JPS63132A - ウエハテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウエハテスト装置、とくにフェノ）自身の温
度を電気特性とともに測定する装置に関するものである
。

〔従来のＦｉ術〕

第２図は、Ｃ床）東京精密製プロービングマシン仕様書
に示された従来のウエハテスト装置〔プローバラ全体の
平面図である。田は裏面に１？［ブロー７”？固定する
アーム、（２）はウエハを吸着し測定台となる吸着ステ
ージ、（３１はステージ１２１上にありウエハをのせる
部分のチャックトップである。

第３図は、従来の固定プローブボード１６）を示す平面
図で、（６１は固定プローブボード上のヘッド品分、１
））はヘッド部（６）で放射状にレイアウトされ之プロ
ーブ針で複数本あり、ＩＣチップの電気特性を測定する
。

プローブ針（７）の先端部にＩＣチップがおかれる。

第４図は、第２図のステージ（２１を調温テスト用に改
造した別の従来装置の図であり、（８）はチャックトッ
プ（３）と外観は同じであるが、内部にヒーターと、ヒ
ータを包み込むようにヒータシールドがあり、さらに温
度監視用にサーミスターを内部しているホットチャック
である。

ｉ９１はホットチャック（８）を利画するコントローラ
で、７’　ロー　／＜にねじ止めしである。

（１０１はホットチャック（８）とコントローラ（９）
？接続するケーブルである。

第ｇ因の装置では、温度を測定するための治具が何もな
いので、温度測定にできない。

次に、ウエハテストの際のウエハの温度を測定する従来
の動作について説明する。

第４図におけるコントローラ（９）に設定温度をセント
すると、コントローラ（９）はホットチャック（８）の
表面近くに内蔵され九サーミスタ（図示していない）か
ら温度の信号を受け、デジタル表示する。この動作を続
けながら設定温度になるようにヒーター（図示していな
い）にパワーを送る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のウエハテスト装置は、ウエハテストの課の温度測
定において、ホットチャックに内蔵されているサーミス
タにより測定するので、ウエハの表面温度は測定できな
い。さらにこのサーミスタではテストしているチップ毎
に温度を測定することもできないなどの問題点かあつ島
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ウエハテスト実施の際の温度測定をより簡単
に、よシ精密に行い、ウエハテストの信碩性をよ抄高い
ものにできるウエハテスト装置？得ることを目的とする
。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るウエハテスト装置は、電２的持性を測定
する従来のプローブ針と、チップの温度を感知する新規
の＠Ｒセンサーとを同時に備え持ち、さらに上記の温度
センサーを制御するコントロールボックス′ｔ−備えつ
けたウエハテスト装置である。

〔作用〕

この発明における温度センサーは、ウエハの表面温度を
正確に測定し、さらにテストするチップ毎に温度を測定
することができる。さらにウエハの表面温度が設定温度
でない場さ、コントロールボックスは、テスト中止信号
をプローバに送り、同時にアラーム信号を発する。

〔実施列〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図（ｊＬｌ　ｆ′！、、第３図の従来の固定プロー
ブボード＋５１に温度センサー類を取り付けた図である
。

頒はＩＣチップの温度を測定する温度センサー、＋７１
）’グミ気持性を測定するプローブ針、２１１は温度セ
ンサー頭金ｌ１１ｍするコントロールボックスである。

温度センサー囚とプローブ針（７）はヘッド（６）に取
り付けられ、ＩＣチップごとに連動して作動する。

第１図１０１ば、アーム１！）の斜視図で、（２！は吸
着ステージ、ｆ３１はチャックトップ、２４はウエハで
、チャックトップ（３；の上にのっている。＋４１はア
ーム（■の中央部にある。ピで、裏面より固定プローブ
ボード２３を取り付ける。

第１図１０１は、ウエハテスト実施中のテストされてい
るＩＣチップを上から示した図である０２θはテストさ
れているＩＣチップ、濶はチップ内でプローブ針（７）
が接噛する部分でパッドという。

蝿は温度センサーで、ＩＣチップ内には直接触れず、Ｉ
ＣチップとＩＣチップの間のグイシングライン江接軸す
る。

ウエハテスト時の、ウエハの温度測定におけるこの発明
の、ａ作、作用１＆：第１図（ａｔ　、　ｆｂ＋　、　
ｔｏｌ　ｆ使用して、説明する。

温度センサーのコントロールボックス２１）にテスト設
定温度をセットしてウエハテストを行う。

ウエハテストは、従来と同様、ＩＣチップの１チツプ毎
にプローブ針（））がバット層に接妙し、テストを実施
した後、次のチップに移り同じ動作を行う。

その際、温度センサー（至）もプローブ針（７）と同様
に１チツプ毎にダイシングラインに接帥し、温度を感知
して、信号をコントロールボックス圓に送る。信号を受
は取ったコントロールボックス＋２１１に、その温度が
設定温度になっていない場合は、即座に、テスト中止信
号をプローバに送り、同時に、アラームを発する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、温度七ンサーがウエ
ハに接柚するので、ウエハの表面の温度を正確に測定で
き、また、センサーがプローブ針と同様につけられてい
るのでテストしているチップ毎に温度を測定することが
できる。

さらに設定温度になっていない時はコントロールボック
スよりテスト中止信号が、プローバに送られるので、よ
シ信頓性の高い測定結果が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ｔａｌ　、　（ｂｌ　、　１０１は、この発明）
一実施例を示す図で、ｔｅｌは温度センサー付固定プロ
ーブと、センサーのコントロールボックスを示す図であ
る。Ｉｂｌはウエハテスト装置のアームの部分の斜視図
で、（０１はテスト時のＩＣチップに示した平面図であ
る。 第２図は従来のウエハテスト装置の平面図である。 第３図は従来の固定プローブボードを示す平面図である
。 第１図は従来のホットチャックトップと、コントローラ
の上面図である。 頭は温度センサー、ｅ！１ｌｆｌコントロールボックス
、１）１はプローブ針、ｃ！２はケーブルである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウエハ状態におけるＩＣチップの電気特性を測定するプ
   ローブ針と、上記プローブ針と連動し、ＩＣチップの温
   度を感知できる温度センサーと、上記の温度センサーを
   制御し、上記ＩＣチップの電気信号測定状態を継続する
   か否かの信号を送るコントローラボックスを備えたウエ
   ハテスト装置。