JPS6299129A - 無塵フイルムの製造方法 - Google Patents
無塵フイルムの製造方法Info
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- JPS6299129A JPS6299129A JP60239548A JP23954885A JPS6299129A JP S6299129 A JPS6299129 A JP S6299129A JP 60239548 A JP60239548 A JP 60239548A JP 23954885 A JP23954885 A JP 23954885A JP S6299129 A JPS6299129 A JP S6299129A
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- JP
- Japan
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- dust
- film
- interlayer
- resin
- layer
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- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、無塵フィルムの製造方法に関する。
従来の技術
近年、半導体ウェハ（以下単にウェハという）からＩＣ
−？ＬＳＩを製造するプロセスは長足の進歩をとげてい
る。この進歩に伴ない周辺で利用されている補助材料、
例えばウェハのグイシングテープやキャリヤテープなど
は、高度な清浄性（無塵化など）が要求されている。
−？ＬＳＩを製造するプロセスは長足の進歩をとげてい
る。この進歩に伴ない周辺で利用されている補助材料、
例えばウェハのグイシングテープやキャリヤテープなど
は、高度な清浄性（無塵化など）が要求されている。
このため、この分野において用いられる上記の補助材料
であるフィルムやシートなどは、塵埃の付着しない雰囲
気、例えば無塵室（クリーンルーム）内などで製造し包
装し開封後はクリーンルームに保管するか、あるいは製
造時にクリーンルームで少くとも片面を無塵な離散紙と
貼合わせて清浄度を維持するものであった。
であるフィルムやシートなどは、塵埃の付着しない雰囲
気、例えば無塵室（クリーンルーム）内などで製造し包
装し開封後はクリーンルームに保管するか、あるいは製
造時にクリーンルームで少くとも片面を無塵な離散紙と
貼合わせて清浄度を維持するものであった。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような無塵フィルムやシートをク
リーンルームなどの環境で製造するには設備、環境など
に各種の制約があり、かつ製造コストが高くなるという
問題がある。また、無塵フィルムの清浄性が良く要求さ
れる物性が容易に得られる生産性のよい樹脂材料が必要
であった。
リーンルームなどの環境で製造するには設備、環境など
に各種の制約があり、かつ製造コストが高くなるという
問題がある。また、無塵フィルムの清浄性が良く要求さ
れる物性が容易に得られる生産性のよい樹脂材料が必要
であった。
本発明は、上記のような問題点を解消し、非無塵の環境
においても製造でき、かつ容易に剥離することにより要
求される物性の無塵のフィルムまたはシートを容易にか
つ経済的に製造する方法を提供することを目的とする。
においても製造でき、かつ容易に剥離することにより要
求される物性の無塵のフィルムまたはシートを容易にか
つ経済的に製造する方法を提供することを目的とする。
本発明は、ポリオレフィンからなる中間層の両側に、該
中間層と接着性を有さない熱可塑性樹脂フィルムを有し
、かつ該中間層が密封された構成として共押出しし、し
かる後に該中間層との層間を剥離することによる無塵フ
ィルムの製造方法を要旨とする。
中間層と接着性を有さない熱可塑性樹脂フィルムを有し
、かつ該中間層が密封された構成として共押出しし、し
かる後に該中間層との層間を剥離することによる無塵フ
ィルムの製造方法を要旨とする。
本発明におけるポリオレフィンの中間層およびこの中間
層とともに共押出しする熱可塑性樹脂は、原則的には任
意であるが、共押出し後に剥離する必要があるために、
組合せる樹脂は共押出しにおいて層間に接着性（相溶性
が低いこと）がないことが必要である。
層とともに共押出しする熱可塑性樹脂は、原則的には任
意であるが、共押出し後に剥離する必要があるために、
組合せる樹脂は共押出しにおいて層間に接着性（相溶性
が低いこと）がないことが必要である。
共押出しにおけるポリオレフィンと熱可塑性樹脂との層
間の接着性を判断する指標としては、樹脂の溶解度パラ
メータ（Ｓｐ 値）から行うことができる。ポリオレフ
ィンと熱可塑性樹脂の組合せによる剥離性は、そのｓｐ
値に差があることが必要で、少くとも１０以上の差が
あることが望ましい。ｓｐ 値は実験的に求めること
ができる。
間の接着性を判断する指標としては、樹脂の溶解度パラ
メータ（Ｓｐ 値）から行うことができる。ポリオレフ
ィンと熱可塑性樹脂の組合せによる剥離性は、そのｓｐ
値に差があることが必要で、少くとも１０以上の差が
あることが望ましい。ｓｐ 値は実験的に求めること
ができる。
