JPS63146330A - Ｘ線管用回転陽極とその製造方法 - Google Patents
Ｘ線管用回転陽極とその製造方法Info
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- JPS63146330A JPS63146330A JP29141686A JP29141686A JPS63146330A JP S63146330 A JPS63146330 A JP S63146330A JP 29141686 A JP29141686 A JP 29141686A JP 29141686 A JP29141686 A JP 29141686A JP S63146330 A JPS63146330 A JP S63146330A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、Ｘ線管用回転陽極とその製造方法に関し、特
に訪負荷用のＸｔｌ管用回転陽極とその製造方法に関す
る。
に訪負荷用のＸｔｌ管用回転陽極とその製造方法に関す
る。
［従来の技術］
一般に、Ｘ線管用回転陽極（以下、ターゲットと呼ぶ）
は、その特性として、高負荷に耐え、且つ、高融点であ
ることが要求される。そこで、従来はｓ Ｒｅ −Ｗ
／ Ｍ ｏ張り合わせ材料がＸ線管用ターゲットとして
用いられている。さらに、ターゲットの特性を向上させ
た高負荷用のターゲットとして用いるために、ターゲッ
ト自身を大型化（大径化、厚板化）して、ターゲットの
蓄熱容量を大きくする方法が採用されている。
は、その特性として、高負荷に耐え、且つ、高融点であ
ることが要求される。そこで、従来はｓ Ｒｅ −Ｗ
／ Ｍ ｏ張り合わせ材料がＸ線管用ターゲットとして
用いられている。さらに、ターゲットの特性を向上させ
た高負荷用のターゲットとして用いるために、ターゲッ
ト自身を大型化（大径化、厚板化）して、ターゲットの
蓄熱容量を大きくする方法が採用されている。
しかしながら、金属からなるターゲットの大型化は、一
方で、熱容量を増大させることができるものの、ターゲ
ット自身の質量をも増大させることになり、このため、
高速回転中の回転機構に種々の不都合を生じさせ、また
、定常回転数に到達するまでの時間を長くしてしまう等
の問題があった。 そこで、近年は、熱容欧が大きく、
且つ。
方で、熱容量を増大させることができるものの、ターゲ
ット自身の質量をも増大させることになり、このため、
高速回転中の回転機構に種々の不都合を生じさせ、また
、定常回転数に到達するまでの時間を長くしてしまう等
の問題があった。 そこで、近年は、熱容欧が大きく、
且つ。
軽量であるグラファイトを蓄熱材として用いて。
Ｒｅ−Ｗ／Ｍｏ張り合わせ材料のＭｏ側に、蓄熱材をろ
う付けにより接合して組み合わせた構造の高負荷用のタ
ーゲットが研究されている。
う付けにより接合して組み合わせた構造の高負荷用のタ
ーゲットが研究されている。
一般にグラファイトと高融点金属との結合に用いられる
従来のろう材には、特開昭Ｇ１−１１１９７９号公報に
記載されるように、 Ｔ ｌ−Ｃｕ−Ｎｉ、Ｔｉ−Ｃｕ
−Ｓ １．Ｔ Ｉ−７８Ａｌ−７８Ａ ｕ、Ｆ ｅ−３
Ｇ 〜４５Ｎ １−Ｔ １，３５Ａｕ−３５Ｎ ｌ−１
−３Ｏや、或いはＭＯ−Ｃｏ、Ｚｒ−Ｔｌ等が用いられ
ていた。
従来のろう材には、特開昭Ｇ１−１１１９７９号公報に
記載されるように、 Ｔ ｌ−Ｃｕ−Ｎｉ、Ｔｉ−Ｃｕ
−Ｓ １．Ｔ Ｉ−７８Ａｌ−７８Ａ ｕ、Ｆ ｅ−３
Ｇ 〜４５Ｎ １−Ｔ １，３５Ａｕ−３５Ｎ ｌ−１
−３Ｏや、或いはＭＯ−Ｃｏ、Ｚｒ−Ｔｌ等が用いられ
ていた。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが、上述の成分からなるろう材を用いた従来の高
負荷用のＸ線管用のターゲットは、ろう付け工程中又は
実際に使用される高真空中の高温（１２００℃）伏態に
おいては、蓄熱材とろう材との境界、即ち、ろう付け部
付近の温度が、 １０００〜！２００℃の高温になると
、グラファイトとろう材との境界に、ろう相成分による
金属炭化物が生成してしまう欠点がある。
