る。前記読取位置決め用標板23には、誘導コイル22
の中心を指示するとともに、光電変換部26Aの各光電
変換素子の位置を決定する正方形の対角線方向を指示す
るターゲット29が設けられている。
を移動される本体21を有する。本体21には、図2お
よび図3に示す如く、リング状に巻回された位置読取用
誘導コイル22、この誘導コイル22の近傍に設けられ
た読取位置決め用標板23、前記誘導コイル22の中心
軸線上に配置されスクリーン13上の画像を2分割する
プリズム24、このプリズム24によって分割された一
方の画像を拡大する拡大用レンズ25、画像のエッジ部
を検出するエッジ検出センサの光電変換部26A、この
光電変換部26Aに前記プリズム24によって分割され
た他方の画像を結像させるリレーレンズ27および画像
の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ28などがそ
れぞれ設けられている。前記誘導コイル22は、スクリ
ーン13と平行に移動され、誘導電流を出力する。前記
エッジ検出センサの光電変換部26Aは、誘導コイル2
2の中心(読取位置)を中心とする正方形の中心および
各角点に相当する位置に配設された光電変換素子を有す
る。前記読取位置決め用標板23には、誘導コイル22
の中心を指示するとともに、光電変換部26Aの各光電
変換素子の位置を決定する正方形の対角線方向を指示す
るターゲット29が設けられている。
【0018】前記カーソル位置座標値検出装置3は、図
4に示す如く、前記グリッドパターン15を構成するX
およびY方向の導体に順番にスキャンパルスSPx,SP
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Sx,Sy および走査終
了信号Ex,Ey を出力する走査部31と、クロックパル
ス発生器32と、前記走査部31から走査開始信号Sx
が出力されてから走査終了信号Ex が出力されるまでの
間クロックパルス発生器32からのクロックパルスCL
Kの数を計数するXカウンタ33と、前記走査部31か
ら走査開始信号Sy が出力されてから走査終了信号Ey
が出力されるまでの間クロックパルス発生器32からの
クロックパルスCLKの数を計数するYカウンタ34
と、前記誘導コイル22の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ33,34の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部35とから構成されている。な
お、各カウンタ33,34は、走査終了信号Ex,Ey に
よってクリアされる。
4に示す如く、前記グリッドパターン15を構成するX
およびY方向の導体に順番にスキャンパルスSPx,SP
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Sx,Sy および走査終
了信号Ex,Ey を出力する走査部31と、クロックパル
ス発生器32と、前記走査部31から走査開始信号Sx
が出力されてから走査終了信号Ex が出力されるまでの
間クロックパルス発生器32からのクロックパルスCL
Kの数を計数するXカウンタ33と、前記走査部31か
ら走査開始信号Sy が出力されてから走査終了信号Ey
が出力されるまでの間クロックパルス発生器32からの
クロックパルスCLKの数を計数するYカウンタ34
と、前記誘導コイル22の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ33,34の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部35とから構成されている。な
お、各カウンタ33,34は、走査終了信号Ex,Ey に
よってクリアされる。
【0019】前記演算制御装置4は、図4に示す如く、
キーボード41、メモリ42,43、表示器44、プリ
ンタ45および演算制御部46などを有する。前記キー
ボード41からは、設定モードや測定モードを選択する
ための選択指令、設定モードにおいて測定項目(例え
ば、円の直径や中心を求める項目など)の指定データな
どが入力される。前記メモリ42には、例えば、取り込
んだ位置座標値や演算結果などが格納される。前記メモ
リ43には、測定プログラムが格納される。前記演算制
御部46は、設定モードにおいて、座標値取込スイッチ
28が押されたときカーソル位置座標値検出装置3で検
出されたカーソル2の位置座標値を取り込み、これらの
位置座標値を基に光学系14と測定対象物を載置する載
物台12との相対移動軌跡を算出するとともに、これら
の相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成し、これを
メモリ43に格納する。また、測定モードにおいて、測
定プログラムの相対移動軌跡に従って光学系14と測定
対象物を載置する載物台12とを相対移動させるととも
に、カーソル2のエッジ検出センサ26によって画像の
測定エッジ部の通過が検出されたとき、各方向の移動量
Px,Py,Pz を取り込み、これらを基に測定部位の寸法
などを算出する。ここに、演算制御装置4が本発明の制
御手段および演算手段を形成している。
キーボード41、メモリ42,43、表示器44、プリ
ンタ45および演算制御部46などを有する。前記キー
ボード41からは、設定モードや測定モードを選択する
ための選択指令、設定モードにおいて測定項目(例え
ば、円の直径や中心を求める項目など)の指定データな
どが入力される。前記メモリ42には、例えば、取り込
んだ位置座標値や演算結果などが格納される。前記メモ
リ43には、測定プログラムが格納される。前記演算制
御部46は、設定モードにおいて、座標値取込スイッチ
28が押されたときカーソル位置座標値検出装置3で検
出されたカーソル2の位置座標値を取り込み、これらの
位置座標値を基に光学系14と測定対象物を載置する載
物台12との相対移動軌跡を算出するとともに、これら
の相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成し、これを
メモリ43に格納する。また、測定モードにおいて、測
