JPS63115035A - パタ−ンデ−タ検査装置 - Google Patents
パタ−ンデ−タ検査装置Info
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- JPS63115035A JPS63115035A JP61260927A JP26092786A JPS63115035A JP S63115035 A JPS63115035 A JP S63115035A JP 61260927 A JP61260927 A JP 61260927A JP 26092786 A JP26092786 A JP 26092786A JP S63115035 A JPS63115035 A JP S63115035A
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 13
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔ａ要〕
本発明は、基準となるパターンデータとこのパターンデ
ータと比較すべき他のパターンデータとをそれぞれ画像
データに変換した後、これら画像データを合成してパタ
ーン画像を作成し、該パターン画像の寸法を画面上で走
査する走査線によりハード的に測定することにより、２
ｔ−準となるパターンデータと他のパターンデータとの
比較を容易に、かつ迅速に行うことを可能にする。これ
によりパターン寸法やパターン間隔の合否判定は、従来
より短時間に、かつマスクイメージで行うことができる
。
ータと比較すべき他のパターンデータとをそれぞれ画像
データに変換した後、これら画像データを合成してパタ
ーン画像を作成し、該パターン画像の寸法を画面上で走
査する走査線によりハード的に測定することにより、２
ｔ−準となるパターンデータと他のパターンデータとの
比較を容易に、かつ迅速に行うことを可能にする。これ
によりパターン寸法やパターン間隔の合否判定は、従来
より短時間に、かつマスクイメージで行うことができる
。
本発すＩはパターンデータ検査装置に関するものであり
、更に詳しく言えば集積回路のマスク形成用のパターン
データを検査するパターンデータ検査装置に関するもの
である。
、更に詳しく言えば集積回路のマスク形成用のパターン
データを検査するパターンデータ検査装置に関するもの
である。
半導体集結回路をウェハー上に形成するためには１回路
パターン形成用のマスクが幾層も必要である。そして適
正な回路パターンを形成するためにはマスク上のパター
ンが所定の規格に合致したものでなければならない。
パターン形成用のマスクが幾層も必要である。そして適
正な回路パターンを形成するためにはマスク上のパター
ンが所定の規格に合致したものでなければならない。
そこで従来よりマスク形成前に各マスクに対応するカラ
ーフィルムを形成し、該カラーフィルムを重ね合わせる
ことによりパターンの検査を行っている。
ーフィルムを形成し、該カラーフィルムを重ね合わせる
ことによりパターンの検査を行っている。
また従来よりＣＡＤにより得られた各層のＰＧデータを
コンピュータによりソフト的に検査を行う方法がある。
コンピュータによりソフト的に検査を行う方法がある。
しかしカラーフィルムを用いて検査する方法によれば、
カラーフィルムの形成までに時間を要するとともに、検
査はすべて人間の視覚を通して行われるものであるから
多大な労力を要するとともに、欠陥パターンを見落とす
場合がある。
カラーフィルムの形成までに時間を要するとともに、検
査はすべて人間の視覚を通して行われるものであるから
多大な労力を要するとともに、欠陥パターンを見落とす
場合がある。
またコンピュータにより検査をソフト的に行う方法によ
れば、パターン寸法の良否を判定する場合には、メモリ
内に格納されたデジタル表示の各パターンデータを一つ
一つ読み出し、かっこのパターンデータからンパターン
寸法を−っ−っ計算した後に基準パターン寸法との比較
を行い、またパターン間隔の良否を判定する場合には、
メモリ内に格納されたデジタル表示の各パターンデータ
を一つ一つ読み出し、かつある基準の位ｌからこのパタ
ーンデータの位置を求めた後に各パターンの間隔を計算
して基準パターン間隔との比較を行うものである。この
ため１例えば大規模集結回路においては検査に数日間を
要するなど、時間がかかる問題がある。
れば、パターン寸法の良否を判定する場合には、メモリ
内に格納されたデジタル表示の各パターンデータを一つ
一つ読み出し、かっこのパターンデータからンパターン
寸法を−っ−っ計算した後に基準パターン寸法との比較
を行い、またパターン間隔の良否を判定する場合には、
メモリ内に格納されたデジタル表示の各パターンデータ
を一つ一つ読み出し、かつある基準の位ｌからこのパタ
ーンデータの位置を求めた後に各パターンの間隔を計算
して基準パターン間隔との比較を行うものである。この
ため１例えば大規模集結回路においては検査に数日間を
要するなど、時間がかかる問題がある。
本発明はかかる従来例の問題点に鑑みて創作されたもの
であり、短時間でかつ確実にマスクパターンの検査を行
うことのできるパターンデータ検査型この提供を目的と
する。
であり、短時間でかつ確実にマスクパターンの検査を行
うことのできるパターンデータ検査型この提供を目的と
する。
本発明は、第１のパターンデータを第１の画像データに