負荷用のＸ線管用のターゲットは、ろう付け工程中又は
実際に使用される高真空中の高温（１２００℃）伏態に
おいては、蓄熱材とろう材との境界、即ち、ろう付け部
付近の温度が、 １０００〜！２００℃の高温になると
、グラファイトとろう材との境界に、ろう相成分による
金属炭化物が生成してしまう欠点がある。
すなわち、金属炭化物は、一般に硬くて脆弱であるばか
りでなく、生成時に体積変化が生じるため、Ｒｅ−Ｗ／
Ｍｏ張り合わせ材料と蓄熱材との間に剥離が生じ、耐熱
性及び熱衝撃性を低減させ。
りでなく、生成時に体積変化が生じるため、Ｒｅ−Ｗ／
Ｍｏ張り合わせ材料と蓄熱材との間に剥離が生じ、耐熱
性及び熱衝撃性を低減させ。
抗折力の殆どない実用に耐えないターゲットにしてしま
うという問題があった。
うという問題があった。
そこで９本発明の目的は、上記欠点に鑑み、金属炭化物
の生じない高負荷用のｘｉ管用回転陽極を提供すること
である。
の生じない高負荷用のｘｉ管用回転陽極を提供すること
である。
［問題点を解決するための手段］
本発明よればｙＭｏ又はＭｏ合金層にＷ又はＷ合金層を
張り合わせて形成された張り合わせ材料と、グラファイ
トを含む蓄熱材と、前記張り合わせ材料のうちのＭｏ又
はＭｏ合金層と前記蓄熱材との間に介在するＰｄからな
るろう材とを有し。
張り合わせて形成された張り合わせ材料と、グラファイ
トを含む蓄熱材と、前記張り合わせ材料のうちのＭｏ又
はＭｏ合金層と前記蓄熱材との間に介在するＰｄからな
るろう材とを有し。
前記張り合わせ材料と蓄熱材とは、前記ろう材を介して
接合されていることを特徴とするＸｓ管用回転陽極が得
られる。
接合されていることを特徴とするＸｓ管用回転陽極が得
られる。
さらに９本発明によればｌ ＭＯ又はＭｏ合金層にＷ又
はＷ合金層を張り合わせて形成された張り合わせ材料と
、グラファイトを含む蓄熱材と、Ｐｄからなるろう材と
を準備する準備工程と、前記張り合わせ材料のうちのＭ
Ｏ又はＭｏ合金層と前記蓄熱材との間に、前記ろう材を
介在させて、真空中で、荷重を加えながら加熱し、前記
ろう材を溶解させた後冷却するろう付け工程とを有する
ことを特徴とするＸ線管用回転陽極の製造方法が得られ
る。
はＷ合金層を張り合わせて形成された張り合わせ材料と
、グラファイトを含む蓄熱材と、Ｐｄからなるろう材と
を準備する準備工程と、前記張り合わせ材料のうちのＭ
Ｏ又はＭｏ合金層と前記蓄熱材との間に、前記ろう材を
介在させて、真空中で、荷重を加えながら加熱し、前記
ろう材を溶解させた後冷却するろう付け工程とを有する
ことを特徴とするＸ線管用回転陽極の製造方法が得られ
る。
即ち１本発明は、Ｗ又は、Ｗ合金（Ｒｅ−Ｗ、 Ｔｈ
０２− Ｗ、Ｒｕ−Ｗ、Ｚｒ ０２−Ｗ等）とＭＯ又は
。
０２− Ｗ、Ｒｕ−Ｗ、Ｚｒ ０２−Ｗ等）とＭＯ又は
。
Ｍｏ合金（Ｈｆ−Ｍｏ 、Ｚｒ ０２−Ｍｏ 、Ａｌ２
０３−Ｍｏ ｖ Ｃｏ−Ｍｏ等）とからなる張り合わせ
材料のＭｏ側に、グラファイトを含む蓄熱材をろう付け
する場合に、そのろう材として純Ｐｄを使用するもので
ある。これは、Ｐｄが剥離の原因となる炭化物を生成せ
ず、また、溶融したＰｄはグラファイトに良く溶解し、
いわゆる混合層が形成されるため、良好な接合強度を発
揮し、一方、Ｍｏ側との濡れ性も非常に良く、均一なろ
う付けが可能だからである。しかも、Ｐｄによるガス成
分（特に。
０３−Ｍｏ ｖ Ｃｏ−Ｍｏ等）とからなる張り合わせ
材料のＭｏ側に、グラファイトを含む蓄熱材をろう付け
する場合に、そのろう材として純Ｐｄを使用するもので
ある。これは、Ｐｄが剥離の原因となる炭化物を生成せ
ず、また、溶融したＰｄはグラファイトに良く溶解し、
いわゆる混合層が形成されるため、良好な接合強度を発
揮し、一方、Ｍｏ側との濡れ性も非常に良く、均一なろ
う付けが可能だからである。しかも、Ｐｄによるガス成
分（特に。
水素ガス）を吸収するゲッター効果が発揮されることに
より、Ｘ線管内部の微量ガス成分を吸収し。
より、Ｘ線管内部の微量ガス成分を吸収し。
より高ｊ１空にするように作用して、結果的に、耐電圧
性に優れたＸ線管を形成することになる。
性に優れたＸ線管を形成することになる。
［実施例］
