JPS6287749A - 運搬装置 - Google Patents
運搬装置Info
- Publication number
- JPS6287749A JPS6287749A JP22646685A JP22646685A JPS6287749A JP S6287749 A JPS6287749 A JP S6287749A JP 22646685 A JP22646685 A JP 22646685A JP 22646685 A JP22646685 A JP 22646685A JP S6287749 A JPS6287749 A JP S6287749A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air chamber
- clean air
- clean
- box
- article
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は塵埃の付着をさけなければならない物品の運搬
用装置に関するものである。
用装置に関するものである。
従来、清浄な状態で運ぶ必要のある物品を運搬するとき
は、清浄度を保った運搬箱内に入れて運んでいるが、そ
の運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入するとき、従来
は運搬箱に物品を入れたまま運搬箱を清浄空気室内に搬
入し、運搬箱の外面を清浄にした後、運搬箱を開けて物
品を取シ出している。また、近年は第３図に示す様に、
清浄空気室１の扉２を備えた開口部３と、運搬箱４の扉
５を備えた開口部６とを連結部７で連結し、外部の空間
と遮断した状態で扉２及び５を開き、物品８を移載する
ことも行なわれている。
は、清浄度を保った運搬箱内に入れて運んでいるが、そ
の運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入するとき、従来
は運搬箱に物品を入れたまま運搬箱を清浄空気室内に搬
入し、運搬箱の外面を清浄にした後、運搬箱を開けて物
品を取シ出している。また、近年は第３図に示す様に、
清浄空気室１の扉２を備えた開口部３と、運搬箱４の扉
５を備えた開口部６とを連結部７で連結し、外部の空間
と遮断した状態で扉２及び５を開き、物品８を移載する
ことも行なわれている。
上述した従来の運搬装置では、塵埃の付着した運搬箱を
清浄空気室に持込むことによって清浄空気室を汚染して
しまうことがあった。また第３図に示す運搬装置では扉
２と扉５及び連結部７で囲まれた閉空間内９の清浄でな
い空気中の塵埃が物品８や運搬箱４の内部に付着したシ
、清浄空気室１の内部に入るという欠点があった。
清浄空気室に持込むことによって清浄空気室を汚染して
しまうことがあった。また第３図に示す運搬装置では扉
２と扉５及び連結部７で囲まれた閉空間内９の清浄でな
い空気中の塵埃が物品８や運搬箱４の内部に付着したシ
、清浄空気室１の内部に入るという欠点があった。
本発明は前記問題点を解消し、運搬室から清浄空気室に
搬入する際に、物品に塵埃が付着するのを阻止する運搬
装置を提供するものである。
搬入する際に、物品に塵埃が付着するのを阻止する運搬
装置を提供するものである。
本発明は運搬箱に物品を収納したまま、これを清浄空気
室まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し
、運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置に
おいて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する
浄化処理機構を有することを特徴とする運搬装置である
。
室まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し
、運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置に
おいて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する
浄化処理機構を有することを特徴とする運搬装置である
。
次に、本発明の一実施例について、図面を参照して説明
する。
する。
第１図において、清浄空気室１の開口部３には扉２が備
えられ、運搬箱４の開口部６には扉５が設けられている
。清浄空気室ｌの開口部３に設けられた連結部７には、
清浄気体に置換する浄化処理機構ｌＯが接続され、また
、連結部７の下部には空気の出口１１が設けである。
えられ、運搬箱４の開口部６には扉５が設けられている
。清浄空気室ｌの開口部３に設けられた連結部７には、
清浄気体に置換する浄化処理機構ｌＯが接続され、また
、連結部７の下部には空気の出口１１が設けである。
本実施例において、物品８を運搬箱４と清浄空気室ｌの
間で移載する場合には、先ず、両扉２と５を閉じた状態
で運搬箱４を運搬し、連結部７によって運搬箱４の開口
部６と清浄空気室１の開口部３とを連結する。次に、浄
化処理機構１０を作動させ扉２と扉５及び連結部７で囲
まれた空間９内の空気を空気の出口１１から排出させて
、空間９内の雰囲気を清浄にする。しかる後に扉２と扉
５を開いて物品８を移載する。
間で移載する場合には、先ず、両扉２と５を閉じた状態
で運搬箱４を運搬し、連結部７によって運搬箱４の開口
部６と清浄空気室１の開口部３とを連結する。次に、浄
化処理機構１０を作動させ扉２と扉５及び連結部７で囲
まれた空間９内の空気を空気の出口１１から排出させて
、空間９内の雰囲気を清浄にする。しかる後に扉２と扉
５を開いて物品８を移載する。
第２図は、本発明の他の実施例の断面図である。
本実施例においては、連結部１７は運搬箱４の開口部６
に設けられ、伸縮自在な構造になっている。
に設けられ、伸縮自在な構造になっている。
また、清浄空気室１の開口部３に設けられた扉２は全開
せずに一部を開けた状態で止まる様に制御可能になって
いる。本実施例では浄化処理機構１０として、清浄空気
室１を利用している。すなわち、本実施例において、物
品８を運ぶ場合には、両扉２および５を閉じた状態で、
運搬箱４を両開口部３と６が向い合う位置に固定し、次
に連結部１７を伸ばして開口部３に接続し、扉２を一部
開いて清浄空気室ｌ内の空気を空間９内に流し込み、空
間９内の非清浄な空気を出口１１から排出し、空間９内
の雰囲気を清浄にしだ後に１両扉２および５を開き、物
品８を清浄空気室１と運搬箱４の間で移載する。
せずに一部を開けた状態で止まる様に制御可能になって
いる。本実施例では浄化処理機構１０として、清浄空気
室１を利用している。すなわち、本実施例において、物
品８を運ぶ場合には、両扉２および５を閉じた状態で、
運搬箱４を両開口部３と６が向い合う位置に固定し、次
に連結部１７を伸ばして開口部３に接続し、扉２を一部
開いて清浄空気室ｌ内の空気を空間９内に流し込み、空
間９内の非清浄な空気を出口１１から排出し、空間９内
の雰囲気を清浄にしだ後に１両扉２および５を開き、物
品８を清浄空気室１と運搬箱４の間で移載する。
本発明の第１の実施例において、浄化処理機構１０は空
気中の塵埃を取９除き空気を圧送する設備でもよいし、
清浄な乾燥空気または乾燥窒素を供給するパイプでも可
能なことは明らかである。また、第２の実施例において
、空間９内の空気を排出するために扉２を部分的に開い
たが、扉２の一部分に開閉可能な小扉を設けても良いし
、扉２とは別に清浄空気室１と空間９を結ぶ小扉を設け
ても良い。
気中の塵埃を取９除き空気を圧送する設備でもよいし、
清浄な乾燥空気または乾燥窒素を供給するパイプでも可
能なことは明らかである。また、第２の実施例において
、空間９内の空気を排出するために扉２を部分的に開い
たが、扉２の一部分に開閉可能な小扉を設けても良いし
、扉２とは別に清浄空気室１と空間９を結ぶ小扉を設け
ても良い。
以上説明したように本発明は清浄空気室と運搬箱との間
の空間の雰囲気を清浄にした後に物品を移載することに
よシ、清浄空気室や、運搬箱内部および物品を清浄に保
ったまま移載することができる効果を有するものである
。
の空間の雰囲気を清浄にした後に物品を移載することに
よシ、清浄空気室や、運搬箱内部および物品を清浄に保
ったまま移載することができる効果を有するものである
。
第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す断面図、第３図は従来の運
搬装置の断面図である。 １・・・清浄空気室、２・・・扉、３・・・開口部、４
・・・運搬箱、５・・・扉、６・・・開口部、７・・・
連結部、８・・・被搬送物、９・・・空間、ｌＯ・・・
浄化処理機構、１１・・・出口。 第２図 第３図
本発明の第２の実施例を示す断面図、第３図は従来の運
搬装置の断面図である。 １・・・清浄空気室、２・・・扉、３・・・開口部、４
・・・運搬箱、５・・・扉、６・・・開口部、７・・・
連結部、８・・・被搬送物、９・・・空間、ｌＯ・・・
浄化処理機構、１１・・・出口。 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）運搬箱に物品を収納したまま、これを清浄空気室
まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し、
運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置にお
いて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する浄
化処理機構を有することを特徴とする運搬装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22646685A JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22646685A JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287749A true JPS6287749A (ja) | 1987-04-22 |
Family
ID=16845537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22646685A Pending JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6287749A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053240A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| US5713791A (en) * | 1995-04-06 | 1998-02-03 | Motorola, Inc. | Modular cleanroom conduit and method for its use |
| JPH10241858A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置 |
| US6543981B1 (en) * | 2001-03-30 | 2003-04-08 | Lam Research Corp. | Apparatus and method for creating an ultra-clean mini-environment through localized air flow augmentation |
| US20070130738A1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22646685A patent/JPS6287749A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053240A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
| US5713791A (en) * | 1995-04-06 | 1998-02-03 | Motorola, Inc. | Modular cleanroom conduit and method for its use |
| JPH10241858A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置 |
| US6543981B1 (en) * | 2001-03-30 | 2003-04-08 | Lam Research Corp. | Apparatus and method for creating an ultra-clean mini-environment through localized air flow augmentation |
| US20070130738A1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
| US8794896B2 (en) * | 2005-12-14 | 2014-08-05 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
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