JPS63165815A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPS63165815A JPS63165815A JP31268286A JP31268286A JPS63165815A JP S63165815 A JPS63165815 A JP S63165815A JP 31268286 A JP31268286 A JP 31268286A JP 31268286 A JP31268286 A JP 31268286A JP S63165815 A JPS63165815 A JP S63165815A
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- Japan
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- light
- slit
- scanning
- mirror
- lens
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光走査装置例えばレーザービームで光記録する
ための光走査装置に関する。
ための光走査装置に関する。
従来この種の光走査装置は倒れ補正光学系を採り入れる
ことにより主走査方向に交差する副走査方向のむらを軽
減していた。
ことにより主走査方向に交差する副走査方向のむらを軽
減していた。
しかし走査鏡として金属面を鏡面とする走査鏡ビームの
強度分布に変化を生じさせる。すなわち走査鏡の後方に
ある結像レンズ(Fθレンズ)は有限の開口角しか持た
ないため例えば0次光と1次光のみが通過すると副走査
方向の結像スポット強度分布かがウス状強度分布から変
化して結像スポット形状の変化により副走査方向のむら
が生ずる。この問題点を解消すべく本件出願人は特願昭
61−246043号として新たな装置を提案している
。
強度分布に変化を生じさせる。すなわち走査鏡の後方に
ある結像レンズ(Fθレンズ)は有限の開口角しか持た
ないため例えば0次光と1次光のみが通過すると副走査
方向の結像スポット強度分布かがウス状強度分布から変
化して結像スポット形状の変化により副走査方向のむら
が生ずる。この問題点を解消すべく本件出願人は特願昭
61−246043号として新たな装置を提案している
。
本発明の目的は、更なる改良を行い画面(例えば表示又
は記録面)上を走査するスポットの形状へ及ぼす走査鏡
面の切削の跡(引き目)の影唇を極力減少させることに
ある。
は記録面)上を走査するスポットの形状へ及ぼす走査鏡
面の切削の跡(引き目)の影唇を極力減少させることに
ある。
上記問題点を解決する一手段として例えば本実施例では
、ポリゴンミラー9とFθレンズ10の間に第1のスリ
ット開口A1又ドラム11の近傍に第2のスリット開口
Bを備える。
、ポリゴンミラー9とFθレンズ10の間に第1のスリ
ット開口A1又ドラム11の近傍に第2のスリット開口
Bを備える。
ここでスリット開口Bを0次光のみが通過するようにす
れば0次光かがウス状強度分布を持っているためがウス
状強度分布をもったスポットが得られる。
れば0次光かがウス状強度分布を持っているためがウス
状強度分布をもったスポットが得られる。
〔実施例〕
第1図は本発明の実施例でレーザー光源lからのレーザ
ービーム2が走査光学系を経て、回転ドラム12」二の
記録フィルムIIに感光することにより画像を記録する
ものである。なおドラムは電子写真記録式の感光ドラム
であってもよい。
ービーム2が走査光学系を経て、回転ドラム12」二の
記録フィルムIIに感光することにより画像を記録する
ものである。なおドラムは電子写真記録式の感光ドラム
であってもよい。
第1図でレーザービーム2は先ずビームコンプレッサー
3により適当なビーム径にされてレーザービーム強度を
変調するA10変調器4に入射する。
3により適当なビーム径にされてレーザービーム強度を
変調するA10変調器4に入射する。
これは、A10変調器に入射するビーム径によりビーム
の変調の効率や応答速度を適正なものにするためである
。なおA10変調器4とビームエキスパンダー5の間に
は0次光をカットし、1次光のみを通す如き不図示のア
パーチャーが配置される。
の変調の効率や応答速度を適正なものにするためである
。なおA10変調器4とビームエキスパンダー5の間に
は0次光をカットし、1次光のみを通す如き不図示のア
パーチャーが配置される。
さてレーザービームの出射径はビームエキスパンダー5
で変化させる事ができる。記録フィルム11上のビーム
スポットサイズはd= (4/π)Fno・λで求めら
れる。ここでdは中心強度に対して1702強度でのビ
ーム径、Fnoは結像レンズの焦点距離を入射ビーム径
(1/e2強度)で割ったものである。
で変化させる事ができる。記録フィルム11上のビーム
スポットサイズはd= (4/π)Fno・λで求めら
れる。ここでdは中心強度に対して1702強度でのビ
ーム径、Fnoは結像レンズの焦点距離を入射ビーム径
(1/e2強度)で割ったものである。
λはレーザー光の波長である。
これにより、Fθレンズの焦点距離が決まっている場合
、結像スポットのサイズを変化させるのにビームエキス
パンダーが使用されることが理解される。次に光ビーム
は反射鏡6、紙面内では屈折力をもたず紙面に垂直方向
に屈折力をもつシリンドリカルレンズ7を経てポリゴン
ミラー9に至り、回転するポリゴンミラー9からのビー
ムCは結像レンズであるFθレンズ10へ入射すること
により回転ドラム12上の記録フィルム11上を走査す
ることになる。ドラムは回転することにより副走査方向
に画像の記録をする。
、結像スポットのサイズを変化させるのにビームエキス
パンダーが使用されることが理解される。次に光ビーム
は反射鏡6、紙面内では屈折力をもたず紙面に垂直方向
に屈折力をもつシリンドリカルレンズ7を経てポリゴン
ミラー9に至り、回転するポリゴンミラー9からのビー
ムCは結像レンズであるFθレンズ10へ入射すること
により回転ドラム12上の記録フィルム11上を走査す
ることになる。ドラムは回転することにより副走査方向
に画像の記録をする。
ここで、シリンドリカルレンズ7はほぼポリゴンミラー
9上にビームエキスパンダー5から出た光束を直線状、
正確には長楕円状のビー、ムで結像している。又ポリゴ
ンミラー面と記録フィルム面11は、FθレンズlOの
紙面と垂直な方向の結像性でもって共役関係にある。こ
れは、ポリゴンミラー面各々の倒れの影響で副走査方向
のむらを除くための工夫として良く知られている。Fθ
レンズ10は従って紙面内方向と紙面に垂直方向では屈
折力が異なっている。なおFθレンズ10はシリンドリ
カル面或いはトーリック面が使われている。
9上にビームエキスパンダー5から出た光束を直線状、
正確には長楕円状のビー、ムで結像している。又ポリゴ
ンミラー面と記録フィルム面11は、FθレンズlOの
紙面と垂直な方向の結像性でもって共役関係にある。こ
れは、ポリゴンミラー面各々の倒れの影響で副走査方向
のむらを除くための工夫として良く知られている。Fθ
レンズ10は従って紙面内方向と紙面に垂直方向では屈
折力が異なっている。なおFθレンズ10はシリンドリ
カル面或いはトーリック面が使われている。
次に本発明に係わる回折に関する説明をする。第じる。
なおこの回折のパターンは、ポリゴンミラー面の引き目
のピッチ、引き目の幅、切削バイトの半径などの影舌を
受ける。そしてFθレンズ10は有限の開口角しか持た
ないため0次回折光と他の部分的な回折光のみがFθレ
ンズIOに入射する。これによってポリゴンミラーで走
査される走査線の、記録フィルムll上での主走査方向
位置により、一般に結像スポットの強度分布が変化する
。しかもポリゴンミラーの各面によっても異なるので、
とりわけ面数に応じた周期的な副走査方向のムラとなる
。この状況を第2図に示す。なお第2図に示されるポリ
ゴンミラー9の反射面に残存する加工時の切削の引き目
の方向は走査方向である場合に限らず、走査方向に対し
傾いた方向であっても良く、又引き目は直線引き目であ
る場合に限らず、曲線引き目であっても良いことは明ら
かである。第1図に戻ってポリゴンミラー9と記録フィ
ルム11の間におかれたスリット状のアパーチャーAは
0次光を通し、高次光を制限する様にスリット幅を設定
し走査中心に振分けに配置されている。このスリットA
はレーザー光2がポリゴンミラーの中央部と交錯する点
をほぼ中心にした円弧形状にすれば、より各画角に対応
する開口の幅を一定にできる。ここでスリットAを設け
ることにより本来であれば0次回折光が池の回折光と分
離して抽出されるが、引き目のピッチが大きい場合には
、O次回折光と1次回折光の裾の部分がオーバーラツプ
し、スリットAだけでは完全に0次回折光を分離抽出で
きない。
のピッチ、引き目の幅、切削バイトの半径などの影舌を
受ける。そしてFθレンズ10は有限の開口角しか持た
ないため0次回折光と他の部分的な回折光のみがFθレ
ンズIOに入射する。これによってポリゴンミラーで走
査される走査線の、記録フィルムll上での主走査方向
位置により、一般に結像スポットの強度分布が変化する
。しかもポリゴンミラーの各面によっても異なるので、
とりわけ面数に応じた周期的な副走査方向のムラとなる
。この状況を第2図に示す。なお第2図に示されるポリ
ゴンミラー9の反射面に残存する加工時の切削の引き目
の方向は走査方向である場合に限らず、走査方向に対し
傾いた方向であっても良く、又引き目は直線引き目であ
る場合に限らず、曲線引き目であっても良いことは明ら
かである。第1図に戻ってポリゴンミラー9と記録フィ
ルム11の間におかれたスリット状のアパーチャーAは
0次光を通し、高次光を制限する様にスリット幅を設定
し走査中心に振分けに配置されている。このスリットA
はレーザー光2がポリゴンミラーの中央部と交錯する点
をほぼ中心にした円弧形状にすれば、より各画角に対応
する開口の幅を一定にできる。ここでスリットAを設け
ることにより本来であれば0次回折光が池の回折光と分
離して抽出されるが、引き目のピッチが大きい場合には
、O次回折光と1次回折光の裾の部分がオーバーラツプ
し、スリットAだけでは完全に0次回折光を分離抽出で
きない。
0次回折光を部分的に蹴るようにしてとりだすと、0次
光のカラス強度分布を結像面で再現できなくなるためス
リットAの開口幅としては少な(とも0次回折光を通過
させることが必要となる。
光のカラス強度分布を結像面で再現できなくなるためス
リットAの開口幅としては少な(とも0次回折光を通過
させることが必要となる。
このようなスリットAに1次光が混入した場合、1次光
を除去するために結像面近傍にスリットBが設けられて
いる。スリットBは0次回折光のみを通過させる開1コ
をfiiiiえる。なおスリット3は結像面近傍に設け
られることが望ましいが光路中スリット八と結像面の間
に設けられても良い。
を除去するために結像面近傍にスリットBが設けられて
いる。スリットBは0次回折光のみを通過させる開1コ
をfiiiiえる。なおスリット3は結像面近傍に設け
られることが望ましいが光路中スリット八と結像面の間
に設けられても良い。
ところで上記実施例においては、金属走査鏡に関して述
べたが本発明はこれに限定されることなく金属鏡以外で
も表面の状況が同様のものを劇むことは明らかである。
べたが本発明はこれに限定されることなく金属鏡以外で
も表面の状況が同様のものを劇むことは明らかである。
又走査鏡はポリゴンミラーの如き回転鏡に限らず、ガル
バノミラ−の如き振動鏡でも良い。
バノミラ−の如き振動鏡でも良い。
なお上記実施例においてスパーチャー、へ、Bは0次光
を通し高次光を制御するとしたが、具体的には高次光を
完全に遮光或いは強度的に弱くするものである。
を通し高次光を制御するとしたが、具体的には高次光を
完全に遮光或いは強度的に弱くするものである。
以上説明したように、本発明によれば0次光量4の光を
制限する主走査方向に長いスリツ)・状の第1、第2の
絞りを設けることにより、スポット形状の歪による副走
査方向のむらを軽減する効果が大である。
制限する主走査方向に長いスリツ)・状の第1、第2の
絞りを設けることにより、スポット形状の歪による副走
査方向のむらを軽減する効果が大である。
第1図は本発明の実施例の図、第2図はポリゴンミラー
面の引き目による回折パターンを示す図。 図中、lはレーザー光源、3はビームコンプレッサー、
4はA10変調器、5はビームエキスパンダー、7はシ
リンドリカルレンズ、9はポリゴンミラー、10はFθ
レンズ、11は記録フィルム、12はドラム、13は入
射レーザービーム、14はポリゴンミラー上でのスポッ
ト、15は回折パターン観測面、150はO次回折光、
151は1次回折光、A、 Bはスリット開口、Sは
ポリゴン面の引き目である。
面の引き目による回折パターンを示す図。 図中、lはレーザー光源、3はビームコンプレッサー、
4はA10変調器、5はビームエキスパンダー、7はシ
リンドリカルレンズ、9はポリゴンミラー、10はFθ
レンズ、11は記録フィルム、12はドラム、13は入
射レーザービーム、14はポリゴンミラー上でのスポッ
ト、15は回折パターン観測面、150はO次回折光、
151は1次回折光、A、 Bはスリット開口、Sは
ポリゴン面の引き目である。
Claims (4)
- (1)光ビームを走査鏡に入射させ走査鏡の変位により
光ビームを走査方向に偏向させ結像光学系で結像面上に
結像させる光走査装置において、走査鏡で反射される光
路内にあって走査鏡面で反射される光ビームの内、走査
方向に交差する方向に回折される成分を制限する光制限
手段であって走査方向に長く走査方向に交差する方向に
短く、0次回折光を通過させるスリット状開口を備える
第1、第2の光制限手段を有し、第1の光制限手段を前
記結像光学系を含んで前記結像光学系と前記走査鏡の間
に、又第2の光制限手段を前記第1の光制限手段と前記
結像面の間に設けたことを特徴とする光走査装置。 - (2)前記第2の光制限手段は前記結像面近傍に設けら
れる特許請求の範囲第1項記載の光走査装置。 - (3)前記第2の光制限手段のスリット状開口は0次回
折光のみを通過させる幅を備える特許請求の範囲第1項
若しくは第2項記載の光走査装置。 - (4)前記結像光学系はFθレンズ系である特許請求の
範囲第1項記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31268286A JPS63165815A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31268286A JPS63165815A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 光走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63165815A true JPS63165815A (ja) | 1988-07-09 |
Family
ID=18032153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31268286A Pending JPS63165815A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63165815A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5200730A (en) * | 1991-10-18 | 1993-04-06 | Ferrishield, Inc. | Premolded suppressor sleeve |
US5355109A (en) * | 1992-02-03 | 1994-10-11 | Kitagawa Industries Co., Ltd. | Electric noise absorber |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP31268286A patent/JPS63165815A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5200730A (en) * | 1991-10-18 | 1993-04-06 | Ferrishield, Inc. | Premolded suppressor sleeve |
US5355109A (en) * | 1992-02-03 | 1994-10-11 | Kitagawa Industries Co., Ltd. | Electric noise absorber |
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