定プログラムの相対移動軌跡に従って光学系14と測定
対象物を載置する載物台12とを相対移動させるととも
に、カーソル2のエッジ検出センサ26によって画像の
測定エッジ部の通過が検出されたとき、各方向の移動量
Px,Py,Pz を取り込み、これらを基に測定部位の寸法
などを算出する。ここに、演算制御装置4が本発明の制
御手段および演算手段を形成している。
【0020】次に、本実施例の作用を説明する。まず、
測定プログラムを作成し、記憶させるには、キーボード
41において、設定モードを選択する。この状態におい
て、載物台12上に測定対象物を載置すると、光学系1
4によって測定対象物の画像がスクリーン13上に結像
されるから、そのスクリーン13上に結像された画像の
測定箇所をカーソル2によって順番に指定していく。こ
の際、測定箇所を広い範囲で網羅できるように、比較的
低い像倍率(例えば、10倍)に設定しておく。
測定プログラムを作成し、記憶させるには、キーボード
41において、設定モードを選択する。この状態におい
て、載物台12上に測定対象物を載置すると、光学系1
4によって測定対象物の画像がスクリーン13上に結像
されるから、そのスクリーン13上に結像された画像の
測定箇所をカーソル2によって順番に指定していく。こ
の際、測定箇所を広い範囲で網羅できるように、比較的
低い像倍率(例えば、10倍)に設定しておく。
【0021】例えば、図5に示すように、スクリーン1
3上に結像された画像の孔Hの直径を測定しようとする
場合、その孔Hの輪郭円の任意の3箇所P1,P2,P3 を
挟んだ両側の点をカーソル2によって順番に指定してい
く。まず、カーソル2をスクリーン13上に沿って移動
させていくと、そのカーソル2の位置座標値がカーソル
位置座標値検出部35に更新記憶されていく。カーソル
2の拡大レンズ25を覗きながら、ターゲット29の中
心をP1 を挟んだ一方側の任意点aに位置させたのち、
座標値取込スイッチ28を押すと、そのときのカーソル
2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部35から演
算制御部46に取り込まれる。次に、ターゲット29の
中心をP1 を挟んだ他方側の任意点bに位置させたの
ち、座標値取込スイッチ28を押すと、そのときのカー
ソル2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部35か
ら演算制御部46に取り込まれる。ここで、aは測定作
業を開始する座標値、bが測定作業を終了する座標値を
意味する。従って、測定精度とは無関係であり、測定地
点を通過することを目的とした概略の座標でよい。
3上に結像された画像の孔Hの直径を測定しようとする
場合、その孔Hの輪郭円の任意の3箇所P1,P2,P3 を
挟んだ両側の点をカーソル2によって順番に指定してい
く。まず、カーソル2をスクリーン13上に沿って移動
させていくと、そのカーソル2の位置座標値がカーソル
位置座標値検出部35に更新記憶されていく。カーソル
2の拡大レンズ25を覗きながら、ターゲット29の中
心をP1 を挟んだ一方側の任意点aに位置させたのち、
座標値取込スイッチ28を押すと、そのときのカーソル
2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部35から演
算制御部46に取り込まれる。次に、ターゲット29の
中心をP1 を挟んだ他方側の任意点bに位置させたの
ち、座標値取込スイッチ28を押すと、そのときのカー
ソル2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部35か
ら演算制御部46に取り込まれる。ここで、aは測定作
業を開始する座標値、bが測定作業を終了する座標値を
意味する。従って、測定精度とは無関係であり、測定地
点を通過することを目的とした概略の座標でよい。
【0022】このようにして、残りのP2 およびP3 を
挟んだ両側の任意点c,dおよびe,fにターゲット2
9の中心を順次位置させて、これらの位置座標値をカー
ソル位置座標値検出部35から演算制御部46に取り込
む。すると、演算制御部46は、カーソル位置座標値検
出部35から取り込んだa,bの位置座標値を結ぶ直
線、c,dの位置座標値を結ぶ直線、e,fの位置座標
値を結ぶ直線をそれぞれ算出し、これらの直線がスクリ
ーン13上の十字線の中心を通過するような載物台12
の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ43に格納する。このとき、
設定モードにおける像倍率により座標値の換算補正が行
われるのは言うまでもない。
挟んだ両側の任意点c,dおよびe,fにターゲット2
9の中心を順次位置させて、これらの位置座標値をカー
ソル位置座標値検出部35から演算制御部46に取り込
む。すると、演算制御部46は、カーソル位置座標値検
出部35から取り込んだa,bの位置座標値を結ぶ直
線、c,dの位置座標値を結ぶ直線、e,fの位置座標
値を結ぶ直線をそれぞれ算出し、これらの直線がスクリ
ーン13上の十字線の中心を通過するような載物台12
の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ43に格納する。このとき、
設定モードにおける像倍率により座標値の換算補正が行
われるのは言うまでもない。
【0023】自動測定に当たっては、カーソル2を光学
系14の光軸上、つまり、スクリーン13上の十字線の
中心に位置させたのち、キーボード41の操作によって
メモリ43に格納されている測定プログラムを読み出
す。ここで、検出精度を高めるため、高い像倍率(例え
ば、100倍)に設定したのち、その測定プログラムの
実行を指令する。すると、演算制御部46は、読み出し
た測定プログラムの移動軌跡に従って載物台12を移動
させる。つまり、X駆動系16、Y駆動系17およびZ
駆動系18の駆動を制御しながら載物台12を移動させ
る。これにより、スクリーン13上に結像された画像の
測定エッジ部が十字線の中心を通過すると、この通過が
エッジ検出センサ26によって検出される。すると、そ
のときのX駆動系16、Y駆動系17およびZ駆動系1
8による各方向の移動量Px,Py,P z が取り込まれ、メ