本発明の実施例について図面を参照して説明する。
まず、第１図に示すＸ線管用回転陽極（ターゲット）は
、断面台形で中空の円錐形状のＭｏ層ｌと、このＭｏ層
ｌの母線がなす傾斜面上に張り合わせた５％Ｒｅ−Ｗ合
金層２とからなる外径１２５−一。
、断面台形で中空の円錐形状のＭｏ層ｌと、このＭｏ層
ｌの母線がなす傾斜面上に張り合わせた５％Ｒｅ−Ｗ合
金層２とからなる外径１２５−一。
中心部厚さ８膳−の張り合わせ材料３と、この張り合わ
せ材料３のうちのＭＯ層１の低面に、純Ｐｄからなるろ
う材４を介して接合された外径１２Ｇ＋ｕ。
せ材料３のうちのＭＯ層１の低面に、純Ｐｄからなるろ
う材４を介して接合された外径１２Ｇ＋ｕ。
厚さ１５ｍｍの高純度、高密度のグラファイトからなる
蓄熱材５とから構成されている。
蓄熱材５とから構成されている。
次に、製造方法について、説明する。
まず、準備工程において、断面台形で中空の円錐形状の
Ｍｏ層１と５％Ｒｅ−Ｗ合金層２とを張り合わせ、上述
した製品形状に成形した外径１２５■ｌ。
Ｍｏ層１と５％Ｒｅ−Ｗ合金層２とを張り合わせ、上述
した製品形状に成形した外径１２５■ｌ。
中心部厚さ８１の張り合わせ材料３と、外径１２０畠履
、厚さ１５ｍｍの高純度、高密度のグラフフィトからな
る蓄熱材５と、３５ｇの粉末状又は箔伏の純Ｐｄからな
るろう材４とを準備する。尚、張り合わせ材料３のうち
のＭｏ層１の外周に、ろう付け時に蓄熱材５のずれを防
止するための枠６を取り付ける。
、厚さ１５ｍｍの高純度、高密度のグラフフィトからな
る蓄熱材５と、３５ｇの粉末状又は箔伏の純Ｐｄからな
るろう材４とを準備する。尚、張り合わせ材料３のうち
のＭｏ層１の外周に、ろう付け時に蓄熱材５のずれを防
止するための枠６を取り付ける。
次に、ろう付け工程において、この張り合わせ材料３の
うちのＭｏ層１の低面と蓄熱材５との間に、ろう材４を
３５ｇ （０，３〜０．４ｇ／ｃｍ２）挟み込み。
うちのＭｏ層１の低面と蓄熱材５との間に、ろう材４を
３５ｇ （０，３〜０．４ｇ／ｃｍ２）挟み込み。
ｌ Ｑ−５Ｔｏｒｒの高真空に維持された真空炉内に入
れる。真空炉内で、３００〜５００ｇ／ｃｓ＋２の荷重
をかけながら、Ｐｄの融点（１５５０℃）以上の温度（
１５６０〜１５８０℃）に加熱し、ろう材であるＰｄを
溶融させてろう材４を形成し、５〜ｌＯ分保持する。そ
の後。
れる。真空炉内で、３００〜５００ｇ／ｃｓ＋２の荷重
をかけながら、Ｐｄの融点（１５５０℃）以上の温度（
１５６０〜１５８０℃）に加熱し、ろう材であるＰｄを
溶融させてろう材４を形成し、５〜ｌＯ分保持する。そ
の後。
高真空を維持しながら室温まで冷却する。
ここで、このターゲットのうち、蓄熱材５をろう材４と
の境界、すなわち、ろう付け部をＸ線回折法により分析
したところ、剥離等の原因になる金属炭化物の生成は見
られなかった。
の境界、すなわち、ろう付け部をＸ線回折法により分析
したところ、剥離等の原因になる金属炭化物の生成は見
られなかった。
また、ろう付け部の接合強度を評価するために。
張り合わせ材料３と蓄熱材５との接合部、すなわち、ろ
う材４を中心に集中荷重を加える抗折試験をおこなった
。その結果、室温では、ろう付け部では破断は認められ
ず、蓄熱材５のグラファイト母材で破断が生じた。即ち
、母材よりも高い強度の接合強度が得られることを示し
ている。一方。
う材４を中心に集中荷重を加える抗折試験をおこなった
。その結果、室温では、ろう付け部では破断は認められ
ず、蓄熱材５のグラファイト母材で破断が生じた。即ち
、母材よりも高い強度の接合強度が得られることを示し
ている。一方。
１２００℃の高真空中における抗折試験では、ろう付け
部で破断が生じたものの、 １．３ ｋｇ／■−２の優
れた抗折力を示し、殆ど抗折力のない従来のターゲット
に比べ、優れた接合強度を有していることが認められた
。
部で破断が生じたものの、 １．３ ｋｇ／■−２の優
れた抗折力を示し、殆ど抗折力のない従来のターゲット
に比べ、優れた接合強度を有していることが認められた
。
［発明の効果］
以上の説明のとおり９本発明によれば、剥離の原因とな
る金属炭化物を生成せず、また、グラファイトに良く溶
解して良好な接合強度を発揮し。
