JPS63138204A - 形状測定方法 - Google Patents
形状測定方法Info
- Publication number
- JPS63138204A JPS63138204A JP28452086A JP28452086A JPS63138204A JP S63138204 A JPS63138204 A JP S63138204A JP 28452086 A JP28452086 A JP 28452086A JP 28452086 A JP28452086 A JP 28452086A JP S63138204 A JPS63138204 A JP S63138204A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- sensor
- interference fringe
- shape
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、非球面等の測定に適用される形状測定方法に
関する。
関する。
(従来の技術)
この種の形状測定には、例えば光源としてレーザ発振装
置を用いてこのレーザ発振装置から出力されるレーザ光
を二分し、一方のレーザ光を例えば非球面の被測定面に
照射するとともに他方のレーザ光を参照面に照射する。
置を用いてこのレーザ発振装置から出力されるレーザ光
を二分し、一方のレーザ光を例えば非球面の被測定面に
照射するとともに他方のレーザ光を参照面に照射する。
そして、被測定面からの反射レーザ光と参照面からの反
射レーザ光とを干渉させ、この干渉によって得られる干
渉縞から被測定面の非球面状態を測定するものがある。
射レーザ光とを干渉させ、この干渉によって得られる干
渉縞から被測定面の非球面状態を測定するものがある。
ここで、非測定面の形状が完全な球面となっていれば干
渉縞は発生せず、干渉縞の数は非球形の度合に応じて増
減する。ところで、干渉縞を検出する手緩としては、画
素数500 X2O3程度のエリアセンサや撮像管等が
用いられている。そこで、彼?l−1定而の形状状態に
よっても異なるが、検出するときの干渉縞は1111M
の幅内に 100本近く現われるのが通常である。この
ため、上記画素数のエリアセンサでは高解像度で干渉縞
を検出することが困難であり、また高解像度の撮像管を
用いたとしてもその水平および垂直解像度は1000〜
1200本程度であって干渉縞を高解像度で検出するこ
とは困難である。また、球面からのずれの度合を測定す
る場合は、球面上における一円周の直径方向の干渉縞の
状態を検出すればよいが、エリアセンサや撮像管では干
渉縞全体の状態を検出するので不必要な干渉縞情報をも
検出している。特に解像度を得るためにレンズ等で拡大
した場合、その効果が顕著である。従って、画像メモリ
に大容量のものを使用しなければならない。
渉縞は発生せず、干渉縞の数は非球形の度合に応じて増
減する。ところで、干渉縞を検出する手緩としては、画
素数500 X2O3程度のエリアセンサや撮像管等が
用いられている。そこで、彼?l−1定而の形状状態に
よっても異なるが、検出するときの干渉縞は1111M
の幅内に 100本近く現われるのが通常である。この
ため、上記画素数のエリアセンサでは高解像度で干渉縞
を検出することが困難であり、また高解像度の撮像管を
用いたとしてもその水平および垂直解像度は1000〜
1200本程度であって干渉縞を高解像度で検出するこ
とは困難である。また、球面からのずれの度合を測定す
る場合は、球面上における一円周の直径方向の干渉縞の
状態を検出すればよいが、エリアセンサや撮像管では干
渉縞全体の状態を検出するので不必要な干渉縞情報をも
検出している。特に解像度を得るためにレンズ等で拡大
した場合、その効果が顕著である。従って、画像メモリ
に大容量のものを使用しなければならない。
(発明が解決しようとする問題点)
以上のように従来のものは干渉縞を高解像度で検出でき
ず、かつ不必要な干渉縞情報まで検出するものであった
。
ず、かつ不必要な干渉縞情報まで検出するものであった
。
そこで本発明は、高解像度で効率的に干渉縞情報を検出
できる形状測定方法を提供することを目的とする。
できる形状測定方法を提供することを目的とする。
[発明の構成コ
(問題点を解決するための手段)
本発明は、光源から放射される光を二分して一方の光を
被測定面に照射するとともに他方の光を参照面に照射し
これら被n1定面からの反射光と参照面からの反射光と
を干渉させて得られる干渉縞から被測定面の形状を測定
する形状計1定装置において、干渉縞を検出する干渉縞
センサと被測定面とを相対的に移動させ、この相対的な
移動時に干渉縞センサで検出される干渉縞から被測定面
の形状をM1定して上記目的を達成しようとする形状測
定方法である。
被測定面に照射するとともに他方の光を参照面に照射し
これら被n1定面からの反射光と参照面からの反射光と
を干渉させて得られる干渉縞から被測定面の形状を測定
する形状計1定装置において、干渉縞を検出する干渉縞
センサと被測定面とを相対的に移動させ、この相対的な
移動時に干渉縞センサで検出される干渉縞から被測定面
の形状をM1定して上記目的を達成しようとする形状測
定方法である。
(作用)
このような方法とすることにより、彼8−1定面からの
反射光と参照面からの反射光との干渉光が干渉縞センサ
に入射する。このとき、干渉縞センサと彼uJ定面とを
相対的に移動させて干渉縞を干渉縞センサで検出する。
反射光と参照面からの反射光との干渉光が干渉縞センサ
に入射する。このとき、干渉縞センサと彼uJ定面とを
相対的に移動させて干渉縞を干渉縞センサで検出する。
(実施例)
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は本発明の形状測定方法を適用した非球面測定装
置の構成図である。1は光源としてのレーザ発振装置で
あって、このレーザ発振装置1がら出力されるレーザ光
りは全反射鏡2で全反射されて空間フィルタ3で広げら
れ、この後、コリメータレンズ4により平行光に変換さ
れて半透鏡5に送られるようになっている。そして、レ
ーザ光りは、この半透鏡5により二分され、その一方の
゛レーザ光L1が集光レンズ6で集光されて被測定面
7に送られ、他方のレーザ光L2が参照鏡8に送られる
ようになっている。また、半透鏡5を介して集光レンズ
6と対向する位置には結像レンズ9およびリニアイメー
ジセンサ1oを搭載したセンサ移動テーブル11が設け
られている。従って、リニアイメージセンサ10には、
被測定面7で反射して集光レンズ6を通って半透鏡5に
入”JIJ したレーザ光と参照鏡8で反射して半透鏡
5に入射したレーザ光との干渉光が結像レンズ9で結像
されて入射するようになっている。リニアイメージセ□
ンサ10は段数の撮像素子を1列に羅列した1次元の
センサで、その出力電気信号はインタフェース12を通
して処理部13に送られている。また、このリニアイメ
ージセンサ10を搭載するセンサ移動テーブル11はセ
ンサ移動制御部14の制御によってリニアイメージセン
サ1oを第2図(a)に示す如く所定間隔ごとにステッ
プ移動させたり、同図(b)に示す如く所定角度ごとに
ステップ回転移動させる機構となっている。処理部13
は、リニアイメージセンサ1oがらの電気信号を濃淡レ
ベルの干渉縞情報に変換し、この干渉縞情報と設定形状
の設定干渉縞情報とを比較して設定形状とのずれ度合を
求める機能をHするものである。
置の構成図である。1は光源としてのレーザ発振装置で
あって、このレーザ発振装置1がら出力されるレーザ光
りは全反射鏡2で全反射されて空間フィルタ3で広げら
れ、この後、コリメータレンズ4により平行光に変換さ
れて半透鏡5に送られるようになっている。そして、レ
ーザ光りは、この半透鏡5により二分され、その一方の
゛レーザ光L1が集光レンズ6で集光されて被測定面
7に送られ、他方のレーザ光L2が参照鏡8に送られる
ようになっている。また、半透鏡5を介して集光レンズ
6と対向する位置には結像レンズ9およびリニアイメー
ジセンサ1oを搭載したセンサ移動テーブル11が設け
られている。従って、リニアイメージセンサ10には、
被測定面7で反射して集光レンズ6を通って半透鏡5に
入”JIJ したレーザ光と参照鏡8で反射して半透鏡
5に入射したレーザ光との干渉光が結像レンズ9で結像
されて入射するようになっている。リニアイメージセ□
ンサ10は段数の撮像素子を1列に羅列した1次元の
センサで、その出力電気信号はインタフェース12を通
して処理部13に送られている。また、このリニアイメ
ージセンサ10を搭載するセンサ移動テーブル11はセ
ンサ移動制御部14の制御によってリニアイメージセン
サ1oを第2図(a)に示す如く所定間隔ごとにステッ
プ移動させたり、同図(b)に示す如く所定角度ごとに
ステップ回転移動させる機構となっている。処理部13
は、リニアイメージセンサ1oがらの電気信号を濃淡レ
ベルの干渉縞情報に変換し、この干渉縞情報と設定形状
の設定干渉縞情報とを比較して設定形状とのずれ度合を
求める機能をHするものである。
なお、このずれ度合等はCRT表示装置15に表示され
るようになっている。一方、参照鏡8の反射面と反対面
にはピエゾ素子16が設けられている。このピエゾ索子
16は、主制御部17がら送出されインタフェース18
を通ってきた移動指令を受けて参照鏡8をレーザ光L2
の進行方向に対して平行に微小距離、例えばリニアイメ
ージセンサ10のセンサ面上で形成される干渉縞の縞間
隔の4分の1に相当する距離だけ移動させるものとなっ
ている。なお、主制御部17は、センサ移動制御部14
に移動指令を発する毎に処理部13に対して処理指令を
発してリニアイメージセンサ10を結像画像全体に移動
させ、この後、ピエゾ素子16に対して移動指令を発し
て再びセンサ移動制御部14に移動指令を発する毎に処
理部13に対して処理指令を発してリニアイメージセン
サ10を結像画像全体に移動させる機能を有するもので
ある。
るようになっている。一方、参照鏡8の反射面と反対面
にはピエゾ素子16が設けられている。このピエゾ索子
16は、主制御部17がら送出されインタフェース18
を通ってきた移動指令を受けて参照鏡8をレーザ光L2
の進行方向に対して平行に微小距離、例えばリニアイメ
ージセンサ10のセンサ面上で形成される干渉縞の縞間
