JPS63196862A - 光プロ−ブ装置 - Google Patents
光プロ−ブ装置Info
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- JPS63196862A JPS63196862A JP2735887A JP2735887A JPS63196862A JP S63196862 A JPS63196862 A JP S63196862A JP 2735887 A JP2735887 A JP 2735887A JP 2735887 A JP2735887 A JP 2735887A JP S63196862 A JPS63196862 A JP S63196862A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光プローブ装置に関し、特にオシロスコープや
スペクトラムアナライザ等に被測定対象となる電気信号
(測定すべき電気信号)を供給するための電圧プローブ
や電流プローブ等に使用されるものである。
スペクトラムアナライザ等に被測定対象となる電気信号
(測定すべき電気信号)を供給するための電圧プローブ
や電流プローブ等に使用されるものである。
電圧プローブや電流プローブ(以下、単にプローブとい
う。)は、電気信号の波形観察や波形解析を行なう場合
に、被測定対象となる電気信号を測定器本体に入力する
入力手段として不可欠なものである。
う。)は、電気信号の波形観察や波形解析を行なう場合
に、被測定対象となる電気信号を測定器本体に入力する
入力手段として不可欠なものである。
以下、添付の第5図を参照して従来技術を説明する。
第5図は入力特性として高インピーダンスを示すFET
プローブとオシロスコープとを組合わせることにより、
電気信号の波形観察をする際の構成を示す説明図である
。図示の通り、プローブ90には同軸ケーブル91が接
続されている。ここで、被測定対象となる電気信号は、
プローブ90の先端部に設けられたプローブ電極92と
プローブ本体に設けられた接地端子93との間で検出さ
れる。従って、検出された電気信号は同軸ケーブル91
を介してメインユニット94に入力される。メインユニ
ット94には高い入力インピーダンス特性をもつFET
入力回路(図示しない)が内蔵されている。そして、こ
のメインユニット94の出力端子はオシロスコープ95
の入力端子に結合されている。・ このような従来の構成によれば、プローブ90で検出さ
れた電気信号は上述の通り同軸ケーブル91によってメ
インユニット94に供給される。
プローブとオシロスコープとを組合わせることにより、
電気信号の波形観察をする際の構成を示す説明図である
。図示の通り、プローブ90には同軸ケーブル91が接
続されている。ここで、被測定対象となる電気信号は、
プローブ90の先端部に設けられたプローブ電極92と
プローブ本体に設けられた接地端子93との間で検出さ
れる。従って、検出された電気信号は同軸ケーブル91
を介してメインユニット94に入力される。メインユニ
ット94には高い入力インピーダンス特性をもつFET
入力回路(図示しない)が内蔵されている。そして、こ
のメインユニット94の出力端子はオシロスコープ95
の入力端子に結合されている。・ このような従来の構成によれば、プローブ90で検出さ
れた電気信号は上述の通り同軸ケーブル91によってメ
インユニット94に供給される。
そして、所定の増幅または減衰処理等が施されたのち、
オシロスコープ95に入力されることになる。
オシロスコープ95に入力されることになる。
なお、一般に上記のFETプローブでは、直流入力抵抗
が10MΩ、入力容量が2〜l0DF程度とされるのが
普通である。周波数帯域が500MH2〜1G)−12
の同軸ケーブルとしては、ケーブル径が7〜8m程度の
銅線編組されたポリエチレン被覆同軸ケーブルが用いら
れるのが普通である。また、簡易なプローブとしての抵
抗プローブでは、直流入力抵抗が500Ω〜10MΩ、
入力容量が1 pF程度のものが用いられるのが普通で
ある。また、電流プローブとしては、プローブ先端部に
電流検出用トランスを設けるのが普通である。
が10MΩ、入力容量が2〜l0DF程度とされるのが
普通である。周波数帯域が500MH2〜1G)−12
の同軸ケーブルとしては、ケーブル径が7〜8m程度の
銅線編組されたポリエチレン被覆同軸ケーブルが用いら