モリ42に格納される。
系14の光軸上、つまり、スクリーン13上の十字線の
中心に位置させたのち、キーボード41の操作によって
メモリ43に格納されている測定プログラムを読み出
す。ここで、検出精度を高めるため、高い像倍率(例え
ば、100倍)に設定したのち、その測定プログラムの
実行を指令する。すると、演算制御部46は、読み出し
た測定プログラムの移動軌跡に従って載物台12を移動
させる。つまり、X駆動系16、Y駆動系17およびZ
駆動系18の駆動を制御しながら載物台12を移動させ
る。これにより、スクリーン13上に結像された画像の
測定エッジ部が十字線の中心を通過すると、この通過が
エッジ検出センサ26によって検出される。すると、そ
のときのX駆動系16、Y駆動系17およびZ駆動系1
8による各方向の移動量Px,Py,P z が取り込まれ、メ
モリ42に格納される。
【0024】例えば、先に記憶させた図5に示す画像の
孔Hの直径や中心を測定する場合、まず、a,bの位置
座標値を結ぶ直線がスクリーン13上の十字線の中心を
通過するように載物台12が移動される。やがて、孔H
の任意の点P1 がスクリーン13上の十字線の中心を通
過すると、この通過がエッジ検出センサ26によって検
出される。すると、そのときのX駆動系16、Y駆動系
17およびZ駆動系18による各方向の移動量が取り込
まれ、メモリ42に格納される。同様にして、c,dの
位置座標値を結ぶ直線、e,fの位置座標値を結ぶ直線
がスクリーン13上の十字線の中心を通過する過程にお
いて、P2,P3 がスクリーン13上の十字線の中心を通
過したことがエッジ検出センサ26によって検出された
とき、そのときのX駆動系16、Y駆動系17およびZ
駆動系18I9.各方向の移動量が取り込まれ、メモリ
42に格納される。そののち、演算制御装置46は、こ
れらのデータを基に孔Hの直径や中心を算出し、これを
表示器44に表示し、かつ、プリンタ45でプリンクア
ウトする。
孔Hの直径や中心を測定する場合、まず、a,bの位置
座標値を結ぶ直線がスクリーン13上の十字線の中心を
通過するように載物台12が移動される。やがて、孔H
の任意の点P1 がスクリーン13上の十字線の中心を通
過すると、この通過がエッジ検出センサ26によって検
出される。すると、そのときのX駆動系16、Y駆動系
17およびZ駆動系18による各方向の移動量が取り込
まれ、メモリ42に格納される。同様にして、c,dの
位置座標値を結ぶ直線、e,fの位置座標値を結ぶ直線
がスクリーン13上の十字線の中心を通過する過程にお
いて、P2,P3 がスクリーン13上の十字線の中心を通
過したことがエッジ検出センサ26によって検出された
とき、そのときのX駆動系16、Y駆動系17およびZ
駆動系18I9.各方向の移動量が取り込まれ、メモリ
42に格納される。そののち、演算制御装置46は、こ
れらのデータを基に孔Hの直径や中心を算出し、これを
表示器44に表示し、かつ、プリンタ45でプリンクア
ウトする。
【0025】従って、第1実施例によれば、測定プログ
ラムの作成に当たっては、カーソル2をスクリーン13
上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ部を挟ん
だ両側の各点に位置させたのち、座標値取込スイッチ2
8を押してカーソルの座標値を順次取り込んでいけば、
これらの両座標値を結ぶ軌跡がスクリーン13の十字線
の中心を通過するように載物台12を移動させる相対移
動軌跡を含む測定プログラムが作成されるから、測定者
は、カーソル2をスクリーン3上に結像された測定対象
物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に位置させ
るだけでよい。つまり、実際に載物台12を移動させな
くてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をスクリー
ン上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰で
もが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができるととも
に、個人差のない安定した高精度な測定を保障できる。
ラムの作成に当たっては、カーソル2をスクリーン13
上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ部を挟ん
だ両側の各点に位置させたのち、座標値取込スイッチ2
8を押してカーソルの座標値を順次取り込んでいけば、
これらの両座標値を結ぶ軌跡がスクリーン13の十字線
の中心を通過するように載物台12を移動させる相対移
動軌跡を含む測定プログラムが作成されるから、測定者
は、カーソル2をスクリーン3上に結像された測定対象
物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に位置させ
るだけでよい。つまり、実際に載物台12を移動させな
くてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をスクリー
ン上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰で
もが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができるととも
に、個人差のない安定した高精度な測定を保障できる。
【0026】また、測定に当たっては、プログラム作成
手段によって作成されたプログラムを読み出して実行さ
せれば、そのプログラムに従って載物台12が移動され
る。この移動中において、エッジ検出センサ26が画像
の測定エッジ部の通過を検出すると、相対移動量が取り
込まれたのち、その相対移動量から測定対象物の寸法な
どが求められる。
手段によって作成されたプログラムを読み出して実行さ
せれば、そのプログラムに従って載物台12が移動され
る。この移動中において、エッジ検出センサ26が画像
の測定エッジ部の通過を検出すると、相対移動量が取り
込まれたのち、その相対移動量から測定対象物の寸法な
どが求められる。
【0027】第2実施例 第2実施例の光学式測定装置の測定原理を図6に示す。