変換する第１のデータ変換手段と。
変換する第１のデータ変換手段と。
：５２のパターンデータを第２の画像データに変換する
第２のデータ変換手段と、タイミング信号と合成制御信
号とを出力する制御手段と、前記タイミング信号に従っ
て前記第１の画像データと第２の画像データとを入力し
、かつ前記合Ｘ＆ｉ′ｌｊ制御信号に従って前記第１の
画像データと第２の画像データとを合成する画像データ
合成手段と、前記合成された画像データを画像パターン
として表示するときの該画像パターン玉を走査する走査
線の本数や、走査線が該画像パターン上を走査する時間
間隔の計測から該パターンのす法やパターン間隔を算出
して所定の寸法規格に対する合否を判断する手段とを有
することを特徴とする。
第２のデータ変換手段と、タイミング信号と合成制御信
号とを出力する制御手段と、前記タイミング信号に従っ
て前記第１の画像データと第２の画像データとを入力し
、かつ前記合Ｘ＆ｉ′ｌｊ制御信号に従って前記第１の
画像データと第２の画像データとを合成する画像データ
合成手段と、前記合成された画像データを画像パターン
として表示するときの該画像パターン玉を走査する走査
線の本数や、走査線が該画像パターン上を走査する時間
間隔の計測から該パターンのす法やパターン間隔を算出
して所定の寸法規格に対する合否を判断する手段とを有
することを特徴とする。
ＣＡＤにより得られた第１のパターンデータは第１のデ
ータ変換手段により第１の画像データに変換され、また
同様にＣＡＤにより得られた第２のパターンデータは第
２のデータ変換手段により第２の画像データに変換され
る。
ータ変換手段により第１の画像データに変換され、また
同様にＣＡＤにより得られた第２のパターンデータは第
２のデータ変換手段により第２の画像データに変換され
る。
次にこれらの画像データは制御手段からのタイミング信
号に従って入力し、また合成制御信号に従って合成され
る。
号に従って入力し、また合成制御信号に従って合成され
る。
この合成された画像データの出力信号は画像表示／合否
判定ｆ段に入力して合成され、画像として表示される。
判定ｆ段に入力して合成され、画像として表示される。
このときパターン寸法やパターン間隔が規格を満足する
か否かは１例えば該合成された画像パターンの寸法を、
その画像パターン上を走査する走査線の数を計数したり
、走査線が画像パターンを走査したときに発生する信号
パルスのパルス幅を測定することにより算出する。そし
て規格を満たさない部分に対しては、輝度を上げるなど
して視覚による判定を容易にする。
か否かは１例えば該合成された画像パターンの寸法を、
その画像パターン上を走査する走査線の数を計数したり
、走査線が画像パターンを走査したときに発生する信号
パルスのパルス幅を測定することにより算出する。そし
て規格を満たさない部分に対しては、輝度を上げるなど
して視覚による判定を容易にする。
〔実施例〕
次に図を参照しながら本発明の実施例について説明する
。第１図は本発明の実施例に係るパターンデータ検査装
置のブロック図である。ｌはＣＡＤにより１１ｔられる
デジタル表示の回路パターンデータを格納するＭＴであ
り、例えばコンタクト窓形成用のパターンデータが格納
されている。
。第１図は本発明の実施例に係るパターンデータ検査装
置のブロック図である。ｌはＣＡＤにより１１ｔられる
デジタル表示の回路パターンデータを格納するＭＴであ
り、例えばコンタクト窓形成用のパターンデータが格納
されている。
２は同様にＣＡＤにより得られるデジタル表示の回路パ
ターンデータを格納するＭＴであり、例えば金属配線用
のパターンデータが格納されている。また３、４はそれ
ぞれＭＴＩ、２内のパターンデータを、後述の画像表示
／合否判定手段７の画面に映像可能なように、画面上の
位ｔに対応する画像データに変換するデータ変換手段で
ある。
ターンデータを格納するＭＴであり、例えば金属配線用
のパターンデータが格納されている。また３、４はそれ
ぞれＭＴＩ、２内のパターンデータを、後述の画像表示
／合否判定手段７の画面に映像可能なように、画面上の
位ｔに対応する画像データに変換するデータ変換手段で
ある。
５は制御手段であり、タイミング信号と画像の合成制御
信号を出力する。６は画像合成手段であり、前記タイミ
ング信号に従い、データ変換手段３．４の出力する画像
データを順次入力し、これら画像データが位置ずれしな
いように合成する。
信号を出力する。６は画像合成手段であり、前記タイミ
ング信号に従い、データ変換手段３．４の出力する画像
データを順次入力し、これら画像データが位置ずれしな
いように合成する。
そしてこのときの合成の仕方は合成制御信号に従って行
われる０例えば第１の画像データを白黒反転した画像デ
ータとそのままの第２の画像−一夕とを論理和として合
成することも可能であるし、その他、これら画像データ
の論理植や排他的論理和等の合成も必要に応じて可能で
ある。
われる０例えば第１の画像データを白黒反転した画像デ
ータとそのままの第２の画像−一夕とを論理和として合
成することも可能であるし、その他、これら画像データ
の論理植や排他的論理和等の合成も必要に応じて可能で
ある。
７は画像データ合成手段６から出力される合成後の画像
データの信号を画面上にパターンとして表示するととも
に、パターン寸法やパターン間隔が所定の規格を満たす
か否かを判定する画像表示／合否判定手段である。この
