JPH0682218A - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
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- JPH0682218A JPH0682218A JP5078106A JP7810693A JPH0682218A JP H0682218 A JPH0682218 A JP H0682218A JP 5078106 A JP5078106 A JP 5078106A JP 7810693 A JP7810693 A JP 7810693A JP H0682218 A JPH0682218 A JP H0682218A
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- screen
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/08—Optical projection comparators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定
ができる光学式測定装置を提供する。 【構成】 カーソル２をスクリーン１３上に結像された
測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に
位置させたのち、座標値取込スイッチを押してカーソル
の座標値を順次取り込んでいけば、これらの両座標値を
結ぶ軌跡がスクリーン１３の十字線の中心を通過するよ
うに載物台１２を移動させる相対移動軌跡を含む測定プ
ログラムが作成されるから、実際に載物台を移動させな
くてもよく、また、測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰でも
が簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができる。
ができる光学式測定装置を提供する。 【構成】 カーソル２をスクリーン１３上に結像された
測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に
位置させたのち、座標値取込スイッチを押してカーソル
の座標値を順次取り込んでいけば、これらの両座標値を
結ぶ軌跡がスクリーン１３の十字線の中心を通過するよ
うに載物台１２を移動させる相対移動軌跡を含む測定プ
ログラムが作成されるから、実際に載物台を移動させな
くてもよく、また、測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰でも
が簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、載物台に載置された測
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備え、この光学系と測定対象物とを相対移動させながら
スクリーン上に結像された画像から測定対象物の寸法な
どを測定する光学式測定装置に関する。
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備え、この光学系と測定対象物とを相対移動させながら
スクリーン上に結像された画像から測定対象物の寸法な
どを測定する光学式測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】投影機の中には、測定対象物の画像をスク
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを予め記憶した相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムに従って相対移動させ、その相対移動過程において、
エッジ検出センサが画像の測定エッジ部の通過を検出し
たとき前記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移
動量から測定対象物の寸法などを求めるＣＮＣ投影機が
知られている。
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを予め記憶した相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムに従って相対移動させ、その相対移動過程において、
エッジ検出センサが画像の測定エッジ部の通過を検出し
たとき前記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移
動量から測定対象物の寸法などを求めるＣＮＣ投影機が
知られている。
【０００３】従来、ＣＮＣ投影機において、光学系と載
物台とを相対移動させる相対移動軌跡を含む測定プログ
ラムを作成するには、測定対象物を載置した載物台を実
際に移動させながら測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に一致させて測定箇所を順番に指定すること
により測定プログラムを作成する方法、あるいは、図面
上のデータを基に測定箇所の位置データをパソコンに直
接キー入力して測定箇所を順番に指定し、その測定箇所
を基に測定プログラムを作成する方法、などが知られて
いる。
物台とを相対移動させる相対移動軌跡を含む測定プログ
ラムを作成するには、測定対象物を載置した載物台を実
際に移動させながら測定対象物の測定箇所をスクリーン
上の十字線に一致させて測定箇所を順番に指定すること
により測定プログラムを作成する方法、あるいは、図面
上のデータを基に測定箇所の位置データをパソコンに直
接キー入力して測定箇所を順番に指定し、その測定箇所
を基に測定プログラムを作成する方法、などが知られて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の方法で
は、測定箇所の指定に実際に載物台を移動させなければ
ならないから、その移動に時間がかかるので能率的でな
い。しかも、載物台を移動させたのち、測定対象物の測
定箇所をスクリーン上の十字線に正確に一致させなけれ
ばならないから、微妙な移動操作が必要な上、個人差が
生じやすいという欠点もある。
は、測定箇所の指定に実際に載物台を移動させなければ
ならないから、その移動に時間がかかるので能率的でな
い。しかも、載物台を移動させたのち、測定対象物の測
定箇所をスクリーン上の十字線に正確に一致させなけれ
ばならないから、微妙な移動操作が必要な上、個人差が
生じやすいという欠点もある。
【０００５】また、後者の方法では、図面上のデータを
基に測定箇所の位置データをパソコンに直接キー入力し
なければならないから、時間がかかる上、誰でもが簡単
にできるものではない。従って、特殊技能を持った専門
の作業者に頼らざるを得ないから、ＣＮＣ投影機の普及
の妨げとなっている。
基に測定箇所の位置データをパソコンに直接キー入力し
なければならないから、時間がかかる上、誰でもが簡単
にできるものではない。従って、特殊技能を持った専門
の作業者に頼らざるを得ないから、ＣＮＣ投影機の普及
の妨げとなっている。
【０００６】ここに、本発明の目的は、このような従来
の欠点を解消し、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所
の指定ができる光学式測定装置を提供することにある。
の欠点を解消し、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所
の指定ができる光学式測定装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのため、第１の発明
は、載物台に載置された測定対象物の光学画像をスクリ
ーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定装置にお
いて、前記スクリーン上の定位置において光学画像内の
測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、前
記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用い
てスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値検
出手段と、このカーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の２つの指定点を結ぶ線分上の像領
域が前記エッジ検出センサに検出されるように前記載物
台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記エッジ
検出センサが測定エッジ部の通過を検出したときの前記
相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求める演算
手段と、を設けたことを特徴とする。
は、載物台に載置された測定対象物の光学画像をスクリ
ーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定装置にお
いて、前記スクリーン上の定位置において光学画像内の
測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、前
記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用い
てスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値検
出手段と、このカーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の２つの指定点を結ぶ線分上の像領
域が前記エッジ検出センサに検出されるように前記載物
台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記エッジ
検出センサが測定エッジ部の通過を検出したときの前記
相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求める演算
手段と、を設けたことを特徴とする。
【０００８】また、第２の発明は、載物台に載置された
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上を移動可
能に設けられたカーソルを用いてスクリーンに結像され
た光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を
検出するカーソル位置座標値検出手段と、このカーソル
位置座標値検出手段によって指定された光学画像内の指
定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線分上
の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるように前
記載物台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記
エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出したとき
の前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求め
る演算手段と、を設けたことを特徴とする。
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上を移動可
能に設けられたカーソルを用いてスクリーンに結像され
た光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を
検出するカーソル位置座標値検出手段と、このカーソル
位置座標値検出手段によって指定された光学画像内の指
定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線分上
の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるように前
記載物台と光学系とを相対移動させる制御手段と、前記
エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出したとき
の前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを求め
る演算手段と、を設けたことを特徴とする。
【０００９】また、第３の発明は、載物台に載置された
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上に互いに
直交する方向に沿って所定間隔ピッチで配列された導体
よりなるグリッドパターンを含み、前記スクリーン上を
移動可能なカーソルを用いてスクリーン上に結像された
光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を検
出する第１のカーソル位置座標値検出手段と、透明な材
料によって平板状に形成された透視ボードおよびこの透
視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定間隔ピッ
チで配列された導体よりなるグリッドパターンを含み、
前記透視ボード上を移動可能なカーソルによって透視ボ
ード上に透視された描画内の任意箇所を指定したときの
位置座標値を検出する第２のカーソル位置座標値検出手
段と、これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段に
よって指定された光学画像内の２つの指定点を結ぶ線分
上の像領域、または、カーソル位置座標値検出手段によ
って指定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定
方向へ向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検
出センサに検出されるように前記載物台と光学系とを相
対移動させる制御手段と、前記エッジ検出センサが測定
エッジ部の通過を検出したときの前記相対移動量を用い
て測定対象物の寸法などを求める演算手段と、を設けた
ことを特徴とする。
測定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学
系を備えた光学式測定装置において、前記スクリーン上
の定位置において光学画像内の測定エッジ部の通過を検
出するエッジ検出センサと、前記スクリーン上に互いに
直交する方向に沿って所定間隔ピッチで配列された導体
よりなるグリッドパターンを含み、前記スクリーン上を
移動可能なカーソルを用いてスクリーン上に結像された
光学画像内の任意箇所を指定したときの位置座標値を検
出する第１のカーソル位置座標値検出手段と、透明な材
料によって平板状に形成された透視ボードおよびこの透
視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定間隔ピッ
チで配列された導体よりなるグリッドパターンを含み、
前記透視ボード上を移動可能なカーソルによって透視ボ
ード上に透視された描画内の任意箇所を指定したときの
位置座標値を検出する第２のカーソル位置座標値検出手
段と、これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段に
よって指定された光学画像内の２つの指定点を結ぶ線分
上の像領域、または、カーソル位置座標値検出手段によ
って指定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定
方向へ向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検
出センサに検出されるように前記載物台と光学系とを相
対移動させる制御手段と、前記エッジ検出センサが測定
エッジ部の通過を検出したときの前記相対移動量を用い
て測定対象物の寸法などを求める演算手段と、を設けた
ことを特徴とする。
【００１０】また、第４の発明は、第１〜第３の発明の
いずれかにおいて、前記エッジ検出センサは、前記光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその位
置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッジ
部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記線
分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよう
に前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を含
む、ことを特徴とする。
いずれかにおいて、前記エッジ検出センサは、前記光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその位
置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッジ
部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記線
分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよう
に前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を含
む、ことを特徴とする。
【００１１】
【作用】第１の発明では、カーソルを用いてスクリーン
上に結像された測定対象物の画像の任意の２点を指定す
ると、その指定された２つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分が求められ、この線分がスクリーン上の定位置を通
過するよう載物台と光学系との相対移動が制御される。
従って、測定者は、カーソルをスクリーン上に結像され
た測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点
に位置させ、各点を指定すれば、その２つの指定点の位
置座標値を結ぶ線分、つまり、測定エッジ部を含む像領
域がスクリーン上の定位置を通過するよう載物台と光学
系との相対移動が制御されるから、実際に載物台を移動
させなくてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をス
クリーン上の十字線に正確に一致させなくてもよいか
ら、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができ
るとともに、個人差のない安定した高精度な測定を保障
できる。
上に結像された測定対象物の画像の任意の２点を指定す
ると、その指定された２つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分が求められ、この線分がスクリーン上の定位置を通
過するよう載物台と光学系との相対移動が制御される。
従って、測定者は、カーソルをスクリーン上に結像され
た測定対象物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点
に位置させ、各点を指定すれば、その２つの指定点の位
置座標値を結ぶ線分、つまり、測定エッジ部を含む像領
域がスクリーン上の定位置を通過するよう載物台と光学
系との相対移動が制御されるから、実際に載物台を移動
させなくてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をス
クリーン上の十字線に正確に一致させなくてもよいか
ら、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができ
るとともに、個人差のない安定した高精度な測定を保障
できる。
【００１２】第２の発明では、カーソルを用いてスクリ
ーン上に結像された測定対象物の画像の任意の１点を指
定すると、その指定された指定点を起点としかつ規定方
向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスク
リーン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相
対移動が制御される。従って、測定者は、カーソルをス
クリーン上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ
部またはその近傍に位置させ、その点を指定すれば、そ
の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線
分、つまり、測定エッジ部を含む像領域がスクリーン上
の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移動が
制御されるから、第１の発明より少ない指定点で同様な
効果を奏することができる。
ーン上に結像された測定対象物の画像の任意の１点を指
定すると、その指定された指定点を起点としかつ規定方
向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスク
リーン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相
対移動が制御される。従って、測定者は、カーソルをス
クリーン上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ
部またはその近傍に位置させ、その点を指定すれば、そ
の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定長さの線
分、つまり、測定エッジ部を含む像領域がスクリーン上
の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移動が
制御されるから、第１の発明より少ない指定点で同様な
効果を奏することができる。
【００１３】第３の発明では、設計図などを下にして透
視ボードをおくと、透視ボード上には設計図に描かれた
描画が透視される。ここで、カーソルを用いて透視ボー
ド上に透視された描画の任意の２点または１点を指定す
ると、その指定された２つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分または指定された指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスクリー
ン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移
動が制御される。従って、実際の測定対象物を製作しな
くても、設計図などを基に誰でもが簡単にかつ短時間で
測定箇所の指定ができる。
視ボードをおくと、透視ボード上には設計図に描かれた
描画が透視される。ここで、カーソルを用いて透視ボー
ド上に透視された描画の任意の２点または１点を指定す
ると、その指定された２つの指定点の位置座標値を結ぶ
線分または指定された指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分が求められ、この線分がスクリー
ン上の定位置を通過するよう載物台と光学系との相対移
動が制御される。従って、実際の測定対象物を製作しな
くても、設計図などを基に誰でもが簡単にかつ短時間で
測定箇所の指定ができる。
【００１４】第４の発明では、エッジ検出センサが光学
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されているか
ら、画像歪みによる影響を全く受けることがなく、測定
時に像倍率を変化させても測定のプログラムデータを変
更する必要がないなどの効果が得られる。
系が結像する光学画像の光軸位置に配置されているか
ら、画像歪みによる影響を全く受けることがなく、測定
時に像倍率を変化させても測定のプログラムデータを変
更する必要がないなどの効果が得られる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の光学式測定装置を図面に示す
実施例に基づいて詳細に説明する。第１実施例 第１実施例の光学式測定装置を図１〜図５に示す。同光
学式測定装置は、図１に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機１と、この投影機１で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するとともに、
その画像の測定エッジ部を検出するカーソル２と、この
カーソル２の位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出装置３と、このカーソル位置座標値検出装置３で検
出されたカーソル２の位置座標値を基に光学系と測定対
象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成する
一方、その測定プログラムに従って光学系と測定対象物
とを相対移動させるとともに、カーソル２によって画像
の測定エッジ部の通過が検出されたときの相対移動量を
取り込み、この移動量から測定対象物の寸法などを測定
する演算制御装置４とから構成されている。なお、５は
前記カーソル座標値検出装置３および演算制御装置４を
載置するスタンドである。
実施例に基づいて詳細に説明する。第１実施例 第１実施例の光学式測定装置を図１〜図５に示す。同光
学式測定装置は、図１に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機１と、この投影機１で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するとともに、
その画像の測定エッジ部を検出するカーソル２と、この
カーソル２の位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出装置３と、このカーソル位置座標値検出装置３で検
出されたカーソル２の位置座標値を基に光学系と測定対
象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成する
一方、その測定プログラムに従って光学系と測定対象物
とを相対移動させるとともに、カーソル２によって画像
の測定エッジ部の通過が検出されたときの相対移動量を
取り込み、この移動量から測定対象物の寸法などを測定
する演算制御装置４とから構成されている。なお、５は
前記カーソル座標値検出装置３および演算制御装置４を
載置するスタンドである。
【００１６】前記投影機１は、投影機本体１１を有す
る。投影機本体１１には、上面に測定対象物を載置する
載物台１２が互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台１２の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン１３上に結像させる光学系１４
が設けられている。前記載物台１２は後述する移動機構
を構成するＸ，Ｙ，Ｚ駆動系１６，１７，１８（図４参
照）によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン１３上
には、図４に示す如く、互いに直交するＸおよびＹ方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン１５が設けられている。グリッドパターン１
５には、前記カーソル位置座標値検出装置３からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン１５を構成するＸ方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Ｙ方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
る。投影機本体１１には、上面に測定対象物を載置する
載物台１２が互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台１２の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン１３上に結像させる光学系１４
が設けられている。前記載物台１２は後述する移動機構
を構成するＸ，Ｙ，Ｚ駆動系１６，１７，１８（図４参
照）によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン１３上
には、図４に示す如く、互いに直交するＸおよびＹ方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン１５が設けられている。グリッドパターン１
５には、前記カーソル位置座標値検出装置３からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン１５を構成するＸ方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Ｙ方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
【００１７】前記カーソル２は、前記スクリーン１３上
を移動される本体２１を有する。本体２１には、図２お
よび図３に示す如く、リング状に巻回された位置読取用
誘導コイル２２、この誘導コイル２２の近傍に設けられ
た読取位置決め用標板２３、前記誘導コイル２２の中心
軸線上に配置されスクリーン１３上の画像を２分割する
プリズム２４、このプリズム２４によって分割された一
方の画像を拡大する拡大用レンズ２５、画像のエッジ部
を検出するエッジ検出センサの光電変換部２６Ａ、この
光電変換部２６Ａに前記プリズム２４によって分割され
た他方の画像を結像させるリレーレンズ２７および画像
の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ２８などがそ
れぞれ設けられている。前記誘導コイル２２は、スクリ
ーン１３と平行に移動され、誘導電流を出力する。前記
エッジ検出センサの光電変換部２６Ａは、誘導コイル２
２の中心（読取位置）を中心とする正方形の中心および
各角点に相当する位置に配設された光電変換素子を有す
る。前記読取位置決め用標板２３には、誘導コイル２２
の中心を指示するとともに、光電変換部２６Ａの各光電
変換素子の位置を決定する正方形の対角線方向を指示す
るターゲット２９が設けられている。
を移動される本体２１を有する。本体２１には、図２お
よび図３に示す如く、リング状に巻回された位置読取用
誘導コイル２２、この誘導コイル２２の近傍に設けられ
た読取位置決め用標板２３、前記誘導コイル２２の中心
軸線上に配置されスクリーン１３上の画像を２分割する
プリズム２４、このプリズム２４によって分割された一
方の画像を拡大する拡大用レンズ２５、画像のエッジ部
を検出するエッジ検出センサの光電変換部２６Ａ、この
光電変換部２６Ａに前記プリズム２４によって分割され
た他方の画像を結像させるリレーレンズ２７および画像
の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ２８などがそ
れぞれ設けられている。前記誘導コイル２２は、スクリ
ーン１３と平行に移動され、誘導電流を出力する。前記
エッジ検出センサの光電変換部２６Ａは、誘導コイル２
２の中心（読取位置）を中心とする正方形の中心および
各角点に相当する位置に配設された光電変換素子を有す
る。前記読取位置決め用標板２３には、誘導コイル２２
の中心を指示するとともに、光電変換部２６Ａの各光電
変換素子の位置を決定する正方形の対角線方向を指示す
るターゲット２９が設けられている。
【００１８】前記カーソル位置座標値検出装置３は、図
４に示す如く、前記グリッドパターン１５を構成するＸ
およびＹ方向の導体に順番にスキャンパルスＳＰx,ＳＰ
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Ｓx,Ｓy および走査終
了信号Ｅx,Ｅy を出力する走査部３１と、クロックパル
ス発生器３２と、前記走査部３１から走査開始信号Ｓx
が出力されてから走査終了信号Ｅx が出力されるまでの
間クロックパルス発生器３２からのクロックパルスＣＬ
Ｋの数を計数するＸカウンタ３３と、前記走査部３１か
ら走査開始信号Ｓy が出力されてから走査終了信号Ｅy
が出力されるまでの間クロックパルス発生器３２からの
クロックパルスＣＬＫの数を計数するＹカウンタ３４
と、前記誘導コイル２２の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ３３，３４の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部３５とから構成されている。な
お、各カウンタ３３，３４は、走査終了信号Ｅx,Ｅy に
よってクリアされる。
４に示す如く、前記グリッドパターン１５を構成するＸ
およびＹ方向の導体に順番にスキャンパルスＳＰx,ＳＰ
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Ｓx,Ｓy および走査終
了信号Ｅx,Ｅy を出力する走査部３１と、クロックパル
ス発生器３２と、前記走査部３１から走査開始信号Ｓx
が出力されてから走査終了信号Ｅx が出力されるまでの
間クロックパルス発生器３２からのクロックパルスＣＬ
Ｋの数を計数するＸカウンタ３３と、前記走査部３１か
ら走査開始信号Ｓy が出力されてから走査終了信号Ｅy
が出力されるまでの間クロックパルス発生器３２からの
クロックパルスＣＬＫの数を計数するＹカウンタ３４
と、前記誘導コイル２２の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ３３，３４の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部３５とから構成されている。な
お、各カウンタ３３，３４は、走査終了信号Ｅx,Ｅy に
よってクリアされる。
【００１９】前記演算制御装置４は、図４に示す如く、
キーボード４１、メモリ４２，４３、表示器４４、プリ
ンタ４５および演算制御部４６などを有する。前記キー
ボード４１からは、設定モードや測定モードを選択する
ための選択指令、設定モードにおいて測定項目（例え
ば、円の直径や中心を求める項目など）の指定データな
どが入力される。前記メモリ４２には、例えば、取り込
んだ位置座標値や演算結果などが格納される。前記メモ
リ４３には、測定プログラムが格納される。前記演算制
御部４６は、設定モードにおいて、座標値取込スイッチ
２８が押されたときカーソル位置座標値検出装置３で検
出されたカーソル２の位置座標値を取り込み、これらの
位置座標値を基に光学系１４と測定対象物を載置する載
物台１２との相対移動軌跡を算出するとともに、これら
の相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成し、これを
メモリ４３に格納する。また、測定モードにおいて、測
定プログラムの相対移動軌跡に従って光学系１４と測定
対象物を載置する載物台１２とを相対移動させるととも
に、カーソル２のエッジ検出センサ２６によって画像の
測定エッジ部の通過が検出されたとき、各方向の移動量
Ｐx,Ｐy,Ｐz を取り込み、これらを基に測定部位の寸法
などを算出する。ここに、演算制御装置４が本発明の制
御手段および演算手段を形成している。
キーボード４１、メモリ４２，４３、表示器４４、プリ
ンタ４５および演算制御部４６などを有する。前記キー
ボード４１からは、設定モードや測定モードを選択する
ための選択指令、設定モードにおいて測定項目（例え
ば、円の直径や中心を求める項目など）の指定データな
どが入力される。前記メモリ４２には、例えば、取り込
んだ位置座標値や演算結果などが格納される。前記メモ
リ４３には、測定プログラムが格納される。前記演算制
御部４６は、設定モードにおいて、座標値取込スイッチ
２８が押されたときカーソル位置座標値検出装置３で検
出されたカーソル２の位置座標値を取り込み、これらの
位置座標値を基に光学系１４と測定対象物を載置する載
物台１２との相対移動軌跡を算出するとともに、これら
の相対移動軌跡を含む測定プログラムを作成し、これを
メモリ４３に格納する。また、測定モードにおいて、測
定プログラムの相対移動軌跡に従って光学系１４と測定
対象物を載置する載物台１２とを相対移動させるととも
に、カーソル２のエッジ検出センサ２６によって画像の
測定エッジ部の通過が検出されたとき、各方向の移動量
Ｐx,Ｐy,Ｐz を取り込み、これらを基に測定部位の寸法
などを算出する。ここに、演算制御装置４が本発明の制
御手段および演算手段を形成している。
【００２０】次に、本実施例の作用を説明する。まず、
測定プログラムを作成し、記憶させるには、キーボード
４１において、設定モードを選択する。この状態におい
て、載物台１２上に測定対象物を載置すると、光学系１
４によって測定対象物の画像がスクリーン１３上に結像
されるから、そのスクリーン１３上に結像された画像の
測定箇所をカーソル２によって順番に指定していく。こ
の際、測定箇所を広い範囲で網羅できるように、比較的
低い像倍率（例えば、１０倍）に設定しておく。
測定プログラムを作成し、記憶させるには、キーボード
４１において、設定モードを選択する。この状態におい
て、載物台１２上に測定対象物を載置すると、光学系１
４によって測定対象物の画像がスクリーン１３上に結像
されるから、そのスクリーン１３上に結像された画像の
測定箇所をカーソル２によって順番に指定していく。こ
の際、測定箇所を広い範囲で網羅できるように、比較的
低い像倍率（例えば、１０倍）に設定しておく。
【００２１】例えば、図５に示すように、スクリーン１
３上に結像された画像の孔Ｈの直径を測定しようとする
場合、その孔Ｈの輪郭円の任意の３箇所Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 を
挟んだ両側の点をカーソル２によって順番に指定してい
く。まず、カーソル２をスクリーン１３上に沿って移動
させていくと、そのカーソル２の位置座標値がカーソル
位置座標値検出部３５に更新記憶されていく。カーソル
２の拡大レンズ２５を覗きながら、ターゲット２９の中
心をＰ1 を挟んだ一方側の任意点ａに位置させたのち、
座標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカーソル
２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部３５から演
算制御部４６に取り込まれる。次に、ターゲット２９の
中心をＰ1 を挟んだ他方側の任意点ｂに位置させたの
ち、座標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカー
ソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部３５か
ら演算制御部４６に取り込まれる。ここで、ａは測定作
業を開始する座標値、ｂが測定作業を終了する座標値を
意味する。従って、測定精度とは無関係であり、測定地
点を通過することを目的とした概略の座標でよい。
３上に結像された画像の孔Ｈの直径を測定しようとする
場合、その孔Ｈの輪郭円の任意の３箇所Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 を
挟んだ両側の点をカーソル２によって順番に指定してい
く。まず、カーソル２をスクリーン１３上に沿って移動
させていくと、そのカーソル２の位置座標値がカーソル
位置座標値検出部３５に更新記憶されていく。カーソル
２の拡大レンズ２５を覗きながら、ターゲット２９の中
心をＰ1 を挟んだ一方側の任意点ａに位置させたのち、
座標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカーソル
２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部３５から演
算制御部４６に取り込まれる。次に、ターゲット２９の
中心をＰ1 を挟んだ他方側の任意点ｂに位置させたの
ち、座標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカー
ソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部３５か
ら演算制御部４６に取り込まれる。ここで、ａは測定作
業を開始する座標値、ｂが測定作業を終了する座標値を
意味する。従って、測定精度とは無関係であり、測定地
点を通過することを目的とした概略の座標でよい。
【００２２】このようにして、残りのＰ2 およびＰ3 を
挟んだ両側の任意点ｃ，ｄおよびｅ，ｆにターゲット２
９の中心を順次位置させて、これらの位置座標値をカー
ソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込
む。すると、演算制御部４６は、カーソル位置座標値検
出部３５から取り込んだａ，ｂの位置座標値を結ぶ直
線、ｃ，ｄの位置座標値を結ぶ直線、ｅ，ｆの位置座標
値を結ぶ直線をそれぞれ算出し、これらの直線がスクリ
ーン１３上の十字線の中心を通過するような載物台１２
の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ４３に格納する。このとき、
設定モードにおける像倍率により座標値の換算補正が行
われるのは言うまでもない。
挟んだ両側の任意点ｃ，ｄおよびｅ，ｆにターゲット２
９の中心を順次位置させて、これらの位置座標値をカー
ソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込
む。すると、演算制御部４６は、カーソル位置座標値検
出部３５から取り込んだａ，ｂの位置座標値を結ぶ直
線、ｃ，ｄの位置座標値を結ぶ直線、ｅ，ｆの位置座標
値を結ぶ直線をそれぞれ算出し、これらの直線がスクリ
ーン１３上の十字線の中心を通過するような載物台１２
の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ４３に格納する。このとき、
設定モードにおける像倍率により座標値の換算補正が行
われるのは言うまでもない。
【００２３】自動測定に当たっては、カーソル２を光学
系１４の光軸上、つまり、スクリーン１３上の十字線の
中心に位置させたのち、キーボード４１の操作によって
メモリ４３に格納されている測定プログラムを読み出
す。ここで、検出精度を高めるため、高い像倍率（例え
ば、１００倍）に設定したのち、その測定プログラムの
実行を指令する。すると、演算制御部４６は、読み出し
た測定プログラムの移動軌跡に従って載物台１２を移動
させる。つまり、Ｘ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８の駆動を制御しながら載物台１２を移動させ
る。これにより、スクリーン１３上に結像された画像の
測定エッジ部が十字線の中心を通過すると、この通過が
エッジ検出センサ２６によって検出される。すると、そ
のときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ駆動系１
８による各方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐ z が取り込まれ、メ
モリ４２に格納される。
系１４の光軸上、つまり、スクリーン１３上の十字線の
中心に位置させたのち、キーボード４１の操作によって
メモリ４３に格納されている測定プログラムを読み出
す。ここで、検出精度を高めるため、高い像倍率（例え
ば、１００倍）に設定したのち、その測定プログラムの
実行を指令する。すると、演算制御部４６は、読み出し
た測定プログラムの移動軌跡に従って載物台１２を移動
させる。つまり、Ｘ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８の駆動を制御しながら載物台１２を移動させ
る。これにより、スクリーン１３上に結像された画像の
測定エッジ部が十字線の中心を通過すると、この通過が
エッジ検出センサ２６によって検出される。すると、そ
のときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ駆動系１
８による各方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐ z が取り込まれ、メ
モリ４２に格納される。
【００２４】例えば、先に記憶させた図５に示す画像の
孔Ｈの直径や中心を測定する場合、まず、ａ，ｂの位置
座標値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心を
通過するように載物台１２が移動される。やがて、孔Ｈ
の任意の点Ｐ1 がスクリーン１３上の十字線の中心を通
過すると、この通過がエッジ検出センサ２６によって検
出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系
１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量が取り込
まれ、メモリ４２に格納される。同様にして、ｃ，ｄの
位置座標値を結ぶ直線、ｅ，ｆの位置座標値を結ぶ直線
がスクリーン１３上の十字線の中心を通過する過程にお
いて、Ｐ2,Ｐ3 がスクリーン１３上の十字線の中心を通
過したことがエッジ検出センサ２６によって検出された
とき、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８Ｉ９．各方向の移動量が取り込まれ、メモリ
４２に格納される。そののち、演算制御装置４６は、こ
れらのデータを基に孔Ｈの直径や中心を算出し、これを
表示器４４に表示し、かつ、プリンタ４５でプリンクア
ウトする。
孔Ｈの直径や中心を測定する場合、まず、ａ，ｂの位置
座標値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心を
通過するように載物台１２が移動される。やがて、孔Ｈ
の任意の点Ｐ1 がスクリーン１３上の十字線の中心を通
過すると、この通過がエッジ検出センサ２６によって検
出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系
１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量が取り込
まれ、メモリ４２に格納される。同様にして、ｃ，ｄの
位置座標値を結ぶ直線、ｅ，ｆの位置座標値を結ぶ直線
がスクリーン１３上の十字線の中心を通過する過程にお
いて、Ｐ2,Ｐ3 がスクリーン１３上の十字線の中心を通
過したことがエッジ検出センサ２６によって検出された
とき、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８Ｉ９．各方向の移動量が取り込まれ、メモリ
４２に格納される。そののち、演算制御装置４６は、こ
れらのデータを基に孔Ｈの直径や中心を算出し、これを
表示器４４に表示し、かつ、プリンタ４５でプリンクア
ウトする。
【００２５】従って、第１実施例によれば、測定プログ
ラムの作成に当たっては、カーソル２をスクリーン１３
上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ部を挟ん
だ両側の各点に位置させたのち、座標値取込スイッチ２
８を押してカーソルの座標値を順次取り込んでいけば、
これらの両座標値を結ぶ軌跡がスクリーン１３の十字線
の中心を通過するように載物台１２を移動させる相対移
動軌跡を含む測定プログラムが作成されるから、測定者
は、カーソル２をスクリーン３上に結像された測定対象
物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に位置させ
るだけでよい。つまり、実際に載物台１２を移動させな
くてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をスクリー
ン上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰で
もが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができるととも
に、個人差のない安定した高精度な測定を保障できる。
ラムの作成に当たっては、カーソル２をスクリーン１３
上に結像された測定対象物の画像の測定エッジ部を挟ん
だ両側の各点に位置させたのち、座標値取込スイッチ２
８を押してカーソルの座標値を順次取り込んでいけば、
これらの両座標値を結ぶ軌跡がスクリーン１３の十字線
の中心を通過するように載物台１２を移動させる相対移
動軌跡を含む測定プログラムが作成されるから、測定者
は、カーソル２をスクリーン３上に結像された測定対象
物の画像の測定エッジ部を挟んだ両側の各点に位置させ
るだけでよい。つまり、実際に載物台１２を移動させな
くてもよく、しかも、測定対象物の測定箇所をスクリー
ン上の十字線に正確に一致させなくてもよいから、誰で
もが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定ができるととも
に、個人差のない安定した高精度な測定を保障できる。
【００２６】また、測定に当たっては、プログラム作成
手段によって作成されたプログラムを読み出して実行さ
せれば、そのプログラムに従って載物台１２が移動され
る。この移動中において、エッジ検出センサ２６が画像
の測定エッジ部の通過を検出すると、相対移動量が取り
込まれたのち、その相対移動量から測定対象物の寸法な
どが求められる。
手段によって作成されたプログラムを読み出して実行さ
せれば、そのプログラムに従って載物台１２が移動され
る。この移動中において、エッジ検出センサ２６が画像
の測定エッジ部の通過を検出すると、相対移動量が取り
込まれたのち、その相対移動量から測定対象物の寸法な
どが求められる。
【００２７】第２実施例 第２実施例の光学式測定装置の測定原理を図６に示す。
なお、本実施例の光学式測定装置は、基本的な構成とし
ては第１実施例と同じであるから、重複説明を省略す
る。ただ、前記メモリ４２には予め所定（例えば、５m
m) のオーバーラン量が設定長さとして記憶され、ま
た、演算制御部４６は、最初に規定方向を決める仮想原
点が特定されたのち、指定点が指定されると、その指定
点を起点とし、かつ、原点から指定点を結ぶ直線方向へ
向かう設定長さ分に相当する線分を求め、その線分が前
記スクリーン１３上の十字線の中心を通過するような載
物台１２の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定
プログラムを作製し、これをメモリ４３に格納する点
が、第１実施例と異なる。
なお、本実施例の光学式測定装置は、基本的な構成とし
ては第１実施例と同じであるから、重複説明を省略す
る。ただ、前記メモリ４２には予め所定（例えば、５m
m) のオーバーラン量が設定長さとして記憶され、ま
た、演算制御部４６は、最初に規定方向を決める仮想原
点が特定されたのち、指定点が指定されると、その指定
点を起点とし、かつ、原点から指定点を結ぶ直線方向へ
向かう設定長さ分に相当する線分を求め、その線分が前
記スクリーン１３上の十字線の中心を通過するような載
物台１２の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測定
プログラムを作製し、これをメモリ４３に格納する点
が、第１実施例と異なる。
【００２８】いま、図６に示すように、スクリーン１３
上に結像された画像の孔Ｈの直径を測定しようとする場
合、まず、カーソル２の拡大レンズ２５を覗きながら、
ターゲット２９の中心を孔Ｈの仮想中心位置Ｏに位置さ
せたのち、座標値取込スイッチ２８を押すと、そのとき
のカーソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部
３５から演算制御部４６に取り込まれる（これを、以後
の処理で仮想原点として用いる。）。次に、ターゲット
２９の中心を孔Ｈの輪郭円上の任意の点Ｐ1 の僅か内側
点ｇに位置させたのち、座標値取込スイッチ２８を押す
と、そのときのカーソル２の位置座標値がカーソル位置
座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込まれる。
上に結像された画像の孔Ｈの直径を測定しようとする場
合、まず、カーソル２の拡大レンズ２５を覗きながら、
ターゲット２９の中心を孔Ｈの仮想中心位置Ｏに位置さ
せたのち、座標値取込スイッチ２８を押すと、そのとき
のカーソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検出部
３５から演算制御部４６に取り込まれる（これを、以後
の処理で仮想原点として用いる。）。次に、ターゲット
２９の中心を孔Ｈの輪郭円上の任意の点Ｐ1 の僅か内側
点ｇに位置させたのち、座標値取込スイッチ２８を押す
と、そのときのカーソル２の位置座標値がカーソル位置
座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込まれる。
【００２９】このようにして、残りのＰ2,Ｐ3 の僅か内
側点ｈおよびｉにターゲット２９の中心を順次位置さ
せ、これらの位置座標値をカーソル位置座標値検出部３
５から演算制御部４６に取り込む。すると、演算制御部
４６は、カーソル位置座標値検出部３５から取り込んだ
指定点ｇ，ｈ，ｉを起点とし、かつ、仮想原点Ｏから各
指定点ｇ，ｈ，ｉを結ぶ直線方向へ向かう設定長さ（５
mm) 分に相当する線分Ｌ 1,Ｌ2,Ｌ3 を求め、その線分が
前記スクリーン１３上の十字線の中心を通過するような
載物台１２の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測
定プログラムを作製し、これをメモリ４３に格納する。
なお、自動測定については、第１実施例と同じである。
側点ｈおよびｉにターゲット２９の中心を順次位置さ
せ、これらの位置座標値をカーソル位置座標値検出部３
５から演算制御部４６に取り込む。すると、演算制御部
４６は、カーソル位置座標値検出部３５から取り込んだ
指定点ｇ，ｈ，ｉを起点とし、かつ、仮想原点Ｏから各
指定点ｇ，ｈ，ｉを結ぶ直線方向へ向かう設定長さ（５
mm) 分に相当する線分Ｌ 1,Ｌ2,Ｌ3 を求め、その線分が
前記スクリーン１３上の十字線の中心を通過するような
載物台１２の移動軌跡を算出し、この移動軌跡を含む測
定プログラムを作製し、これをメモリ４３に格納する。
なお、自動測定については、第１実施例と同じである。
【００３０】従って、第２実施例によれば、カーソル２
をスクリーン１３上に結像された測定対象物の画像の測
定エッジ部の近傍に位置させたのち、座標値取込スイッ
チ２８を押してカーソル２の座標値を順次取り込んでい
けば、その指定された指定点を起点としかつ仮想原点か
ら指定点を結ぶ規定方向へ向かう設定長さの線分がスク
リーン１３の十字線の中心を通過するよう載物台１２を
移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラムが作製さ
れるから、第１実施例に比べ少ない指定点で同様な効果
を奏することができる。
をスクリーン１３上に結像された測定対象物の画像の測
定エッジ部の近傍に位置させたのち、座標値取込スイッ
チ２８を押してカーソル２の座標値を順次取り込んでい
けば、その指定された指定点を起点としかつ仮想原点か
ら指定点を結ぶ規定方向へ向かう設定長さの線分がスク
リーン１３の十字線の中心を通過するよう載物台１２を
移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラムが作製さ
れるから、第１実施例に比べ少ない指定点で同様な効果
を奏することができる。
【００３１】なお、上記実施例において、孔Ｈの輪郭円
上の任意点Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 の僅か内側点ｇ，ｈ，ｉを指定
するのではなく、直接Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 を指定してもよい。
また、最初に仮想原点Ｏを特定して各指定点からの方向
を規定したが、指定点からの方向を予め一律に規定して
もよく、あるいは、その都度任意に規定するようにして
もよい。また、オーバーラン量については、上記例の５
mmに限らず、任意に設定変更できるようにしてもよい。
上の任意点Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 の僅か内側点ｇ，ｈ，ｉを指定
するのではなく、直接Ｐ1,Ｐ2,Ｐ3 を指定してもよい。
また、最初に仮想原点Ｏを特定して各指定点からの方向
を規定したが、指定点からの方向を予め一律に規定して
もよく、あるいは、その都度任意に規定するようにして
もよい。また、オーバーラン量については、上記例の５
mmに限らず、任意に設定変更できるようにしてもよい。
【００３２】第３実施例 第３実施例の光学式測定装置を図７〜図９に示す。な
お、これらの図の説明に当たって、第１実施例と同一構
成要件については、同一符号を付し、その説明を省略も
しくは簡略化する。本実施例の光学式測定装置には、図
７および図８に示す如く、前記スクリーン１３およびカ
ーソル位置座標値検出装置３のほかに、透視ボード１３
Ａを含む第２のカーソル位置座標値検出装置３Ａが設け
られているとともに、前記誘導コイル２２からの出力信
号を第１、第２のカーソル位置座標値検出装置３，３Ａ
のいずれかに切り換えるとともに、その切り換えられた
カーソル位置座標値検出装置３，３Ａからの座標値を演
算制御装置４へ取り込むための切替装置５１が設けられ
ている。なお、５Ａは透視ボード１３Ａを載置するため
のテーブルである。
お、これらの図の説明に当たって、第１実施例と同一構
成要件については、同一符号を付し、その説明を省略も
しくは簡略化する。本実施例の光学式測定装置には、図
７および図８に示す如く、前記スクリーン１３およびカ
ーソル位置座標値検出装置３のほかに、透視ボード１３
Ａを含む第２のカーソル位置座標値検出装置３Ａが設け
られているとともに、前記誘導コイル２２からの出力信
号を第１、第２のカーソル位置座標値検出装置３，３Ａ
のいずれかに切り換えるとともに、その切り換えられた
カーソル位置座標値検出装置３，３Ａからの座標値を演
算制御装置４へ取り込むための切替装置５１が設けられ
ている。なお、５Ａは透視ボード１３Ａを載置するため
のテーブルである。
【００３３】前記透視ボード１３Ａは、透明な材料によ
って平板状に成形されている。透視ボード１３Ａ上に
は、前記スクリーン１３と同様に、互いに直交するＸお
よびＹ方向に沿って所定間隔ピッチで配列した導体より
なるグリッドパターン１５Ａが設けられている。グリッ
ドパターン１５Ａを構成するＸ方向の導体およびＹ方向
の導体には、前記第２のカーソル位置座標値検出装置３
Ａからスキャンパルスが順番に印加されるようになって
いる。前記第２のカーソル位置座標値検出装置３Ａは、
第１のカーソル位置座標値検出装置３と同様に、走査部
３１と、クロックパルス発生器３２と、Ｘカウンタ３３
と、Ｙカウンタ３４と、カーソル位置座標値検出部３５
とから構成されている。前記切替装置５１は、前記誘導
コイル２２からの信号が第１、第２のカーソル位置座標
値検出装置３，３Ａのいずれかのカーソル位置座標値検
出部３５に入力されるように切り換えるとともに、その
切り換えられたカーソル位置座標値検出装置３，３Ａの
カーソル位置座標値検出部３５からの座標値を演算制御
装置４へ取り込めるように切替え動作する。
って平板状に成形されている。透視ボード１３Ａ上に
は、前記スクリーン１３と同様に、互いに直交するＸお
よびＹ方向に沿って所定間隔ピッチで配列した導体より
なるグリッドパターン１５Ａが設けられている。グリッ
ドパターン１５Ａを構成するＸ方向の導体およびＹ方向
の導体には、前記第２のカーソル位置座標値検出装置３
Ａからスキャンパルスが順番に印加されるようになって
いる。前記第２のカーソル位置座標値検出装置３Ａは、
第１のカーソル位置座標値検出装置３と同様に、走査部
３１と、クロックパルス発生器３２と、Ｘカウンタ３３
と、Ｙカウンタ３４と、カーソル位置座標値検出部３５
とから構成されている。前記切替装置５１は、前記誘導
コイル２２からの信号が第１、第２のカーソル位置座標
値検出装置３，３Ａのいずれかのカーソル位置座標値検
出部３５に入力されるように切り換えるとともに、その
切り換えられたカーソル位置座標値検出装置３，３Ａの
カーソル位置座標値検出部３５からの座標値を演算制御
装置４へ取り込めるように切替え動作する。
【００３４】従って、第３実施例では、図９に示す如
く、設計図Ｄなどを下にして透視ボード１３Ａをおく
と、その透視ボード１３Ａ上には設計図に描かれた図形
（例えば、輪郭Ｑや孔Ｈ）が透視される。ここで、カー
ソル２を用いて透視ボード１３Ａ上に透視された図形の
任意の２点または１点を指定すると、第１，第２実施例
と同様にして、その指定された２つの指定点の位置座標
値を結ぶ線分、または、指定された指定点を起点としか
つ規定方向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線
分がスクリーン１３の十字線の中心を通過するように載
物台１２を移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムが作製される。このとき、設計図Ｄの拡大／縮小率や
像倍率を考慮して換算補正が行われるのは言うまでもな
い。従って、実際に測定対象物を製作しなくても、設計
図Ｄなどを基に誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の
指定ができる。
く、設計図Ｄなどを下にして透視ボード１３Ａをおく
と、その透視ボード１３Ａ上には設計図に描かれた図形
（例えば、輪郭Ｑや孔Ｈ）が透視される。ここで、カー
ソル２を用いて透視ボード１３Ａ上に透視された図形の
任意の２点または１点を指定すると、第１，第２実施例
と同様にして、その指定された２つの指定点の位置座標
値を結ぶ線分、または、指定された指定点を起点としか
つ規定方向へ向かう設定長さの線分が求められ、この線
分がスクリーン１３の十字線の中心を通過するように載
物台１２を移動させる相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムが作製される。このとき、設計図Ｄの拡大／縮小率や
像倍率を考慮して換算補正が行われるのは言うまでもな
い。従って、実際に測定対象物を製作しなくても、設計
図Ｄなどを基に誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の
指定ができる。
【００３５】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ２６については、上記実施例ではカーソル
２と一体的に構成したが、カーソル２とは別体として構
成してもよい。スクリーン１３上における取付位置につ
いても、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であ
ればよく、しかも、スクリーン１３内に一体的に組み込
んだ構造でもよい。ただし、光学系１４の光軸位置、従
って、スクリーン１３の十字線の中心に対応する位置に
エッジ検出センサ２６を組み込むことが好ましい。この
ようにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることが
なく、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラム
データを変更する必要がないなどの効果が得られる。
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ２６については、上記実施例ではカーソル
２と一体的に構成したが、カーソル２とは別体として構
成してもよい。スクリーン１３上における取付位置につ
いても、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であ
ればよく、しかも、スクリーン１３内に一体的に組み込
んだ構造でもよい。ただし、光学系１４の光軸位置、従
って、スクリーン１３の十字線の中心に対応する位置に
エッジ検出センサ２６を組み込むことが好ましい。この
ようにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることが
なく、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラム
データを変更する必要がないなどの効果が得られる。
【００３６】また、カーソル位置座標値検出装置３，１
３Ａとしては、上記実施例で述べた構造に限らず、カー
ソル２の位置座標値を求められるものであればいずれで
もよい。演算制御装置４６については、少なくとも、プ
ログラム作成手段および測定手段を備えればよい。この
場合、両手段を機能的に別々に構成してもよい。更に、
上記実施例では、載物台１２を移動させるようにした
が、載物台１２を固定したままとして、光学系１４を移
動させるようにしてもよい。
３Ａとしては、上記実施例で述べた構造に限らず、カー
ソル２の位置座標値を求められるものであればいずれで
もよい。演算制御装置４６については、少なくとも、プ
ログラム作成手段および測定手段を備えればよい。この
場合、両手段を機能的に別々に構成してもよい。更に、
上記実施例では、載物台１２を移動させるようにした
が、載物台１２を固定したままとして、光学系１４を移
動させるようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上の通り、本発明の光学式測定装置に
よれば、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定が
できるという効果が期待できる。
よれば、誰でもが簡単にかつ短時間で測定箇所の指定が
できるという効果が期待できる。
【図１】本発明の第１実施例を示す斜視図である。
【図２】同上実施例におけるカーソルの正面図である。
【図３】図２の III−III 線断面図である。
【図４】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】同上実施例における測定箇所を指定する方法を
示す図である。
示す図である。
【図６】本発明の第２実施例の測定原理を示す図であ
る。
る。
【図７】本発明の第３実施例を示す斜視図である。
【図８】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図９】同上実施例における測定箇所を指定する方法を
示す図である。
示す図である。
１ 投影機 ２ カーソル ３ 第１のカーソル位置座標値検出装置 ３Ａ 第２のカーソル位置座標値検出装置 ４ 演算制御装置（制御手段、演算手段） １２ 載物台 １３ スクリーン １３Ａ 透視ボード １４ 光学系 １５，１５Ａ グリッドパターン ２６ エッジ検出センサ
Claims (4)
- 【請求項１】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用
いてスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指
定したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出手段と、 このカーソル位置座標値検出手段によって指定された光
学画像内の２つの指定点を結ぶ線分上の像領域が前記エ
ッジ検出センサに検出されるように前記載物台と光学系
とを相対移動させる制御手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項２】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上を移動可能に設けられたカーソルを用
いてスクリーンに結像された光学画像内の任意箇所を指
定したときの位置座標値を検出するカーソル位置座標値
検出手段と、 このカーソル位置座標値検出手段によって指定された光
学画像内の指定点を起点としかつ規定方向へ向かう設定
長さの線分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出さ
れるように前記載物台と光学系とを相対移動させる制御
手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項３】載物台に載置された測定対象物の光学画像
をスクリーン上に結像させる光学系を備えた光学式測定
装置において、 前記スクリーン上の定位置において光学画像内の測定エ
ッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、 前記スクリーン上に互いに直交する方向に沿って所定間
隔ピッチで配列された導体よりなるグリッドパターンを
含み、前記スクリーン上を移動可能なカーソルを用いて
スクリーン上に結像された光学画像内の任意箇所を指定
したときの位置座標値を検出する第１のカーソル位置座
標値検出手段と、 透明な材料によって平板状に形成された透視ボードおよ
びこの透視ボード上に互いに直交する方向に沿って所定
間隔ピッチで配列された導体よりなるグリッドパターン
を含み、前記透視ボード上を移動可能なカーソルを用い
て透視ボード上に透視された描画内の任意箇所を指定し
たときの位置座標値を検出する第２のカーソル位置座標
値検出手段と、 これらいずれかのカーソル位置座標値検出手段によって
指定された光学画像内の２つの指定点を結ぶ線分上の像
領域、または、カーソル位置座標値検出手段によって指
定された光学画像内の指定点を起点としかつ規定方向へ
向かう設定長さの線分上の像領域が前記エッジ検出セン
サに検出されるように前記載物台と光学系とを相対移動
させる制御手段と、 前記エッジ検出センサが測定エッジ部の通過を検出した
ときの前記相対移動量を用いて測定対象物の寸法などを
求める演算手段と、 を設けたことを特徴とする光学式測定装置。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかに記載の光学
式測定装置において、前記エッジ検出センサは、前記光
学系が結像する光学画像の光軸位置に配置されかつその
位置における光の強度変化を検出して画像内の測定エッ
ジ部の通過を検出するとともに、前記制御手段は、前記
線分上の像領域が前記エッジ検出センサに検出されるよ
うに前記載物台を光学系に対して移動させる移動機構を
含む、ことを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5078106A JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
| US08/498,248 US5576832A (en) | 1992-07-15 | 1995-06-29 | Optical measuring apparatus and measuring method of the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18811492 | 1992-07-15 | ||
| JP4-188114 | 1992-07-15 | ||
| JP5078106A JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682218A true JPH0682218A (ja) | 1994-03-22 |
| JP2678127B2 JP2678127B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=26419182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5078106A Expired - Fee Related JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1993-04-05 | 光学式測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5576832A (ja) |
| JP (1) | JP2678127B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7646492B2 (en) | 2006-07-27 | 2010-01-12 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
| KR102063230B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2020-01-07 | 마하비전 아이엔씨. | 투사형 재검사 장치 및 그 교정방법 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6830334B2 (en) * | 2001-07-30 | 2004-12-14 | Bausch & Lomb Incorporated | Anterior chamber diameter measurement system from limbal ring measurement |
| WO2013003335A1 (en) * | 2011-06-27 | 2013-01-03 | Vytran, Llc | Apparatus and methods for the determination of a birefringence axis of a polarization-maintaining optical fiber |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193902A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Fanuc Ltd | 視覚センサシステムにおける対象物体の特定位置教示方式 |
| JPS63133009A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法 |
| JPS63198802A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法及び装置 |
| JPS63275904A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Nikon Corp | 投影機の投影像読取装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2592264A (en) * | 1950-04-08 | 1952-04-08 | Eastman Kodak Co | Contour projector |
| JPS5047528A (ja) * | 1973-08-27 | 1975-04-28 | ||
| US3930150A (en) * | 1974-12-23 | 1975-12-30 | Digital Systems | Apparatus for determining the centroid of a lighted hole |
| GB8524897D0 (en) * | 1985-10-09 | 1985-11-13 | Veltze J A | Measuring edge of optical image |
| JPS63169506A (ja) * | 1987-01-08 | 1988-07-13 | Mitoo:Kk | 光学式測定装置 |
| JPH0649297B2 (ja) * | 1989-06-02 | 1994-06-29 | 東洋ゴム工業株式会社 | 難燃性断熱材及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP5078106A patent/JP2678127B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-29 US US08/498,248 patent/US5576832A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6193902A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-12 | Fanuc Ltd | 視覚センサシステムにおける対象物体の特定位置教示方式 |
| JPS63133009A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法 |
| JPS63198802A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Mitsutoyo Corp | 光学測定機の教示方法及び装置 |
| JPS63275904A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Nikon Corp | 投影機の投影像読取装置 |
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| US7646492B2 (en) | 2006-07-27 | 2010-01-12 | Mitutoyo Corporation | Optical measuring machine |
| KR102063230B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2020-01-07 | 마하비전 아이엔씨. | 투사형 재검사 장치 및 그 교정방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2678127B2 (ja) | 1997-11-17 |
| US5576832A (en) | 1996-11-19 |
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