本発明において中間層を構成するポリオレフィンとして
は、各種密度のポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチ
レン−プロピレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
三元共重合体などのエチレン共重合体、ポリプロピレン
、プロピレン−エチレンランダムモジくハフロック共重
合体、プロピレン−ブテン共重合体などのプロピレン共
重合体、ポリブテン、ブテン共重合体、ポリ−４−メチ
ルペンテンなどがあげられる。これらポリオレフィンは
無極性であるので清浄性のうえから好ましい。また、ポ
リオレフィンは、無塵フィルムに要求される物性を得る
ための材料として生産性のうえから好ましい。
は、各種密度のポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチ
レン−プロピレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
三元共重合体などのエチレン共重合体、ポリプロピレン
、プロピレン−エチレンランダムモジくハフロック共重
合体、プロピレン−ブテン共重合体などのプロピレン共
重合体、ポリブテン、ブテン共重合体、ポリ−４−メチ
ルペンテンなどがあげられる。これらポリオレフィンは
無極性であるので清浄性のうえから好ましい。また、ポ
リオレフィンは、無塵フィルムに要求される物性を得る
ための材料として生産性のうえから好ましい。
また、熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル
、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２などのポリ
アミド、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン
、ポリカーボネイト、ポリイミド、ポリスルホン、フッ
素樹脂、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどをあ
げることができる。なお、上記の各層の樹脂には、基本
的な性質を損わない範囲において、他の樹脂または各種
の添加剤を配合してもよい。
ート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル
、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２などのポリ
アミド、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン
、ポリカーボネイト、ポリイミド、ポリスルホン、フッ
素樹脂、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどをあ
げることができる。なお、上記の各層の樹脂には、基本
的な性質を損わない範囲において、他の樹脂または各種
の添加剤を配合してもよい。
本発明は、上記の接着性を有さないポリオレフィンと熱
可塑性樹脂とを組合せ、中間層の両側が該組合せ樹脂の
外層と接し、かつ中間層を密封状態で共押出しする。
可塑性樹脂とを組合せ、中間層の両側が該組合せ樹脂の
外層と接し、かつ中間層を密封状態で共押出しする。
上記のコア層は、１層または２層以上の組合せのフィル
ム捷たはシートからなる。２層以上の組合せは、例えば
接着性、摩擦係数など物性の異なる樹脂の積層物、また
はこれら樹脂の接着剤層を介した積層物などがあげられ
る。
ム捷たはシートからなる。２層以上の組合せは、例えば
接着性、摩擦係数など物性の異なる樹脂の積層物、また
はこれら樹脂の接着剤層を介した積層物などがあげられ
る。
また、中間層は、無塵フィルムまたはシートとなるもの
で外部からの唄埃の混浸入を防止するだめに、密封状態
となるように共押出しすることが肝要である。具体的に
は、フラットフィルム状に押出すＴダイ法では、中間層
を挟む外層の幅を中間層より僅かに広くすることにより
、外層樹脂同志による幅方向端部（耳部）を融着密封す
るか、あるいは中間層および外層を同幅で押出して幅方
向端部（耳部）の層を混入する方法などがあげられる。
で外部からの唄埃の混浸入を防止するだめに、密封状態
となるように共押出しすることが肝要である。具体的に
は、フラットフィルム状に押出すＴダイ法では、中間層
を挟む外層の幅を中間層より僅かに広くすることにより
、外層樹脂同志による幅方向端部（耳部）を融着密封す
るか、あるいは中間層および外層を同幅で押出して幅方
向端部（耳部）の層を混入する方法などがあげられる。
なお、環状ダイより管状に押出すインフレーション法は
、中間ハフと接する外層および内層がそれぞれ連続する
ために共押出しの状態で密封を形成する。
、中間ハフと接する外層および内層がそれぞれ連続する
ために共押出しの状態で密封を形成する。
次に、本発明における共押出しは、複数の押出機より溶
融可塑化した樹脂を樹脂合流部を経て積層し、多層化す
るものである。共押出しの方法は、多層のフィルムまた
はシート（以下多周フィルムという）をフラットな状態
で押出すＴダイ法と環状ダイよυ管状に押出すインフレ
ーション法があるが、本発明はいずれの方法でも実施で
きる。
融可塑化した樹脂を樹脂合流部を経て積層し、多層化す
るものである。共押出しの方法は、多層のフィルムまた
はシート（以下多周フィルムという）をフラットな状態
で押出すＴダイ法と環状ダイよυ管状に押出すインフレ
ーション法があるが、本発明はいずれの方法でも実施で
きる。
Ｔダイ法による共押出しは、ダイ入口直前で複数の樹脂
を合流させ、積層した樹脂流をダイマニホールド部で延
展しフラットな多層フィルムトスるシングルマニホール
ド法、ダイ内に複数の樹脂流路およびマニホールドをも
ち、ダイ外に押出し出す前にフラットな樹脂流を合流さ
せるマルチマニホールド法（第１図）などがあげられる
。このうち、第１図に示すようなキャスト式多層共押出
ダイでは、例えば外層樹脂人口１および中心層樹脂人口
３よりポリエステル、中間層樹脂人口２よりポリオレフ
ィンを導入してダイ出口４よυ共押出しした場合、５屑
からなる多層フィルム（第２図）が得られ、外層樹脂Ａ
と中間層樹脂Ｃとに挟まれた中間層樹脂Ｂとは容易に剥
離するため同時に２枚の中間層の無想フィルムを得るこ
とができる。また、外層樹脂人口１にポリエステル、中
間層樹脂人口２および中心層樹脂人口５にポリオレフィ
ンを導入して押出した場合、５層からなる多層フィルム
（第５図）は、両外層樹脂Ａと中間層樹脂Ｂとは容易に
剥離するが、中心層樹脂Ｃと中間１→樹脂Ｂとは接着す
るため多層の無塵フィルムが得られる。この場合は表裏
の性質の異なる無塵フィルムを得る場合に利用できる。
を合流させ、積層した樹脂流をダイマニホールド部で延
展しフラットな多層フィルムトスるシングルマニホール
ド法、ダイ内に複数の樹脂流路およびマニホールドをも
ち、ダイ外に押出し出す前にフラットな樹脂流を合流さ
せるマルチマニホールド法（第１図）などがあげられる
。このうち、第１図に示すようなキャスト式多層共押出
ダイでは、例えば外層樹脂人口１および中心層樹脂人口
３よりポリエステル、中間層樹脂人口２よりポリオレフ
ィンを導入してダイ出口４よυ共押出しした場合、５屑
からなる多層フィルム（第２図）が得られ、外層樹脂Ａ
と中間層樹脂Ｃとに挟まれた中間層樹脂Ｂとは容易に剥
離するため同時に２枚の中間層の無想フィルムを得るこ
とができる。また、外層樹脂人口１にポリエステル、中
間層樹脂人口２および中心層樹脂人口５にポリオレフィ
ンを導入して押出した場合、５層からなる多層フィルム
（第５図）は、両外層樹脂Ａと中間層樹脂Ｂとは容易に
剥離するが、中心層樹脂Ｃと中間１→樹脂Ｂとは接着す
るため多層の無塵フィルムが得られる。この場合は表裏
の性質の異なる無塵フィルムを得る場合に利用できる。
Ｔダイ法で得られる多層フィルムは、始端、末端および
その耳部が溶融密封されているため、始端、末端および
耳部を切シ取り外層を剥離し、中間層を無塵フィルムと
して得る。
その耳部が溶融密封されているため、始端、末端および
耳部を切シ取り外層を剥離し、中間層を無塵フィルムと
して得る。
また、インフレーション法による共押出しは、上記のＴ
ダイ法と同様にシングルマニホールド法、ダイ内で積層
するチューブラ式多層共押出ダイ（第４図）などがあげ
られる。このうち第４図に示すよう々多層共押出ダイで
は、例えば外層樹脂人口１および内層樹脂入口３′にポ
リエステル、中間層樹脂人口２にポリオレフィンを導入
して押出した場合３層からなる多層フィルム（第５図）
が得られ、外層樹脂入および内層樹脂Ｃ′と中間層樹脂
Ｂとは容易に剥離するため、無塵フィルム使用時にスリ
ットして外層および内層を剥離することによって中間層
の無塵フィルムを得ることができる。この場合にチュー
ブ内に封入するガスは通常の空気でよい。上記の各イン
フレーション法による共押出しでは、外層、中間層、内
層を上記以外の組合せで多段にすることも可能である。
ダイ法と同様にシングルマニホールド法、ダイ内で積層
するチューブラ式多層共押出ダイ（第４図）などがあげ
られる。このうち第４図に示すよう々多層共押出ダイで
は、例えば外層樹脂人口１および内層樹脂入口３′にポ
リエステル、中間層樹脂人口２にポリオレフィンを導入
して押出した場合３層からなる多層フィルム（第５図）
が得られ、外層樹脂入および内層樹脂Ｃ′と中間層樹脂
Ｂとは容易に剥離するため、無塵フィルム使用時にスリ
ットして外層および内層を剥離することによって中間層
の無塵フィルムを得ることができる。この場合にチュー
ブ内に封入するガスは通常の空気でよい。上記の各イン
フレーション法による共押出しでは、外層、中間層、内
層を上記以外の組合せで多段にすることも可能である。
また、前記のＴダイ法およびインフレーション法共押出
しにおける多層フィルムの厚さは目的、用途により適宜
選択されるものであるが、通常は１００μ程度で、外層
と中間層との厚さの構成比は外層：中間層：外層＝１：
２：ｆとなるようにすることが望ましい。
しにおける多層フィルムの厚さは目的、用途により適宜
選択されるものであるが、通常は１００μ程度で、外層
と中間層との厚さの構成比は外層：中間層：外層＝１：
２：ｆとなるようにすることが望ましい。
実施例１
０径３０ｗφの押出機５基と幅３５０１のマルチマニホ
ールドキャストダイからなる３種３層共押出キャストフ
ィルム吐出装置、直径４００１１１’ｍφ、面長４００
目チルロール引取装置および巻取装置を用いて多層フィ
ルムを製造した。
ールドキャストダイからなる３種３層共押出キャストフ
