JPS63179063A - 巻付けロ−ル - Google Patents
巻付けロ−ルInfo
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- JPS63179063A JPS63179063A JP1010687A JP1010687A JPS63179063A JP S63179063 A JPS63179063 A JP S63179063A JP 1010687 A JP1010687 A JP 1010687A JP 1010687 A JP1010687 A JP 1010687A JP S63179063 A JPS63179063 A JP S63179063A
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- Japan
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- pipes
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- heat
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- Pending
Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は連続式真空蒸着装置の蒸着部に適用される巻付
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にも適用できるロール
構造に関する。
ロールに関し、その他真空シール装置のシールロールや
連続式焼鈍設備のハースロール等にも適用できるロール
構造に関する。
銅帯等の基板に連続的に例えば亜鉛等の金属をめっきす
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
る手段として連続式真空蒸着装置が使用されているが、
従来の巻付ロールが適用されている従来の連続式真空蒸
着装置の概略構成を第2図によって説明する。
図中、1は銅帯(蒸着基板)、2は複数のシール室から
なる真空V−ル装置、5は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ローIv4を加熱
するヒータである。
なる真空V−ル装置、5は蒸着室、4は鋼帯1をガイド
して通板させる巻付ロール、5は巻付ローIv4を加熱
するヒータである。
7は浴槽で、内部には溶融金属(亜鉛等)6が存在し、
該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生させ、矢印2で
示すようにダクト(チヤツキA/)8で鋼帯1まで導く
。鋼帯1に蒸着させるに必要な金属蒸気′!k(蒸発量
)は、浴槽7内に設置したし一夕9の電力と、浴槽7出
口に設置したシャッタ10を例えばシリンダ等の開閉装
置11で開閉して開口部12の面積とを変えるととKよ
多制御できるように構成されている。
該金属6の蒸気6aを真空条件下で発生させ、矢印2で
示すようにダクト(チヤツキA/)8で鋼帯1まで導く
。鋼帯1に蒸着させるに必要な金属蒸気′!k(蒸発量
)は、浴槽7内に設置したし一夕9の電力と、浴槽7出
口に設置したシャッタ10を例えばシリンダ等の開閉装
置11で開閉して開口部12の面積とを変えるととKよ
多制御できるように構成されている。
上記の浴槽7内の溶融金属6は、蒸着室3下部の溶解炉
15から圧力差によシスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
15から圧力差によシスノーケル14を介して吸引、供
給されている。
蒸着室5は、管15及び弁16を介して真空ポンプ17
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力よシ低い
圧力に窒素(N2)等の不活性ガスによシ保持されてい
る。
に接続され、通常、溶融金属6の飽和蒸気圧力よシ低い
圧力に窒素(N2)等の不活性ガスによシ保持されてい
る。
以上の構成において、運転に際しては製造指令(鋼種、
板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等)に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当りの蒸着量)K
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャッタ10
の開度とを調整することによシ、銅帯1表面の蒸着量す
なわち蒸着膜厚を目標値に制御する。
板幅、板厚、通板速度、目標蒸着量等)に基づいて設定
された蒸着速度(単位面積、単位時間当りの蒸着量)K
対応して蒸着室3の圧力を設定すると共に、蒸着金属の
所要蒸発量に対応させてヒータ9の電力とシャッタ10
の開度とを調整することによシ、銅帯1表面の蒸着量す
なわち蒸着膜厚を目標値に制御する。
ところで、上記した従来の巻付ロール4では、亜鉛蒸気
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
5を設はロールを約500℃に加熱している。
がロール表面に蒸着しないように、ロール内部にヒータ
5を設はロールを約500℃に加熱している。
第5図は、この巻付ロール4の横断面を示す図で、ロー
fi−/4の内部に配置されたヒータ5はロール全長に
わたっているのに対して、銅帯10幅は各種寸法の銅帯
を取シ扱うためロールよシもせま<、シかもロール4が
約500℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつき前
適正温度である200〜250℃である。
fi−/4の内部に配置されたヒータ5はロール全長に
わたっているのに対して、銅帯10幅は各種寸法の銅帯
を取シ扱うためロールよシもせま<、シかもロール4が
約500℃であるのに対して、鋼帯1の温度はめつき前
適正温度である200〜250℃である。
従って、第3図に示したようにロール4表面のうち中央
部の鋼帯1に接触する部分A部は温度が低く、ロール4
端の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなってし
まう。