隔の4分の1に相当する距離だけ移動させるものとなっ
ている。なお、主制御部17は、センサ移動制御部14
に移動指令を発する毎に処理部13に対して処理指令を
発してリニアイメージセンサ10を結像画像全体に移動
させ、この後、ピエゾ素子16に対して移動指令を発し
て再びセンサ移動制御部14に移動指令を発する毎に処
理部13に対して処理指令を発してリニアイメージセン
サ10を結像画像全体に移動させる機能を有するもので
ある。
次に本発明方法の作用について説明する。
ここで、被測定面7として非球面がセットされている。
レーザ発振装置1から出力されたレーザ光りは全反射鏡
2で全反射され空間フィルタ3により広げられてコリメ
ートレンズ4で平行光に変換されて半透鏡5に照射され
る。そして、レーザ光りは半透鏡5において二分され、
その一方のレーザ光L1が集光レンズ6で集光されて被
測定面7に照射されるとともに他方のレーザ光L2が参
照鏡8に入射される。この後、被測定面7の反射レーザ
光が集光レンズ6を通って半透鏡5に到達するとともに
参照鏡8からの反射レーザ光が半透鏡5に到達する。か
くして、両反射レーザ光が結像レンズ9を通ってリニア
イメージセンサ10のセンサ面上に結像される。ここで
、被測定面7は非球面形状となっているので、披#1定
面7の反射レーザ光の光路は入射するレーザ光L1の光
路と平行になっていない。従って、リニアイメージセン
サ10のセンサ面上には干渉縞が形成される。
2で全反射され空間フィルタ3により広げられてコリメ
ートレンズ4で平行光に変換されて半透鏡5に照射され
る。そして、レーザ光りは半透鏡5において二分され、
その一方のレーザ光L1が集光レンズ6で集光されて被
測定面7に照射されるとともに他方のレーザ光L2が参
照鏡8に入射される。この後、被測定面7の反射レーザ
光が集光レンズ6を通って半透鏡5に到達するとともに
参照鏡8からの反射レーザ光が半透鏡5に到達する。か
くして、両反射レーザ光が結像レンズ9を通ってリニア
イメージセンサ10のセンサ面上に結像される。ここで
、被測定面7は非球面形状となっているので、披#1定
面7の反射レーザ光の光路は入射するレーザ光L1の光
路と平行になっていない。従って、リニアイメージセン
サ10のセンサ面上には干渉縞が形成される。
このような状態にあって、主制御部17はセンサ移動制
御部14に移動指令を発する。これにより、センサ移動
テーブル11はセンサ移動制御部14からの移動制御信
号を受けてリニアイメージセンサ10を第2図(a)に
示す如く所定間隔ごとにステップ移動させる。そして、
このステップ移動の毎にリニアイメージセンサ10から
出力される電気信号がインタフェース12を通して処理
部13に送られる。このようにして結像画面全体に対す
るリニアイメージセンサ10の移動が終了すると、主制
御部17はピエゾ索子16に移動指令を発する。これに
よりピエゾ索子16の作用により参照鏡8が微小距離移
動してリニアイメージセンサ10のセンサ面上の干渉縞
をこの干渉縞間隔の4分の1の距離だけ移動させる。こ
の後、再び主制御部17はセンサ移動制御部14に移動
指令を発してリニアイメージセンサ10を所定間隔毎に
ステップ移動させ、このときりニアイメージセンサ10
から出力される電気信号が処理部13に送られる。そし
て、以上のような動作が4回実行され、そのときのリニ
アイメージセンサ10からの電気信号が処理部13にお
いて干渉縞情報に変換される。この後、処理部13はリ
ニアイメージセンサ10のステップ移動位置に対応する
干渉縞情報別に平均値を求めて最終的な全体の干渉縞情
報を求める。第3図はこの最終的に求められた干渉縞情
報を模式的に示した図である。また、リニアイメージセ
ンサ10をセンサ移動テーブル11によって第2図(b
)に示す如く所定角度ごとにステップ回転させれば、特
に円周の直径方向に対する検出解像度が高い干渉縞情報
が得られる。
御部14に移動指令を発する。これにより、センサ移動
テーブル11はセンサ移動制御部14からの移動制御信
号を受けてリニアイメージセンサ10を第2図(a)に
示す如く所定間隔ごとにステップ移動させる。そして、
このステップ移動の毎にリニアイメージセンサ10から
出力される電気信号がインタフェース12を通して処理
部13に送られる。このようにして結像画面全体に対す
るリニアイメージセンサ10の移動が終了すると、主制
御部17はピエゾ索子16に移動指令を発する。これに
よりピエゾ索子16の作用により参照鏡8が微小距離移
動してリニアイメージセンサ10のセンサ面上の干渉縞
をこの干渉縞間隔の4分の1の距離だけ移動させる。こ
の後、再び主制御部17はセンサ移動制御部14に移動
指令を発してリニアイメージセンサ10を所定間隔毎に
ステップ移動させ、このときりニアイメージセンサ10
から出力される電気信号が処理部13に送られる。そし
て、以上のような動作が4回実行され、そのときのリニ
アイメージセンサ10からの電気信号が処理部13にお
いて干渉縞情報に変換される。この後、処理部13はリ
ニアイメージセンサ10のステップ移動位置に対応する
干渉縞情報別に平均値を求めて最終的な全体の干渉縞情
報を求める。第3図はこの最終的に求められた干渉縞情
