JPS63142829A

JPS63142829A - 基板吸着固定装置

Info

Publication number: JPS63142829A
Application number: JP61290708A
Authority: JP
Inventors: Masanobu Doken; 道券　正延; Yoshio Kawai; 義夫河合; Nobuyuki Shimada; 島田　信幸; Yoshiaki Mimura; 三村　義昭
Original assignee: N T T GIJUTSU ITEN KK; Nippon Telegraph and Telephone Corp; NTT Technology Transfer Corp
Current assignee: N T T GIJUTSU ITEN KK; NTT Advanced Technology Corp; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1986-12-05
Filing date: 1986-12-05
Publication date: 1988-06-15
Anticipated expiration: 2012-05-21
Also published as: JP2613035B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、半導体基板などの種々の基板に微細パターン
を露光するための露光′８置に用いて好適な基板板む固
定装置に関する。

従来の技術従来、第３図を伴なって次に述べる構成を有する基板吸
着固定装置が提案されている。

すなわち、基板吸着固定手段Ａと、基板受渡手段Ｂとを
有する。

基板吸着固定手段Ａは、平らな基板受面２と、その基板
受部２に臨み且つ吸気用連絡孔４及び吸気用外部連結管
５を介して外部の吸気手段（図示せず）に連結される例
えば格子状パターンに形成された吸着用溝３とを有する
基板吸着固定用板体１を有する。

また、基板受渡手段Ｂは、比較的大きな面積の基板受部
１３を有する板状の基板受部１２と、その基板受部１２
から基板受面１３と直交する方向に延長している支持部
１４とを有する１つの基板支持体１１からなる。

この基板支持体１１の基板受部１２には、支持部１４内
にその長さ方向にを通って延長している吸気用孔１６を
介して外部の吸気手段（図示せず）に連結される、基板
受ｉ！１ｌｉ７３に臨んでいる吸着用溝１５が設けられ
ている。

さらに、上述した基板吸着固定手段Ａを構成している基
板吸着固定用板体１には、基板吸着固定用板体１の基板
受部２の中央部に、基板受面２と直交する方向に延長し
、且つ上述した基板受渡手段Ｂを構成している基板支持
体１１の基板受部１２の基板受面１３を、基板吸着固定
用板体１の基板受面２と平行であるがそれよりも下がっ
ている面上と基板吸着固定用板体１の基板受面２と平行
であるがそれよりも上っている面上とに選択的に持来し
得るように、基板支持体１１を可動自在に配している貫
通孔６が形成されている。

以上が、従来提案されている基板吸着固定装置の構成で
ある。

このような構成を有する基板吸着固定装置によれば、第
３図Ｂに示すような、基板受渡手段Ｂを構成している基
板支持体１１が、その基板受部１２の基板受面１３を、
基板吸着固定手段Ａを構成している基板吸着固定用板体
１の貫通孔６内における基板受面２と平行であるがそれ
よりも下がっている面上に持来たしている、という基板
吸着固定用板体１との相対位置関係を有している状態か
ら、吸着固定されるべき基板２１を、第３図Ｃに示すよ
うに、適当な基板搬送手段（図示せず）によって、基板
吸着固定用板体１の上方位置に、その基板受面２と対向
して、持来たし、そして、基板支持体１１を、適当な駆
動手段（図示せず）によって、上方に移動させ、それに
よって、基板支持体１１の基板受部１２を、その基板受
面１３が基板吸着固定用板体１の基板受面２と平行な関
係を保っている状態で、貫通孔６内に、上方に向って貫
通させれば、第３図Ｃに示すように、基板支持体１１の
基板受部１２の基板受面１３によって、基板２１を、そ
の下方から受けさせることができる。従って、基板２１
を、上述した基板搬送手段から、基板支持体１１の基板
受面１３上に受渡すことができる。

この場合、基板支持体１１の基板受部１２の吸着用溝１
５は、基板２１によって上方から塞がれた状態になるが
、その吸着用溝１５に予め外部の吸気手段を連結してお
き、そして、その吸気手段を予め作動させておけば、そ
の吸気手段によって基板支持体１１の吸気用溝１５の排
気が行われるので、基板２１が基板支持体１１の基板受
面１３上に受渡されている状態が、基板２１が基板支持
体１１の基板受面１３上に吸着固定されている状態で得
られる。