なお、本実施例の光学式測定装置は、基本的な構成とし
ては第1実施例と同じであるから、重複説明を省略す
る。ただ、前記メモリ42には予め所定(例えば、5m
m) のオーバーラン量が設定長さとして記憶され、ま
た、演算制御部46は、最初に規定方向を決める仮想原
点が特定されたのち、指定点が指定されると、その指定
点を起点とし、かつ、原点から指定点を結ぶ直線方向へ
向かう設定長さ分に相当する線分を求め、その線分が前
記スクリーン13上の十字線の中心を通過するような載
物台12の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定
プログラムを作製し、これをメモリ43に格納する点
が、第1実施例と異なる。
なお、本実施例の光学式測定装置は、基本的な構成とし
ては第1実施例と同じであるから、重複説明を省略す
る。ただ、前記メモリ42には予め所定(例えば、5m
m) のオーバーラン量が設定長さとして記憶され、ま
た、演算制御部46は、最初に規定方向を決める仮想原
点が特定されたのち、指定点が指定されると、その指定
点を起点とし、かつ、原点から指定点を結ぶ直線方向へ
向かう設定長さ分に相当する線分を求め、その線分が前
記スクリーン13上の十字線の中心を通過するような載
物台12の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定
プログラムを作製し、これをメモリ43に格納する点
が、第1実施例と異なる。
【0028】いま、図6に示すように、スクリーン13
上に結像された画像の孔Hの直径を測定しようとする場
合、まず、カーソル2の拡大レンズ25を覗きながら、
ターゲット29の中心を孔Hの仮想中心位置Oに位置さ
せたのち、座標値取込スイッチ28を押すと、そのとき
のカーソル2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部
35から演算制御部46に取り込まれる(これを、以後
の処理で仮想原点として用いる。)。次に、ターゲット
29の中心を孔Hの輪郭円上の任意の点P1 の僅か内側
点gに位置させたのち、座標値取込スイッチ28を押す
と、そのときのカーソル2の位置座標値がカーソル位置
座標値検出部35から演算制御部46に取り込まれる。
上に結像された画像の孔Hの直径を測定しようとする場
合、まず、カーソル2の拡大レンズ25を覗きながら、
ターゲット29の中心を孔Hの仮想中心位置Oに位置さ
せたのち、座標値取込スイッチ28を押すと、そのとき
のカーソル2の位置座標値がカーソル位置座標値検出部
35から演算制御部46に取り込まれる(これを、以後
の処理で仮想原点として用いる。)。次に、ターゲット
29の中心を孔Hの輪郭円上の任意の点P1 の僅か内側
点gに位置させたのち、座標値取込スイッチ28を押す
と、そのときのカーソル2の位置座標値がカーソル位置
座標値検出部35から演算制御部46に取り込まれる。
【0029】このようにして、残りのP2,P3 の僅か内
側点hおよびiにターゲット29の中心を順次位置さ
せ、これらの位置座標値をカーソル位置座標値検出部3
5から演算制御部46に取り込む。すると、演算制御部
46は、カーソル位置座標値検出部35から取り込んだ
指定点g,h,iを起点とし、かつ、仮想原点Oから各
指定点g,h,iを結ぶ直線方向へ向かう設定長さ(5
mm) 分に相当する線分L 1,L2,L3 を求め、その線分が
前記スクリーン13上の十字線の中心を通過するような
載物台12の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測
定プログラムを作製し、これをメモリ43に格納する。
なお、自動測定については、第1実施例と同じである。
側点hおよびiにターゲット29の中心を順次位置さ
せ、これらの位置座標値をカーソル位置座標値検出部3
5から演算制御部46に取り込む。すると、演算制御部
46は、カーソル位置座標値検出部35から取り込んだ
指定点g,h,iを起点とし、かつ、仮想原点Oから各
指定点g,h,iを結ぶ直線方向へ向かう設定長さ(5
mm) 分に相当する線分L 1,L2,L3 を求め、その線分が
前記スクリーン13上の十字線の中心を通過するような
載物台12の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測
定プログラムを作製し、これをメモリ43に格納する。
なお、自動測定については、第1実施例と同じである。
【0030】従って、第2実施例によれば、カーソル2
をスクリーン13上に結像された測定対象物の画像の測
定エッジ部の近傍に位置させたのち、座標値取込スイッ
チ28を押してカーソル2の座標値を順次取り込んでい
けば、その指定された指定点を起点としかつ仮想原点か
ら指定点を結ぶ規定方向へ向かう設定長さの線分がスク
リーン13の十字線の中心を通過するよう載物台12を
移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラムが作製さ
れるから、第1実施例に比べ少ない指定点で同様な効果
を奏することができる。
をスクリーン13上に結像された測定対象物の画像の測
定エッジ部の近傍に位置させたのち、座標値取込スイッ
チ28を押してカーソル2の座標値を順次取り込んでい
けば、その指定された指定点を起点としかつ仮想原点か
ら指定点を結ぶ規定方向へ向かう設定長さの線分がスク
リーン13の十字線の中心を通過するよう載物台12を
移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラムが作製さ
れるから、第1実施例に比べ少ない指定点で同様な効果
を奏することができる。
【0031】なお、上記実施例において、孔Hの輪郭円
上の任意点P1,P2,P3 の僅か内側点g,h,iを指定
するのではなく、直接P1,P2,P3 を指定してもよい。
また、最初に仮想原点Oを特定して各指定点からの方向
を規定したが、指定点からの方向を予め一律に規定して
もよく、あるいは、その都度任意に規定するようにして
もよい。また、オーバーラン量については、上記例の5
mmに限らず、任意に設定変更できるようにしてもよい。
上の任意点P1,P2,P3 の僅か内側点g,h,iを指定
するのではなく、直接P1,P2,P3 を指定してもよい。
また、最初に仮想原点Oを特定して各指定点からの方向
を規定したが、指定点からの方向を予め一律に規定して
もよく、あるいは、その都度任意に規定するようにして
もよい。また、オーバーラン量については、上記例の5
mmに限らず、任意に設定変更できるようにしてもよい。
【0032】第3実施例 第3実施例の光学式測定装置を図7〜図9に示す。な
お、これらの図の説明に当たって、第1実施例と同一構
成要件については、同一符号を付し、その説明を省略も
しくは簡略化する。本実施例の光学式測定装置には、図
7および図8に示す如く、前記スクリーン13およびカ
ーソル位置座標値検出装置3のほかに、透視ボード13
Aを含む第2のカーソル位置座標値検出装置3Aが設け
られているとともに、前記誘導コイル22からの出力信
号を第1、第2のカーソル位置座標値検出装置3,3A
のいずれかに切り換えるとともに、その切り換えられた
カーソル位置座標値検出装置3,3Aからの座標値を演
算制御装置4へ取り込むための切替装置51が設けられ
ている。なお、5Aは透視ボード13Aを載置するため
のテーブルである。
お、これらの図の説明に当たって、第1実施例と同一構
成要件については、同一符号を付し、その説明を省略も
しくは簡略化する。本実施例の光学式測定装置には、図
7および図8に示す如く、前記スクリーン13およびカ
ーソル位置座標値検出装置3のほかに、透視ボード13
Aを含む第2のカーソル位置座標値検出装置3Aが設け
られているとともに、前記誘導コイル22からの出力信
号を第1、第2のカーソル位置座標値検出装置3,3A
のいずれかに切り換えるとともに、その切り換えられた
カーソル位置座標値検出装置3,3Aからの座標値を演
算制御装置4へ取り込むための切替装置51が設けられ
ている。なお、5Aは透視ボード13Aを載置するため
のテーブルである。
【0033】前記透視ボード13Aは、透明な材料によ
って平板状に成形されている。透視ボード13A上に
は、前記スクリーン13と同様に、互いに直交するXお
よびY方向に沿って所定間隔ピッチで配列した導体より
なるグリッドパターン15Aが設けられている。グリッ
ドパターン15Aを構成するX方向の導体およびY方向
の導体には、前記第2のカーソル位置座標値検出装置3
Aからスキャンパルスが順番に印加されるようになって
いる。前記第2のカーソル位置座標値検出装置3Aは、
第1のカーソル位置座標値検出装置3と同様に、走査部
31と、クロックパルス発生器32と、Xカウンタ33
と、Yカウンタ34と、カーソル位置座標値検出部35
とから構成されている。前記切替装置51は、前記誘導
コイル22からの信号が第1、第2のカーソル位置座標
値検出装置3,3Aのいずれかのカーソル位置座標値検
出部35に入力されるように切り換えるとともに、その
切り換えられたカーソル位置座標値検出装置3,3Aの
カーソル位置座標値検出部35からの座標値を演算制御
装置4へ取り込めるように切替え動作する。
って平板状に成形されている。透視ボード13A上に
は、前記スクリーン13と同様に、互いに直交するXお
よびY方向に沿って所定間隔ピッチで配列した導体より
なるグリッドパターン15Aが設けられている。グリッ
ドパターン15Aを構成するX方向の導体およびY方向
の導体には、前記第2のカーソル位置座標値検出装置3
Aからスキャンパルスが順番に印加されるようになって
いる。前記第2のカーソル位置座標値検出装置3Aは、
第1のカーソル位置座標値検出装置3と同様に、走査部
31と、クロックパルス発生器32と、Xカウンタ33
と、Yカウンタ34と、カーソル位置座標値検出部35
とから構成されている。前記切替装置51は、前記誘導
コイル22からの信号が第1、第2のカーソル位置座標
値検出装置3,3Aのいずれかのカーソル位置座標値検
出部35に入力されるように切り換えるとともに、その
切り換えられたカーソル位置座標値検出装置3,3Aの
カーソル位置座標値検出部35からの座標値を演算制御
装置4へ取り込めるように切替え動作する。
【0034】従って、第3実施例では、図9に示す如
く、設計図Dなどを下にして透視ボード13Aをおく
と、その透視ボード13A上には設計図に描かれた図形
(例えば、輪郭Qや孔H)が透視される。ここで、カー
ソル2を用いて透視ボード13A上に透視された図形の
任意の2点または1点を指定すると、第1,第2実施例
と同様にして、その指定された2つの指定点の位置座標
値を結ぶ線分、または、指定された指定点を起点としか
つ規定方向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線
分がスクリーン13の十字線の中心を通過するように載
物台12を移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムが作製される。このとき、設計図Dの拡大/縮小率や
像倍率を考慮して換算補正が行われるのは言うまでもな
い。従って、実際に測定対象物を製作しなくても、設計
図Dなどを基に誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の
指定ができる。
く、設計図Dなどを下にして透視ボード13Aをおく
と、その透視ボード13A上には設計図に描かれた図形
(例えば、輪郭Qや孔H)が透視される。ここで、カー
ソル2を用いて透視ボード13A上に透視された図形の
任意の2点または1点を指定すると、第1,第2実施例
と同様にして、その指定された2つの指定点の位置座標
値を結ぶ線分、または、指定された指定点を起点としか
つ規定方向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線
分がスクリーン13の十字線の中心を通過するように載
物台12を移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムが作製される。このとき、設計図Dの拡大/縮小率や
像倍率を考慮して換算補正が行われるのは言うまでもな
い。従って、実際に測定対象物を製作しなくても、設計
図Dなどを基に誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の