ときの合否判定は、縦方向パターンの寸法や間隔につい
ては該パターンの寸法内に含まれる走査線の数や該パタ
ーン間隔に含まれる走査線の数を計数することにより行
い、また横方向のパターンの寸法や間隔については走査
線が画像パターンを走査したときに出力される信号パル
スのパルス幅を計測することにより行われる。そして規
格を満たさないパターン寸法やパターン間隔が存在する
場合には１例えばその部分の輝度を上げることにより視
覚による判定を容易にする。
データの信号を画面上にパターンとして表示するととも
に、パターン寸法やパターン間隔が所定の規格を満たす
か否かを判定する画像表示／合否判定手段である。この
ときの合否判定は、縦方向パターンの寸法や間隔につい
ては該パターンの寸法内に含まれる走査線の数や該パタ
ーン間隔に含まれる走査線の数を計数することにより行
い、また横方向のパターンの寸法や間隔については走査
線が画像パターンを走査したときに出力される信号パル
スのパルス幅を計測することにより行われる。そして規
格を満たさないパターン寸法やパターン間隔が存在する
場合には１例えばその部分の輝度を上げることにより視
覚による判定を容易にする。
次に第２図を参照しながら本発明の実施例の動作につい
て説明する。第２図に示す金属配線用パターンおよびコ
ンタクト窓形成用パターンはパターンデータとしてそれ
ぞれＭＴＩ、２に格納される０次にこれらのパターンデ
ータはデータ変換手段３．４により画像データに変換さ
れた後に、制御り段５のタイミング信号および合成制御
信号に従って合成される。この場合、例えば合成制御信
号が金属配線用パターンを白黒反転させ、さらにコンタ
クト窓形成用パターンとの論理和をとる旨の命令である
とすると、画像表示／合否判定手段７は、：ＪＳＺ図に
示すようなパターン画像を画面に表示する。このとき水
モに走査する走査線の数を計数すれば図のＡで示す部分
において走査線の本数が適正な間隔に対応する所定の数
に足りないことが検知され１例えば輝度を上げるか、あ
るいはインジゲータでその旨指示される。
て説明する。第２図に示す金属配線用パターンおよびコ
ンタクト窓形成用パターンはパターンデータとしてそれ
ぞれＭＴＩ、２に格納される０次にこれらのパターンデ
ータはデータ変換手段３．４により画像データに変換さ
れた後に、制御り段５のタイミング信号および合成制御
信号に従って合成される。この場合、例えば合成制御信
号が金属配線用パターンを白黒反転させ、さらにコンタ
クト窓形成用パターンとの論理和をとる旨の命令である
とすると、画像表示／合否判定手段７は、：ＪＳＺ図に
示すようなパターン画像を画面に表示する。このとき水
モに走査する走査線の数を計数すれば図のＡで示す部分
において走査線の本数が適正な間隔に対応する所定の数
に足りないことが検知され１例えば輝度を上げるか、あ
るいはインジゲータでその旨指示される。
また走査線が走査した時に出力される信号パルスのパル
ス幅を計測すれば、図のＢで示す部分においてパルスの
幅が所定の幅より短いことが検知され、同様にその旨、
指示される。
ス幅を計測すれば、図のＢで示す部分においてパルスの
幅が所定の幅より短いことが検知され、同様にその旨、
指示される。
このように本発明の実施例によれば、パターンデータの
検査をハード的に行うので、検査時間を大幅に短縮する
ことができる。また画面上においてマスクイメージで検
査を行うので、パターン寸法およびパターン間隔の良否
判定を確実に行うことができるとともに、不良個所、す
なわち修正個所の位置の確認も容易となる。
検査をハード的に行うので、検査時間を大幅に短縮する
ことができる。また画面上においてマスクイメージで検
査を行うので、パターン寸法およびパターン間隔の良否
判定を確実に行うことができるとともに、不良個所、す
なわち修正個所の位置の確認も容易となる。
なお実施例では異った層におけるパターン間についての
検査の場合を説明したが、同層において旧版のパターン
と改良後の新版のパターンとを比較照合する場合や、あ
るいは同層において個々のパターンが設計ルールに違反
していないかどうかを検査する場合にも適用できる。
検査の場合を説明したが、同層において旧版のパターン
と改良後の新版のパターンとを比較照合する場合や、あ
るいは同層において個々のパターンが設計ルールに違反
していないかどうかを検査する場合にも適用できる。
￥際、ある一つのパターン間隔を実測し、かつ合否′ｒ
１定するに必要な時間を比較したところ、従来の汎用コ
ンピュータを用いて行う処理（ソフト処理）によれば約
２〜３ ｍ５ｅｃであったのに対し、本発明のパターン
データ検査装置（ハード処理）によれば、約２０ ｇｓ
ｅｃと大幅に短縮することができた。
１定するに必要な時間を比較したところ、従来の汎用コ
ンピュータを用いて行う処理（ソフト処理）によれば約
２〜３ ｍ５ｅｃであったのに対し、本発明のパターン
データ検査装置（ハード処理）によれば、約２０ ｇｓ
ｅｃと大幅に短縮することができた。
以上説明したように、本ＩＪＩによればパターンデータ
の検査をハード的に行うものであるから。
の検査をハード的に行うものであるから。
検査時間を大幅に短縮することができる。また画面上に
おいてマスクイメージで検査を行うことができるので１
判定が容易、かつ確実となる。
おいてマスクイメージで検査を行うことができるので１