また、上述したように、基板１が基板支持体１１の基板
受面１３上に受渡されている状態から、第３図りに示す
ように、基板支持体１１を、駆動手段によって、下方に
移動させ、それによって、基板支持体１１の基板受部１
２を、その基板受面１３が基板吸着固定用板体１の基板
受面２よりも下っている面上にあるように持来せば、第
３図りに示すように、基板２１を、基板支持体１１の基
板受面１３−ヒから、基板吸着固定用板体１の基板受面
２上に受渡すことができる。

この場合、基板吸着固定用板体１の吸着用溝３は、基板
２７によって上方から塞がれた状態になるが、その吸気
用溝３に連通している基板吸着固定用板体１の吸気用連
結管５に予め外部の吸気手段を連結しておき、そして、
その吸気手段を予め作動させておけば、基板吸着固定用
板体１の吸気用溝３の排気が行なわれるので、基板２１
が基板吸着固定用板体１の基板受面２上に受渡されてい
る状態が、基板２１が基板吸着固定用板体１の基板受面
２上に吸着固定されている状態で得られる。

発明が解決しようとする問題、。

第３図に示す従来の基板吸着固定装置によれば、基板１
を、基板吸着固定用板体１の基板受面２上に吸着して固
定させることができるので、基板１を、それに反りを有
していても、それを矯正して、基板吸着固定用板体１の
基板受面２上に固定させることができる。

しかしながら、第３図に示す基板吸着固定装置の場合、
基板吸着固定用板体１が、その貫通孔６を吸気用溝３に
連通させている構成を有さず、また、基板２１が基板吸
着固定用板体１の基板受部２上に吸着固定されている状
態において、貫通孔６が基板２１によって上方から塞が
れているとしても、その貫通孔６が排気される、という
構成を有していないので、基板１が基板吸着固定用板体
１の基板受部２上に吸着固定されている状態において、
基板２１の貫通孔６に臨んでいる領域が、基板吸着固定
用板体１側に吸着されず、また、貫通孔６が大きな断面
積を有するので、上述においては、基板２１がそれに反
りを有していても、それが矯正されて、基板吸着固定用
板体１の基板受面２上に固定させることができると述べ
たが、それが不十分であり、実際上は、基板２１を基板
吸着固定用板体１の基板受面２上に固定させている状態
において、その基板２１のｄ通孔６に臨んでいる領域が
、第３図りで点線に示すように、基板吸着固定用板体１
の基板受部２と同じ面から浮き上っている状態になって
いたりしている。

例えば、第３図に示す従来の基板吸着固定装置を、例え
ば半導体基板に微細パターンを露光するための露光装置
に適用した場合において、基板２１が、直径１５０ｍｍ
１厚さ０．６〜０゜７ＩＩＩｌのシリコンウェハでなり
、また、基板吸着固定用板体１の貫通孔６が直径３Ｑｍ
ｍの貫通孔である場合、基板２１の負通孔６に臨んでい
る領域が、中央部において、３〜１０μｍも汀き上って
いる状態になっていたりしている。

従って、第３図に示ず従来の基板吸着固定装置の場合、
基板２１を、その全域に亘って、平らに、基板吸着固定
用板体１の基板受面２上に固定させることができず、よ
って、例えば、半導体基板に微細パターンを露光するた
めの露光装置に適用した場合、微細パターンを半導体基
板の全域に亘り、？３門度に露光することができないな
ど、という欠点を有していた。

１１　　ｔ　°　　ためのよって、本発明は上述した欠点のない、新規な基板吸着
固定装置を提案せんとするものである。

本発明による基板吸′ｌｉ！ｙ固定装置は、第３図で上
述した従来の基板吸着固定装置の場合と同様に、基板を
受ける平らな基板受面と、その基板受面に臨み且つ吸気
手段に連結される吸気用溝とを有する基板吸着固定手段
を有するとともに、上記基板吸着固定手段の基板受面と
対向して持来たされる基板を、上記基板吸着固定手段の
基板受面上に受渡す基板受渡手段とを有する。

しかしながら、本発明による基板吸着固定装置は、この
ような構成を有する基板吸着固定装置において、その上
記基板受渡手段が、小さな面積の基板受面を有する複数
の基板支持体からなり、また、上記基板吸着固定手段に
、その基板受面と直交する方向に延長し且つ上記吸着用
溝に連通し、且つ上記複数の基板支持体の基板受部の基
板受面を、上記基板吸着固定手段の基板受面よりも下っ
ている面上と上記基板吸着固定手段の基板受面よりも上
っている面上とに選択的に持来し得るように、上記複数
の基板支持体を可動自在に配している複数の貫通孔が形
成され、さらに、上記基板吸着固定手段と上記基板受渡
手段の支持部との間に、上記複数の基板支持体の基板受
部の基板受面が上記基板吸着固定手段の基板受面よりも
下っている面上に持来されているときに、上記複数の貫
通孔を、それらの上記基板吸着固定手段の基板受面側に
おいて上記吸着用溝に連通させている状態に保たせてい
るが、上記基板吸着固定手段の基板受面側とは反対側に
おいて外気に連通させない気密封止手段が設けられてい
る、という構成を有する。