指定ができる。
【0035】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ26については、上記実施例ではカーソル
2と一体的に構成したが、カーソル2とは別体として構
成してもよい。スクリーン13上における取付位置につ
いても、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であ
ればよく、しかも、スクリーン13内に一体的に組み込
んだ構造でもよい。ただし、光学系14の光軸位置、従
って、スクリーン13の十字線の中心に対応する位置に
エッジ検出センサ26を組み込むことが好ましい。この
ようにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることが
なく、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラム
データを変更する必要がないなどの効果が得られる。
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ26については、上記実施例ではカーソル
2と一体的に構成したが、カーソル2とは別体として構
成してもよい。スクリーン13上における取付位置につ
いても、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であ
ればよく、しかも、スクリーン13内に一体的に組み込
んだ構造でもよい。ただし、光学系14の光軸位置、従
って、スクリーン13の十字線の中心に対応する位置に
エッジ検出センサ26を組み込むことが好ましい。この
ようにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることが
なく、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラム
データを変更する必要がないなどの効果が得られる。
【0036】また、カーソル位置座標値検出装置3,1
3Aとしては、上記実施例で述べた構造に限らず、カー
ソル2の位置座標値を求められるものであればいずれで
もよい。演算制御装置46については、少なくとも、プ
ログラム作成手段および測定手段を備えればよい。この
場合、両手段を機能的に別々に構成してもよい。更に、
上記実施例では、載物台12を移動させるようにした
が、載物台12を固定したままとして、光学系14を移
動させるようにしてもよい。
3Aとしては、上記実施例で述べた構造に限らず、カー
ソル2の位置座標値を求められるものであればいずれで
もよい。演算制御装置46については、少なくとも、プ
ログラム作成手段および測定手段を備えればよい。この
場合、両手段を機能的に別々に構成してもよい。更に、
上記実施例では、載物台12を移動させるようにした
が、載物台12を固定したままとして、光学系14を移
動させるようにしてもよい。
【0037】
【発明の効果】以上の通り、本発明の光学式測定装置に
よれば、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定が
できるという効果が期待できる。
よれば、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定が
できるという効果が期待できる。
【図1】本発明の第1実施例を示す斜視図である。
【図2】同上実施例におけるカーソルの正面図である。
【図3】図2の III−III 線断面図である。
【図4】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図5】同上実施例における測定箇所を指定する方法を
示す図である。
示す図である。
【図6】本発明の第2実施例の測定原理を示す図であ
る。
る。
【図7】本発明の第3実施例を示す斜視図である。
【図8】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図9】同上実施例における測定箇所を指定する方法を
示す図である。
示す図である。
1 投影機 2 カーソル 3 第1のカーソル位置座標値検出装置 3A 第2のカーソル位置座標値検出装置 4 演算制御装置(制御手段、演算手段) 12 載物台 13 スクリーン 13A 透視ボード 14 光学系 15,15A グリッドパターン 26 エッジ検出センサ
Claims (4)
- 【請求項1】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用
いてスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指
定したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出手段と、 このカーソル位置座標値検出手段によって指定された光
学画像内の2つの指定点を結ぶ線分上の像領域が前記エ
ッジ検出センサに検出されるように前記載物台と光学系
とを相対移動させる制御手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項2】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用
いてスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指
定したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出手段と、 このカーソル位置座標値検出手段によって指定された光
学画像内の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定
長さの線分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出さ
れるように前記載物台と光学系とを相対移動させる制御
手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項3】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上に互いに直交する方向に沿って所定間
