JPS63179064A - 巻付けロ−ル - Google Patents
巻付けロ−ルInfo
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- JPS63179064A JPS63179064A JP1010787A JP1010787A JPS63179064A JP S63179064 A JPS63179064 A JP S63179064A JP 1010787 A JP1010787 A JP 1010787A JP 1010787 A JP1010787 A JP 1010787A JP S63179064 A JPS63179064 A JP S63179064A
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- roll
- pipes
- shell
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- heat pipes
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は連続式真空蒸着装置の蒸着部に適用される巻付
ロー〃に関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にもa用できるロール
構造に関する。
ロー〃に関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にもa用できるロール
構造に関する。
銅帯等の基板に連続的に例えば亜鉛等の金属をめっきす
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
図中、1は銅帯(蒸着基板)、2は複数のシール室から
なる真空シール装置、3は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ロー/L’4を加
熱するヒータである。
なる真空シール装置、3は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ロー/L’4を加
熱するヒータである。
7は浴槽で、内部には溶融金属(亜鉛等)6が存在し、
該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生させ、矢印2で
示すようにダクト(チャンネル)8で鋼帯1tで導く。
該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生させ、矢印2で
示すようにダクト(チャンネル)8で鋼帯1tで導く。
鋼帯1に蒸着させるに必要な金属蒸気量(蒸発量)は、
浴槽7内に設置したヒータ9の電力と、浴槽7出口に設
置したシャッタ10を例えばシリンダ等の開閉装置11
で開閉して開口部120面積を変えるととによシ制御で
きるように構成されている。
浴槽7内に設置したヒータ9の電力と、浴槽7出口に設
置したシャッタ10を例えばシリンダ等の開閉装置11
で開閉して開口部120面積を変えるととによシ制御で
きるように構成されている。
上記の浴槽7内の溶融金属6は、蒸着室3下部の溶解炉
13から圧力差によシスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
13から圧力差によシスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
蒸着室3は、管15及び弁16を介して真空ポンプ17
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素(Ns )等の不活性ガスによシ保持されて
いる′。
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力より低い
圧力に窒素(Ns )等の不活性ガスによシ保持されて
いる′。
以上の構成において、運転に際しては製造指令(鋼種、
板側、板厚、通板速度、目標蒸着量等)に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当シの蒸着量)に
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャツタ10
開度を調整することによシ、銅帯1表面の蒸着膜すなわ
ち蒸着膜厚を目標値に制御する。
板側、板厚、通板速度、目標蒸着量等)に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当シの蒸着量)に
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャツタ10
開度を調整することによシ、銅帯1表面の蒸着膜すなわ
ち蒸着膜厚を目標値に制御する。
ところで、従来の巻付ロールでは、亜鉛蒸気がロール表
面に蒸着しないように、ロール内部にヒータを設はロー
ルを約500℃に加熱している。
面に蒸着しないように、ロール内部にヒータを設はロー
ルを約500℃に加熱している。
第3図において、ロー14/4の内部に配置されたヒー
タ5でロール4を加熱しているが、ヒータ5はロール全
長にわたっているのに対して、銅帯10幅は各種寸法の
銅帯を取シ扱うためロールよシもせまく、シかもロー〃
4が約500℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつ
き前適正温度である200〜250℃である。
タ5でロール4を加熱しているが、ヒータ5はロール全
長にわたっているのに対して、銅帯10幅は各種寸法の
銅帯を取シ扱うためロールよシもせまく、シかもロー〃
4が約500℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつ
き前適正温度である200〜250℃である。
従って、第3図に示したようにローA/4表面のうち中
央部の銅帯に接触する部分A部は温度が低く、ローフ&
/4端の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなっ
てしまう。