報を模式的に示した図である。また、リニアイメージセ
ンサ10をセンサ移動テーブル11によって第2図(b
)に示す如く所定角度ごとにステップ回転させれば、特
に円周の直径方向に対する検出解像度が高い干渉縞情報
が得られる。
このように上記一実施例においては、干渉縞を検出する
リニアイメージセンサ10を移動させ、この移動時に干
渉縞を検出して被測定面7の形状を測定するようにした
ので、画素密度の高いリニアイメージセンサ10によっ
て形状測定に必要な干渉縞情報つまり被測定面が平面形
状であれば第2図(a)に示す如くの情報であり、非球
面形状であれば光強度分布の変動の大きい直径方向に対
して解像度の高い情報が得られる。従って、処理部13
内における画像メモリを小容量化できて効率良く形状測
定ができる。
リニアイメージセンサ10を移動させ、この移動時に干
渉縞を検出して被測定面7の形状を測定するようにした
ので、画素密度の高いリニアイメージセンサ10によっ
て形状測定に必要な干渉縞情報つまり被測定面が平面形
状であれば第2図(a)に示す如くの情報であり、非球
面形状であれば光強度分布の変動の大きい直径方向に対
して解像度の高い情報が得られる。従って、処理部13
内における画像メモリを小容量化できて効率良く形状測
定ができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、リ
ニアイメージセンサ10を移動せずに被測定面7を所定
間隔づつステップ移動させたり、所定角度づつステップ
回転移動させてもよい。
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、リ
ニアイメージセンサ10を移動せずに被測定面7を所定
間隔づつステップ移動させたり、所定角度づつステップ
回転移動させてもよい。
[発明の効果コ
以上詳記したように本発明によれば、高解像度で効率的
に干渉縞情報を検出できる形状allll法を提供でき
る。
に干渉縞情報を検出できる形状allll法を提供でき
る。
第1図は本発明の形状測定方法を適用した非球面測定装
置の構成図、第2図はリニアイメージセンサのステップ
移動を示す模式図、第3図は本発明方法により得られる
干渉縞情報の模式図である。 1・・・レーザ発振装置、2・・・全反射鏡、3・・・
空間フィルタ、4・・・コリメートレンズ、5・・・半
透鏡、6・・・集光レンズ、7・・・彼11#J定面、
8・・・参照鏡、9・・・結像レンズ、10・・・リニ
アイメージセンサ、11・・・センサ移動テーブル、1
2.18・・・インタフェース、13・・・処理部、1
4・・・センサ移動制御部、15・・・CR7表示装置
、16・・・ピエゾ素子、17・・・主制御部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 (a) (b) 第20
置の構成図、第2図はリニアイメージセンサのステップ
移動を示す模式図、第3図は本発明方法により得られる
干渉縞情報の模式図である。 1・・・レーザ発振装置、2・・・全反射鏡、3・・・
空間フィルタ、4・・・コリメートレンズ、5・・・半
透鏡、6・・・集光レンズ、7・・・彼11#J定面、
8・・・参照鏡、9・・・結像レンズ、10・・・リニ
アイメージセンサ、11・・・センサ移動テーブル、1
2.18・・・インタフェース、13・・・処理部、1
4・・・センサ移動制御部、15・・・CR7表示装置
、16・・・ピエゾ素子、17・・・主制御部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図 (a) (b) 第20
Claims (1)
- 光源から放射される光を二分して一方の光を被測定面に
照射するとともに他方の光を参照面に照射しこれら被測
定面からの反射光と参照面からの反射光とを干渉させて
得られる干渉縞から前記被測定面の形状を測定する形状
測定装置において、前記干渉縞を検出する干渉縞センサ
と前記被測定面とを相対的に移動させ、この相対的な移
動時に前記干渉縞センサで検出される前記干渉縞から前
記被測定面の形状を測定することを特徴とする形状測定
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28452086A JPS63138204A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28452086A JPS63138204A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 形状測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63138204A true JPS63138204A (ja) | 1988-06-10 |
Family
