JPS6295460A - 音波探触子 - Google Patents
音波探触子Info
- Publication number
- JPS6295460A JPS6295460A JP60235161A JP23516185A JPS6295460A JP S6295460 A JPS6295460 A JP S6295460A JP 60235161 A JP60235161 A JP 60235161A JP 23516185 A JP23516185 A JP 23516185A JP S6295460 A JPS6295460 A JP S6295460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- ultrasonic wave
- reflected
- piezoelectric element
- sonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、音波探触子に係り、特に超音波顕微鏡に使用
さｎる音波探触子壷こ関するものである。
さｎる音波探触子壷こ関するものである。
超音波顕微鏡に使用される音波探触子すなわち音波レン
ズは、その先端が平坦な形のものを使用している例が多
い、しかし、先端が平坦な形をしていると、この部分か
らも超音波が音波伝播媒質例えば水の中に漏洩、放射さ
れて集束超音波ビームの信号が有効に利用できないため
有効な超音波と雑音との比（以下単にＳ／Ｎという）が
劣化する。そこで、この８／Ｎ劣化防止のために音波レ
ンズの球面部の縁に吸音材を貼るといったことも考案さ
ｎている（例えば、実公昭５８−３１２００号公報）、
シかし、現実には周波数が高く、焦点距離の短い音波レ
ンズの場合、先端の球面部近傍に前記の漏洩した超音波
を減衰させる吸音材が設置されていると、観察時に該吸
音材と試料とが接触する恐ｎがあるとともに、ワーキン
グディススタンスの設置に不都合が生じる等の不具合が
あった。また、音波レンズ内では、必ず超音波の反射等
が生じるため、完全−こ不要な輻射をな畷すことが困難
である。さらに、Ｇ Ｈｚ単位近傍の高い周波数になる
と、音波レンズ内部を伝わる超音波の減衰が非常に増大
するといりた不具合があった。
ズは、その先端が平坦な形のものを使用している例が多
い、しかし、先端が平坦な形をしていると、この部分か
らも超音波が音波伝播媒質例えば水の中に漏洩、放射さ
れて集束超音波ビームの信号が有効に利用できないため
有効な超音波と雑音との比（以下単にＳ／Ｎという）が
劣化する。そこで、この８／Ｎ劣化防止のために音波レ
ンズの球面部の縁に吸音材を貼るといったことも考案さ
ｎている（例えば、実公昭５８−３１２００号公報）、
シかし、現実には周波数が高く、焦点距離の短い音波レ
ンズの場合、先端の球面部近傍に前記の漏洩した超音波
を減衰させる吸音材が設置されていると、観察時に該吸
音材と試料とが接触する恐ｎがあるとともに、ワーキン
グディススタンスの設置に不都合が生じる等の不具合が
あった。また、音波レンズ内では、必ず超音波の反射等
が生じるため、完全−こ不要な輻射をな畷すことが困難
である。さらに、Ｇ Ｈｚ単位近傍の高い周波数になる
と、音波レンズ内部を伝わる超音波の減衰が非常に増大
するといりた不具合があった。
本発明の目的とするところは、−ｉ波しンズ内における
超音波の反射による不具合を防止するととも壷こ、該音
波レンズ内暴こおける超音波の減衰を防止して効率のよ
い音波レンズすなわち音波探触子を提供することにある
。
超音波の反射による不具合を防止するととも壷こ、該音
波レンズ内暴こおける超音波の減衰を防止して効率のよ
い音波レンズすなわち音波探触子を提供することにある
。
本発明は、音波伝播体である音波探触子いわゆる音波レ
ンズ内で反射して圧電素子に達する超音波を減少させ、
かつ、該音波レンズ内での超音波の減衰を防止するため
に、音波レンズ全体を円錐形状に形成したことを特徴と
するものである。
ンズ内で反射して圧電素子に達する超音波を減少させ、
かつ、該音波レンズ内での超音波の減衰を防止するため
に、音波レンズ全体を円錐形状に形成したことを特徴と
するものである。
以下１本発明による一実施例を】１図および第２図によ
って説明する。同図において、１は全体を円錐状に形成
した音波伝播体から成る音波レンズ、２は該音波レンズ
１の平面部に上部電極３および下部電極４によってはさ
まｎた状態で取付けられる圧電議子（例えばＺｎＯ等）
である。５は該圧電素子２に印加さｎるパルス６を発生
させるパルス発振器である。前記パルス６が圧電素子２
に印加されることにより、該圧電素子２から超音波７が
音波レンズ１内に発振される。８は前記音波レンズ１の
先端に形成さｎた口径０．１ｍｆｌｕ〜８．０ＩＩ！Ｉ
Ｉｆ程度の凹面の球面部である。９は試料で、前記音波
レンズ１の球面部８との間に音波伝播媒質（例えば水）
１０が鷹ださ几ている。捻は前記超音波７の試料９から
の反射波を圧電素子２によって変換さｎた高周波信号（