れるのが普通である。また、簡易なプローブとしての抵
抗プローブでは、直流入力抵抗が500Ω〜10MΩ、
入力容量が1 pF程度のものが用いられるのが普通で
ある。また、電流プローブとしては、プローブ先端部に
電流検出用トランスを設けるのが普通である。
上記の従来の技術では、測定すべき電気信号(被測定対
象である電気信号)はプローブ90によって検出され、
電気信号のままで同軸ケーブル91によって伝送される
。そして、メインユニット94に供給されて増幅処理等
がされたのち、オシロスコープ等の測定器本体に供給さ
れ、ここで波形観察等が行なわれる。
象である電気信号)はプローブ90によって検出され、
電気信号のままで同軸ケーブル91によって伝送される
。そして、メインユニット94に供給されて増幅処理等
がされたのち、オシロスコープ等の測定器本体に供給さ
れ、ここで波形観察等が行なわれる。
ところで、一般に被測定対象となる電気信号の検出に際
しては、第1に忠実に電気信号を検出することが可能で
あること、第2に電気信号の検出によって被測定回路の
動作に悪影響を与えないこと、第3に検出した電気信号
を歪みなく測定器本体に供給することが可能であること
、等が必要である。また、上記の電気的諸要件に加えて
プローブの操作性が優れ、微細に入りくんだプリント基
板の所要の個所にプローブを接触することが可能−なも
のでなければならない。
しては、第1に忠実に電気信号を検出することが可能で
あること、第2に電気信号の検出によって被測定回路の
動作に悪影響を与えないこと、第3に検出した電気信号
を歪みなく測定器本体に供給することが可能であること
、等が必要である。また、上記の電気的諸要件に加えて
プローブの操作性が優れ、微細に入りくんだプリント基
板の所要の個所にプローブを接触することが可能−なも
のでなければならない。
このような電気的諸要件を満すためには、プローブは高
入力インピーダンスで高周波特性に優れていなければな
らず、同時に同軸ケーブルも損失が少なく高周波伝送特
性に優れていなければならない。ところが、プローブが
検出した電気信号を伝送する同軸ケーブルが上記の電気
的諸要件を充分に満すためには、高周波特性に優れ、か
つ低損失でなければならず、従って同軸ケーブルの外径
は太くなる。その結果、同軸ケーブルは可撓性に欠ける
こととなり、プローブの操作性を劣悪にするという相反
する問題点をもっている。このため、従来の技術による
と、高周波特性に優れ、被測定対象となる電気信号を検
出するプローブであって、しかも操作性のよいプローブ
は実現することができなかった。
入力インピーダンスで高周波特性に優れていなければな
らず、同時に同軸ケーブルも損失が少なく高周波伝送特
性に優れていなければならない。ところが、プローブが
検出した電気信号を伝送する同軸ケーブルが上記の電気
的諸要件を充分に満すためには、高周波特性に優れ、か
つ低損失でなければならず、従って同軸ケーブルの外径
は太くなる。その結果、同軸ケーブルは可撓性に欠ける
こととなり、プローブの操作性を劣悪にするという相反
する問題点をもっている。このため、従来の技術による
と、高周波特性に優れ、被測定対象となる電気信号を検
出するプローブであって、しかも操作性のよいプローブ
は実現することができなかった。
そこで本発明は、被測定対象となる電気信号を忠実に検
出でき、しかも操作性に優れたプローブを提供すること
を目的とする。
出でき、しかも操作性に優れたプローブを提供すること
を目的とする。
本発明の第1の態様による光プローブ装置は、被測定対
象となる電気信号を検出するためのものであって、次の
要素を備えることを特徴とする。
象となる電気信号を検出するためのものであって、次の
要素を備えることを特徴とする。
すなわち、プローブの先端部分に設けられたプローブ電
極部材に電気的に接続され、これからの電気信号を入力
する電気光学効果結晶部材と、この電気光学効果結晶部
材に光信号を入射する光信号入射手段と、電気光学効果
結晶部材から出射される光出力信号を伝送する光出力信
号伝送手段と、この光出力信号伝送手段から受けた光出
力信号を光電変換し、これを被測定対象である電気信号
を検出して得られる検出信号として出力する光電変換手
段とを備えるものである。
極部材に電気的に接続され、これからの電気信号を入力
する電気光学効果結晶部材と、この電気光学効果結晶部
材に光信号を入射する光信号入射手段と、電気光学効果
結晶部材から出射される光出力信号を伝送する光出力信
号伝送手段と、この光出力信号伝送手段から受けた光出
力信号を光電変換し、これを被測定対象である電気信号
を検出して得られる検出信号として出力する光電変換手
段とを備えるものである。
本発明の第2の態様による光プローブ装置は、上記の第
1の態様の如き電気光学効果結晶部材と、光信号入射手
段と、光出力信号伝送手段と、光電変換手段とを備える
ものであって、さらに電気光学効果結晶部材にバイアス
電圧を印加するバイアス電圧印加手段を備えることを特
徴とするものである。
1の態様の如き電気光学効果結晶部材と、光信号入射手
段と、光出力信号伝送手段と、光電変換手段とを備える
ものであって、さらに電気光学効果結晶部材にバイアス
電圧を印加するバイアス電圧印加手段を備えることを特
徴とするものである。
本発明の第1の態様によれば、以上のように光プローブ
装置を構成したので、プローブ電極部材は被測定対象と
なる電気信号を検出してこれを電気光学効果結晶部材に
供給し、電気光学効果結晶部材は入力される電気信号に
応じて該結晶部材の光学特性を変化させ、光信号入射手
段によって入射される光信号を電気光学効果に基づいて
光変調し、出射光としての光出力信号を伝送手段に供給
するように働く。光出力信号伝送手段は光出力信号を伝
送して光電変換手段に入射し、光電変換手段は光出力信
号を受けてこれを光電変換し、検出信号として出力する
ように働き、従って被測定対象である電気信号に対応し
た検出信号を外部のオシロスコープ等に供給するように
作用する。
装置を構成したので、プローブ電極部材は被測定対象と
なる電気信号を検出してこれを電気光学効果結晶部材に
供給し、電気光学効果結晶部材は入力される電気信号に
応じて該結晶部材の光学特性を変化させ、光信号入射手
段によって入射される光信号を電気光学効果に基づいて
光変調し、出射光としての光出力信号を伝送手段に供給
するように働く。光出力信号伝送手段は光出力信号を伝
送して光電変換手段に入射し、光電変換手段は光出力信
号を受けてこれを光電変換し、検出信号として出力する
ように働き、従って被測定対象である電気信号に対応し
た検出信号を外部のオシロスコープ等に供給するように
作用する。
本発明の第2の態様によれば、前述のように光プローブ
装置を構成したので、プローブ電極部材は被測定対象と
なる電気信号を検出して電気光学効果結晶部材に供給し
、電気光学効果結晶部材は入力される電気信号に応じて
該結晶部材の光学特性を変化させるように働く。また、
バイアス印加手段は該結晶部材に所定のバイアス電圧を
印加し、該結晶部材が電気信号によって光学特性を変え
る変化領域を所定の領域に設定するように働く。そして
、電気光学効果結晶部材は電気信号とバイアス電圧とに
よって、光信号入射手段から入射される光信号を電気光
学効果に基づいて光変調し、光出力信号を光出力信号伝
送手段に供給するように働き、光出力信号伝送手段は光
出力信号を伝送して光電変換手段に入射するように働き
、光電変換手段は光出力信号を受けて光電変換し、検出
信号として出力するように働き、従って電気信号に対応
する検出信号を外部のオシロスコープ等に供給するよう
に作用する。
装置を構成したので、プローブ電極部材は被測定対象と
なる電気信号を検出して電気光学効果結晶部材に供給し
、電気光学効果結晶部材は入力される電気信号に応じて
該結晶部材の光学特性を変化させるように働く。また、
バイアス印加手段は該結晶部材に所定のバイアス電圧を
印加し、該結晶部材が電気信号によって光学特性を変え
る変化領域を所定の領域に設定するように働く。そして
、電気光学効果結晶部材は電気信号とバイアス電圧とに
よって、光信号入射手段から入射される光信号を電気光
学効果に基づいて光変調し、光出力信号を光出力信号伝
送手段に供給するように働き、光出力信号伝送手段は光
出力信号を伝送して光電変換手段に入射するように働き
、光電変換手段は光出力信号を受けて光電変換し、検出
信号として出力するように働き、従って電気信号に対応
する検出信号を外部のオシロスコープ等に供給するよう
に作用する。
以下、添付図面の第1図ないし第4図を参照して、本発
明のいくつかの実施例を説明する。なお、以下の図面の
説明において同一要素には同一符号を付し、その説明の
重複をさけている。
明のいくつかの実施例を説明する。なお、以下の図面の
説明において同一要素には同一符号を付し、その説明の
重複をさけている。
第1図は本発明の第1の実施例の構成を示す図であり、
プローブは断面にて示しである。光プローブ1の先端部
にはプローブ電極2が設けられ、プローブ電極2は光プ
ローブ1に内蔵される電気光学効果結晶部材3の一方の
電極に接続されている。また、電気光学効果結晶部材3
の他方の電極はプローブケース11に接続されている。
プローブは断面にて示しである。光プローブ1の先端部
にはプローブ電極2が設けられ、プローブ電極2は光プ
ローブ1に内蔵される電気光学効果結晶部材3の一方の
電極に接続されている。また、電気光学効果結晶部材3
の他方の電極はプローブケース11に接続されている。
電気光学効果結晶部材3の一端には光信号入射手段とし
ての入射光ファイバ4が接続され、電気光学効果結晶部
材3の他端には光出力信号伝送手段としての出射光ファ
イバ5が接続されている。
ての入射光ファイバ4が接続され、電気光学効果結晶部
材3の他端には光出力信号伝送手段としての出射光ファ
イバ5が接続されている。
これら入射光ファイバ4と出射光ファイバ5はメインユ
ニット6に接続されている。そして入射光ファイバ4に
は、レーザダイオード61で発光され偏光子62を通過
した光が入射されている。
ニット6に接続されている。そして入射光ファイバ4に
は、レーザダイオード61で発光され偏光子62を通過
した光が入射されている。
出射光ファイバ5からメインユニット6に供給される光
信号は、検光子63を通過したのち光検出器64に入射
される。そして、ここで光電変換された検出信号が増幅
器64から外部のオシロスコープ等に供給される構造に
なっている。
信号は、検光子63を通過したのち光検出器64に入射
される。そして、ここで光電変換された検出信号が増幅
器64から外部のオシロスコープ等に供給される構造に
なっている。
次に、上記第1の実施例の動作を説明する。
上記実施例の構成によれば、メインユニット6に内蔵さ
れるレーザーダイオード61から発せられた光は偏光子
62によって偏光され、入射光ファイバ5を経由してプ
ローブ1内の電気光学効果結晶部材3に入射される。こ
こで、電気光学効果結晶部材3の一方の電極には、プロ
ーブ電極2から被測定対象である電気信号が入力されて
おり、電気光学効果結晶部材3の他方の電極はプローブ
ケース11に接続されている。
れるレーザーダイオード61から発せられた光は偏光子
62によって偏光され、入射光ファイバ5を経由してプ
ローブ1内の電気光学効果結晶部材3に入射される。こ
こで、電気光学効果結晶部材3の一方の電極には、プロ
ーブ電極2から被測定対象である電気信号が入力されて
おり、電気光学効果結晶部材3の他方の電極はプローブ
ケース11に接続されている。
従って、電気光学効果結晶部材3の対抗する電極の間に
は、電気信号に応じた電界が発生させられることになる
。−このため、電気光学効果結晶部材3の光学特性は電
気信号によって変化させられる。すると、該結晶部材3
を通過する光信号は偏光度が変化された光出力信号とな
り、この光出力信号は出射光ファイバ5に入射されてメ
インユニット6に光伝送されることになる。
は、電気信号に応じた電界が発生させられることになる
。−このため、電気光学効果結晶部材3の光学特性は電
気信号によって変化させられる。すると、該結晶部材3
を通過する光信号は偏光度が変化された光出力信号とな
り、この光出力信号は出射光ファイバ5に入射されてメ
インユニット6に光伝送されることになる。
メインユニット6の検光子63は、偏光度変化を伴う光
出力信号から所定の偏光成分の光信号のみを通過させ、
これを光検出器64に照射させる。
出力信号から所定の偏光成分の光信号のみを通過させ、
これを光検出器64に照射させる。
光検出器64は入射された光信号を光電変換し、出力信
号(電気信号)を増幅器65に供給する。
号(電気信号)を増幅器65に供給する。
その結果、増幅器65の出力信号は光プローブ1が検出
した電気信号に対応したものとなり、測定目的に合わせ
てメインユニット6に結合される測定器本体には、被測
定対象である電気信号に対応した検出信号が提供される
ことになる。
した電気信号に対応したものとなり、測定目的に合わせ
てメインユニット6に結合される測定器本体には、被測
定対象である電気信号に対応した検出信号が提供される
ことになる。
次に、本発明の第2の実施例を説明する。