判定が容易、かつ確実となる。
′；ｊＳ１図は本発明の実施例に係るパターンデータ検
査袋このブロック図、 第２図は第１図のパターンデータ検査袋この動作を説明
する図である。 （符号の説明） ■、２・・・ＭＴ、 ３．４・・・データ変換手段、 ５・・・制御手段、 ６・・・画像データ合成手段。 ７・・・画像表示／合否判定手段。
査袋このブロック図、 第２図は第１図のパターンデータ検査袋この動作を説明
する図である。 （符号の説明） ■、２・・・ＭＴ、 ３．４・・・データ変換手段、 ５・・・制御手段、 ６・・・画像データ合成手段。 ７・・・画像表示／合否判定手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 第１のパターンデータを第１の画像データに変換する第
１のデータ変換手段と、 第２のパターンデータを第２の画像データに変換する第
２のデータ変換手段と、 タイミング信号と合成制御信号とを出力する制御手段と
、 前記タイミング信号に従って前記第１の画像データと第
２の画像データとを入力し、かつ前記合成制御信号に従
って前記第１の画像データと第２の画像データとを合成
する画像データ合成手段と、 前記合成された画像データを画像パターンとして表示す
るときの該画像パターン上を走査する走査線の本数や、
走査線が該画像パターン上を走査する時間間隔の計測か
ら該パターンの寸法やパターン間隔を算出して所定の寸
法規格に対する合否を判断する手段とを有することを特
徴とするパタンデータ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26092786A JP2501436B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | パタ−ンデ−タ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26092786A JP2501436B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | パタ−ンデ−タ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115035A true JPS63115035A (ja) | 1988-05-19 |
| JP2501436B2 JP2501436B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=17354697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26092786A Expired - Fee Related JP2501436B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | パタ−ンデ−タ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501436B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02113666A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | 通信端末装置 |
| JP2005510860A (ja) * | 2001-11-27 | 2005-04-21 | エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ | 画像化装置 |
| EP2130855A1 (en) | 2008-05-15 | 2009-12-09 | Fujifilm Corporation | Cellulose ester film, retardation film, polarizing plate and liquid crystal display device |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP26092786A patent/JP2501436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02113666A (ja) * | 1988-10-21 | 1990-04-25 | Matsushita Graphic Commun Syst Inc | 通信端末装置 |
| JP2005510860A (ja) * | 2001-11-27 | 2005-04-21 | エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ | 画像化装置 |
| EP2130855A1 (en) | 2008-05-15 | 2009-12-09 | Fujifilm Corporation | Cellulose ester film, retardation film, polarizing plate and liquid crystal display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2501436B2 (ja) | 1996-05-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |