JPS6299129A - Manufacturing process for dust-free film - Google Patents
Manufacturing process for dust-free filmInfo
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- JPS6299129A JPS6299129A JP60239548A JP23954885A JPS6299129A JP S6299129 A JPS6299129 A JP S6299129A JP 60239548 A JP60239548 A JP 60239548A JP 23954885 A JP23954885 A JP 23954885A JP S6299129 A JPS6299129 A JP S6299129A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、無塵フィルムの製造方法に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a method for producing a dust-free film.
従来の技術
近年、半導体ウェハ（以下単にウェハという）からＩＣ
−？ＬＳＩを製造するプロセスは長足の進歩をとげてい
る。この進歩に伴ない周辺で利用されている補助材料、
例えばウェハのグイシングテープやキャリヤテープなど
は、高度な清浄性（無塵化など）が要求されている。Conventional technology In recent years, semiconductor wafers (hereinafter simply referred to as wafers) have been transformed into ICs.
−? The process of manufacturing LSIs has made great progress. Auxiliary materials used around this progress,
For example, wafer guising tapes and carrier tapes are required to have a high degree of cleanliness (dust-free, etc.).
このため、この分野において用いられる上記の補助材料
であるフィルムやシートなどは、塵埃の付着しない雰囲
気、例えば無塵室（クリーンルーム）内などで製造し包
装し開封後はクリーンルームに保管するか、あるいは製
造時にクリーンルームで少くとも片面を無塵な離散紙と
貼合わせて清浄度を維持するものであった。For this reason, the above-mentioned auxiliary materials used in this field, such as films and sheets, are manufactured and packaged in a dust-free atmosphere, such as a clean room, and then stored in a clean room after opening, or During manufacturing, at least one side was laminated with dust-free discrete paper in a clean room to maintain cleanliness.
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような無塵フィルムやシートをク
リーンルームなどの環境で製造するには設備、環境など
に各種の制約があり、かつ製造コストが高くなるという
問題がある。また、無塵フィルムの清浄性が良く要求さ
れる物性が容易に得られる生産性のよい樹脂材料が必要
であった。Problems to be Solved by the Invention However, manufacturing the above-mentioned dust-free films and sheets in an environment such as a clean room has various restrictions on equipment, environment, etc., and there are problems such as high manufacturing costs. . In addition, there was a need for a resin material with good productivity that could easily provide the physical properties required for good cleanliness of a dust-free film.
本発明は、上記のような問題点を解消し、非無塵の環境
においても製造でき、かつ容易に剥離することにより要
求される物性の無塵のフィルムまたはシートを容易にか
つ経済的に製造する方法を提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems, can be produced even in a non-dust-free environment, and can be easily and economically produced with the required physical properties by being easily peelable. The purpose is to provide a method for
本発明は、ポリオレフィンからなる中間層の両側に、該
中間層と接着性を有さない熱可塑性樹脂フィルムを有し
、かつ該中間層が密封された構成として共押出しし、し
かる後に該中間層との層間を剥離することによる無塵フ
ィルムの製造方法を要旨とする。The present invention has thermoplastic resin films having no adhesive properties with the intermediate layer on both sides of an intermediate layer made of polyolefin, and the intermediate layer is coextruded in a sealed structure, and then the intermediate layer is coextruded. The gist of this article is a method for producing a dust-free film by peeling off the layers.
本発明におけるポリオレフィンの中間層およびこの中間
層とともに共押出しする熱可塑性樹脂は、原則的には任
意であるが、共押出し後に剥離する必要があるために、
組合せる樹脂は共押出しにおいて層間に接着性（相溶性
が低いこと）がないことが必要である。In the present invention, the polyolefin intermediate layer and the thermoplastic resin coextruded with this intermediate layer are optional in principle, but since they need to be peeled off after coextrusion,
The resins to be combined must have no adhesion (low compatibility) between layers during coextrusion.
共押出しにおけるポリオレフィンと熱可塑性樹脂との層
間の接着性を判断する指標としては、樹脂の溶解度パラ
メータ（Ｓｐ 値）から行うことができる。ポリオレフ
ィンと熱可塑性樹脂の組合せによる剥離性は、そのｓｐ
値に差があることが必要で、少くとも１０以上の差が
あることが望ましい。ｓｐ 値は実験的に求めること
ができる。The solubility parameter (Sp value) of the resin can be used as an index to judge the adhesion between the layers of polyolefin and thermoplastic resin in coextrusion. The releasability of the combination of polyolefin and thermoplastic resin is determined by its sp.
It is necessary that there is a difference in the values, and it is desirable that there is a difference of at least 10 or more. The sp value can be determined experimentally.
本発明において中間層を構成するポリオレフィンとして
は、各種密度のポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチ
レン−プロピレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
三元共重合体などのエチレン共重合体、ポリプロピレン
、プロピレン−エチレンランダムモジくハフロック共重
合体、プロピレン−ブテン共重合体などのプロピレン共
重合体、ポリブテン、ブテン共重合体、ポリ−４−メチ
ルペンテンなどがあげられる。これらポリオレフィンは
無極性であるので清浄性のうえから好ましい。また、ポ
リオレフィンは、無塵フィルムに要求される物性を得る
ための材料として生産性のうえから好ましい。In the present invention, the polyolefin constituting the intermediate layer includes polyethylene of various densities, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-propylene rubber, ethylene-propylene-diene terpolymer, etc. Examples include ethylene copolymers, polypropylene, propylene copolymers such as propylene-ethylene random polymer haflock copolymers, propylene-butene copolymers, polybutene, butene copolymers, and poly-4-methylpentene. Since these polyolefins are nonpolar, they are preferred from the viewpoint of cleanliness. Further, polyolefin is preferable from the viewpoint of productivity as a material for obtaining the physical properties required for a dust-free film.
また、熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル
、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２などのポリ
アミド、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン
、ポリカーボネイト、ポリイミド、ポリスルホン、フッ
素樹脂、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどをあ
げることができる。なお、上記の各層の樹脂には、基本
的な性質を損わない範囲において、他の樹脂または各種
の添加剤を配合してもよい。Examples of thermoplastic resins include polyesters such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, polyamides such as nylon 6, nylon 66, and nylon 12, polyvinyl chloride, polystyrene, polyurethane, polycarbonate, polyimide, polysulfone, fluorine resin, and polypropylene. Examples include polyolefins. It should be noted that other resins or various additives may be blended with the resin of each layer described above within a range that does not impair the basic properties.
本発明は、上記の接着性を有さないポリオレフィンと熱
可塑性樹脂とを組合せ、中間層の両側が該組合せ樹脂の
外層と接し、かつ中間層を密封状態で共押出しする。In the present invention, the above non-adhesive polyolefin and thermoplastic resin are combined, both sides of the intermediate layer are in contact with the outer layer of the combined resin, and the intermediate layer is coextruded in a sealed state.
上記のコア層は、１層または２層以上の組合せのフィル
ム捷たはシートからなる。２層以上の組合せは、例えば
接着性、摩擦係数など物性の異なる樹脂の積層物、また
はこれら樹脂の接着剤層を介した積層物などがあげられ
る。The above core layer is composed of one layer or a combination of two or more layers of film or sheet. Examples of the combination of two or more layers include a laminate of resins having different physical properties such as adhesiveness and coefficient of friction, or a laminate of these resins with an adhesive layer interposed therebetween.
また、中間層は、無塵フィルムまたはシートとなるもの
で外部からの唄埃の混浸入を防止するだめに、密封状態
となるように共押出しすることが肝要である。具体的に
は、フラットフィルム状に押出すＴダイ法では、中間層
を挟む外層の幅を中間層より僅かに広くすることにより
、外層樹脂同志による幅方向端部（耳部）を融着密封す
るか、あるいは中間層および外層を同幅で押出して幅方
向端部（耳部）の層を混入する方法などがあげられる。Furthermore, since the intermediate layer is a dust-free film or sheet, it is important to coextrude it in a sealed state in order to prevent dust from entering from the outside. Specifically, in the T-die method of extruding into a flat film, the width of the outer layer sandwiching the middle layer is made slightly wider than the middle layer, so that the width direction edges (edges) of the outer layer resins are fused and sealed. Alternatively, the intermediate layer and the outer layer may be extruded to have the same width, and a layer at the widthwise end portion (edge portion) may be mixed in.
なお、環状ダイより管状に押出すインフレーション法は
、中間ハフと接する外層および内層がそれぞれ連続する
ために共押出しの状態で密封を形成する。In addition, in the inflation method of extruding into a tubular shape from an annular die, the outer layer and the inner layer in contact with the intermediate huff are continuous, so that a seal is formed in a coextruded state.
次に、本発明における共押出しは、複数の押出機より溶
融可塑化した樹脂を樹脂合流部を経て積層し、多層化す
るものである。共押出しの方法は、多層のフィルムまた
はシート（以下多周フィルムという）をフラットな状態
で押出すＴダイ法と環状ダイよυ管状に押出すインフレ
ーション法があるが、本発明はいずれの方法でも実施で
きる。Next, in coextrusion in the present invention, resins melted and plasticized by a plurality of extruders are laminated through a resin confluence section to form a multilayer structure. Co-extrusion methods include the T-die method in which a multilayer film or sheet (hereinafter referred to as a multi-peripheral film) is extruded in a flat state, and the inflation method in which it is extruded into a tubular shape from an annular die. Can be implemented.
Ｔダイ法による共押出しは、ダイ入口直前で複数の樹脂
を合流させ、積層した樹脂流をダイマニホールド部で延
展しフラットな多層フィルムトスるシングルマニホール
ド法、ダイ内に複数の樹脂流路およびマニホールドをも
ち、ダイ外に押出し出す前にフラットな樹脂流を合流さ
せるマルチマニホールド法（第１図）などがあげられる
。このうち、第１図に示すようなキャスト式多層共押出
ダイでは、例えば外層樹脂人口１および中心層樹脂人口
３よりポリエステル、中間層樹脂人口２よりポリオレフ
ィンを導入してダイ出口４よυ共押出しした場合、５屑
からなる多層フィルム（第２図）が得られ、外層樹脂Ａ
と中間層樹脂Ｃとに挟まれた中間層樹脂Ｂとは容易に剥
離するため同時に２枚の中間層の無想フィルムを得るこ
とができる。また、外層樹脂人口１にポリエステル、中
間層樹脂人口２および中心層樹脂人口５にポリオレフィ
ンを導入して押出した場合、５層からなる多層フィルム
（第５図）は、両外層樹脂Ａと中間層樹脂Ｂとは容易に
剥離するが、中心層樹脂Ｃと中間１→樹脂Ｂとは接着す
るため多層の無塵フィルムが得られる。この場合は表裏
の性質の異なる無塵フィルムを得る場合に利用できる。Co-extrusion using the T-die method is a single manifold method in which multiple resins are merged just before the die entrance, the laminated resin flow is spread in the die manifold part, and a flat multilayer film is tossed. Examples include the multi-manifold method (Figure 1), in which flat resin flows are merged before being extruded out of the die. Among these, in a cast type multilayer coextrusion die as shown in Fig. 1, for example, polyester is introduced from the outer layer resin population 1 and the center layer resin population 3, and polyolefin is introduced from the middle layer resin population 2, and then coextruded from the die outlet 4. In this case, a multilayer film (Fig. 2) consisting of 5 pieces is obtained, and the outer layer resin A
Since the intermediate layer resin B sandwiched between the intermediate layer resin B and the intermediate layer resin C can be easily peeled off, two intermediate layer fantasy films can be obtained at the same time. If polyester is introduced into the outer layer resin population 1, polyolefin is introduced into the middle layer resin population 2 and the center layer resin population 5, and extrusion is carried out, a multilayer film consisting of 5 layers (Fig. Although it easily peels off from resin B, it adheres to center layer resin C and intermediate layer 1→resin B, resulting in a multilayer dust-free film. This case can be used to obtain dust-free films with different properties on the front and back sides.
Ｔダイ法で得られる多層フィルムは、始端、末端および
その耳部が溶融密封されているため、始端、末端および
耳部を切シ取り外層を剥離し、中間層を無塵フィルムと
して得る。Since the multilayer film obtained by the T-die method has a starting end, an end, and an edge thereof melt-sealed, the starting end, end, and edge are cut off, the outer layer is peeled off, and the intermediate layer is obtained as a dust-free film.
また、インフレーション法による共押出しは、上記のＴ
ダイ法と同様にシングルマニホールド法、ダイ内で積層
するチューブラ式多層共押出ダイ（第４図）などがあげ
られる。このうち第４図に示すよう々多層共押出ダイで
は、例えば外層樹脂人口１および内層樹脂入口３′にポ
リエステル、中間層樹脂人口２にポリオレフィンを導入
して押出した場合３層からなる多層フィルム（第５図）
が得られ、外層樹脂入および内層樹脂Ｃ′と中間層樹脂
Ｂとは容易に剥離するため、無塵フィルム使用時にスリ
ットして外層および内層を剥離することによって中間層
の無塵フィルムを得ることができる。この場合にチュー
ブ内に封入するガスは通常の空気でよい。上記の各イン
フレーション法による共押出しでは、外層、中間層、内
層を上記以外の組合せで多段にすることも可能である。In addition, coextrusion by the inflation method can be performed using the above T
Similar to the die method, examples include the single manifold method and a tubular multilayer coextrusion die (Figure 4) in which layers are laminated within the die. Among these, when using a multilayer coextrusion die as shown in FIG. 4, for example, when polyester is introduced into the outer layer resin population 1 and inner layer resin inlet 3', and polyolefin is introduced into the middle layer resin population 2 and extruded, a multilayer film consisting of three layers ( Figure 5)
is obtained, and the resin-containing outer layer and inner layer resin C' are easily peeled off from the middle layer resin B. Therefore, when using a dust-free film, the dust-free film of the middle layer is obtained by slitting and peeling off the outer layer and the inner layer. I can do it. In this case, the gas sealed in the tube may be ordinary air. In the coextrusion using each of the above-mentioned inflation methods, it is also possible to form the outer layer, intermediate layer, and inner layer in multiple stages using combinations other than those described above.
また、前記のＴダイ法およびインフレーション法共押出
しにおける多層フィルムの厚さは目的、用途により適宜
選択されるものであるが、通常は１００μ程度で、外層
と中間層との厚さの構成比は外層：中間層：外層＝１：
２：ｆとなるようにすることが望ましい。In addition, the thickness of the multilayer film in the T-die method and the inflation method coextrusion described above is appropriately selected depending on the purpose and use, but is usually about 100μ, and the composition ratio of the thickness of the outer layer and the intermediate layer is Outer layer: Middle layer: Outer layer = 1:
It is desirable that the ratio be 2:f.
実施例１
０径３０ｗφの押出機５基と幅３５０１のマルチマニホ
ールドキャストダイからなる３種３層共押出キャストフ
ィルム吐出装置、直径４００１１１’ｍφ、面長４００
目チルロール引取装置および巻取装置を用いて多層フィ
ルムを製造した。Example 1 A three-type, three-layer coextrusion cast film discharging device consisting of five extruders with a diameter of 30 wφ and a multi-manifold cast die with a width of 3501 mm, a diameter of 400111 mmφ, and a surface length of 400 mm.
A multilayer film was produced using a chill roll take-up device and a winder.
線状低密度ポリエチレン（密度α９２０ ｒ／区、ＭＩ
＝２ｆ／１０分以下ＬＬＤＰＥという）を押出機および
ヘッダを各１８０℃、２００’Ｃに設定した中間層の押
出機に供給し、他方ナイロン１２を押出機およびヘッダ
を各２６０℃、２７０℃に設定した両外層の押出機に供
給し、ダイの温度２７０℃のダイから共押出し、多層フ
ィルムの厚さを１００μｍ１外層：中間層：外層の厚さ
が１ ：２：１となるように各押出機の吐出量を調整し
た。Linear low density polyethylene (density α920 r/ward, MI
= 2f/10 minutes or less) was fed to the middle layer extruder with the extruder and header set at 180°C and 200'C, respectively, and the nylon 12 was fed into the extruder and header at 260°C and 270°C, respectively. Both outer layers were supplied to the extruder set and coextruded through a die with a die temperature of 270°C, and each extrusion was carried out so that the thickness of the multilayer film was 100 μm and the ratio of outer layer: intermediate layer: outer layer was 1:2:1. Adjusted the discharge amount of the machine.
押出した溶融多層フィルムは、キャストロールに押付け
るとともにＬＬＤＰＥとナイロン１２の層が長手方向始
端、末端および耳部で混合融着するようにした後巻取っ
た。The extruded molten multilayer film was pressed against a cast roll so that the LLDPE and nylon 12 layers were mixed and fused at the longitudinal start, end, and ear portions, and then wound up.
巻取られたフィルムは、長手方向始端、末端およびその
幅方向の両端で＠融密封したもので、外部からの塵の混
侵入を防止するものであった。The wound film was fused and sealed at the starting end in the longitudinal direction, the end, and both ends in the width direction to prevent dust from entering from the outside.
この多層フィルムの長手方向始端、末端および両端を夫
々２０．切り取ることによって、両外層のナイロン１２
にセロハンテープを貼り左右に広げることにより容易に
剥離させることができ、中間層から塵の付着しないＬＬ
ＤＰＥフィルムが得られた。The starting end, end and both ends of this multilayer film in the longitudinal direction are each 20. By cutting out both outer layers of nylon 12
It can be easily peeled off by applying cellophane tape and spreading it from side to side, preventing dust from adhering to the middle layer.
A DPE film was obtained.
実施例２
実施例１において、ＬＬＤＰｇに代ってポリプロピレン
を用いて、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３
０℃、２４０℃に設定し、ダイの温度２７０℃とした以
外は実施例１と同様にして共押出して中間層ポリプロピ
レン、外層ナイロン１２の多層フィルムを得た。得られ
た多層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各
２０１切り取ることによって、両外層のナイロン１２を
容易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しな
いポリプロピレンフィルムが得られた。Example 2 In Example 1, using polypropylene instead of LLDPg, the polypropylene extruder and header were
A multilayer film having a polypropylene intermediate layer and a nylon 12 outer layer was obtained by coextrusion in the same manner as in Example 1 except that the temperatures were set at 0°C and 240°C and the die temperature was 270°C. By cutting 20 mm each at the longitudinal start, end, and width ends of the obtained multilayer film, the nylon 12 of both outer layers could be easily peeled off, and a polypropylene film free from dust from the intermediate layer was obtained.