ィルム吐出装置、直径４００１１１’ｍφ、面長４００
目チルロール引取装置および巻取装置を用いて多層フィ
ルムを製造した。
線状低密度ポリエチレン（密度α９２０ ｒ／区、ＭＩ
＝２ｆ／１０分以下ＬＬＤＰＥという）を押出機および
ヘッダを各１８０℃、２００’Ｃに設定した中間層の押
出機に供給し、他方ナイロン１２を押出機およびヘッダ
を各２６０℃、２７０℃に設定した両外層の押出機に供
給し、ダイの温度２７０℃のダイから共押出し、多層フ
ィルムの厚さを１００μｍ１外層：中間層：外層の厚さ
が１ ：２：１となるように各押出機の吐出量を調整し
た。
＝２ｆ／１０分以下ＬＬＤＰＥという）を押出機および
ヘッダを各１８０℃、２００’Ｃに設定した中間層の押
出機に供給し、他方ナイロン１２を押出機およびヘッダ
を各２６０℃、２７０℃に設定した両外層の押出機に供
給し、ダイの温度２７０℃のダイから共押出し、多層フ
ィルムの厚さを１００μｍ１外層：中間層：外層の厚さ
が１ ：２：１となるように各押出機の吐出量を調整し
た。
押出した溶融多層フィルムは、キャストロールに押付け
るとともにＬＬＤＰＥとナイロン１２の層が長手方向始
端、末端および耳部で混合融着するようにした後巻取っ
た。
るとともにＬＬＤＰＥとナイロン１２の層が長手方向始
端、末端および耳部で混合融着するようにした後巻取っ
た。
巻取られたフィルムは、長手方向始端、末端およびその
幅方向の両端で＠融密封したもので、外部からの塵の混
侵入を防止するものであった。
幅方向の両端で＠融密封したもので、外部からの塵の混
侵入を防止するものであった。
この多層フィルムの長手方向始端、末端および両端を夫
々２０．切り取ることによって、両外層のナイロン１２
にセロハンテープを貼り左右に広げることにより容易に
剥離させることができ、中間層から塵の付着しないＬＬ
ＤＰＥフィルムが得られた。
々２０．切り取ることによって、両外層のナイロン１２
にセロハンテープを貼り左右に広げることにより容易に
剥離させることができ、中間層から塵の付着しないＬＬ
ＤＰＥフィルムが得られた。
実施例２
実施例１において、ＬＬＤＰｇに代ってポリプロピレン
を用いて、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３
０℃、２４０℃に設定し、ダイの温度２７０℃とした以
外は実施例１と同様にして共押出して中間層ポリプロピ
レン、外層ナイロン１２の多層フィルムを得た。得られ
た多層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各
２０１切り取ることによって、両外層のナイロン１２を
容易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しな
いポリプロピレンフィルムが得られた。
を用いて、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３
０℃、２４０℃に設定し、ダイの温度２７０℃とした以
外は実施例１と同様にして共押出して中間層ポリプロピ
レン、外層ナイロン１２の多層フィルムを得た。得られ
た多層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各
２０１切り取ることによって、両外層のナイロン１２を
容易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しな
いポリプロピレンフィルムが得られた。
実施例５
実施例１において、ナイロン１２に代シポリプロピレン
を用い、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３０
℃、２４０℃に設定し、ダイ温度２５０℃とした以外は
実施例１と同様にして共押出して中間層ＬＬＤＰＥ 、
外周ポリプロピレンの多層フィルムを得た。得られた多
層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各２０
譚切り取ることによって、両外層のポリプロピレンを容
易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しない
ＬＬＤＰＥフィルムが得られた。
を用い、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３０
℃、２４０℃に設定し、ダイ温度２５０℃とした以外は
実施例１と同様にして共押出して中間層ＬＬＤＰＥ 、
外周ポリプロピレンの多層フィルムを得た。得られた多
層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各２０
譚切り取ることによって、両外層のポリプロピレンを容
易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しない
ＬＬＤＰＥフィルムが得られた。
発明の効果
本発明の方法によれば、密封された剥離性多層フィルム
を剥離することによって容易に無塵フィルムが得られる
。また、剥離性多層フィルムは、非無塵の環境において
製造できるために、これを容易に剥離して得られる無塵
フィルムは、従来のものに比べてコストダウンが図れる
。また、無塵フィルムの構成は、１層または２層以上で
異種の樹脂を組合せて製造できる。また、無塵フィルム