作用・効果このような構成を有する本発明による基板吸着固定装置
によれば、吸着固定されるべき基板を、第３図で従来の
基板吸着固定装置について上述した場合と同様に、適当
な基板搬送手段を用いて、基板吸着固定手段の基板受面
と対向して持来し、そして、基板受渡手段の複数の基板
支持体を、第３図で上述した従来の基板吸着固定装置の
基板受渡手段の基板支持体の場合に準じて、適当な駆動
手段を用いて、基板側に向って移動させれば、それら複
数の基板支持体の基板受面によって、第３図で上述した
従来の基板吸着固定！ｉｉ置の基板支持体の場合と同様
に、基板を受けさせることができ、従って、基板を、第
３図で上述した従来の基板吸着固定装置の場合に準じて
、基板Ｗｉ送手段から、複数の基板支持体の基板受面上
に受渡すことができる。

また、このような状態から、複数の基板支持体を、第３
図で上述した従来の基板吸着固定装置の基板支持体の場
合に準じて、基板側とは反対側に向って移動させれば、
基板を、第３図で上述した従来の基板吸着固定装置の１
合に準じて、複数の基板支持体上から、基板吸着固定手
段の基板受面上に受渡すことができる。そして、この場
合、第３図で上述した場合と同様に、基板吸着固定手段
の吸着用溝に予め吸気手段を連結し、そして、その吸気
手段を予め作動さｌておけば、基板が基板吸着固定手段
の基板受面上に受渡されている状態が、第３図で上述し
た従来の基板吸着固定装置の場合と同様に、基板吸着固
定手段の基板受面上に吸着固定させている状態で得られ
る。

さらに、本発明による基板吸着固定装置によれば、基板
を、第３図で上述した従来の基板吸着固定装置の場合と
同様に、基板吸着固定手段の基板受面上に吸着して固定
させることができるので、第３図で上述した従来の基板
吸着固定゛装置の場合と同様に、基板をそれに反りを有
していても、それを矯正して、基板吸着固定手段の基板
受面上に固定させることができる。

しかしながら、本発明による基板吸着固定装置の場合、
基板吸着固定手段が、それに設けている複数の貫通孔を
吸着用溝に連通させている構成を有し、また、基板吸着
固定手段と基板受渡手段の複数の基板支持体との間に、
気密封止手段が設けられ、そして、基板が基板吸着固定
手段の基板受面上に吸着固定されている状態にあるとき
、複数の貫通孔が、気密封止手段によって、基板吸着固
定手段の基板受面側において吸着用溝に連通している状
態を保っているが、基板吸着固定手段の基板受面側とは
反対側において外気に連通していないので、基板が基板
吸着固定手段の基板受面上に吸着固定されている状態に
あるとき、基板の複数の貫通孔に臨んでいる領域も、基
板吸着固定手段の基板受面側に吸着される。

このため、基板を、それに反りを有していても、その基
板の全域に亘って、平らに、基板吸着固定手段の基板受
面上に固定させることができる。

実施例１次に、第１図を伴って、本発明による基板吸着固定装置
の第１の実施例を述べよう。

第１図において、第３図との対応部分には同一符号を付
す。

第１図に示す本発明による基板吸着固定装置は、第３図
で上述した従来の基板吸着固定装置の場合と同様に、基
板吸着固定手段Ａと、基板受渡手段Ｂとを有する。

基板吸着固定手段Ａは、第３図で上述した従来の基板吸
着固定装置の場合と同様に、平らな基板受面２と、その
基板受面２に臨み■つ吸気用連絡孔４及び吸気用外部連
結管５を介して外部の吸気手段（図示せず）に連結され
る例えば格子状パターンに形成された吸着用溝とを有す
る基板吸着固定用板体１を有する。

また、基板受渡手段Ｂは、小さな面積の例えば円形の基
板受部１３を有する、その基板受面１３下にそれと同じ
形状に延長している基板受部１２と、その基板受部１２
からその基板受面１３側とは反対側に且つ基板受面１３
と直交する方向に延長している基板受部１２に比し小さ
な断面を有する支持部１４とを有する複数例えば３つの
基板支持体１１からなる。