隔ピッチで配列された導体よりなるグリッドパターンを
含み、前記スクリーン上を移動可能なカーソルを用いて
スクリーン上に結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出する第1のカーソル位置座
標値検出手段と、 透明な材料によって平板状に形成された透視ボードおよ
びこの透視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定
間隔ピッチで配列された導体よりなるグリッドパターン
を含み、前記透視ボード上を移動可能なカーソルを用い
て透視ボード上に透視された描画内の任意箇所を指定し
たときの位置座標値を検出する第2のカーソル位置座標
値検出手段と、 これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段によって
指定された光学画像内の2つの指定点を結ぶ線分上の像
領域、または、カーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検出セン
サに検出されるように前記載物台と光学系とを相対移動
させる制御手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項4】請求項1ないし3のいずれかに記載の光学
式測定装置において、前記エッジ検出センサは、前記光
学系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその
位置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッ
ジ部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記
線分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよ
うに前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を
含む、ことを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5078106A JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
US08/498,248 US5576832A (en) | 1992-07-15 | 1995-06-29 | Optical measuring apparatus and measuring method of the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18811492 | 1992-07-15 | ||
JP4-188114 | 1992-07-15 | ||
JP5078106A JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0682218A true JPH0682218A (ja) | 1994-03-22 |
JP2678127B2 JP2678127B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=26419182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5078106A Expired - Fee Related JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5576832A (ja) |
JP (1) | JP2678127B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7646492B2 (en) | 2006-07-27 | 2010-01-12 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
KR102063230B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2020-01-07 | 마하비전 아이엔씨. | 투사형 재검사 장치 및 그 교정방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6830334B2 (en) * | 2001-07-30 | 2004-12-14 | Bausch & Lomb Incorporated | Anterior chamber diameter measurement system from limbal ring measurement |
WO2013003335A1 (en) * | 2011-06-27 | 2013-01-03 | Vytran, Llc | Apparatus and methods for the determination of a birefringence axis of a polarization-maintaining optical fiber |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6193902A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Fanuc Ltd | 視覚センサシステムにおける対象物体の特定位置教示方式 |
JPS63133009A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法 |
JPS63198802A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法及び装置 |
JPS63275904A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Nikon Corp | 投影機の投影像読取装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2592264A (en) * | 1950-04-08 | 1952-04-08 | Eastman Kodak Co | Contour projector |