は無極性のポリオレフィンからなるために清浄性のうえ
から好ましい。
を剥離することによって容易に無塵フィルムが得られる
。また、剥離性多層フィルムは、非無塵の環境において
製造できるために、これを容易に剥離して得られる無塵
フィルムは、従来のものに比べてコストダウンが図れる
。また、無塵フィルムの構成は、１層または２層以上で
異種の樹脂を組合せて製造できる。また、無塵フィルム
は無極性のポリオレフィンからなるために清浄性のうえ
から好ましい。
第１図は、キャスト式多層共押出ダイの一例を示す断面
図、第２図および第３図はフラット多７ｉ！フィルムの
態様を示す断面図、第４図はチューブラ式多層共押出ダ
イの一例を示す断面図、第５図はチューブ状多層フィル
ムの態様を示す断面図である。 １・・・外層樹脂入口、２・・・コア層樹脂入口、３・
・・中心層樹脂入口、３′・・・内層樹脂入口、４・・
・ダイ出口、５・・・マニホールド、６・・・ガス導入
口、Ａ・・・外層樹脂、Ｂ・・・中間層樹脂、Ｃ・・・
中心層樹脂、Ｃ′・・・内層樹脂
図、第２図および第３図はフラット多７ｉ！フィルムの
態様を示す断面図、第４図はチューブラ式多層共押出ダ
イの一例を示す断面図、第５図はチューブ状多層フィル
ムの態様を示す断面図である。 １・・・外層樹脂入口、２・・・コア層樹脂入口、３・
・・中心層樹脂入口、３′・・・内層樹脂入口、４・・
・ダイ出口、５・・・マニホールド、６・・・ガス導入
口、Ａ・・・外層樹脂、Ｂ・・・中間層樹脂、Ｃ・・・
中心層樹脂、Ｃ′・・・内層樹脂
Claims (1)
- ポリオレフィンからなる中間層の両側に、該中間層と接
着性を有さない熱可塑性樹脂フィルムを有し、かつ該中
間層が密封された構成として共押出しし、しかる後に該
中間層との層間を剥離することによる無塵フィルムの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60239548A JPS6299129A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 無塵フイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60239548A JPS6299129A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 無塵フイルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299129A true JPS6299129A (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=17046446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60239548A Pending JPS6299129A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 無塵フイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299129A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0292613A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-03 | Toppan Printing Co Ltd | 多層シートの製造方法 |
| US6896754B2 (en) | 1992-09-02 | 2005-05-24 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Dustfree filling and sealing apparatus, dustfree container and wrapping clean film producing method |
| JP2007216560A (ja) * | 2006-02-17 | 2007-08-30 | Fp Corp | 多層フィルム・シートの製造方法、多層フィルム・シート製造用合流装置及び多層フィルム・シート製造装置 |
| JP4096556B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2008-06-04 | ダイキン工業株式会社 | 多層積層体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5512062A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-28 | Kureha Chemical Ind Co Ltd | Method of aseptic packing |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP60239548A patent/JPS6299129A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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