これら複数の基板支持体１１は、上述した基板吸着固定
手段Ａを構成している基板吸着固定用板体１の厚さに比
し十分長い長さを有している。

また、複数の基板支持体１１の基板受部１２には、支持
部１４内にその長さ方向に延長している吸気用孔１６を
介して外部の吸気手段（図示せず）に連結される、基板
受面１３に臨んでいる吸着用溝１５が設けられている。

さらに、基板受部１２の支持部１４側は、支持部１４側
に至るに従い、支持部１４との連接おいて支持部１４と
同じ断面になるように、徐々に小さくなる断面を有し、
従って、基板受部１２は、その支持部１４側において、
逆錐状体面１７でなる外面を有している。

さらに、上述した基板吸着固定装置Ａを構成している基
板吸着固定用板体１には、その基板受面２の中心を中心
とする同心円心上に基板受部２と直交する方向に延長し
ている、上述した基板受渡手段Ｂの基板支持体１１の数
と同じ数の貫通孔６が形成されている。

この場合、複数の貫通孔６は、基板受面２側における、
基板支持体１１の基板受部１２がその基板受面１３を基
板受面２と平行にしている状態で可動自在な、基板受部
１２よりも僅かに長い長さを有する孔部６ａと、基板受
面２側とは反対側における、基板支持体１１の基板受部
１３は可動できないが基板支持体１１の支持部１４が可
動自在な、支持部１４よりも短い長さを有する孔部６ｂ
とからなる。

また、複数の貫通孔６の基板受面２側の孔部６ａの孔部
６ｂ側は、上述した基板支持体１１の基板受部１２の支
持部１４側の外面を構成している逆錐状体面１７に対応
している、逆錐状体面１８でなる内面になるように、孔
部６ｂ側に至るに従い、孔部６ｂとの連接位置において
孔部６ｂと同じ断面になるように、徐々に小さくなる断
面を有している。

しかして、上述した基板受渡手段Ｂを構成している複数
の基板支持体１１の支持部１４が、複数の貫通孔６内に
、基板受部１２をｎ通孔６の孔部６ａ側にして、口過さ
れ、そして、常時は、基板受部１２の支持部１４側の逆
錐状体面１７の外面と孔部６ａの孔部６ｂ側の逆錐状体
面１８の内面とが接触し、そして、基板受部１２の基板
受面１３が貫通孔６の孔部６ａ内に在る状態で、基板支
持体１１が基板吸着固定用板体１上に配されている。

また、複数の基板支持体１１は、それらが上述したよう
に基板吸着固定手段１上に配されている状態で、例えば
、それらの支持部１４の遊端に付された螺子１９とそれ
に螺合するナツト２ｏとを用いて、それら複数の基板支
持体１１に対して共通な連繋板２１上によって、連繋さ
れている。

さらに、複数の基板支持体１１が、上述したように連繋
板２１によって互に連繋されて、基板吸着固定用板体１
上に配されている状態で、それら連繋板２１と基板吸着
固定用板体１との間に、例えば複数の基板支持体１１の
それぞれの周りにおいて、それぞれ発条２２が介挿され
、よって、複数の基板支持体１１の基板受部１２の支持
部１４側の逆錐状体面１７でなる外面のそれぞれが、そ
れに対応している貫通孔６の孔部６ａの孔部６ｂ側の逆
錐状体面１８でなる内面に圧接され、それによって、貫
通孔６が、基板吸着固定用板体１の基板受面２側におい
て吸着用Ｒ３と連通している状態を保っているが、基板
受面２側とは反対側において外気に連通していない状態
が得られている。

なお、上述した複数の基板支持体１１の基板受面１２の
支持部１４側の逆錐状体面１７でなる外面のそれぞれと
、それに対応している貫通孔６の孔部６ａの孔部６ｂ側
の逆錐状体面１８でなる内面とは、基板支持体１１の基
板受部１２の基板受面１３が基板吸着固定用板体１の基
板受面２よりも下っている面上に持来たされたときに、
複数の貫通孔６を、それらの基板吸着固定用板体１の基
板受面側において吸着用溝４に連通させているが、基板
吸着固定用板体１の基板受面２側とは反対側において外
気に連通させていない、基板吸着固定用板体１と複数の
基板支持体１１との間の気密封止手段２３を構成してい
る。

以上が、本発明による基板吸着固定装置の第１の実施例
の構成である。

このような構成を有する本発明による基板吸着固定装置
によれば、第３図で従来の基板吸着固定装置について上
述した場合に準じて、第１図Ｂに示すような、基板受渡
手段Ｂを構成している複数の基板支持体１１が、それら
の基板受部１２の基板受面１３を、基板吸着固定手段Ａ
を構成している基板吸着固定用板体１の貫通孔６内にお
ける基板受面２と平行であるがそれよりも下っている面
上に持たしている、という基板吸着固定用板体１との相
対関係を有している状態から、基板２１を、第１図Ｂに
示すように、第３図で上述した従来の基板吸着固定装置
の場合と同様に、適当な搬送手段（図示せず）を用いて
、基板吸着固定用板体１の上方位置に、その基板受面２
と対向して、持来たし、そして、複数の基板支持体１１
を、駆動手段としての例えばカム機構によって、連繋板
２１を、発条２２に抗して、基板吸着固定用板体１側に
移動させれば、これに応じて、複数の基板支持体１１が
上方に移動し、このため、第１図Ｃに示すように、複数
の基板支持体１１の基板受部１２の基板受面１３によっ
て、基板２１を、その下方から受けさせることができる
。従って、基板２１を、基板搬送手段から、複数の基板
支持体１１の基板受面１３上に受渡すことができる。

この場合、複数の基板支持体１１の基板受部１２の吸着
用溝１５は、基板２１によって上方から塞がれた状態に
なるが、その吸着用溝１５に予め外部の吸気手段を連結
しておき、そして、その吸気手段を予め作動しておけば
、その吸気手段によって、複数の基板支持体１１の吸着
用溝１５の排気が行なわれるので、基板２１が複数の基
板支持体１１の基板受面１３上に受は渡されている状態
が、基板２１が複数の基板支持体１１の基板受面１３上
に吸着固定されている状態で得られる。

また、上述したように、基板１が複数の基板支持体１１
の基板受面１３上に受渡されている状態から、第１図り
に示すように、複数の基板支持体１１を、上述したカム
機構によって、下方に移動させ、それによって、複数の
基板支持体１１の基板受部１２を、それらの基板受面１
３が基板吸着固定用板体１の基板受面２よりも下ってい
る面にあるように持来たせば、基板２１を、第３図で上
述した従来の基板吸着固定装置の場合に準じて、第１図
りに示すように、複数の基板支持体１１の基板受面Ｂ上
から、基板吸着固定用板体１の基板受面２上に受渡すこ
とができる。

この場合、基板吸着固定用板体１の吸着用溝３は、基板
２１によって上方から塞がれた状態になるが、その吸着
用溝３に連通している基板吸着固定用板体１の吸気用連
結管５に予め外部の吸気手段を連結しておき、そして、
その吸気手段を予め作動させておけば、その吸気手段に
よって、基板吸着固定用板体１の吸着用溝３の排気が行
なわれるので、基板２１が基板吸着固定用板体１の基板
受面２上に受渡されている状態が、第３図で上述した従
来の基板吸着固定装置の場合と同様に、基板２１が基板
吸着固定用板体１の基板受面２上に吸着固定されている
状態で得られる。

また、第１図に示す本発明による基板吸着固定装置によ
れば、基板２１を、第３図で上述した従来の基板吸着固
定装置の場合と同様に、基板吸着固定用板体１の基板受
面２上に吸容して固定させることができるので、第３図
で上述した従来の基板吸着固定装置の場合と同様に、基
板２１を、それに反りを有していても、それを矯正して
、基板吸着固定用板体１の基板受面２上に固定させるこ
とができる。

しかしながら、本発明による基板吸着固定装置の場合、
基板吸着固定用板体１が、それに設けられている複数の
貫通孔６を吸着用溝３に連通させている構成を有し、ま
た、基板吸着固定用板体１と複数の基板支持体１１との
間に、気密封止手段２３が設けられ、そして、基板２１
が基板吸着固定用板体１の基板受面２上に吸着固定され
ている状態にあるとき、貫通孔６が、気密封止手段２３
によって、基板吸着固定用板体１の基板受面２側におい
て吸着用溝３に連結されている状態を保っているが、基
板吸着固定用板体１の基板受面２側とは反対側において
外気に連通していないので、基板２１が基板吸着固定用
板体１の基板受面２上に吸着固定されている状態にある
とき、基板２１の複数の貫通孔６に臨んでいる領域も、
基板吸着固定用板体１の基板受面２側に吸着されている
。このため、基板２１を、それに反りを有していても、
基板２１の全域に亘って、平らに、基板吸着固定用板体
１の基板受面２上に固定させることができる。

