JPS631615A - 搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、搬送技術、特に、半導体装置の製造における
ウェハ処理工程での半導体ウェハの搬送に適用して有効
な技術に関する。

［従来の技術］ 半導体装置の製造における半導体ウェハの搬送技術につ
いては、株式会社工業調査会、昭和５７年１１月１５日
発行、「電子材料ｊ　１９Ｂ２年別而、Ｐ１０９〜Ｐ１
１６に記載されている。

ところで、本発明者は、ウェハ処理工程における半導体
ウェハのベルトコンベアによる搬送について検討した。

以下は、公知とされた技術ではないが本発明者によって
検討された技術であり、その概要は次の通りである。

すなわち、複数のブーりの間にゴムなどの弾性体からな
るベルトを張架し、所定の一つのプーリに外部から与え
られた回転力をベルトを介して複数のプーリに伝達させ
ることで複数のベルトを循環させ、このベルトの上に載
置される半導体装置八が所定の方向に搬送されるように
したものである。

［発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、上記のような構造の搬送機構においては
、半導体ウェハを搬送するベルトが、複数のプーリ間の
回転力の伝達を兼ねるため、ベルトには、半導体ウェハ
の荷重などを支持するための比較的小さな張力の他に、
回転力を伝達するた、めの比較的大きな張力も作用する
こととなり、ベルトに作用する張力が必要以上に大きく
なる。

このため、複数のブーりの間を循環し、緊張および弛緩
を繰り返す間にベルトを構成するゴムなどの弾性体の表
面の剥離が促進され、ベルトに載置される半導体ウェハ
に付着する異物の増加の原因となっていることを本発明
者は見いだした。

本発明の目的は、被搬送物への異物の付着を低減するこ
とが可能な搬送技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。

［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、複数のプーリ間に張架され、ｉ！置される被
搬送物を所定の方向に移動させる第１のベルトとともに
、′Ｐ！ｌ搬送物に接触することなく複数のプーリ間に
張架され、該複数のプーリ間における回転力の伝達を行
う第２のベルトを設けたものである。

［作用］ 上記した手段によれば、複数のブーり間の回転力の伝達
による張力が被搬送物に接触しない第２のベルトによっ
て負担されるので、被搬送物が載置される第１のベルト
に必要以上に大きな張力が作用することがなく、大きな
張力が作用することなどに起因して第１のベルトの表面
の剥離が促進され、第１のベルトに載置される被搬送物
に付着する異物が増加することが防止され、被搬送物に
付着する異物を低減することができる。

〔実施例］ 第１図は本発明の一実施例である搬送機構の要部を示す
略側面図であり、第２図はその平面図である。

所定の平面内において軸が平行になるように配設された
複数のプーリ１．プーリ２．プーリ３の大径部１ａ、大
径部２ａおよび大径部３ａには、ブーＵ　２の大径部２
ａを共有して、複数の第１のベルト４および複数の第１
のベルト５が張架されている。

そして、複数のプーリ１，２．３を回転させて、複数の
第１のベルト４および５を所定の方向に循環させること
により、この複数の第１のベルト４または５に載置され
る半導体ウェハなどの被搬送物６が第１のベルト４およ
び５とともに所定の方向に移動され、所定の搬送動作が
行われるものである。

この場合、複数のプーリ１，２．３の大径部１ａ、２ａ
、３ａにそれぞれ同軸に設けられた小径部１ｂ、小径部
２ｂおよび小径部３ｂには、小径部２ｂを共有して複数
の第２のベルト７および第２のベルト８が、被搬送物６
に接触することなく張架されている。

また、プーリ１の小径部１ｂには、たとえば図示しない
モータなどの駆動プーリ９との間に駆動ベルト１０が張
架されており、駆動プーリ１０の回転力がプーリ１に伝
達されるとともに、酸プーリ１に作用された回転力は、
複数の第２のベルト７および８を介して複数のプーリ２
およびプーリ３に伝達され、同期して回転される複数の
プーリ１．２および３の大径部１ａ、　　２ａ、３ａに
張架された複数の第１のベルト４および５のＷ１環動作
が行われる構造とされている。

以下、本実施例の作用について説明する。

まず、外部から供給される半導体ウェハなどの被搬送物
６が、プーリ１およびプーリ２の大径部１ａと大径部２
ａとの間に張架された複数の第１のベルト４のブー１１
の近傍にＵ、置される。

次に、駆動ブーＵ　９を図示しないモータなどによって
所定の方向の回転させることにより、駆動プーリ９の回
転力は駆動ベルト１０を介してプーリ１に伝達され、さ
らにプーリ１の回転力は、複数のプーリ１，２および３
の小径部１ｂ、２ｂおよび３ｂの間に張架されることに
よって被搬送物６に非接触にされた複数の第２のベルト
７および８を介して複数のプーリ２および３に伝達され
、複数のプーリ１，２および３が同一の方向に同一の回
転速度で回転される。

そして、同期して回転される複数のプーリ１゜２および
３の大径部１ａ、２ａおよび３ａの間に張架された複数
の第１のベルト４および５は、複数のプーリ１，２およ
び３の間の回転力の伝達などに起因する比較的大きな張
力が作用することなく、載置される被搬送物６の重量を
支持する程度の比較的小さな張力で所定の同一方向に循
環され、第１のベルト４の上に載置された被搬送物６が
プーリ１からプーリ３に至る方向に移動され、所定の搬
送動作が行われる。

また、被搬送物６が！３！置される複数の第１のベルト
４および５においては、複数のプーリ１．２および３の
上側および下側を通過する際に該第１のベルト４および
５に対する張力の大きな変化を生しることもない。

このため、たとえば、半導体ウェハなどの被搬送物６が
載置される複数の第１のベルト４および第１のベルト５
に比較的大きな張力が作用し緊張および弛緩を繰り返す
ことなどに起因して、第１のベルト４および５の表面が
？、１１離し、異物となって被搬送物６の底面などに付
着することが回避され、被搬送物６に付着する異物を低
減することができる。

このように、本実施例においては、以下の効果を得るこ
とができる。

（１）、複数のプーリ１．２および３の大径部１ａ。

２ａおよび３ａに張架され、半導体ウェハなどの被搬送
物６が載置される複数の第１のベルト４および５ととも
に、前記大径部１ａ、２ａおよび３ａにそれぞれ同軸に
設けられた小径部１ｂ、２ｂ。

３ｂの間に張架される複数の第２のベルト７および８が
設けられ、駆動プーリ９から駆動ベルト１０を介してプ
ーリ１に伝達される回転力が、複数の第２のベルト７お
よび８を介してプーリ２および３に伝達されることによ
って、被搬送物６が載置される複数の第１のベルト４お
よび５の循環動作が行われる構造であるため、被搬送物
６が′Ｒ置される複数の第１のベルト４および５に、回
転力の伝達などによる比較的大きな張力が作用すること
がなく、被搬送物６を支持する程度の比較的小さな張力
でよく、必要以上に大きな張力が作用されないので、大
きな張力が作用することなどに起因して、被搬送物６が
載置される複数の第１のベルト４および５の表面が剥離
し、異物となって被搬送物６の裏面などに付着すること
が回避され、半導体ウェハなどの被搬送物６に付着する
異物を低減することができる。

（２）、前記（１）の結果、被搬送物６が載置される複
数の第１のベルト４および５において、複数のプーリ１
．２および３の上側および下側を通過する際の張力の差
がほとんどなく、循環中に緊張および弛緩を繰り返すこ
とが防止され、繰り返し応力が作用することに起因して
、表面の剥離が促進されることが回避でき、半導体ウェ
ハなどの被搬送物６に付着する異物を低減することがで
きる。

（３）、前記ｆｉ＋、　＋２１の結果、半導体ウェハな
どの被搬送物６において、搬送中に付着した異物などに
起因する欠陥の発生が低減され、半導体装置の製造にお
ける歩留りが向上される。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。たとえば、複数のプーリ
の小径部を大径部の中央部に設けてもよく、さらに、プ
ーリの数は４以上であってもよい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置製造にお
ける半導体ウェハの搬送技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、被搬送物に
付着する異物を低減させることが必要な搬送技術に広（
適用できる。

［発明の効果］ 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。

すなわち、複数のプーリの間に張架され、該ブーりの回
転とともに循環されることによって、載置される被搬送
物を所定の方向に移動させる第１のベルトと、前記被搬
送物に非接触に前記複数のプーリに張架され、該複数の
ブーり間の回転力の伝達を行う第２のベルトとを有する
構造であるため、複数のブーり間の回転力の伝達による
張力が被搬送物に接触しない第２のベルトによって負担
されるので、被搬送物が載置される第１のベルトに必要
以上に大きな張力が作用することがなく、大きな張力が
作用して第１のベルトの表面の剥離が促進されることな
どに起因して第１のベルトに載置される被搬送物に付着
する異物が増加することが防止され、被搬送物に付着す
る異物を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である搬送！！！ｌｌ構の要
部を示す略側面図、第２図はその平面図である。 １．２．３−　　・　・プーリ、ｌａ、２ａ、３ａ　・
・・大径部、ｌｂ、２ｂ、３ｂ・・・小径部、４゜５・
・・第１のベルト、６・・・被搬送物、７゜８・・・第
２のベルト、９・・・駆動プーリ、１０・・・駆動ベル
ト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のプーリの間に張架され、該プーリの回転とと
   もに循環されることによって、載置される被搬送物を所
   定の方向に移動させる第１のベルトと、前記被搬送物に
   非接触に前記複数のプーリに張架され、該複数のプーリ
   間の回転力の伝達を行う第２のベルトとを有することを
   特徴とする搬送機構。 ２、前記複数のプーリが、それぞれ同軸の大径部および
   小径部からなり、大径部に前記第１のベルトを張架し、
   小径部に前記第２のベルトを張架することにより、該第
   １のベルトに載置されて搬送される前記被搬送物に対し
   て該第２のベルトが非接触にされていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の搬送機構。 ３、前記被搬送物が半導体ウェハであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の搬送機構。