JPS6357451A - 板状物搬送装置 - Google Patents
板状物搬送装置Info
- Publication number
- JPS6357451A JPS6357451A JP61197140A JP19714086A JPS6357451A JP S6357451 A JPS6357451 A JP S6357451A JP 61197140 A JP61197140 A JP 61197140A JP 19714086 A JP19714086 A JP 19714086A JP S6357451 A JPS6357451 A JP S6357451A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- plate
- conveyor
- conveyer
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title abstract 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 40
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、板状物搬送装置、特に、板状物を立てた状態
で搬送する技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程
において、ウェハを搬送するのに利用して有効なものに
閏する。
で搬送する技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程
において、ウェハを搬送するのに利用して有効なものに
閏する。
半導体装置の製造工程において、ウェハを搬送する装置
として、水平に敷設されたベルトコンベアまたはエアコ
ンベアにウェハを載せて搬送するように構成されている
ものがある。
として、水平に敷設されたベルトコンベアまたはエアコ
ンベアにウェハを載せて搬送するように構成されている
ものがある。
なお、ウェハの搬送技術を述べである例としては、株式
会社工業調査会発行「電子材料1982年11月号別冊
」昭和57年11月18日発行P109〜P116、が
ある。
会社工業調査会発行「電子材料1982年11月号別冊
」昭和57年11月18日発行P109〜P116、が
ある。
しかし、このようなウェハの搬送装置においては、いず
れのものもウェハが水平な状態で搬送さるため、搬送中
、浮遊塵埃がウェハの上面に舞い下りて付着し、ウェハ
の主面が汚染されるという問題点があることが、本発明
者によって明らかにされた。
れのものもウェハが水平な状態で搬送さるため、搬送中
、浮遊塵埃がウェハの上面に舞い下りて付着し、ウェハ
の主面が汚染されるという問題点があることが、本発明
者によって明らかにされた。
本発明の目的は、板状物の主面に対する塵埃の舞い下り
を防止することができる板状物搬送装置を提供すること
にある。
を防止することができる板状物搬送装置を提供すること
にある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
(問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。
を説明すれば、次の通りである。
すなわち、板状物の外周における下部をコンベア等で支
持して板状物を略立てた状態で搬送するようにしたもの
である。
持して板状物を略立てた状態で搬送するようにしたもの
である。
前記した手段によれば、板状物が立てた状態で搬送され
るため、板状物主面の水平面に対する面積が小さくなり
、浮遊塵埃が板状物の主面に舞い下りる確率は小さくな
る。
るため、板状物主面の水平面に対する面積が小さくなり
、浮遊塵埃が板状物の主面に舞い下りる確率は小さくな
る。
第1図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
斜視図、第2図は第1!5の■−■線に沿う断面図であ
る。
斜視図、第2図は第1!5の■−■線に沿う断面図であ
る。
本実施例において、この搬送装置は板状物としてのウェ
ハ1を搬送するように構成されており、一対のベルトコ
ンベア2.3を備えている0両コンベア2.3は両端を
略揃えられて上下に配され、それぞれ略水平に敷設され
ている。上側のコンベア2は一対のプーリ21.22と
、一方のプーリ21を回転駆動するサーボモータ23と
、両プーリ21,22間に張設されているゴムベルト2
4とを備えており、下側のコンベア3は同様にプーリ3
1.32、サーボモータ33、ゴムベルト34を備えて
いる。上下のコンベア2.3は同一形状に形成されて路
上下対称に配置されているが、第2図に示されているよ
うに、搬送に使用されるベルト24.25の往路部25
.35は上側コンベア2の往路部25における外周面が
、下側コンベア3の往路部35における上面の略中央部
に対向するように配置されている。
ハ1を搬送するように構成されており、一対のベルトコ
ンベア2.3を備えている0両コンベア2.3は両端を
略揃えられて上下に配され、それぞれ略水平に敷設され
ている。上側のコンベア2は一対のプーリ21.22と
、一方のプーリ21を回転駆動するサーボモータ23と
、両プーリ21,22間に張設されているゴムベルト2
4とを備えており、下側のコンベア3は同様にプーリ3
1.32、サーボモータ33、ゴムベルト34を備えて
いる。上下のコンベア2.3は同一形状に形成されて路
上下対称に配置されているが、第2図に示されているよ
うに、搬送に使用されるベルト24.25の往路部25
.35は上側コンベア2の往路部25における外周面が
、下側コンベア3の往路部35における上面の略中央部
に対向するように配置されている。
上下のコンベア2.3にはベルト24.34の送り速度
を測定するための速度センサ26.36がそれぞれ設け
られており、両コンベア2.3は両速度センサ26.3
6の測定結果に基づいてモータ23.24を制御するこ
とにより、ベルト往路部25.35の送り速度を常に同
期させるように構成されている。
を測定するための速度センサ26.36がそれぞれ設け
られており、両コンベア2.3は両速度センサ26.3
6の測定結果に基づいてモータ23.24を制御するこ
とにより、ベルト往路部25.35の送り速度を常に同
期させるように構成されている。
両コンベア2.3の一端側(以下、前側とする。
)にはローダ4が設備されており、ローダ4は複数枚の
ウェハ1を互いに平行に並べて収容されているキャリア
治具5と、キャリア治具5からウェハ1を1枚宛押し出
すブツシャ6と、押し出されたウェハ1をコンベア2.
3に案内するガイド7と、キャリア治具5をコンベアと
直角方向に水平送りさせるテーブル8とを備えている。
ウェハ1を互いに平行に並べて収容されているキャリア
治具5と、キャリア治具5からウェハ1を1枚宛押し出
すブツシャ6と、押し出されたウェハ1をコンベア2.
3に案内するガイド7と、キャリア治具5をコンベアと
直角方向に水平送りさせるテーブル8とを備えている。
両コンベア2.3の後端側にはアンローダ9が設備され
ており、アンローダ9にはウェハ1の裏面に吸着してこ
れを保持する吸着ヘッド10が設けられている。吸着ヘ
ッド10はロボ7)のアーム等(図示せず)により3次
元的に移動されるように構成されている。
ており、アンローダ9にはウェハ1の裏面に吸着してこ
れを保持する吸着ヘッド10が設けられている。吸着ヘ
ッド10はロボ7)のアーム等(図示せず)により3次
元的に移動されるように構成されている。
次に作用を説明する。
ローダ4において、キャリア治具5が上面開口がコンベ
ア2.3側を向くように横倒しされてテーブル8上にセ
ットされる。続いて、テーブル8がピッチ送りされて治
具5内の1枚のウェハ1がコンベア2.3に対向させる
と、ブツシャ6が作動されて、そのウェハ1はガイド7
を摺動されて両コンベア2.3に押し出される。
ア2.3側を向くように横倒しされてテーブル8上にセ
ットされる。続いて、テーブル8がピッチ送りされて治
具5内の1枚のウェハ1がコンベア2.3に対向させる
と、ブツシャ6が作動されて、そのウェハ1はガイド7
を摺動されて両コンベア2.3に押し出される。
両コンベア2.3に押し出されたウェハlは、その外周
における下側面が下側コンベア3のベルト34における
往路部35上に載せられるとともに、その裏面の上部が
上側コンベア2のベルト24における往路部25の外周
面に当接される。
における下側面が下側コンベア3のベルト34における
往路部35上に載せられるとともに、その裏面の上部が
上側コンベア2のベルト24における往路部25の外周
面に当接される。
両コンベア2.3にウェハ1が供給されると、上下のサ
ーボモータ23.33が同期して回転することにより、
ベルト24.34が同一方向に同一速度で送られ、これ
に伴って、ウェハ1はアンローダ9側へ搬送される。こ
のとき、ウェハ1は下側のコンベア3で重さを支えられ
、上側のコンベア2によって裏面を受けられて立てた状
態を維持される。
ーボモータ23.33が同期して回転することにより、
ベルト24.34が同一方向に同一速度で送られ、これ
に伴って、ウェハ1はアンローダ9側へ搬送される。こ
のとき、ウェハ1は下側のコンベア3で重さを支えられ
、上側のコンベア2によって裏面を受けられて立てた状
態を維持される。
このようにして立てた状態でウェハ1が搬送されること
により水平面内の面積が小さくなるため、浮遊塵埃がウ
ェハ1の主面に舞い下りる確率は殆どなく、ウェハ1の
主面が汚染されることはない。
により水平面内の面積が小さくなるため、浮遊塵埃がウ
ェハ1の主面に舞い下りる確率は殆どなく、ウェハ1の
主面が汚染されることはない。
ウェハlがアンローダ9に搬送されると、サーボモータ
23.33が停止され、ウェハlは定置される、続い−
C,吸着吸着ヘッドがウェハ1の裏面に吸着され、ウェ
ハ1は吸着ヘッド10に保持されて3次元的に移動され
、他の場所(図示せず)に移載される。
23.33が停止され、ウェハlは定置される、続い−
C,吸着吸着ヘッドがウェハ1の裏面に吸着され、ウェ
ハ1は吸着ヘッド10に保持されて3次元的に移動され
、他の場所(図示せず)に移載される。
以後、前記作動が繰り返されることにより、キャリア治
具5に収容されたウェハ1は1枚宛コンベア2.3の協
働により搬送されて、吸着ヘッド9により他の場所へ移
載されて行(。
具5に収容されたウェハ1は1枚宛コンベア2.3の協
働により搬送されて、吸着ヘッド9により他の場所へ移
載されて行(。
前記実施例によれば次の効果が得られる。
+11 ウェハの外周における下部をコンベアで支持
してウェハを略立てた状態で搬送するように構成するこ
とにより、ウェハの主面の水平面に対する面積が小さく
なるため、浮遊塵埃がウェハ主面に舞い下りる確率を小
さくさせることができる。
してウェハを略立てた状態で搬送するように構成するこ
とにより、ウェハの主面の水平面に対する面積が小さく
なるため、浮遊塵埃がウェハ主面に舞い下りる確率を小
さくさせることができる。
(2) ウェハに浮遊塵埃がウェハ主面に舞い下りる
確率を小さくさせることにより、ウェハが汚染されるの
を抑制することができるため、製造歩留りを高めること
ができるとともに、製品の品質並びに信頼性を高めるこ
とができる。
確率を小さくさせることにより、ウェハが汚染されるの
を抑制することができるため、製造歩留りを高めること
ができるとともに、製品の品質並びに信頼性を高めるこ
とができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、コンベアは上下に一対敷設するに限らず、下側
コンベアのみを敷設して上側にはウェハの裏面に摺接し
てこれを案内するガイドを敷設してもよい。
コンベアのみを敷設して上側にはウェハの裏面に摺接し
てこれを案内するガイドを敷設してもよい。
コンベアはベルトコンベアに限らず、チェーンコンベア
等であってもよい。
等であってもよい。
ローダおよびアンローダは前記構成に躍らず、他の構造
の吸着ヘッドや受は渡し装置等を使用することができる
。
の吸着ヘッドや受は渡し装置等を使用することができる
。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハ搬送装置に通
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、ホトマスクやガラス板等のような板状物を搬
送する搬送装置全般に適用することができる。
をその背景となった利用分野であるウェハ搬送装置に通
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、ホトマスクやガラス板等のような板状物を搬
送する搬送装置全般に適用することができる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
板状物の外周下部をコンベアで支持して板状物を略立て
た状態で搬送するように構成することにより、板状物の
主面の水平面に対する面積が小さくなるため、浮遊塵埃
が板状物主面に舞い下りる確率が少なくなり、板状物主
面の汚染を防止することができる。
た状態で搬送するように構成することにより、板状物の
主面の水平面に対する面積が小さくなるため、浮遊塵埃
が板状物主面に舞い下りる確率が少なくなり、板状物主
面の汚染を防止することができる。
第1図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
斜視図、 第2図は第1図のn−u線に沿う断面図である。 1・・・ウェハ(板状物)、2・・・上側コンベア、3
・・・下側コンベア、4・・・ローダ、5・・・キャリ
ア治具、6・・・ブツシャ、7・・・ガイド、8・・・
テーブル、9・・・アンローダ、lO・・・吸着ヘッド
、21.22.31.32・・・プーリ、23.33・
・・サーボモータ、24.34・・ ゴムヘルド、26
.36・・・速度センサ。
斜視図、 第2図は第1図のn−u線に沿う断面図である。 1・・・ウェハ(板状物)、2・・・上側コンベア、3
・・・下側コンベア、4・・・ローダ、5・・・キャリ
ア治具、6・・・ブツシャ、7・・・ガイド、8・・・
テーブル、9・・・アンローダ、lO・・・吸着ヘッド
、21.22.31.32・・・プーリ、23.33・
・・サーボモータ、24.34・・ ゴムヘルド、26
.36・・・速度センサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、板状物の外周における下部をコンベアで支持して板
状物を略立てた状態で搬送するように構成されているこ
とを特徴とする板状物搬送装置。 2、コンベアが一対、上下に敷設されており、下側のコ
ンベアは板状物の外周における一部を支持し、上側のコ
ンベアは板状物の裏面を支持するように構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の板状物搬
送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61197140A JPS6357451A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 板状物搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61197140A JPS6357451A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 板状物搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6357451A true JPS6357451A (ja) | 1988-03-12 |
Family
ID=16369425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61197140A Pending JPS6357451A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 板状物搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6357451A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677245U (ja) * | 1994-04-22 | 1994-10-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 半導体製造装置 |
DE102012016659A1 (de) * | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Itw Packaging Systems Group Gmbh | Vortrieb für ein Kantenschutzmittel in einer Umreifungsvorrichtung |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP61197140A patent/JPS6357451A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677245U (ja) * | 1994-04-22 | 1994-10-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 半導体製造装置 |
DE102012016659A1 (de) * | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Itw Packaging Systems Group Gmbh | Vortrieb für ein Kantenschutzmittel in einer Umreifungsvorrichtung |
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