ID=17679554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28452086A Pending JPS63138204A (ja) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | 形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63138204A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100849193B1 (ko) | 2006-12-06 | 2008-07-30 | 부산대학교 산학협력단 | 오씨티 시스템 |
JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
JP2012058228A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 面形状検査装置及び面形状検査方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61155902A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 干渉計測装置 |
-
1986
- 1986-11-29 JP JP28452086A patent/JPS63138204A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61155902A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 干渉計測装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100849193B1 (ko) | 2006-12-06 | 2008-07-30 | 부산대학교 산학협력단 | 오씨티 시스템 |
JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
JP2012058228A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 面形状検査装置及び面形状検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6268923B1 (en) | Optical method and system for measuring three-dimensional surface topography of an object having a surface contour | |
JP4647867B2 (ja) | センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法 | |
US4988886A (en) | Moire distance measurement method and apparatus | |
US5175601A (en) | High-speed 3-D surface measurement surface inspection and reverse-CAD system | |
JP2000230818A (ja) | 車輪アライメント特性の非接触式測定方法とその測定装置 | |
JPH0772683B2 (ja) | 干渉ボールベアリング試験装置 | |
Richter et al. | Position sensing and tracking with quasistatic MEMS mirrors | |
JPS63138204A (ja) | 形状測定方法 | |
JP2001235317A (ja) | 光学球面曲率半径測定装置 | |
RU147271U1 (ru) | Интерферометр для контроля формы и углового положения оптических поверхностей | |
JP3391030B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法及びパターン露光方法 | |
JP2966568B2 (ja) | 干渉計 | |
CN112789479A (zh) | 激光三角测量设备和校准方法 | |
JPH08304029A (ja) | トロリ線の高さ測定光学系 | |
WO2024004166A1 (ja) | 距離測定装置 | |
JP2629965B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2911283B2 (ja) | 非接触段差測定方法及びその装置 | |
JPS6034699B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JPH03243804A (ja) | 非球面の形状測定方法 | |
JPH06258040A (ja) | レーザー変位計 | |
CN101320218A (zh) | 三扫描式硅片调焦调平测量装置、***以及方法 | |
JPH0334563B2 (ja) | ||
JPH0540012A (ja) | 干渉計及び干渉計のアライメント方法 | |
JPH0495847A (ja) | 光フアイバ母材の屈折率分布測定方法 | |
JP2675051B2 (ja) | 光学式非接触位置測定装置 |