央部の銅帯に接触する部分A部は温度が低く、ローフ&
/4端の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなっ
てしまう。
しかも、鋼帯1に接触しているA部の内でも接触面圧の
不均等によって温度差があるため、ローA/4全体に熱
変形が生じ、ロール曲シ、振動を生じて鋼帯1の破断あ
るいはめつき面への傷の原因となっていた。
不均等によって温度差があるため、ローA/4全体に熱
変形が生じ、ロール曲シ、振動を生じて鋼帯1の破断あ
るいはめつき面への傷の原因となっていた。
本発明は、このような欠点のない巻付ロールを提供する
ものである。
ものである。
本発明は、シェル内部ロール軸方向に複数本のヒートパ
イプを設け、かつこれらのヒートパイプの両端部を互い
に連結する環状の溝をシェル内部に設けた巻付はロール
に関するものである。
イプを設け、かつこれらのヒートパイプの両端部を互い
に連結する環状の溝をシェル内部に設けた巻付はロール
に関するものである。
本発明では、シェル内部ローN周方向に設けられたヒー
トパイプがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度を軸方
向に均一化する。
トパイプがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のロール温度を軸方
向に均一化する。
また本発明では、シェル内部ローN周方向にこれらのヒ
ートパイプの両端部を互いに連結する環状の溝が設けら
れておシ、該溝によシこれらのヒートパイプは内部の作
動流体を共有し、該作動流体は蒸気あるいは液体の伏線
で各ヒートパイプ間を往来して、これらの連結されたヒ
ートパイプの内部を同一の作動温度、作動圧力とする。
ートパイプの両端部を互いに連結する環状の溝が設けら
れておシ、該溝によシこれらのヒートパイプは内部の作
動流体を共有し、該作動流体は蒸気あるいは液体の伏線
で各ヒートパイプ間を往来して、これらの連結されたヒ
ートパイプの内部を同一の作動温度、作動圧力とする。
第1図囚とそのA−A線断面図である第1図CB)は本
発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
図において、4はロール軸方向、18はヒートパイプで
、この例ではシェル内部にロール軸方向に複数本の穴を
設け、この穴をヒートパイプとしたものである。19は
シェル内部にロール円周方向に設けた環状の溝であり、
複数本の軸方向のヒートパイプ18はこの円周方向の溝
19によって連結されている。5はヒータであシ、ロー
ルシエJv4を加熱する。
、この例ではシェル内部にロール軸方向に複数本の穴を
設け、この穴をヒートパイプとしたものである。19は
シェル内部にロール円周方向に設けた環状の溝であり、
複数本の軸方向のヒートパイプ18はこの円周方向の溝
19によって連結されている。5はヒータであシ、ロー
ルシエJv4を加熱する。
複数本のヒートパイプ18は、互いに各々の両端部で溝
19によシ連結され、内部作動流体が各ビー12411
8間を往来して各ヒートパイプ18の夫々を同一温度、
同一圧力とすると共に、各ヒートパイプ18は夫々その
全長にわたって同一温度、同一圧力を保持し、この結果
、ロール全面の温度が均一となる。
19によシ連結され、内部作動流体が各ビー12411
8間を往来して各ヒートパイプ18の夫々を同一温度、
同一圧力とすると共に、各ヒートパイプ18は夫々その
全長にわたって同一温度、同一圧力を保持し、この結果
、ロール全面の温度が均一となる。
本発明によればロールシェル内部の全てのヒートパイプ
が連結され、同一温度で作動するため、ロール全体が均
一温度となシ、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断
、めっき面の傷の発生が防止される。
が連結され、同一温度で作動するため、ロール全体が均
一温度となシ、ロールの熱変形が防止され、銅帯の破断
、めっき面の傷の発生が防止される。
第1図囚(9)は本発明の一実施例としての巻付ロール
の構造図で、第1図の)は第11¥1(ト)のA−A線
断面図、第2図は従来の巻付ローpの適用例を説明する
ための連続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従来の巻
付ロールの構造図である。
の構造図で、第1図の)は第11¥1(ト)のA−A線
断面図、第2図は従来の巻付ローpの適用例を説明する
ための連続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従来の巻
付ロールの構造図である。
Claims (1)
- シェル内部ロール軸方向に複数本のヒートパイプを設け
るとともに、該ヒートパイプの両端部を連結する環状の
溝をシェル内部に設けてなる巻付ロール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1010787A JPS63179064A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1010787A JPS63179064A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63179064A true JPS63179064A (ja) | 1988-07-23 |
Family
ID=11741091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1010787A Pending JPS63179064A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63179064A (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP1010787A patent/JPS63179064A/ja active Pending
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