JPS5047528A (ja) * | 1973-08-27 | 1975-04-28 | ||
US3930150A (en) * | 1974-12-23 | 1975-12-30 | Digital Systems | Apparatus for determining the centroid of a lighted hole |
GB8524897D0 (en) * | 1985-10-09 | 1985-11-13 | Veltze J A | Measuring edge of optical image |
JPS63169506A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-13 | Mitoo:Kk | 光学式測定装置 |
JPH0649297B2 (ja) * | 1989-06-02 | 1994-06-29 | 東洋ゴム工業株式会社 | 難燃性断熱材及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP5078106A patent/JP2678127B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-29 US US08/498,248 patent/US5576832A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6193902A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Fanuc Ltd | 視覚センサシステムにおける対象物体の特定位置教示方式 |
JPS63133009A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法 |
JPS63198802A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法及び装置 |
JPS63275904A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Nikon Corp | 投影機の投影像読取装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7646492B2 (en) | 2006-07-27 | 2010-01-12 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
KR102063230B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2020-01-07 | 마하비전 아이엔씨. | 투사형 재검사 장치 및 그 교정방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2678127B2 (ja) | 1997-11-17 |
US5576832A (en) | 1996-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070097381A1 (en) | Hand-size structured-light three-dimensional metrology imaging system and method | |
US6738131B2 (en) | Distance measuring method and image input device with distance measuring function | |
EP1043642A2 (en) | Robot system having image processing function | |
US7330307B2 (en) | Stage apparatus | |
JPH10311779A (ja) | レンズ特性測定装置 | |
US4395707A (en) | Light pen controlled method and equipment for evaluating fluorescent screen pictures | |
JP2678127B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
EP0222498A2 (en) | Making measurements on a body | |
JP4778855B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
JP2978808B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JP2003329716A (ja) | 電磁妨害波測定装置 | |
JP3296513B2 (ja) | 微小径測定装置 | |
JP2749766B2 (ja) | 光学式測定装置 | |
JP3826548B2 (ja) | グラフ表示機能を有する硬度計 | |
JPH0481125B2 (ja) | ||
JP2937918B2 (ja) | 画像測定装置 | |
JPH0829129A (ja) | 長さ測定装置 | |
JP3552381B2 (ja) | 画像測定機 | |
JPH0821722A (ja) | 形状測定方法および装置 | |
JP3138056B2 (ja) | 二次元測定機 | |
JPH0611364A (ja) | 指針式指示計器の自動調整方法 | |
JP2001091453A (ja) | 顕微分光装置 | |
JP3477921B2 (ja) | 投影機 | |
JP3255702B2 (ja) | 二次元測定機における測定結果の表示方法 | |
JPH0634325A (ja) | 回路基板パターンの寸法計測方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970624 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |