JPS63232942A - 研摩材供給装置 - Google Patents

研摩材供給装置

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JPS63232942A
JPS63232942A JP6481087A JP6481087A JPS63232942A JP S63232942 A JPS63232942 A JP S63232942A JP 6481087 A JP6481087 A JP 6481087A JP 6481087 A JP6481087 A JP 6481087A JP S63232942 A JPS63232942 A JP S63232942A
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JP
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tape
workpiece
nose
tip
polishing
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JP6481087A
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English (en)
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Toyohiko Hiyoshi
日吉 豊彦
Mikio Iwata
岩田 三樹男
Kazuo Watanabe
和雄 渡辺
Shinkichi Okawa
大河 真吉
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Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は研摩装置の研摩材供給装置に関し、特に光学鏡
面を加工する際の部分的な形状誤差を除去しつつ表面を
研摩する部分修正研摩に好適な研摩材供給装置に関する
[従来の技術] レンズ等のワーク(工作物)を設計の面形状に高精度に
加工し、滑らかな光学鏡面を得るには、研削加工等によ
り創成加工された面を均等研摩加工により仕上げ、形状
測定の後、その測定結果に基づいて部分的な形状誤差を
除去しつつ表面を研摩する部分修正研摩加工が必要とさ
れる。この部分修正研摩加工に用いられる従来装置を第
32図に示す。
本図において、1は回転するレンズ等のワーク、2は駆
動モータ3で回転するスピンドル4の先端に取付られた
フェルトであり、スピンドル4は玉軸受を介してブラケ
ット5に支持され、ブラケット5はワーク1の方向に移
動可能なスライド軸6に取付けられている。
従来装置では、以上の構成において、回転させたワーク
1に研摩材を塗布したフェルト2を押し当て、駆動モー
タ3でフェルト2を回転させて、ワーク1を部分修正研
摩していた。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上述のような従来装置では、スピンドル
4の支持に玉軸受を使用しているので、高精度の回転が
得られず、そのためフェルト2の振れ回り(回転ぶれ)
が大きくなってワーク1の加工面に当る部分が広くなり
、微小範囲の部分研摩がしにくいという問題がある。ま
た、フェルト2のワーク1に当る部分が常に同じ位置で
あるので、フェルト2に塗布した研摩材が目づまりを起
こしてワーク1の研摩量が安定しないという問題がある
。また、ツール(工具)としては上述のフェルトの他に
、ベークライト、鋳鉄が使用され、研摩材としては、ね
り状のダイヤモンド+グリスやダイヤモンド牛油(また
は水)の混合物等が用いられているが、研摩材がいずれ
も浮遊砥粒のために研摩量が一定にとれず安定しないと
いう問題がある。
そこで、本発明は、上述の問題点に鑑み、微小部分の修
正研摩の研摩量が安定化し、正確に部分的な形状誤差を
除去できる研摩装置の研摩材供給装置を提供することを
目的とする。
[問題点を解決するための手段] かかる目的を達成するため、本発明は、加工物側に付勢
された工具の先端と加工物間に研摩材付のテープを研摩
材を加工物側にして給送するテープ供給部と、工具の先
端の凸状曲面に沿ってテープを巻きがけするテープ巻き
かけ部と、工具の先端を通過したテープを巻き取るテー
プ巻取部とを具備したことを特徴とする。
[作 用] 本発明は、加工物(ワーク)が加工中に研摩材付のテー
プ(ラップテープ)が常に走行しているので、常に新し
い研摩材で研摩でき、研摩むらが生ぜず、研摩量が安定
化する。また、テープ供給部からくり出された使用ずみ
の研摩材付テープがテープ巻取部で回収できるので、作
業性が良い。
また、研摩材付テープを工具の先端凸状曲面(例えば球
面)に沿って巻きかけしているので、テープがはずれに
くく、かつ研摩材が必要な個所のみ当るので、極めて微
小な部分の高精度な研摩が得られる。
[実施例] 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
A、研摩装置の全体構成 第1図および第2図に、本発明を適用した研摩装置の実
施例の全体構成を示す。正面の全体の装置外観を示す第
1図において、10は定盤、11は定盤上に固定し、水
平に回転可能な旋回テーブル、12は旋回テーブル11
の上方に固定した大径の歯車、13は歯車12と噛み合
う小径の歯車14を介して旋回テーブル11の回転が伝
えられ、旋回テーブル11の回転角(以下、旋回角と称
する)を読み取るエンコーダ(角度検出器)、15はエ
ンコーダ13を定盤10上に固定するブラケットである
。16は旋回テーブル11の旋回角の原点を検出する原
点スイッチ、17は原点スイッチ16を定盤lO上に固
定する支柱である。
18は旋回テーブル11の回転歯車12に固定したワー
ク側のベース、19はベース18に固定したリニアカー
ドレール、20はリニアガードレール19に搭載されて
リニアガードレール19上を摺動可能なスライダ、21
はスライダ20上に取付けたスピンドル、22はスピン
ドル21を介してスピンドル21の先端に装着されたワ
ーク1を回転するワーク駆動モータである。23はスラ
イダ20を6勤してワーク1の曲率中心と旋回テーブル
11の旋回中心とを一致させるためのワーク送り用ハン
ドル、24はスライダ20の動きを止めるロックねしで
ある。
25は定盤10に固定した工具側のベース、2δはベー
ス25に固定したリニアガードレール、27はリニアガ
ードレール26に搭載したスライダ、28はスライダ2
7を直進に水平方向に摺動させる送りねじ、29は送り
ねじ28に取付けたハンドル、30は送りねじ28をベ
ース25上で支持している軸受、31はスライダ27に
固定した軸受箱、32は軸受箱31に支持されて水平方
向に摺動するエアースライド軸、33はスライド!1i
th32に加重をかけるおもり(錘)である。おもり3
3は、スライド軸32の端部に突設したピン34に固定
されて、軸受箱31に取付けられた滑車35に巻回され
たワイヤ36の下端に取付けられ、自重によりスライド
軸32をワーク1の方向に定圧で押圧する作用をする。
37はスライダ27の動きを止めるロックねじである。
38はスライド軸32の先端部分に装着され、ラップテ
ープ39をワーク1に押付ける先端球状の工具(以下、
ノーズと称する)であり、そのラップテープ39のワー
ク側の片側表面には研摩材が均一に塗布固着され、テー
プ39の移動によりワーク1の表面に残った微小突起部
分を均一な研摩材で削り落して鏡面研摩する。40はラ
ップテープ39をワーク1とノーズ38間に供給する研
摩材供給装置であり、テープ送り出しの供給リール41
とテープ巻取りの巻取り−ル42とを有する。
次に上方からの全体の装置外観を示す第2図において、
43は旋回テーブル11を旋回させる旋回テーブル駆動
モータ、44はスライダ27をスライドさせる送りねじ
であり、この送りねじ44にハンドル29が取付けられ
ている。45は送りねじ44を支持している軸受である
。46はベース25に取付けたスケール、47はスケー
ル46の原点を検出する原点スイッチ、48はスライド
軸32をスライドさせるスライド軸駆動モータ、49は
軸受箱31に固定したモータブラケット、50は送りね
じ、51は送りねじ50に取付けたストッパである。
以上の構成において、ワーク1は種々のサイズのものが
あり、スピンドル21に着脱自由に取付けられるように
なっている。作業開始時には、作業者(操作者)は本図
の右側のハンドル23を回してスケール46の値を読み
ながら、スライダ20をワーク1のサイズに合った位置
まで動かし、ロックねじ24を締めてスライダ2oの動
きを固定する。次に、作業者は本図の左側のハンにル2
9を回して研摩材供給装置(テープ送り装置)40に取
付けたノーズ38がワーク1の近くにくるまでスライダ
27をスライドさせ、ロックねじ37でスライダ27を
固定する。
次に、作業者がスタートボタン(図示しない)を押下げ
ると、駆動モータ48が起動して送りねじ50を回転さ
せ、スライド@32をワークlの方向にスライドさせる
。この時、軸受箱31を空気静圧軸受にすることにより
、スライド11ith32の走り(動き)を高精度に制
御できる。このようにして、スライド軸32に固定され
た研摩材供給装置40に取付けたノーズ38をラップテ
ープ39を間にはさんでワーク1に突き当てる。この時
、ワーク1にラップテープ39の研摩材塗布面が当る。
また、スライド軸32にはおもり33が作用するのでノ
ーズ38はワークlに定圧で押圧することとなる。
続いて、駆動モータ22を起動してワーク1を回転させ
、同時に後述の駆動モータによってラップテープ39を
ノーズ38の先端の曲面に沿って略垂直上方向に緊張走
行し、ラップテープ39上の研摩材によりノーズ38の
先端とワーク1が当っている部分だけ研摩が行われる。
この時、ラップテープ39で研摩する量はワーク1をノ
ーズ38が加圧する力と、その加圧時間、ワークlの回
転数、ラップテープ39の走行速度とラップテープ39
に塗布された研摩材の種類によって変化する。そのワー
ク1をノーズ38が加圧する力Fはおもり33の重量W
によって調整できる。また、駆動モータ43の速度を変
化させることにより、ワーク1のある角度にラップテー
プ39を介してノーズ38が接触している加圧時間Tを
調整できる。また、ワーク1を部分的に研摩するために
、駆動モータ43を駆動させて旋回テーブル11を、ワ
ーク1の研摩したい部分にノーズ38が当る位置(旋回
角)まで比較的高速で旋回させる。このとぎの旋回角は
エンコーダ13で読み取る。また、旋回テーブル11の
軸受に、空気静圧軸受を使用することにより高精度の回
転制御が得られる。
B、研摩材供給装置の構成 第3図〜第8図は、本発明を適用した研摩材供給装置4
0の一実施例の構成を示し、第3図は正面図、第4図は
右側面図、第5図は平面図、第6図は第3図の卜へ断面
、第7図は第3図のB−8断面および第8図は第3図の
C−C断面を示す。
第3図において、55〜60はガイドコロであり、供給
リール41から供給されるラップテープ3gはガイドコ
ロ55〜60および回転駆動されるゴム輪61の順に巻
回されて送られ、最後に巻取リーム42で巻取られる。
ガイドコロ55.56.58.60はコロ軸55a、5
6a、58a、60aを介してブラケy t−62に回
転自由に固定されているが、ガイドコロ57はアーム6
3を介して支持軸64を中心に自重により本図実線の位
置から本図破線の位置までわ動可能に支持されてあり、
上下のストッパ65゜66により上方と下方への移動範
囲を制限されている。ラップテープ39が供給リール4
1にほとんど残り少なくなったり、ガイドコロ等からは
ずれたりすると、ラップテープ39の張力が低下するの
でガイドコロ57は自重によりただちに降下し、マイク
ロスイッチ67はこのガイドコロ57の降下を検出棒6
8を介して検出する。
69はラップテープ39に適切な張力を与えるテンショ
ンコロであり、 70はテンションコロ69を支持する
テンションアーム、71はテンションアーム70を引張
る引張ばね、72はテンションアーム70を回転自在に
支持する支持軸、73は引張ばね71のばね支持軸であ
る。テンションアーム70は引張ばね71に付勢されて
、テンションコロ69をゴム輪61に押し付け、テンシ
ョンコロ69とゴム輪61間を走行するラップテープ3
9に適切な張力を与える。
74はラップテープ39がノーズ38からはずれるのを
防止するスリーブであり、ラップテープ39はスリーブ
74の内側を通ってノーズ38の先端で反転し、再びス
リーブ74の内側を通ってガイドコロ59へ行く。75
は巻取り−ル42に回転力を伝えるベルトである。
次に、第4図において、76は巻取リール42とゴム輪
61を駆動するリール駆動モータ、77aと77bは駆
動モータ76の回転をプーリー軸78に伝える一対の傘
歯車、79a と79bはプーリー@78の軸受であり
、プーリー軸78に上述のゴム輪61が固定されている
。80は従動側のプーリー軸であり、ベルト75を介し
て原動側のプーリー@78から駆動力が伝達される。8
1はプーリー1Ih80の軸受、82はプーリー軸80
の止め輪、83は巻取り−ル42の両側面に配設したス
ラストワッシャ、84は巻取リール42の軸受、85は
巻取り−ル42の押え座金、86は圧縮ばね、87は圧
縮ばね86を介して巻取リール42をプーリー!T11
180に固定する押えねじである。
第5図において、88は供給リール42の支持軸であり
、ブラケット62に固定される。89〜93の部材は供
給リール42の着脱等に用いられるもので、89はスラ
ストワッシャ、90は軸受、91は押え座金、92は圧
縮ばね、93は押えねしである。
第6図はアーム63の近傍の構造を示し、ここで94は
ガイドコロ57のコロφ157aに設けた軸受、95は
ガイドコロ57のぬけ落ちを防止する止め輪であり、ガ
イドコロ57の周面にはラップテープ39を案内する溝
部(ガイド溝)57bが形成されている。96はガイド
コロ57を取付けたアーム63を回転自由に支持する軸
受であり、支持軸64に取付けられて、止め輪97によ
りぬけ止めされている。
第7図はテンションアーム70の近傍の構造を示し、こ
こで98は支持軸72に取付けた止め輪、99はテンシ
ョンアーム70に取付けた圧縮ばね、100は圧縮ばね
99の止め輪、101はテンションコロ69の止め輪、
102はテンションコロ69の止めピン、103はスト
ッパ軸である。
また、第8図はガイドコロ60の近傍の構造を示す。こ
こで104はガイドコロ60の軸受、105は止め輪で
あり、ガイドコロ60はコロ@ 60 aによりブラケ
ット62に回転自由に固定される。ガイドコロ60の周
面にはラップテープ39を案内する溝部(ガイド溝)6
0bが形成されている。第3図に示す他の固定のガイド
コロ55.56,58.59も第8図のガイドコロ60
とほぼ同様の構造をしている。
第3図および第4図に示すように、研摩オオ供給装首(
テープ送り装置)40は、そのブラケッ1−62がスラ
イド軸32に取付けられ、スライド軸32のスライドに
よりノーズ38と一体に動く。供給リール42に巻かれ
ていたラップテープ39はガイドコロ55,56,57
,58 、ノーズ38の先端部、ガイドコロ59.80
の順で通り、プーリー!1j7Bに取付けられたゴム輪
61とテンションコロ69にはさまれ、回転する巻取リ
ール14に巻かれていく。
このとき、プーリー軸78は歯車77a、78bを介し
て駆動モータ76により回転し、ゴム輪61を回転させ
る。駆動モータ7Gの回転数は任意に変えることができ
、これによりラップテープ39の走行速度を可変にでき
る。
プーリー軸78が回転すると、ベルト75を介してプー
リー軸80が回転し、回転したプーリー軸80はスラス
トワッシャ83の摩擦力によって巻取り−ル4Iを回転
させる。スラストワッシャ83の摩擦力は押えねじ87
の位置により調整でき、押えねじ87によりたわませた
圧縮ばね80の付勢力によりスラストワッシャ83の摩
擦力を生じさせている。
巻取り−ル41に巻取られたラップテープ39はしだい
に巻取径を増し、巻取速度が早(なってゴム輪61で走
行させているテープ速度よりも早くなってしまうので、
プーリー軸80と巻取リール41とがスラストワッシャ
83を介して滑るようにしてあり、これによりラップテ
ープ39の走行速度を常に一定に保つように構成しであ
る。また、テンションコロ69のゴム輪61に押付ける
力は引張ばね71によって行われ、その押付ける力はテ
ンションアーム70の引張ばね71を引っかける穴位置
を変えることにより変えられる。
ノーズ38には後述のようにラップテープ39がはずれ
ない様にテープ案内溝が切ってあり、そのノーズ38の
先端部の形状はワーク1の微小部分の研摩が可能なよう
に球状に加工してあって、ワーク1と点で当るようにな
っている。また、ノーズ38の外周には円筒状のスリー
ブ74が嵌着されており、ラップテープ39はスリーブ
74とノーズ38の上下の溝間を通って送られるのでラ
ップテープ39はノーズ3Bからはずれない。
また、ガイドコロ57はアーム63に取付けられていて
、ラップテープ39の張力により支えられている。供給
リール42に巻かれていたラップテープ39は上述のよ
うに巻取リール41によって巻取られて行き、最後にラ
ップテープ39が供給リール42からはずれてラップテ
ープ39の張力が低下するので、ガイドコロ57を支え
切れなくなり、ガイドコロ57が下端方向へ下がる。ガ
イドコロ57が下がるとただちにマイクロスイッチ67
が作動し、駆動モータ76を停止してラップテープ39
の走行を止める。
一方、供給リール42は第5図に示すように、スラスト
ワッシャ89の摩擦力によりブレーキがかけられ、ラッ
プテープ39に張力を与えている。スラストワッシャ8
9の摩擦力は押えねじ93を調整して圧縮ばね92をた
わませ、そのばね力により与えられる。研摩材供給装置
40を長期間保管する時に、テンションコロ69をゴム
輪61に押えつりたままにしておくと、ゴム輪61が変
形して加工時にラップテープ39の走行が不安定になる
のて、ブラケット62に開けた穴にストッパITidu
o:+を入れてテンションコロ69を固定し、テンショ
ンコロ69がゴム輪61と離れるようにしている(第7
図参照)。
C,ノーズ(加工工具)の構成 第9図〜第18図は、本発明実施例のノーズ3Bの構成
例を示す。
第9図は研摩加工時のノーズ38部分の縦断面、第10
図は第9図のX−X断面、第11図はノーズ38のみの
縦断面、第12図はその右側面を示す。第9図〜第12
図において、38aはラップテープ39の走行方向に沿
って成形したノーズ38のテープ案内溝、38bはノー
ズ38の先端部の球状部分(凸状曲面)である。また、
ノーズ38の溝部38aの位置で、溝部38aを覆う円
筒形のスリーブ74が嵌着されている。ラップテープ3
9はガイドコロ58に案内されてノーズ38の下側の溝
部38aとスリーブ74の間に入り、ノーズ38の露出
した球状先端38bを通ってノーズ38の上側の溝部3
8a とスリーブ74の間に再び入り、ガイドコロ59
に導かれる。このように、スリーブ74か溝部38aを
覆っているので、ラップテープ39は正確に案内されて
はずれることがない。また、ノーズ38の先端部分38
bは球状なので、ワーク1と点で当り、ワーク1の微小
部分の研摩が可能となる。
ノーズ38の先端形状は、正しい加工位置へ圧力を作用
させる為に高い形状精度が要求されるが、特に本発明実
施例では高精度の真球度が要求される。しかし、第9図
〜第12図に示すような一体形状のノーズ38では先端
部38bの球面の加工が難しく、高精度の球面を得にく
い。
第13図〜第18図は、ノーズ38の先端部分に別体の
鋼球10Bを取付けて高精度の球面を得るようにした実
施例を示す。鋼球106は要求される高い真球度のもの
が容易に手に入り、例えば市販の鋼球(例えばベアリン
グ球)も用いることができる。この鋼球106を接着剤
等によりノーズ本体38cの先端に固着して取付け、ノ
ーズ本体38と鋼球106の上面と下面にテープ案内溝
106aを形成する。ワーク1の加工量が多い場合には
第13図〜第16図の実施例に示すような比較的大径の
鋼球106を用いて研摩量を多くし、小径ワークの如き
加工量が少ない場合には第17図・第18図に示すよう
に比較的小径の鋼球106を用いると良い。
D、加工原理 第19図〜第21図は本発明実施例の加工原理を示す。
第19図に示すように、ラップテープ39の研摩材が塗
布された面をワーク1側にして、ワーク1の研摩したい
部分にノーズ38の先端をラップテープ39をはさんで
押し当て、ワーク1を矢印時計方向に回転し、ラップテ
ープ39を上方向に走行すると、そのノーズ38が当っ
たワーク1の部分が研摩される。ラップテープ39上の
研摩材は均一に塗布できるので、従来の浮遊砥粒のよう
な問題は生ぜず、研摩量を一定にすることができる。ま
た、ラップテープ39の走行により研摩中はワーク1に
対して常に新しい研摩材が供給されるので、研摩材の目
づまりは生ぜず、常に理想的な切れ刃により加工面が研
摩されるので研摩量が安定化し、高精度な鏡面仕上げが
得られる。また、工具(ノーズ)38自体は回転させな
いので、工具の回転ぶれによる問題は生ぜず、かつノー
ズ38の先端を真球面にしたので、ワーク1にノーズ3
8が点で当り、極めて微小範囲の部分研摩を高精度にで
きる。さらに、ノーズ38をワーク1に押し当てる定圧
力はおもり33によって調整されるので、最適な加工圧
でワーク1を研摩することができ、加工量を安定化でき
る。
ここで、ラップテープ39により研摩される研摩量は、
上述のように、ワーク1の回転数とうツブテープ39の
走行速度、ラップテープ39に塗布された研摩材の種類
およびノーズ38のワーク1に押し当てる加圧力と加圧
時間で定まる。
従って、第20図に示すように、ワーク1が速度v2で
等速回転され、ラップテープ39が速度Vlで等速走行
し、ノーズ38のワーク1に押当てる加圧力Fがおもり
33により一定圧に調整され、ラップテープ20の研摩
材の種類が一定であるとすれは、ノーズ3Bがワーク1
に押し当てる加圧時間を調整制御することにより、研摩
される量を適切に制御して高精度の鏡面研摩を得ること
ができることがわかる。だが、ワーク1上の微小突起部
分107は一般に大小さまざまであり、その位置も第2
1図に示すようにばらついているので、実際には研摩す
る突起部分107の位置と大ぎさを予め測定し、その測
定した位置にワーク1を移動してノーズ38を押し当て
、突起107の大きさに応じてその押し当てる加圧時間
を増減する必要がある。このワーク1の移動は旋回テー
ブル11の旋回角度を駆動モータ43で制御することに
より達成され、加圧時間は旋回テーブル11の旋回速度
を可変制御することにより達成される。また、上述の加
工量と旋回速度は逆比例の関係にあることが実験によっ
ても確認されている。
E、制御装置の構成 第22図は本発明実施例の制御系の回路構成例を示す。
本図において、110は制御用コンピュータであり、メ
モリ111に予め格納した第23図に示すような制御手
順に従って、本発明に係る加工制御を司る。112はワ
ーク1を回転する駆動モータ22を駆動制御するワーク
軸モータドライバ(駆動回路)、+13はラップテープ
39を送る駆動モータ76を駆動制御するテープ送りモ
ータドライバ、114はノーズ38をスライド軸32を
介して送る駆動モータ48を駆動制御するノーズ送りモ
ータドライバであり、これらのモータドライバ112〜
114は制御コンピュータ110の指令信号(制御信号
)に応じて対応のモータの回転を制御する。115は旋
回テーブル11の旋回角を検知するエンコーダ13から
の出力を人力して、旋回φ1h角度データを制御用コン
ピュータ110に送出する旋回軸角度検出器、116は
旋回テーブル11を回転(旋回)させる駆動モータ43
を駆動制御する旋回軸モータドライバである。
117はメインコンピュータ118から供給される後述
のような加ニブログラムを入力する加ニブログラム入力
部であり、加ニブログラムは旋回テーブル11の旋回角
度と旋回速度の組合せデータから成る。+19はフロッ
ピーディスク(FD)120を駆動制御するFDドライ
バである。
次に、第23図のフローチャートを参照して、本発明実
施例の制御動作例を説明する。
まず、ワーク1を部分修正する前に、制御コンピュータ
110は修正用プログラム(加ニブログラム)を加ニブ
ログラム人力部117から人力し、メモリ111の所定
領域に格納する(ステップS1)。次に、作業者はハン
ドル29を回してワーク1の曲率中心を旋回テーブル1
1の旋回中心に合致させるが、この合致を制御コンピュ
ータ110が確認したら(ステップS2)、次に制御コ
ンピュータ110はメモリ111に記憶した修正用プロ
グラムに基づいて旋回軸モータドライバ116に指令を
出して駆動モータ43を作動させ、ワーク1の修正部分
まで旋回テーブル11を旋回させる(ステップS3)。
続いて制御用コンピュータ110はワーク軸モータドラ
イバ112 に指令を出して駆動モータ22を作動させ
、ワーク1を回転させるとともに、またテープ送りモー
タドライバ+13 に指令を出して駆動モータ76を作
動させ、ラップテープ39を走行させる(ステップS4
)。
次に、制御用コンピュータ110はノーズ送りモータド
ライバ114 に指令を出して駆動モータ48を作動さ
せ、ノーズ38をワーク1にラップテープ39を間には
さんだ状態で突き当て停止する(ステップS5)。続い
て、制御用コンピュータ110はメモリill に記憶
された修正用プログラムに基づいて旋回軸モータドライ
バ116に旋回速度指令を与えてモータ43を作動し、
エンコーダ13から旋回角度データを旋回角度検出器1
15を介して人力する(ステップS6)。
続いて、制御用コンピュータ110はメモリ111に記
憶された修正用プログラムに基づいて、検出旋回角度に
対応した旋回速度を旋回軸モータドライバ116に出力
し、モータ43の旋回速度を制御する(ステップs7)
。上述のステップS6.S7の制御動作を、エンコ一ダ
13の検出値か修正用プログラムに記憶された所定の終
了角度に達するまで順次繰り返し、エンコーダ13で検
出された検出旋回角度が上述の所定の終了角度に到達し
たら(ステップS8)、制御コンピュータ110はノー
ズ送りモータドライバ114 に指令を出して駆動モー
タ48を作動して、ラップテープ39をワーク1から動
しくステップs9)、ワーク軸モータドライバ112 
とテープ送りモータドライバ113に指令を出して両駆
動モータ22および76を停止させ、ひとつの部分の修
正研摩を終了する(ステップ510 )。
修正プログラムのデータの全てが完了しないとぎ、すな
わちワーク1の他の部分も修正研摩するときには、上述
のステップS3に戻り、ステップS3から510までの
処理を修正プログラムが完了するまで繰り返す(ステッ
プSll )。
F、加工量測定手段の構成 第1図に示した本発明実施例装置に非接触測定器を設け
ることにより、研摩加工の加工前後の加工量測定手段(
装置)としても簡単に使用(共用)できることを第24
図に示す。
第24図において、121は非接触測定器であり、例え
ばマグネスケールの如き非接触電気マイクロメータ、レ
ーザ測距計、光学スケール等の一般的な非接触型の測定
器を用いることができる。この非接触測定器121の取
付位置は、ノーズ38と一体に変位するスライド軸32
の変位が測定できる位置であればどこででも良く、例え
ば本図のようにスライド!Nl32の後方に配置される
。122は非接触測定器121を取付位置に固定する位
置調整可能なスタンド、123は非接触測定器121の
出力信号を増幅して表示することの可能な測定メータで
ある。非接触測定器121の測定データは増りs処理さ
れた後、デジタル13号に変換され、第22図の制御用
コンピュータ110に送られて処理される。その他の構
成部分は第1図の実施例と同様なので、その詳細な説明
は省略する。
以上の構成において、ワーク(加工物)1の加工面にラ
ップテープ(テープ状研摩部材)39を押圧して研削・
研摩する上述のノーズ(押圧部材)38から、そのラッ
プテープ39を取り外し、ノーズ38を加工量測定手段
の測定子としてワーク1に直接接触させる。
ノーズ38をワーク1に直接接触させた後、旋回テーブ
ル11の旋回角を原点位置にセットし、軸受箱31をロ
ックねじ37で固定し、旋回テーブル11を回転する。
このように、ノーズ38をワークlに直接接触させた後
、ワーク1を旋回させれば、ノーズ38はおも力33の
押圧力によりスライl” @32を介して一定圧でワー
ク1に接触しているので、第25図に示すように、ワー
ク1の表面の形状および微細な凹凸に追従して変位し、
ノーズ38が取付けられているスライド軸32も同時に
ノーズ3Bと一体に変位する。
このスライド軸32の変位を非接触測定器121で所定
ピッチで測定し、制御用コンピュータ+10へ出力する
。制御用コンピュータ110はその測定W 121の測
定データとエンコーダ13から得られる旋回テーブル1
1の旋回角度データとをメモリ111に一旦記憶した後
、ワーク1の設計データ(理想値)との差(誤差)を求
めて修正加工量とその加工位置からなる修正データを作
成する。
特に、本実施例では、スライド軸32が軸受箱31の空
気軸受に支持され、おもり33により適切な一定の接触
圧が与えられ、かっノーズ38の先端が点接触の球状に
形成されているので、極めて追従性が良く、ワーク1の
表面の微細な凹凸できる。また、このように、木実施例
では、工具である抑圧部材を測定子としても共用できる
ので、高価な専用測定装置を用いる必要がなくなり、ま
たワーク1のセット調整による問題(セツティングずれ
)が生じない利点があり、かつ測定後、ただちに修正研
削・研摩加工が行えるので加工処理の大幅な短縮となる
。さらに、測定から修正加工まで全自動化が可能になる
ので操作作業が大幅に減少し、製造コストダウンが達成
できる。
G、加工データ作成手段の構成 第26図は第1図に示すような部分修正研摩装置に供さ
れる加工データ(修正用プログラム)を作成する加工デ
ータ作成手段の構成例を示す。本図において、131は
測定データと後述の理想曲線(データ)とから誤差曲線
(データ)を出力する測定器、132はその理想曲線を
測定器131に与えるフロッピーディスク(FD)、 
133は測定器131からの誤差曲線と後述の切削量曲
線(データ)とから加工データを出力する自動プログラ
マ、134はその切削量曲線を自動プログラマ133に
与えるフロッピーディスク、135は自動プログラマ1
33から得られる加工データを修正用プログラムとして
入力し、部分修正研摩加工を行う第1図に示すような加
工層である。
測定器131は例えば第24図の非接触電気マイクロメ
ータ121の如き変位測定手段と、第22図の制御用コ
ンピュータまたはメインコンピュータ118の如き演算
制御手段等からなり、第22図のメモリ111の如き記
憶手段に予め格納された第29図に示すような処理手順
に従って、第27図(A) に示すような旋回角θとワ
ーク1の球面からの偏差で示されるワーク1の測定値と
、フロッピーディスク132に記憶されている理想曲線
(設計曲線)との偏差γとから、第27図(B)に示す
ようなγ−θ方式で表わした誤差曲線を演算出力する。
自動プログラマ133は例えば第22図のメインコンピ
ュータ118の如き演算制御手段等からなり、測定器1
31から供給される第27図(B)に示すような誤差曲
線と、フロッピーディスク134に記憶されている第2
7図(C) に示すような切削量曲線とから、第30図
に示すような処理手順に従って第27図(D)に示すよ
うな加工データを出力する。
第27図(C)は、旋回テーブル11を一定速度で旋回
させた時の旋回角θと切削量との関係を表わす切削量曲
線を示す。旋回角θが平(原点)に近い時には、ノーズ
38は回転するワーク1の中心近傍に位置し、旋回角θ
が増大するにつれて、ノーズ38はワーク1の外周方向
に向って相対的に移動するので、回転するワーク1の周
速度は中心はど低下し、旋回速度が一定ならば、旋回角
θの増大に応じて加工量が減少することを第27図(C
)は示している。また、切削量は旋回速度が速くなれば
少なくなり、遅くなれば多くなるので、第27図(C)
の破線の曲線で示すように、切削量は旋回速度に反比例
する関係となる。
そのため自動プログラマ−33では誤差曲線と切削量曲
線とを所定のピッチで(同一旋回角で)比較し、部分修
正加工時の各旋回角度に対する旋回速度を算出する。例
えば、ある旋回角θ、において、誤差が5μm、一定旋
回速度V。
での切削量が1μmであるとすると、加工時のO 旋回速度VはV=−となる。また、実際の修正加工部分
はワーク1上にランダムに散乱していると考えられるの
で、加工機135に与えられる加工データは第28図に
示すように、ある旋回角度間を算出した旋回速度で旋回
する旨を指示する内容となる。
加工機135は加工データを修正用プログラムとして入
力し、第31図に示すような制御手順、または上述した
第23図に示すような制御手順に従って、ワーク1の部
分修正研摩加工を実行す次に、第29図のフローチャー
トを参照して上述の測定器131の動作例を詳述する。
上述の第24図に示すように、非接触測定器(例えば、
非接触電気マイクロメータ)121をスライド軸32の
後方に配置し、ワーク1をスピンドル21に取付けて、
ハンドル29の操作によりワーク1の曲率中心と旋回テ
ーブル11の旋回中心とを合致させ、ノーズ38からラ
ップテープ39を取除いてハンドル29の操作によりノ
ーズ38をワークlに近づけて軸受箱31をロックナツ
ト37で固定する。また、おもり33は適切な接触圧と
なるものが選択される。操作者は以上の準備作業が完了
したら、図示しない操作卓上の測定開始ボタンを押し下
げる。このボタンの押し下げにより、第29図の制御手
順が開始される。
まず、測定開始指示に応じて、制御用コンピュータ11
0は旋回軸モータドライバ116を介して駆動モータ4
3を起動し、旋回テーブル11の旋回角を原点O°にす
る。この原点位置は原点スイッチ16(第1図参照)に
より検出される(ステップ521)。
次いで、制御用コンピュータ110はノーズ送りモータ
ドライバ114を介して駆動モータ48を起動し、スラ
イド軸32を前進してノーズ(以下、接触子と称する)
38とワーク1とを直接接触させる(ステップ522)
。続いて、制御用コンピュータ110はスライド軸32
の現在位置を雫にセットしくステップ523)、旋回軸
モータドライバ116に駆動信号を出力して旋回テーブ
ル11およびそのテーブルの歯車12を一定速度で回転
しながら(ステップ524)、一定ピツチ角度(旋回角
度)毎にスライド@32の位置を非接触測定器121か
ら入力して、メモリ111に順次記憶しくステップ52
5)、これらのステップS24およびS25の処理を旋
回テーブル11の終了角度になるまで繰り返す(ステッ
プ526)。旋回テーブル111の旋回角はエンコーダ
13で検知される。
これにより、メモリ111には第27図(A) に示す
ような測定値曲線のデータが格納される。検出旋回角度
が旋回テーブル111の所定終了角度に達したら、制御
用コンピュータ110はノーズ送りモータドライバ11
4に指令信号を出力して駆動モータ48を逆回転させ、
これによりスライドlTi1h32を後退させて接触子
38をワークlから離しくステップ527)、続いてメ
モリ111に格納した上述の測定データDIからフロッ
ピーディスク+32の理想曲線(理想値データ)D2を
減算した値(DI−02)を誤差値γ(θ)とする計算
を旋回角θのピッチ角度毎に行い(ステップ52B)、
その計算結果を誤差曲線(データ)として順次フロッピ
ーディスク112に書き込む(ステップ529)。
次に、第30図のフローチャートを参照して上述の自動
プログラマ133の動作例を詳述する。
まず、制御用コンピュータ110(またはメインコンピ
ュータ118)は、 FDドライバ119を介してフロ
ッピーディスク112から誤差曲線(測定データ)を読
み込み、メモリ111 に格納する。また、フロッピー
ディスク113から切削曲線(切削量データ)を読み込
み、メモリ111に格納する(ステップ531)。
次に、上述の切削量データ(切削曲線)と測定データ(
誤差曲線)とから旋回角度毎の切削時間を算出しくステ
ップ532)、算出した切削時間の逆数から該当旋回角
度毎の旋回速度を計算しくステップ533)、その計算
結果を加工データとしてフロッピーディスク120に記
憶する(ステップ534)。
第31図は上述の加工機135の動作例を示すが、上述
の第23図の制御手順とほぼ同様なのでその詳細な説明
は省略する。
なお、上述の本発明実施例では、ワーク1の加工面の突
出部分を研削・研摩により取除く場合に、第20図に示
すように、ラップテープ39の速度v1を一定にして研
摩量(研削量)に反比例してワーク1の速度(本例では
旋回速度)V2を制御しているが、本発明はこれに限定
されず、例えばワーク1の速度v2の方を一定にしてラ
ップテープ39の速度vlを研摩量(研削量)に比例し
て制御するようにしてもよく、またその両方の制御を組
み合せてもよい。
H9加工圧段の構成 研摩材供給装置を備えた研摩装置の工具に加工物方向の
加工圧力を作用せる手段としては、本発明実施例ではお
もり33を用い、第1図および第2図に示すように、研
摩材供給装置40を取付けたスライド!1III32を
軸受箱31の静圧空気軸受により静圧支持し、かつスラ
イド軸32に一端を接続したワイヤ36を介しておもり
33の自重によりノーズ(工具)38に一定の加圧力を
作用させるようにしている。このように、おもり33で
加工圧を作用させているので、スライド軸32の移動に
伴う加工圧力の変化がない。また、スライド軸32を静
圧支持しているので、掻く滑らかにノーズ38がワーク
1の研摩面の形状にトレースする。また、ラップテープ
39のワーク1への押圧力が常に一定であるので、安定
した研摩が行える。
さらに、第24図に示すように、研摩量測定手段として
用いる場合にも、加圧手段による上述と同様な理由によ
り、極めて高精度な測定データが得られる。
なお、本発明は研削装置にも適用できるのは勿論である
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、加工物(ワーク
)が加工中に研摩材付のテープ(ラップテープ)が常に
走行しているので、常に新しい研摩材で研摩でき、研摩
むらが生ぜず、研摩量が安定化する。また、テープ供給
部からくり出された使用ずみの研摩材付テープがテープ
巻取部で回収できるので、作業性が良い。また、研摩材
付テープを工具の先端凸状曲面(例えば球面)に沿って
@きがけしているので、テープがはずれにくく、かつ研
摩材が必要な個所のみ当るので、極めて微小な部分の高
精度な研摩が得られる。
さらに、本発明では、テープ供給1部から研摩材付テー
プがはずれるのを直前に検知してテープの巻取を止め、
工具と加工物とを殖すようにすることにより、工具やテ
ープにより加工物を傷つけることを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用した研摩装置の全体の構成例を示
す正面図、 第2図はその平面図、 第3図は第1図の研摩材供給装置の全体の構成例を示す
正面図、 第4図はその右側面図、 第5図はその正面図、 第6図は第3図のA−A切断線に沿う断面図、第7図は
第3図のB−C切断線に沿う断面図、第8図は第3図の
C−C切断線に沿う断面図、第9図は第1図のノーズ(
研摩工具)の部分の構成例を示す縦断面図、 第10図は第9図の×−×切断線に沿う横断面図、第1
1図は第9図のノーズのみの構成を示す縦断面図、 第12図は第11図のノーズの右側面図、第13図はノ
ーズの他の実施例を示す縦断面図、第14図は第13図
のノーズの右側面図、第15図はノーズの変形例を示す
縦断面図、第16図は第15図のノーズの右側面図、第
17図はノーズのさらに他の変形例を示す縦断面図、 第18図は第17図のノーズの右側面図、第19図は本
発明実施例の加工原理を示す要部斜視図、 第20図は本発明実施例の加工原理を示す模式第21図
は第19図のY−Y切断線に沿う断面図、第22図は本
発明実施例の制御系の回路構成例を示すブロック図、 第23図は本発明実施例の加工時の制御動作例を示すフ
ローチャート、 第24図は研摩装置を研摩量測定手段として共用する場
合の本発明実施例の構成を示す正面図、第25図は第2
4図の測定時のノーズ部分を示す水平方向の断面図、 第26図は加工データ作成システムの本発明実施例の構
成を示すブロック図、 第27図(八)〜(D)は第26図の実施例における出
力データの特性を示す線図、 第28図は第26図の加工データの具体例を示す説明図
、 第29図は第26図の測定器の動作例を示すフローチャ
ート、 第30図は第26図の自動プログラマの動作例を示すフ
ローチャート、 第31図は第26図の加工機の動作例を示すフローチャ
ート、 第32図は従来装置の構成を示す要部正面図である。 1・・・ワーク、 ii・・・旋回テーブル、 13・・・エンコーダ、 16・・・原点スイッチ、 20・・・スライダ、 21・・・スピンドル、 22・・・ワーク駆動モータ、 23…ハンドル、 24・・・ロックねじ、 27・・・スライダ、 28・・・送りねじ、 29・・・ハンドル、 30・・・軸受箱、 32・・・スライド軸、 33・・・おもり、 37・・・ロックねし、 38・・・ノーズ(接触子)、 39・・・ラップテープ、 40・・・研摩材供給装置、 41・・・供給リール、 42・・・巻取リール、 43・・・旋回テーブル駆動モータ、 46・・・スケール、 47・・・原点スイッチ、 48・・・スライド釉駆動モータ、 55〜60・・・ガイドコロ、 61・・・ゴム輪、 63・・・アーム、 67・・・マイクロスイッチ、 69・・・テンションコロ、 70・・・テンションアーム、 76・・・リール駆動モータ、 83・・・スラストワッシャ、 89・・・スラストワッシャ、 106・・・鋼球、 110・・・制御用コンピュータ、 111 ・・・メモリ、 112〜114.116・・・モータドライバ、117
・・・加ニブログラム人力部、 +21・・・非接触測定器、 131・・・測定器、 133・・・自動プログラマ、 135・・・加工機。 口 口 八 、ス 1ト ロ     工 第17図      第18図 ワーク回転向 第19図 す(M之介すのカロエよに9琵の水賞酌図第21図 づ(、方邑抄1の加エデーダの肉イ写、を示を名0目図
第28図 理想曲線 (A)         (B) 第26図の出力 第 (C)            (D)デゝりの牛芋ノ
ド生t7rXV糸艇図 27図 自動フロゲラマ カロニし壷り31 第31図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)加工物側に付勢された工具の先端と前記加工物間に
    研摩材付のテープを該研摩材を前記加工物側にして給送
    するテープ供給部と、 前記工具の先端の凸状曲面に沿って前記テープを巻きが
    けするテープ巻きがけ部と、 前記工具の先端を通過した前記テープを巻き取るテープ
    巻取部と を具備したことを特徴とする研摩材供給装置。 2)特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記テ
    ープ供給部は前記テープの張力に応じて作動するスイッ
    チ手段を有し、給送される前記テープが残り少なくなっ
    たら該スイッチ手段の作動により前記工具を前記加工物
    から離す工具移動手段を有することを特徴とする研摩材
    供給装置。 3)特許請求の範囲第1項または第2項記載の装置にお
    いて、 前記テープ巻取部は前記テープの給送速度を一定にする
    スリップ機構を有することを特徴とする研摩材供給装置
JP6481087A 1987-03-19 1987-03-19 研摩材供給装置 Pending JPS63232942A (ja)

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US07/839,702 US5157878A (en) 1987-03-19 1992-02-24 Polishing method with error correction

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