以下ＲＦ倍信号いう）１１を受信し、ダイオード検波し
てビデオ信号１３１こ変換する受信器である。１４は該
受信器刊からのビデオ信号１３を試料９の走査を行なう
試料台駆動手段１５からの走査情報と同期させて画像化
し表示する表示器である。なお１６は前記音波レンズ１
の球面部８の縁で、鋭角に形成されている。
って説明する。同図において、１は全体を円錐状に形成
した音波伝播体から成る音波レンズ、２は該音波レンズ
１の平面部に上部電極３および下部電極４によってはさ
まｎた状態で取付けられる圧電議子（例えばＺｎＯ等）
である。５は該圧電素子２に印加さｎるパルス６を発生
させるパルス発振器である。前記パルス６が圧電素子２
に印加されることにより、該圧電素子２から超音波７が
音波レンズ１内に発振される。８は前記音波レンズ１の
先端に形成さｎた口径０．１ｍｆｌｕ〜８．０ＩＩ！Ｉ
Ｉｆ程度の凹面の球面部である。９は試料で、前記音波
レンズ１の球面部８との間に音波伝播媒質（例えば水）
１０が鷹ださ几ている。捻は前記超音波７の試料９から
の反射波を圧電素子２によって変換さｎた高周波信号（
以下ＲＦ倍信号いう）１１を受信し、ダイオード検波し
てビデオ信号１３１こ変換する受信器である。１４は該
受信器刊からのビデオ信号１３を試料９の走査を行なう
試料台駆動手段１５からの走査情報と同期させて画像化
し表示する表示器である。なお１６は前記音波レンズ１
の球面部８の縁で、鋭角に形成されている。
このような構成において、パルス発振器５から発振され
たパルス信号６を圧電素子２に印加して超音波７を生じ
させる。該超音波７は該音波レンズ１を成す音波伝播体
と音波伝播媒質１０との音速の差により球面部８で起こ
る屈折作用によって試料９面上に集束して照射される。
たパルス信号６を圧電素子２に印加して超音波７を生じ
させる。該超音波７は該音波レンズ１を成す音波伝播体
と音波伝播媒質１０との音速の差により球面部８で起こ
る屈折作用によって試料９面上に集束して照射される。
このよう暑二して照射された超音波フは、試料９によっ
て反射され音波レンズ１の球面部８により集音整相さｎ
て平面波となり圧電素子２に達する。該圧電素子２で前
記超音波７はＲＦ信号１１に変換されて受信器ｎに送ら
れ、かつ、該受信器鵞でダイオード検波されてビデオ信
号１３に変換されて表示器１４（こ送られるＯ このような構成によれば、音波レンズ１内暑こ圧電素子
２から発振さｎた超音波７のうち球面部８に達したもの
は、前述のとおり試料９に達し反射して表示器１４にビ
デオ信号１３として伝えられる。
て反射され音波レンズ１の球面部８により集音整相さｎ
て平面波となり圧電素子２に達する。該圧電素子２で前
記超音波７はＲＦ信号１１に変換されて受信器ｎに送ら
れ、かつ、該受信器鵞でダイオード検波されてビデオ信
号１３に変換されて表示器１４（こ送られるＯ このような構成によれば、音波レンズ１内暑こ圧電素子
２から発振さｎた超音波７のうち球面部８に達したもの
は、前述のとおり試料９に達し反射して表示器１４にビ
デオ信号１３として伝えられる。
一方、前記超音波７のうち球面部８より外ｎた位置に達
したものは、音波レンズ１の曲面部によって平面部にお
ける周辺部分へ反射さｎる。したがって、該反射さｎた
超音波７が圧電素子２に達することが非常に少なくなり
、該反射した超音波７による悪影響を防止できるもので
ある。なお、従来の音波レンズで円柱先端部に円錐形状
部を形成した例については１円柱部分でさらに反射さｎ
圧電素子に反射した超音波が達することが多く、この構
成に比較しても前記構成の場合反射した超音波の悪影響
を大幅に防止できるものである。
したものは、音波レンズ１の曲面部によって平面部にお
ける周辺部分へ反射さｎる。したがって、該反射さｎた
超音波７が圧電素子２に達することが非常に少なくなり
、該反射した超音波７による悪影響を防止できるもので
ある。なお、従来の音波レンズで円柱先端部に円錐形状
部を形成した例については１円柱部分でさらに反射さｎ
圧電素子に反射した超音波が達することが多く、この構
成に比較しても前記構成の場合反射した超音波の悪影響
を大幅に防止できるものである。
また、前記構成によｎば、圧電素子２から球面部８まで
の距離を短々できるため、ＧＨｚ 単位の非常に高い
周波数の超音波であっても音波レンジ１内における減衰
を防止できる。
の距離を短々できるため、ＧＨｚ 単位の非常に高い
周波数の超音波であっても音波レンジ１内における減衰
を防止できる。
以と説明したように本発明によｎば、音波レンズ内にお
ける超音波の反射薔こよる不具合を防止できるとともに
、該音波レンズ内直こおける超音波の減衰を防止できる
。
ける超音波の反射薔こよる不具合を防止できるとともに
、該音波レンズ内直こおける超音波の減衰を防止できる
。
第１図は本発明による音波探触子の一実施例を用いた超
音波顕微鏡の概要を示す回路図、第２図は第１図の音波
探触子を示す断面図である。
音波顕微鏡の概要を示す回路図、第２図は第１図の音波
探触子を示す断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料に対向して配置され、該試料に対して超音波の
送受を行なうとともに相対的に走査を行なって試料の観
察を行なう音波探触子において、全体を円錐形に形成し
、その先端部に球面部を形成するとともに平面部に圧電
素子を設けたことを特徴とする音波探触子。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記円錐形の先端
角度を曲面からの反射超音波が前記圧電素子に達しない
角度としたことを特徴とする音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60235161A JPS6295460A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60235161A JPS6295460A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295460A true JPS6295460A (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=16981953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60235161A Pending JPS6295460A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021511485A (ja) * | 2018-01-26 | 2021-05-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP60235161A patent/JPS6295460A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021511485A (ja) * | 2018-01-26 | 2021-05-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 |
| US11927891B2 (en) | 2018-01-26 | 2024-03-12 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and methods for determining the position of a target structure on a substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5099693A (en) | Apparatus for investigating a sample with ultrasound | |
| US5072722A (en) | Device for the spatial ultrasonic location of calculi | |
| JPS59160754A (ja) | 走査型音波顕微鏡 | |
| JPS5816672B2 (ja) | オンパケツゾウホウ オヨビ オンパケツゾウソウチ | |
| US5381695A (en) | Apparatus for investigating a sample with ultrasound | |
| US4779241A (en) | Acoustic lens arrangement | |
| JPS6295460A (ja) | 音波探触子 | |
| JPH0330105B2 (ja) | ||
| JPH0324982B2 (ja) | ||
| US4550609A (en) | Acoustic lens | |
| JPH0437379B2 (ja) | ||
| JP3121430B2 (ja) | 超音波探傷方法及び超音波探触子 | |
| JP2002044773A (ja) | 音響レンズおよび超音波送波器 | |
| JPH0427501B2 (ja) | ||
| JPS61262653A (ja) | 音波探触子 | |
| JPS61120962A (ja) | 超音波顕微鏡用音響レンズ | |
| JP3027495B2 (ja) | 超音波プローブ | |
| GB2127657A (en) | Acoustic lens | |
| JPS61186850A (ja) | 音波探触子 | |
| JPS5831200Y2 (ja) | 超音波集束レンズ | |
| JPS58166258A (ja) | 超音波顕微鏡レンズ | |
| JPS62133946A (ja) | 皮膚科用超音波送受波器 | |
| JPH0158458B2 (ja) | ||
| JP2020071229A (ja) | 光音響撮像のためのプローブおよびシステムならびにそのようなプローブを制御するための方法 | |
| JPH0835956A (ja) | 超音波探触子 |