実施例２次に、第２図を伴って本発明による基板吸着固定装置の
第２の実施例を述べよう。

第２図において、第１図との対応部分には同一符号を付
して示す。

第２図に示す本発明による基板吸着固定装置は、第１図
で上述した本発明による基板吸着固定装置の場合と同様
に、基板吸着固定手段Ａと、基板受渡手段Ｂとを有する
。

基板吸着固定手段Ａは、平らな基板受面２と、その基板
受面２に臨み且つ基板受面２と対向している他の面上に
臨んでいる吸気用連絡孔４ａに連通している、例えば格
子状パターンを有する吸気用溝３とを有する基板吸着固
定用板体１ａと、その基板吸着−固定用板体１ａによっ
て気密に蓋されているケース状体１ｂとからなる。

この場合、ケース状体１ｂ内が、その側壁に設けられた
吸気用連絡孔４ａを介して、外部の吸気手段（図示せず
）に連結される吸気用連結管５に連通している。従って
、基板吸着固定用板体１ａの吸気用溝３が、基板吸着固
定用板体１ａの吸気用連絡孔４ａと、ケース状体１ｂ内
と、その吸気用連絡孔４ｂと、吸気用連絡管５とを介し
て、外部の吸気手段に連結されるようになされている。

また、基板受渡手段Ｂが、例えば基板吸着固定用板体１
ａの基板受面２の中心を中心とする２つの同心円弧線を
２つの相対向している辺としているストライブ状の基板
受部１３を有する、その基板受部１３下にそれと同じ形
状に延長している基板受部１２と、その基板受部１２か
らその基板受部１３側とは反対側に且つ基板受面１３と
直交する方向に延長している基板受部１２と例えば同じ
断面を有する支持部１４とを有する例えば４つの基板支
持体１１からなる。

これら複数の基板支持体１１は、上述した基板吸着固定
用板体１ａの基板受面２とケース状体１ｂの外側の面と
の間の間隔に比し十分長い長さを有している。

また、複数の基板支持体１１０基板受部１２には、第１
図で上述した本発明による基板吸着固定装置の場合と同
様に、支持部１４内にその長さ方向に延長している吸気
孔１６を介して外部の吸気手段（図示せず）に連結され
る、基板受面１３に臨んでいる吸気用＠１５が設けられ
ている。

さらに、上述した基板吸着固定手段Δを構成している基
板吸着固定用板体１ａには、第１図で上述した本発明に
よる基板吸む固定装置の場合と同様に、その基板受面２
を特徴とする特許円上に基板受面２と直交する方向に延
長している、上述した基板受渡手段Ｂを構成している基
板支持体１１の数と同じ数の貫通孔６ａが形成され、ま
た、ケース状体１ｂの底壁に、基板吸着固定用板体１ａ
の各貫通孔６ａに対応している位置に、基板吸着固定用
板体１ａの基板受面２と直交する方向に延長している貫
通孔６ｂが形成されている。

この場合、基板吸着固定用板体１の貫通孔６ａは、基板
支持体１１の基板受部１２及び支持部ゴ４が、基板受面
１３を基板受面２と平行に保たせた状態で可動自在な大
きさの孔でなる。

一方、基板吸着固定手段へを構成しているケース状体１
ｂの底壁の内面には、その複数の貫通孔６ｂの周りにお
いて、それを取囲むように、気密封止用環５１が配され
、また、基板受渡手段Ｂを構成している複数の基板支持
体１１の支持部１４には、ケース状体１ｂに配されてい
る気密封止用環５１と共働して、ケース状体１ｂの貫通
孔６ｂを封止する気密封止用板５２が取付けられている
。この場合、気密封止用板５２は、気密封止用環５１と
その上方から接触している状態にあるときに、基板支持
体１１の基板受面１３が基板吸着固定用板体１の基板受
面２よりも下がっている面上にある関係が得られるよう
な、支持部１４上の位置を有している。

しかして、上述した基板受渡手段Ｂを構成している複数
の基板支持体１１が、複数の貫通孔６ａ及び６ｂの組内
に、基板受部１２を貫通孔６ａ側にし、また、気密封止
用板５２をケース状体１ｂ内に配されている状態で配さ
れ、そして、気密封止用板５２が気密封止用環５１にそ
の上方から接触し、また、基板受部１２の基板受面１３
が貫通孔６ａ内に在る状態で、基板支持体１１が、基板
吸着固定手段Ａ上に配されている。