部の鋼帯1に接触する部分A部は温度が低く、ロール4
端の鋼帯1に接触しない部分B部は温度が高くなってし
まう。
しかも、鋼帯1に接触しているA部の内でも接触面圧の
不均等によって温度差があるため、ロール4表面に熱変
形が生じ、ロール曲シ、振動を生じて鋼帯1の破断ある
いはめつき面への傷の原因となっていた。
不均等によって温度差があるため、ロール4表面に熱変
形が生じ、ロール曲シ、振動を生じて鋼帯1の破断ある
いはめつき面への傷の原因となっていた。
本発明は、このような欠点のない巻付ロールを提供する
ものである。
ものである。
本発明は、シェル内部ロール軸方向に沿って複数本のヒ
ートパイプを埋装し、かつシェル内部端部すなわちヒー
トパイプの端部付近に銅あるいはアルミニウム等の熱伝
導率の大きい材質からなる環状のブロックを埋装した巻
付ロールに関するものである。
ートパイプを埋装し、かつシェル内部端部すなわちヒー
トパイプの端部付近に銅あるいはアルミニウム等の熱伝
導率の大きい材質からなる環状のブロックを埋装した巻
付ロールに関するものである。
本発明では、シェル内部ロール軸方向に設けられたと一
トバイデがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のローA/温度をそ
の軸方向に均一化する。
トバイデがロール端部の高温部からロール中央の低温部
に熱を輸送し、各ヒートパイプ近傍のローA/温度をそ
の軸方向に均一化する。
このようなヒートパイプの作用だけでは、ロール周方向
で熱負荷が異なる場合、各ヒートパイプが互いに異なる
作動温度で作動してしまう虞れがあるが、本発明のロー
ル端部すなわちヒートパイプの熱媒体蒸発部付近に埋装
された銅やアルミニウム等の熱伝導率の大きいブロック
がローlv@部を全周にわたってほぼ同一の温度に保つ
ため、全ヒートパイプの熱媒体蒸発部付近はほぼ同一の
温度になる。この結果、全ヒートパイプはほぼ同一の温
度で作動し、ロール全面にわたって温度が均一化される
。
で熱負荷が異なる場合、各ヒートパイプが互いに異なる
作動温度で作動してしまう虞れがあるが、本発明のロー
ル端部すなわちヒートパイプの熱媒体蒸発部付近に埋装
された銅やアルミニウム等の熱伝導率の大きいブロック
がローlv@部を全周にわたってほぼ同一の温度に保つ
ため、全ヒートパイプの熱媒体蒸発部付近はほぼ同一の
温度になる。この結果、全ヒートパイプはほぼ同一の温
度で作動し、ロール全面にわたって温度が均一化される
。
第1図囚とそのA−A線断面図である第1図(9)は本
発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
発明による巻付ロールの一実施例を示す図である。
図において、4はロールシェル、18はヒートパイプ、
20はロール端部に埋装した銅あるいはアルミニウム等
の熱伝導率の大きい材質からなる環状のブロック、5は
ヒータであシ、ロー A/ シェル4を加熱する。
20はロール端部に埋装した銅あるいはアルミニウム等
の熱伝導率の大きい材質からなる環状のブロック、5は
ヒータであシ、ロー A/ シェル4を加熱する。
各ヒートパイプ18はロール端部(すなわちと−トパイ
プ18の熱媒体蒸発部付近)の環状のブロック20を介
して熱的に連結されておシ、ロール周方向で熱負荷が異
なる場合であっても、全ヒートパイプ18の熱媒体蒸発
部付近の温度は#1ぼ同一となシ、全ヒートパイプ18
がほぼ同一の温度で作動し、従ってロール全面の温度が
均一と々ゐ。
プ18の熱媒体蒸発部付近)の環状のブロック20を介
して熱的に連結されておシ、ロール周方向で熱負荷が異
なる場合であっても、全ヒートパイプ18の熱媒体蒸発
部付近の温度は#1ぼ同一となシ、全ヒートパイプ18
がほぼ同一の温度で作動し、従ってロール全面の温度が
均一と々ゐ。
本発明によればロールシェル内部の全てのヒートパイプ
が熱的に連結され、はぼ同一温度で作動するため、ロー
ル全体がほぼ均一温度となシ、ロールの熱変形が防止さ
れ、銅帯の破断、めっき面の傷の発生が防止される。
が熱的に連結され、はぼ同一温度で作動するため、ロー
ル全体がほぼ均一温度となシ、ロールの熱変形が防止さ
れ、銅帯の破断、めっき面の傷の発生が防止される。
第1図囚(9)は本発明の一実施例としての巻付ロール
の構造図で、第1図但)は第1図囚のA−A線断面図、
第2図は従来の巻付ロールの適用例を説明するための連
続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従来の巻付ロール
の構造図である。
の構造図で、第1図但)は第1図囚のA−A線断面図、
第2図は従来の巻付ロールの適用例を説明するための連
続式真空蒸着装置の説明図、第3図は従来の巻付ロール
の構造図である。
Claims (1)
- シェル内部ロール軸方向に複数本のヒートパイプを埋装
し、かつシェル内部両端に熱伝導率の大きい材質製の環
状のブロックを埋装してなる巻付けロール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1010687A JPS63179063A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1010687A JPS63179063A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63179063A true JPS63179063A (ja) | 1988-07-23 |
Family
ID=11741062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1010687A Pending JPS63179063A (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 巻付けロ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63179063A (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP1010687A patent/JPS63179063A/ja active Pending
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