第2図はこの実施例の構成を示す図で、プローブを断面
にて示しである。そして、この実施例の構成が第1図に
示す第1の実施例の構成と異なる点は、次の4点におる
。すなわち、第1は、光プローブ1に内蔵される電気光
学効果結晶部材3には直流バイアスの印加電極が設けら
れ、直流バイアス電圧がメインユニット6に内蔵される
バイアス電圧発生回路66から印加可能な構造になって
いることである。第2は、光プローブ1の軸方向に平行
に電気光学効果結晶部材3が配設され、これが絶縁層1
2及び接地電極13を介してプローブケース11に取付
けられていることである。第3は、入射光ファイバ4と
出射光ファイバ5が一定の空間距離を保ちながら、電気
光学効果結晶部材3の一端と弛端とに対抗して配置され
ていることである。第4は、メインユニット6のバイア
ス電圧発生回路66から光プローブ1に、バイアス印加
電線67と接地電位電線68が接続されていることであ
る。そしてこの電線67.68は、入射光ファイバ4と
出射光ファイバ5とに平行している。
にて示しである。そして、この実施例の構成が第1図に
示す第1の実施例の構成と異なる点は、次の4点におる
。すなわち、第1は、光プローブ1に内蔵される電気光
学効果結晶部材3には直流バイアスの印加電極が設けら
れ、直流バイアス電圧がメインユニット6に内蔵される
バイアス電圧発生回路66から印加可能な構造になって
いることである。第2は、光プローブ1の軸方向に平行
に電気光学効果結晶部材3が配設され、これが絶縁層1
2及び接地電極13を介してプローブケース11に取付
けられていることである。第3は、入射光ファイバ4と
出射光ファイバ5が一定の空間距離を保ちながら、電気
光学効果結晶部材3の一端と弛端とに対抗して配置され
ていることである。第4は、メインユニット6のバイア
ス電圧発生回路66から光プローブ1に、バイアス印加
電線67と接地電位電線68が接続されていることであ
る。そしてこの電線67.68は、入射光ファイバ4と
出射光ファイバ5とに平行している。
次に、第3図を参照して上記第2の実施例の動作を説明
する。
する。
第3図は電気光学効果結晶部材3に印加される印加電圧
と、該結晶部材3を通過しメインユニット6の検光子6
3を介して光検出器64により光電変換される光信号の
出力光強度との関係を示す説明図である。一般に電気光
学効果をもつ結晶物質や液晶物質では、リターデーショ
ンに電圧依存性をもち、検光子63から得られる光出力
信号の光強度は、これらの電気光学効果結晶部材に加え
られる電圧の変化に従って非線形に変化する。と−ころ
が、光プローブによって電気信号を検出する場合におい
ては、電気信号による電気光学効果結晶部材の光学特性
の変化を、直線性に優れたいわゆるダイナミックレンチ
内で動作させることが必要である。
と、該結晶部材3を通過しメインユニット6の検光子6
3を介して光検出器64により光電変換される光信号の
出力光強度との関係を示す説明図である。一般に電気光
学効果をもつ結晶物質や液晶物質では、リターデーショ
ンに電圧依存性をもち、検光子63から得られる光出力
信号の光強度は、これらの電気光学効果結晶部材に加え
られる電圧の変化に従って非線形に変化する。と−ころ
が、光プローブによって電気信号を検出する場合におい
ては、電気信号による電気光学効果結晶部材の光学特性
の変化を、直線性に優れたいわゆるダイナミックレンチ
内で動作させることが必要である。
そこで、電気光学効果結晶部材に予め所定のバアス電圧
(V、)を印加し、それによってプローブ電極2から電
気光学効果結晶部材3に加わる電気信号を該結晶部材3
のダイナミックレンチ内のものとする。このようにすれ
ば、ダイナミックレンジの範囲内で変化する光出力信号
をメインユニット6に供給し、被測定対象である電気信
号に忠実に対応した検出信号を測定器本体に供給するこ
とができる。
(V、)を印加し、それによってプローブ電極2から電
気光学効果結晶部材3に加わる電気信号を該結晶部材3
のダイナミックレンチ内のものとする。このようにすれ
ば、ダイナミックレンジの範囲内で変化する光出力信号
をメインユニット6に供給し、被測定対象である電気信
号に忠実に対応した検出信号を測定器本体に供給するこ
とができる。
次に、上記第1および第2の実施例に用いられる電気光
学効果結晶部材の構造を説明する。
学効果結晶部材の構造を説明する。
第4図はかかる電気光学効果結晶部材の構造の例を示す
説明図である。同図(A)は導波路型電気光学効果結晶
部材の構造を示す斜視図であり、電気光学効果結晶部材
31には導波路32が形成され、該結晶31の土浦には
3つの分離した電極33.34.35が形成されている
。この構造によれば、導波路32の中央に設けられた電
極34にバイアス電圧(VB)を印加し、他の電極33
゜35にプローブ電極から入力される電気信号を供給す
ることもあるいは、電極34に電気信号を入力し、電極
33にバイアスを印加し、電極35を接地する構成とす
ることも可能である。
説明図である。同図(A)は導波路型電気光学効果結晶
部材の構造を示す斜視図であり、電気光学効果結晶部材
31には導波路32が形成され、該結晶31の土浦には
3つの分離した電極33.34.35が形成されている
。この構造によれば、導波路32の中央に設けられた電
極34にバイアス電圧(VB)を印加し、他の電極33
゜35にプローブ電極から入力される電気信号を供給す
ることもあるいは、電極34に電気信号を入力し、電極
33にバイアスを印加し、電極35を接地する構成とす
ることも可能である。
第4図(B)は干渉型電気光学効果結晶部材の構造を示
す断面図であり、電気光学効果結晶部材31の上面には
電極39が設けられ、底面36は完全な反射面に仕上げ
られている。そして、入射光ファイバ4からの光は該結
晶部材の厚みの方向から入射され、電気光学効果結晶部
材31の表面37と底面36の両面からの反射光が互い
に干渉しつつ、出射光ファイバ5に入射される構造とな
っている。
す断面図であり、電気光学効果結晶部材31の上面には
電極39が設けられ、底面36は完全な反射面に仕上げ
られている。そして、入射光ファイバ4からの光は該結
晶部材の厚みの方向から入射され、電気光学効果結晶部
材31の表面37と底面36の両面からの反射光が互い
に干渉しつつ、出射光ファイバ5に入射される構造とな
っている。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の
変形が可能である。
変形が可能である。
例えば、上記第1および第2の実施例の説明では、電気
光学効果結晶部材の材質について特に触れていないが、
Li Nb 03 、KDP、KTN。
光学効果結晶部材の材質について特に触れていないが、
Li Nb 03 、KDP、KTN。
LiTaO3,5rxBa1−xNb206などの各種
の固相結晶物質でもよく、あるいはMBBA(n−p−
methoxybenzyl 1dne−p−n−bu
tylani l 1ne)などの液相結晶(液晶)物
質でもよい。
の固相結晶物質でもよく、あるいはMBBA(n−p−
methoxybenzyl 1dne−p−n−bu
tylani l 1ne)などの液相結晶(液晶)物
質でもよい。
また、バイアス電圧値はLiNbO3の場合には数V〜
数’1OOVの直流電圧であり、電界強度は数千V /
ramとなる。いずれにせよ、上記実施例によれば直
流入力抵抗が10MΩ〜100MΩでめり、入力容母が
0.1 1)F〜数1)Fのものが実現可能である。
数’1OOVの直流電圧であり、電界強度は数千V /
ramとなる。いずれにせよ、上記実施例によれば直
流入力抵抗が10MΩ〜100MΩでめり、入力容母が
0.1 1)F〜数1)Fのものが実現可能である。
また、光入射ファイバや光出射ファイバには仕上り径2
〜3!II!11、ファイバ径0.125m程度の細い
柔軟性に優れた光ファイバを用いることができる。この
にうにすれば、従来の同軸ケーブルに比較して、数GH
2迄の優れた高周波特性と、機械的な可撓性を兼ね備え
たものとすることができる。
〜3!II!11、ファイバ径0.125m程度の細い
柔軟性に優れた光ファイバを用いることができる。この
にうにすれば、従来の同軸ケーブルに比較して、数GH
2迄の優れた高周波特性と、機械的な可撓性を兼ね備え
たものとすることができる。
上記実施例の説明では、レーザダイオードをメインユニ
ツ1〜の内部に設けるとし、光入射ファイバによって光
プローブに光信号を伝送するとしたが、それに限られる
ものではない。例えば、光プローブ内の電気光学効果結
晶部材12の近傍にレーザダイオードを一体的に設け、
メインユニットからレーザダイオード駆動用の信号電線
を接続するようにしてもよい。レーザダイオードからは
一定の光出力が発せられればよいので、信号伝送上での
周波数特性やノイズ発生は問題とならない。
ツ1〜の内部に設けるとし、光入射ファイバによって光
プローブに光信号を伝送するとしたが、それに限られる
ものではない。例えば、光プローブ内の電気光学効果結
晶部材12の近傍にレーザダイオードを一体的に設け、
メインユニットからレーザダイオード駆動用の信号電線
を接続するようにしてもよい。レーザダイオードからは
一定の光出力が発せられればよいので、信号伝送上での
周波数特性やノイズ発生は問題とならない。
また、光プローブとメインユニットとの結合ケーブルは
出射光ファイバ及びそれに平行する数本の電線だけとな
るので、経済的な光プローブ装置を提供できる。
出射光ファイバ及びそれに平行する数本の電線だけとな
るので、経済的な光プローブ装置を提供できる。
また、上記第1および第2の実施例では、電圧プローブ
を例として図示説明しているが、それに限られるもので
はなく、電流プローブやデイファレンシ力ルプローブな
どにも適用可能である。
を例として図示説明しているが、それに限られるもので
はなく、電流プローブやデイファレンシ力ルプローブな
どにも適用可能である。
[発明の効果)
以上、詳細に説明した通り本発明によれば、プローブの
内部に電気光学効果結晶部材を設け、ブーローブ電極に
よって検出した電気信号を電気光学効果によって光変調
された光出力信号となし、その光出力信号を光出力伝送
手段により伝送してメインユニットに導入し、光電変換
して被測定対象である電気信号に対応した検出信号を得
るようにしたので、従来技術の如く、高周波特性を満す
ための太い同軸ケーブルをプローブに接続する必要がな
く、細い光ファイバによってプローブとメインユニット
を接続することができる。その結果、従来技術では不可
能とされていた優れた高周波特性と、プローブの優れた
操作性との両立を可能にさせることができるという効果
を秦する。
内部に電気光学効果結晶部材を設け、ブーローブ電極に
よって検出した電気信号を電気光学効果によって光変調
された光出力信号となし、その光出力信号を光出力伝送
手段により伝送してメインユニットに導入し、光電変換
して被測定対象である電気信号に対応した検出信号を得
るようにしたので、従来技術の如く、高周波特性を満す
ための太い同軸ケーブルをプローブに接続する必要がな
く、細い光ファイバによってプローブとメインユニット
を接続することができる。その結果、従来技術では不可
能とされていた優れた高周波特性と、プローブの優れた
操作性との両立を可能にさせることができるという効果
を秦する。
第1図は本発明の第1の実施例の構成を示す図、第2図
は本発明の第2の実施例の構成を示す図、第3図は第2
の実施例の動作を説明する図、第4図は第1及び第2の
実施例の電気光学効果結晶部材の構成を示す説明図、第
5図は従来技術を説明する図である。 1・・・光プローブ、2・・・プローブ電極、3・・・
電気光学効果結晶部材、4・・・入射光ファイバ、5・
・・出射光ファイバ、6・・・メインユニット、61・
・・レーザダイオード、64・・・光検出器。 第1実施例の構成図 第 1 図 第2実施例の構成図 第 2 図 印加電圧 光出力強度と印加電圧の説明図 第 3 図 (A) j6 (B) 電気光学効果結晶部材の構成 第 4 図 従来技術の説明図 第 5 図
は本発明の第2の実施例の構成を示す図、第3図は第2
の実施例の動作を説明する図、第4図は第1及び第2の
実施例の電気光学効果結晶部材の構成を示す説明図、第
5図は従来技術を説明する図である。 1・・・光プローブ、2・・・プローブ電極、3・・・
電気光学効果結晶部材、4・・・入射光ファイバ、5・
・・出射光ファイバ、6・・・メインユニット、61・
・・レーザダイオード、64・・・光検出器。 第1実施例の構成図 第 1 図 第2実施例の構成図 第 2 図 印加電圧 光出力強度と印加電圧の説明図 第 3 図 (A) j6 (B) 電気光学効果結晶部材の構成 第 4 図 従来技術の説明図 第 5 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、プローブの先端部分に設けられ、被測定対象となる
電気信号を入力するためのプローブ電極部材と、 このプローブ電極部材に電気的に接続された電気光学効
果結晶部材と、 この電気光学効果結晶部材に光信号を入射するための光
信号入射手段と、 前記電気光学効果結晶部材から出射される光出力信号を
伝送するための光出力信号伝送手段と、この光出力信号
伝送手段からの前記光出力信号を受けて光電変換し、こ
れを前記電気信号を検出して得られる検出信号として出
力する光電変換手段と を備えた光プローブ装置。 2、前記電気光学効果結晶部材は光導波路型の電気光学
効果結晶部材である特許請求の範囲第1項記載の光プロ
ーブ装置。 3、前記電気光学効果結晶部材は光干渉型の電気光学効
果結晶部材である特許請求の範囲第1項記載の光プロー
ブ装置。 4、プローブの先端部分に設けられ、被測定対象となる
電気信号を入力するためのプローブ電極部材と、 このプローブ電極部材に電気的に接続された電気光学効
果結晶部材と、 この電気光学効果結晶部材に光信号を入射するための光
信号入射手段と、 前記電気光学効果結晶部材にバイアス電圧を印加するた
めのバイアス電圧印加手段と、 前記電気光学効果結晶部材から出射される光出力信号を
伝送する光出力信号伝送手段と、 この光出力信号伝送手段からの前記光出力信号を受けて
光電変換し、これを前記電気信号を検出して得られる検
出信号として出力する光電変換手段と を備えた光プローブ装置。 5、前記電気光学効果結晶部材は光導波路型の電気光学
効果結晶部材である特許請求の範囲第4項記載の光プロ
ーブ装置。 6、前記電気光学効果結晶部材は光干渉型の電気光学効
果結晶部材である特許請求の範囲第4項記載の光プロー
ブ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2735887A JPS63196862A (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光プロ−ブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2735887A JPS63196862A (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光プロ−ブ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63196862A true JPS63196862A (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=12218826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2735887A Pending JPS63196862A (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光プロ−ブ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63196862A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052951A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Yokogawa Electric Corp | プローブ装置およびこれを用いた信号測定装置 |
JP2018197746A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-12-13 | テクトロニクス・インコーポレイテッドTektronix,Inc. | 電気光学センサ及びマッハツェンダ変調器の利用方法 |
-
1987
- 1987-02-10 JP JP2735887A patent/JPS63196862A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012052951A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Yokogawa Electric Corp | プローブ装置およびこれを用いた信号測定装置 |
JP2018197746A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-12-13 | テクトロニクス・インコーポレイテッドTektronix,Inc. | 電気光学センサ及びマッハツェンダ変調器の利用方法 |
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