る金属炭化物を生成せず、また、グラファイトに良く溶
解して良好な接合強度を発揮し。
一方、ＭＯ側との濡れ性も非常に良（、均一なろう付け
が可能なため、接合強度の優れたＸ線管用回転陽極が得
られる。さらに９本発明によれば。
が可能なため、接合強度の優れたＸ線管用回転陽極が得
られる。さらに９本発明によれば。
ガス成分（特に、水素ガス）を吸収するゲッター効果を
有し、Ｘ線管内部の微量ガス成分を吸収し。
有し、Ｘ線管内部の微量ガス成分を吸収し。
より高真空にするように作用する耐電圧性に優れたＸ線
管用回転陽極が得られる。
管用回転陽極が得られる。
第１図は本発明に係わる実施例の断面図１・・・Ｍｏ層
、２・・・Ｒｅ−Ｗ合金層、３・・・張り合わせ材料、
４・・・ろう材、５・・・蓄熱材、６・・・枠。
、２・・・Ｒｅ−Ｗ合金層、３・・・張り合わせ材料、
４・・・ろう材、５・・・蓄熱材、６・・・枠。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）Ｍｏ又はＭｏ合金層にＷ又はＷ合金層を張り合わせ
て形成された張り合わせ材料と、グラファイトを含む蓄
熱材と、Ｐｄからなるろう材とを有し、前記ろう材を、
前記張り合わせ材料のうちのＭｏ又はＭｏ合金層と前記
蓄熱材との間に介在させて、前記張り合わせ材料と蓄熱
材とを接合したことを特徴とするＸ線管用回転陽極。 ２）Ｍｏ又はＭｏ合金層にＷ又はＷ合金層を張り合わせ
て形成された張り合わせ材料と、グラファイトを含む蓄
熱材と、Ｐｄからなるろう材とを準備する準備工程と、
前記張り合わせ材料のうちのＭｏ又はＭｏ合金層と前記
蓄熱材との間に、前記ろう材を介在させて、真空中で、
荷重を加えながら加熱し、前記ろう材を溶解させた後冷
却するろう付け工程とを有することを特徴とするＸ線管
用回転陽極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29141686A JPS63146330A (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | Ｘ線管用回転陽極とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29141686A JPS63146330A (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | Ｘ線管用回転陽極とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63146330A true JPS63146330A (ja) | 1988-06-18 |
Family
ID=17768601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29141686A Pending JPS63146330A (ja) | 1986-12-09 | 1986-12-09 | Ｘ線管用回転陽極とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63146330A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487275B1 (en) | 1994-03-28 | 2002-11-26 | Hitachi, Ltd. | Anode target for X-ray tube and X-ray tube therewith |
-
1986
- 1986-12-09 JP JP29141686A patent/JPS63146330A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487275B1 (en) | 1994-03-28 | 2002-11-26 | Hitachi, Ltd. | Anode target for X-ray tube and X-ray tube therewith |
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