実施例５
実施例１において、ナイロン１２に代シポリプロピレン
を用い、ポリプロピレン押出機およびヘッダを各２３０
℃、２４０℃に設定し、ダイ温度２５０℃とした以外は
実施例１と同様にして共押出して中間層ＬＬＤＰＥ 、
外周ポリプロピレンの多層フィルムを得た。得られた多
層フィルムの長手方向始端、末端および幅両端を各２０
譚切り取ることによって、両外層のポリプロピレンを容
易に剥離させることができ、中間層から塵の付着しない
ＬＬＤＰＥフィルムが得られた。Example 5 In Example 1, polypropylene was used instead of nylon 12, and the polypropylene extruder and header were each
The middle layer LLDPE was coextruded in the same manner as in Example 1 except that the temperature was set at 240°C and the die temperature was 250°C.
A multilayer film of peripheral polypropylene was obtained. The starting end, end, and both width ends of the obtained multilayer film are each 20
By cutting, both outer layers of polypropylene could be easily peeled off, and a dust-free LLDPE film was obtained from the middle layer.
発明の効果
本発明の方法によれば、密封された剥離性多層フィルム
を剥離することによって容易に無塵フィルムが得られる
。また、剥離性多層フィルムは、非無塵の環境において
製造できるために、これを容易に剥離して得られる無塵
フィルムは、従来のものに比べてコストダウンが図れる
。また、無塵フィルムの構成は、１層または２層以上で
異種の樹脂を組合せて製造できる。また、無塵フィルム
は無極性のポリオレフィンからなるために清浄性のうえ
から好ましい。Effects of the Invention According to the method of the present invention, a dust-free film can be easily obtained by peeling off a sealed peelable multilayer film. Furthermore, since the peelable multilayer film can be manufactured in a dust-free environment, the dust-free film obtained by easily peeling the film can be produced at a lower cost than conventional films. Further, the structure of the dust-free film can be manufactured by combining different types of resins in one layer or two or more layers. Further, since the dust-free film is made of non-polar polyolefin, it is preferable from the viewpoint of cleanliness.
第１図は、キャスト式多層共押出ダイの一例を示す断面
図、第２図および第３図はフラット多７ｉ！フィルムの
態様を示す断面図、第４図はチューブラ式多層共押出ダ
イの一例を示す断面図、第５図はチューブ状多層フィル
ムの態様を示す断面図である。
１・・・外層樹脂入口、２・・・コア層樹脂入口、３・
・・中心層樹脂入口、３′・・・内層樹脂入口、４・・
・ダイ出口、５・・・マニホールド、６・・・ガス導入
口、Ａ・・・外層樹脂、Ｂ・・・中間層樹脂、Ｃ・・・
中心層樹脂、Ｃ′・・・内層樹脂FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a cast-type multilayer coextrusion die, and FIGS. 2 and 3 are flat multilayer coextrusion dies. FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a tubular multilayer coextrusion die, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a tubular multilayer film. 1... Outer layer resin inlet, 2... Core layer resin inlet, 3...
...Central layer resin inlet, 3'...Inner layer resin inlet, 4...
・Die outlet, 5... Manifold, 6... Gas inlet, A... Outer layer resin, B... Intermediate layer resin, C...
Center layer resin, C'...inner layer resin
Claims (1)
着性を有さない熱可塑性樹脂フィルムを有し、かつ該中
間層が密封された構成として共押出しし、しかる後に該
中間層との層間を剥離することによる無塵フィルムの製
造方法。A thermoplastic resin film having no adhesive properties with the intermediate layer is provided on both sides of the intermediate layer made of polyolefin, and the intermediate layer is coextruded in a sealed structure, and then the interlayer with the intermediate layer is sealed. Method of manufacturing dust-free film by peeling.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60239548A JPS6299129A (en) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | Manufacturing process for dust-free film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60239548A JPS6299129A (en) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | Manufacturing process for dust-free film |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299129A true JPS6299129A (en) | 1987-05-08 |
Family
ID=17046446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60239548A Pending JPS6299129A (en) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | Manufacturing process for dust-free film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299129A (en) |
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- 1985-10-28 JP JP60239548A patent/JPS6299129A/en active Pending
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