JPS63205550A - 荷電粒子線分析方法 - Google Patents
荷電粒子線分析方法Info
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- JPS63205550A JPS63205550A JP62038657A JP3865787A JPS63205550A JP S63205550 A JPS63205550 A JP S63205550A JP 62038657 A JP62038657 A JP 62038657A JP 3865787 A JP3865787 A JP 3865787A JP S63205550 A JPS63205550 A JP S63205550A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、試料に荷電粒子線を照射し、該試料から発生
ずる信号を検出して分析を行なう荷電粒子線分析方法に
関する。
ずる信号を検出して分析を行なう荷電粒子線分析方法に
関する。
(ロ)従来技術とその問題点
荷電粒子線分析装置、例えば、EPMAの状態分析の解
析においては、元素の結合状態およびその組成の濃度の
双方を必要とする場合が多い。ところが、従来では、結
合状態および濃度の両方を同時に表示することはできず
、例えば、試料の各点毎の波長プロファイルの表示およ
び濃度のカラーマツピング表示というように別々の表示
となっている。このため、分析結果を解析する際に、分
析位置の対応関係等が不明確となりがちで、正確さに欠
けるとともに、迅速な解析が困難であるという難点があ
る。
析においては、元素の結合状態およびその組成の濃度の
双方を必要とする場合が多い。ところが、従来では、結
合状態および濃度の両方を同時に表示することはできず
、例えば、試料の各点毎の波長プロファイルの表示およ
び濃度のカラーマツピング表示というように別々の表示
となっている。このため、分析結果を解析する際に、分
析位置の対応関係等が不明確となりがちで、正確さに欠
けるとともに、迅速な解析が困難であるという難点があ
る。
また、カソードルミネッセンス装置において、試料表面
の面分析を行なう場合には、検出波長毎にカソードルミ
ネッセンス像(以下、「Cl像」という)をそれぞれ求
めて、この複数のCl像に基づいて分析を行なっている
。このため、各OL像の間の微細な位置関係を判別する
ことが困難で正確さに欠けるという難点がある。
の面分析を行なう場合には、検出波長毎にカソードルミ
ネッセンス像(以下、「Cl像」という)をそれぞれ求
めて、この複数のCl像に基づいて分析を行なっている
。このため、各OL像の間の微細な位置関係を判別する
ことが困難で正確さに欠けるという難点がある。
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、特
に、面分析における分析結果の解析を迅速、かつ、正確
に行なえるようにした荷電粒子線分析方法を提供するこ
とを目的とする。
に、面分析における分析結果の解析を迅速、かつ、正確
に行なえるようにした荷電粒子線分析方法を提供するこ
とを目的とする。
(ハ)問題点を解決するための手段
本発明の荷電粒子線分析方法は、試料に荷電粒子線を照
射し、該試料から発生する信号を分光し、この分光した
信号を検出して前記試料の各照射点についての二種類の
特性データを抽出し、この二種類の特性データを色相お
よび該色相の輝度にそれぞれ対応させて表示するように
している。
射し、該試料から発生する信号を分光し、この分光した
信号を検出して前記試料の各照射点についての二種類の
特性データを抽出し、この二種類の特性データを色相お
よび該色相の輝度にそれぞれ対応させて表示するように
している。
(ニ)作用
上記構成によれば、二種類の特性データを、色相および
この色相の輝度として同時に表示できることになる。
この色相の輝度として同時に表示できることになる。
(ホ)実施例
以下、図面によって本発明の実施例について、詳細に説
明する。
明する。
第1図は、本発明の一実施例に係るEPMAの概略構成
図である。同図において、lは試料2に電子線を照射す
る電子銃、3は収束レンズ、4は対物レンズ、5は試料
2を二次元的(XY方向)に移動させる試料ステージ、
6a、6bは励起された試料4から発生する特性X線を
それぞれ分光する第1.第2分光器、7a、7bは各分
光器6a、6bで分光された特性X線をそれぞれ検出す
る第1.第2検出器である。
図である。同図において、lは試料2に電子線を照射す
る電子銃、3は収束レンズ、4は対物レンズ、5は試料
2を二次元的(XY方向)に移動させる試料ステージ、
6a、6bは励起された試料4から発生する特性X線を
それぞれ分光する第1.第2分光器、7a、7bは各分
光器6a、6bで分光された特性X線をそれぞれ検出す
る第1.第2検出器である。
この実施例のEPMAでは、各検出器7a、7bの出力
に基づいて、各分析位置についての二種類の特性データ
、この例では、元素の結合状態に対応するX線の強度比
およびその濃度に対応するX線強度のデータを抽出する
特性データ抽出手段8と、この特性データ抽出手段8か
らのX線の強度比およびX線強度のデータを、色相およ
びその色相の輝度にそれぞれ対応させて表示する表示手
段9とを備えている。表示手段9は、表示回路IIとC
RT 12とから成る。10は各部を制御する制御回路
である。特性データ抽出手段8、表示回路11および制
御回路lOは、例えば、マイクロコンピュータによって
実現される。
に基づいて、各分析位置についての二種類の特性データ
、この例では、元素の結合状態に対応するX線の強度比
およびその濃度に対応するX線強度のデータを抽出する
特性データ抽出手段8と、この特性データ抽出手段8か
らのX線の強度比およびX線強度のデータを、色相およ
びその色相の輝度にそれぞれ対応させて表示する表示手
段9とを備えている。表示手段9は、表示回路IIとC
RT 12とから成る。10は各部を制御する制御回路
である。特性データ抽出手段8、表示回路11および制
御回路lOは、例えば、マイクロコンピュータによって
実現される。
このEPMAの状態分析モードにおける手順を説明する
。以下の説明では、鉄の酸化物の化学結合状態の分析を
例にとって行なう。鉄の酸化物は、第2図に示されるよ
うに、その結合状態によってLα線としβ線との強度比
(ILα/It、β)が異なることが知られている。そ
こで、この実施例では、鉄のしα線およびLβ線を次の
ようにして測定する。
。以下の説明では、鉄の酸化物の化学結合状態の分析を
例にとって行なう。鉄の酸化物は、第2図に示されるよ
うに、その結合状態によってLα線としβ線との強度比
(ILα/It、β)が異なることが知られている。そ
こで、この実施例では、鉄のしα線およびLβ線を次の
ようにして測定する。
先ず、試料4をX方向に順次移動させて、電子線を照射
して該試料4からの特性X線を第1.第2分光器6a、
6bで分光し、さらに、各検出器7a。
して該試料4からの特性X線を第1.第2分光器6a、
6bで分光し、さらに、各検出器7a。
7bでそれぞれ鉄のしα線およびLβ線を同時に検出す
る。X方向に1ラインの分析が終了すると、Y方向に試
料4を移動させて次の1ラインの分析を同様に行なう。
る。X方向に1ラインの分析が終了すると、Y方向に試
料4を移動させて次の1ラインの分析を同様に行なう。
このようにして測定された特性X線の強度データは、特
性データ抽出手段8の記憶部に格納される。
性データ抽出手段8の記憶部に格納される。
次に、測定が終了して表示を行なう場合には、特性デー
タ抽出手段8において、結合状態に対応するしα線とL
731との強度比(ILα/ILβ)を各分析点につい
てそれぞれ演算して表示回路11に出力するとともに、
濃度に対応する各分析点におけるしα線またはLβ線の
いずれかの強度を表示回路11に出力する。
タ抽出手段8において、結合状態に対応するしα線とL
731との強度比(ILα/ILβ)を各分析点につい
てそれぞれ演算して表示回路11に出力するとともに、
濃度に対応する各分析点におけるしα線またはLβ線の
いずれかの強度を表示回路11に出力する。
表示回路11では、特性データ抽出手段8からのX線の
強度比に基づいて、CllT12の対応する画素の色相
を設定し、さらに、X線強度に基づいてその輝度を設定
する。すなわち、この表示回路1!では、特性データ抽
出手段8からのX線の強度比およびX線強度の二種類の
特性データを色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応
させてCnT l 2に表示する。
強度比に基づいて、CllT12の対応する画素の色相
を設定し、さらに、X線強度に基づいてその輝度を設定
する。すなわち、この表示回路1!では、特性データ抽
出手段8からのX線の強度比およびX線強度の二種類の
特性データを色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応
させてCnT l 2に表示する。
したがって、CRT 12には、X線の強度比に対応す
る元素の結合状態およびX線強度に対応する濃度が同時
に表示されることになる。
る元素の結合状態およびX線強度に対応する濃度が同時
に表示されることになる。
第3図は、CRT 12による表示の一例を示す図であ
る。この第3図において、試料の存在しない領域Aは黒
で表示され、FeOに対応する強度比の領域131.B
2は赤で表示され、Fetosに対応する強度比の領域
CI、C2は黄で表示される。
る。この第3図において、試料の存在しない領域Aは黒
で表示され、FeOに対応する強度比の領域131.B
2は赤で表示され、Fetosに対応する強度比の領域
CI、C2は黄で表示される。
濃度の高い領域111 、Clは、明かるく、濃度の低
い領域B 2 、C2は、暗く表示される。なお、Fe
OおよびPe5osの両方が混在するような場合には、
中間色で表示される。
い領域B 2 、C2は、暗く表示される。なお、Fe
OおよびPe5osの両方が混在するような場合には、
中間色で表示される。
このように、結合状態および濃度が同時に表示されるの
で、分析結果の解析が迅速、かつ、正確に行なえること
になる。
で、分析結果の解析が迅速、かつ、正確に行なえること
になる。
上述の実施例では、特性データ抽出手段8によってX線
の強度比を抽出するようにしたけれども、本発明の他の
実施例として、強度比に代えて結合状態に対応するピー
ク波長のシフト量、半価幅などを抽出して表示するよう
にしてもよい。
の強度比を抽出するようにしたけれども、本発明の他の
実施例として、強度比に代えて結合状態に対応するピー
ク波長のシフト量、半価幅などを抽出して表示するよう
にしてもよい。
第4図は、本発明の他の実施例に係るカソードルミネッ
センス装置の概略構成図である。同図において、21は
試料22に電子線を照射する電子銃、23は電子線を二
次元的に走査するスイープコイル、24はこのスィーブ
コイル23にスイープ信号を与えるスイープ信号発生回
路、25は反射鏡を介して与えられる試料からの発光(
カソードルミネッセンス)を分光する分光器、26は分
光された光を光電変換する検出器である。
センス装置の概略構成図である。同図において、21は
試料22に電子線を照射する電子銃、23は電子線を二
次元的に走査するスイープコイル、24はこのスィーブ
コイル23にスイープ信号を与えるスイープ信号発生回
路、25は反射鏡を介して与えられる試料からの発光(
カソードルミネッセンス)を分光する分光器、26は分
光された光を光電変換する検出器である。
このカソードルミネッセンス装置は、検出器26の出力
に基づいて、二種類の特性データ、この例では、ピーク
波長および強度を抽出する特性データ抽出手段27と、
この特性データ抽出手段27からの二NMの特性デー・
夕を、色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応させて
表示する表示手段28とを備えている。表示手段28は
、表示回路29とCRT30とから成る。31は各部を
制御する制御回路である。
に基づいて、二種類の特性データ、この例では、ピーク
波長および強度を抽出する特性データ抽出手段27と、
この特性データ抽出手段27からの二NMの特性デー・
夕を、色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応させて
表示する表示手段28とを備えている。表示手段28は
、表示回路29とCRT30とから成る。31は各部を
制御する制御回路である。
次に、このカソードルミネッセンス装置による分析方法
の手順を説明する。
の手順を説明する。
先ず、試料22の分析すべき特定の点に電子線を照射し
て分光器25を波長走査し、分光器25からの光を検出
器26で検出する。次に、電子線の照射位置をずらして
次の分析点の測定を同様に行なう。このようにして測定
された強度データは、特性データ抽出手段27に与えら
れ、対応する波長データとともに、記憶部に格納される
。
て分光器25を波長走査し、分光器25からの光を検出
器26で検出する。次に、電子線の照射位置をずらして
次の分析点の測定を同様に行なう。このようにして測定
された強度データは、特性データ抽出手段27に与えら
れ、対応する波長データとともに、記憶部に格納される
。
次に、測定が終了して表示を行なう場合には、特性デー
タ抽出手段27において、分析点におけるピーク波長お
よび強度データを抽出して表示回路29に出力する。
タ抽出手段27において、分析点におけるピーク波長お
よび強度データを抽出して表示回路29に出力する。
表示回路29では、特性データ抽出手段27からのピー
ク波長に基づいて、分析点に対応するCRT30の画素
の色相を設定し、さらに、強度に基づいてその輝度を設
定する。すなわち、この表示回路29では、特性データ
抽出手段27からのピーク波長および強度の二種類の特
性データを色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応さ
せてCRT30に表示する。
ク波長に基づいて、分析点に対応するCRT30の画素
の色相を設定し、さらに、強度に基づいてその輝度を設
定する。すなわち、この表示回路29では、特性データ
抽出手段27からのピーク波長および強度の二種類の特
性データを色相およびその色相の輝度にそれぞれ対応さ
せてCRT30に表示する。
このカソードルミネッセンス装置によって、例えば、第
5図に示されるように、試料22の5つの分析点A−E
について測定を行ない、第6図(A)〜(E)に示され
るスペクトルが各分析点A−Eについてそれぞれ得られ
たとすると、表示回路29では、ピーク波長に対応して
第7図に示されるように色相を設定するとともに、強度
に対応してその輝度を設定する。したがって、CRT3
0には、第8図に示されるように、分析点Aは黄色で暗
く、分析点Bは青色で明かるく、分析点Cは黄色で明か
るく、分析点りは青色で暗く、分析点Eは緑色で明かる
くそれぞれ表示されることになる。
5図に示されるように、試料22の5つの分析点A−E
について測定を行ない、第6図(A)〜(E)に示され
るスペクトルが各分析点A−Eについてそれぞれ得られ
たとすると、表示回路29では、ピーク波長に対応して
第7図に示されるように色相を設定するとともに、強度
に対応してその輝度を設定する。したがって、CRT3
0には、第8図に示されるように、分析点Aは黄色で暗
く、分析点Bは青色で明かるく、分析点Cは黄色で明か
るく、分析点りは青色で暗く、分析点Eは緑色で明かる
くそれぞれ表示されることになる。
したがちで、従来は複数のCL像で表示されていた情報
がCRT30で同時1こ表示されることになり、位置関
係を確実に把握でき、正確な分析結果の解析が可能とな
る。
がCRT30で同時1こ表示されることになり、位置関
係を確実に把握でき、正確な分析結果の解析が可能とな
る。
なお、本発明の他の実施例として、試料22からの発光
の色と同一の色相でCRT30に表示するようにしても
よい。
の色と同一の色相でCRT30に表示するようにしても
よい。
(へ)効果
以上のよう1こ本発明によれば、測定により得られた二
種類の特性データを、色相およびその色相の輝度にそれ
ぞれ対応させて同時に表示するので、従来例に比べて、
分析結果の解析が迅速、かつ、正確に行なえることにな
る。
種類の特性データを、色相およびその色相の輝度にそれ
ぞれ対応させて同時に表示するので、従来例に比べて、
分析結果の解析が迅速、かつ、正確に行なえることにな
る。
第1図は本発明の一実施例に係るEPMAの概略構成図
、第2図は鉄の酸化物のプロファイル、第3図は第1図
の実施例のCRT12による表示例を示す図、第4図は
本発明の他の実施例に係るカソードルミネッセンス装置
の概略構成図、第5図は試料の分析点を示す図、第6図
は第5図の各分析点のスペクトル、第7図はピーク波長
と色相との関係を示す図、第8図は第4図の実施例のC
RT30による表示例を示す図である。 1.21−・・電子銃、6a、6b、25−・・分光器
、7a。 7b、26・・・検出器、8.27・・・特性データ抽
出手段、9.28・・・表示手段。
、第2図は鉄の酸化物のプロファイル、第3図は第1図
の実施例のCRT12による表示例を示す図、第4図は
本発明の他の実施例に係るカソードルミネッセンス装置
の概略構成図、第5図は試料の分析点を示す図、第6図
は第5図の各分析点のスペクトル、第7図はピーク波長
と色相との関係を示す図、第8図は第4図の実施例のC
RT30による表示例を示す図である。 1.21−・・電子銃、6a、6b、25−・・分光器
、7a。 7b、26・・・検出器、8.27・・・特性データ抽
出手段、9.28・・・表示手段。
Claims (3)
- (1)試料に荷電粒子線を照射し、該試料から発生する
信号を分光し、この分光した信号を検出して前記試料の
各照射点についての二種類の特性データを抽出し、この
二種類の特性データを色相および該色相の輝度にそれぞ
れ対応させて表示することを特徴とする荷電粒子線分析
方法。 - (2)前記試料から発生する信号は、特性X線であり、
前記二種類の特性データは、X線の強度比およびX線強
度であり、X線の強度比を色相に、X線強度を該色相の
輝度にそれぞれ対応させるものである特許請求の範囲第
1項に記載の荷電粒子線分析方法。 - (3)前記試料から発生する信号は、カソードルミネッ
センスであり、前記二種類の特性データは、ピーク波長
および強度であり、ピーク波長を色相に、強度を該色相
の輝度にそれぞれ対応させるものである特許請求の範囲
第1項に記載の荷電粒子線分析方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62038657A JPS63205550A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 荷電粒子線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62038657A JPS63205550A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 荷電粒子線分析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63205550A true JPS63205550A (ja) | 1988-08-25 |
Family
ID=12531330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62038657A Pending JPS63205550A (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 | 荷電粒子線分析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63205550A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008020386A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Jeol Ltd | オージェ電子分光による化学状態分析法及び装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60143751A (ja) * | 1983-12-30 | 1985-07-30 | Shimadzu Corp | 分析情報カラ−表示方法 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP62038657A patent/JPS63205550A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60143751A (ja) * | 1983-12-30 | 1985-07-30 | Shimadzu Corp | 分析情報カラ−表示方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008020386A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Jeol Ltd | オージェ電子分光による化学状態分析法及び装置 |
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