また、複数の基板支持体１１は、それらのケース状体１
ｂ下に延長している支持部１４の遊端において、それら
複数の基板支持体１１に対して共通の連繋板２１によっ
て互に連繋されている。

以上が、本発明による基板吸着固定装置の第２の実施例
の構成である。

このような構成を有する本発明による基板吸着固定装置
によれば、第１図で上述した本発明による基板吸着固定
装置の場合と同様に、第１図Ｂに示すような、基板受渡
手段Ｂを構成している複数の基板支持体１１が、それら
の基板受部１２の基板受部１３を、基板吸着回定手段Ａ
を構成している基板吸着固定用板体１ａの貫通孔６ａ内
における基板受部２と平行であるがそれよりも下ってい
る面上に持たしている、という基板吸着固定用板体１と
の相対関係を有している状態から、基板２１を、第２図
Ｂに示すように、第１図で上述した本発明による基板吸
着固定装置の場合と同様に、適当な搬送手！′Ａ（図示
せず）を用いて、基板吸着固定用板体１ａの上方位置に
、その基板受面２と対向して、持来たし、そして、駆動
手段としての例えばカム門構によって、連繋板２１を、
発条２２に抗して、基板吸着固定用板体１（Ｉｌｌに移
動させれば、これに応じて、複数の基板支持体１１が上
方に移動し、このため、第２図Ｃに示すように、複数の
基板支持体１１の基板受部１２の基板受面１３によって
、基板２１を、その下方から受けさせることができる。

従って、基板２１を、第１図で上述した本発明による基
板吸着固定装置の場合と同様に、基板搬送手段から、複
数の基板支持体１１の基板受面１３上に受渡すことがで
きる。

この場合、第１図で上述した本発明による基板吸着固定
装置の場合と同様に、複数の基板支持体１１の基板受部
１２の吸着用溝１５は、基板２１によって上方から塞が
れた状態になるが、その吸着用ｖ４１５に予め外部の吸
気手段を連結しておき、そして、その吸気手段を予め作
動しておけば、その吸気手段によって、複数の基板支持
体１１の吸着用溝１５の排気が行なわれるので、基板２
１が複数の基板支持体１１の基板受部１３上に受渡され
ている状態が、基板２１が複数の基板支持体１１の基板
受面１３上に吸着固定されている状態で得られる。

また、第１図で上述した本発明による基板吸着固定装置
の場合と同様に、基板１が複数の基板支持体１１の基板
受面１３上に受渡されている状態から、第２図りに示す
ように、複数の基板支持体１１を、上述したカム機構に
よって、下方に移動させ、それによって、複数の基板支
持体１１の基板受部１２を、それらの基板受面１３が基
板吸着固定用板体１ａの基板受面２よりも下っている面
にあるように持来たせば、基板２１を、第２図りに示す
ように、複数の基板支持体１１の基板受面Ｂ上から、基
板吸着固定用板体１の基板受面２上に受渡すことができ
る。

この場合、第１図で上述した本発明による基板吸着固定
装置の場合と同様に、基板吸着固定用板体１の吸着用溝
３は、基板２１によって上方から塞がれた状態になるが
、その吸着用溝３に連通している基板吸着固定用板体１
ａの吸気用連結管５に予め外部の吸気手段を連結してお
き、そして、その吸気手段を予め作動させておけば、基
板吸着固定用板体１の吸着用溝３の排気が行なわれるの
で基板２１が基板吸着固定用板体１の基板受面２上に受
渡されている状態が、第１図で上述した本発明による基
板吸着固定装置の場合と同様に、基板２１が基板吸着固
定用板体１の基板受面２上に吸着固定されている状態で
１７られる。

また、第２図に示す本発明による基板吸着固定装置によ
れば、基板２１を、第１図で上述した本発明による基板
吸着固定装置の場合と同様に、基板吸着固定用板体１の
基板受面２上に吸着して固定させることができるので、
第１図で上述した本発明による基板吸着固定装置の場合
と同様に、基板２１を、それに反りを有していても、そ
れを矯正して、基板吸着固定用板体１の基板受面２上に
固定させることができる。

さらに、第２図に示す本発明による基板吸着固定装置の
場合、基板吸着固定用板体１ａが、それに設けられてい
る複数の貫通孔６ａを吸着用溝３に連通させている構成
を有し、また、基板吸着固定手段ＡＱを構成しているケ
ース状体　・１ｂと複数の基板支持体１１との間に、気
密封止手段２３が設けられ、そして、基板２１が基板吸
着固定用板体１ａの基板受部２上に吸着固定されている
状態にあるとき、貫通孔６ａが、気密封止手段２３によ
って、吸着用溝３に連結されている状態を保っているが
、貫通孔６ａが、外気に連通していないので、基板２１
が基板吸着固定用板体１ａの基板受面２上に吸着固定さ
れている状態にあるとき、基板２１の複数の貫通孔６ａ
に臨んでいる領域も、基板吸着固定用板体１ａの基板受
面２側に吸着される。このため、基板２１を、それに反
りを有していても、基板２１の全域に亘って、平らに、
基板吸着固定用板体１の基板受面２上に固定させること
ができる。

なお、上述においては、本発明の２つの実施例を示した
に留まり、本発明の精神を脱することなしに、種々の変
型、変更をなし４りるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ及びＢは、本発明による基板吸着固定装置の第
１の実施例を示す路線的平面図及びそのＢ−８線上の一
部を断面とした正面図、第１図Ｃ及びＤは、第１図Ａ及
びＢに示す本発明による基板吸着固定装置の第１の実施
例を用いて、吸着固定されるべき基板が複数の基板支持
体の基板受面上に受渡される状態及び基板が基板吸着固
定用板体の基板受面上に吸着固定される状態を示す一部
を断面とした正面図である。第２図Ａ及びＢは、本発明による基板吸着固定装置の第
２の実施例を示す路線的平面図及びそのＢ−８ｔｌＡ上
の一部を断面とした正面図、第２図Ｃ及びＤは、第２図
Ａ及びＢに示す本発明による基板吸着固定装置の第２の
実施例を用いて、吸着固定されるべき基板が複数の基板
支持体の基板受面上に受渡される状態及び基板が基板吸
着固定用板体の基板受面上に吸着固定される状態を示ず
一部を断面とした正面図である。第３図Ａ及びＢは、従来のり板吸着固定装置を示す路線
的平面図及びそのＢ−８線上の一部を断面とした正面図
、第３図Ｃ及びＤは、第３図Ａ及びＢに示す従来の基板
＠着固定装置を用いて、吸着固定されるべき基板が複数
の基板支持体の基板受面上に受渡される状態及び基板が
基板吸着固定用板体の基板受面上に吸着固定される状態
を示す一部を断面とした正面図である。１．１ａ・・・基板吸着固定用板体１ｂ・・・・・・・・・ケース状体２．１３・・・基板受面３・・・・・・・・・・・・吸着用溝４．４ａ１４ｂ・・・・・・・・・・・・吸気用連絡用孔５・・・・・
・・・・・・・吸気用外部連結管６．６ａ、６ｂ・・・・・・・・・・・・貫通孔１１・・・・・・・・・・・・基板支持体１２・・・・
・・・・・・・・基板受部１４・・・・・・・・・・・
・支持部１５・・・・・・・・・・・・吸着用溝１６・・・・・
・・・・・・・吸気封孔１７．１８・・・逆錐状体面

Claims

【特許請求の範囲】基板を受ける平らな基板受面と、その基板受面に臨み且
つ吸気手段に連結される吸着用溝を有する基板吸着固定
手段と、上記基板吸着固定手段の基板受面と対向して持来たされ
る基板を、上記基板吸着固定手段の基板受面上に受渡す
基板受渡手段とを有する基板吸着固定装置において、上記基板受渡手段が、小さな面積の基板受面を有する基
板受部と、その基板受部からその基板受面側とは反対側
に延長している支持部とを有する複数の基板支持体から
なり、上記基板吸着固定手段に、その基板受面と直交する方向
に延長し且つ上記吸着用溝に連通し、且つ上記複数の基
板支持体の基板受部の基板受面を上記基板吸着固定手段
の基板受面よりも下っている面上と上記基板吸着固定手
段の基板受面よりも上っている面上とに選択的に持ち来
たし得るように、上記複数の基板支持体の可動自在に配
している複数の貫通孔が形成され、上記基板吸着固定手段と上記基板受渡手段の複数の基板
支持体の支持部との間に、上記複数の基板支持体の基板
受部の基板受面が上記基板吸着固定手段の基板受面より
も下つている面上に持来されているときに、上記複数の
貫通孔を、それらの上記基板吸着固定手段の基板受面側
において上記吸着用溝に連通させている状態に保たせる
が、上記基板吸着固定手段の基板受面側とは反対側にお
いて外気に連通させない気密封止手段が設けられている
ことを特徴とする基板吸着固定装置。