JPS6287749A - 運搬装置 - Google Patents
運搬装置Info
- Publication number
- JPS6287749A JPS6287749A JP22646685A JP22646685A JPS6287749A JP S6287749 A JPS6287749 A JP S6287749A JP 22646685 A JP22646685 A JP 22646685A JP 22646685 A JP22646685 A JP 22646685A JP S6287749 A JPS6287749 A JP S6287749A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air chamber
- clean air
- clean
- box
- article
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は塵埃の付着をさけなければならない物品の運搬
用装置に関するものである。
用装置に関するものである。
従来、清浄な状態で運ぶ必要のある物品を運搬するとき
は、清浄度を保った運搬箱内に入れて運んでいるが、そ
の運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入するとき、従来
は運搬箱に物品を入れたまま運搬箱を清浄空気室内に搬
入し、運搬箱の外面を清浄にした後、運搬箱を開けて物
品を取シ出している。また、近年は第3図に示す様に、
清浄空気室1の扉2を備えた開口部3と、運搬箱4の扉
5を備えた開口部6とを連結部7で連結し、外部の空間
と遮断した状態で扉2及び5を開き、物品8を移載する
ことも行なわれている。
は、清浄度を保った運搬箱内に入れて運んでいるが、そ
の運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入するとき、従来
は運搬箱に物品を入れたまま運搬箱を清浄空気室内に搬
入し、運搬箱の外面を清浄にした後、運搬箱を開けて物
品を取シ出している。また、近年は第3図に示す様に、
清浄空気室1の扉2を備えた開口部3と、運搬箱4の扉
5を備えた開口部6とを連結部7で連結し、外部の空間
と遮断した状態で扉2及び5を開き、物品8を移載する
ことも行なわれている。
上述した従来の運搬装置では、塵埃の付着した運搬箱を
清浄空気室に持込むことによって清浄空気室を汚染して
しまうことがあった。また第3図に示す運搬装置では扉
2と扉5及び連結部7で囲まれた閉空間内9の清浄でな
い空気中の塵埃が物品8や運搬箱4の内部に付着したシ
、清浄空気室1の内部に入るという欠点があった。
清浄空気室に持込むことによって清浄空気室を汚染して
しまうことがあった。また第3図に示す運搬装置では扉
2と扉5及び連結部7で囲まれた閉空間内9の清浄でな
い空気中の塵埃が物品8や運搬箱4の内部に付着したシ
、清浄空気室1の内部に入るという欠点があった。
本発明は前記問題点を解消し、運搬室から清浄空気室に
搬入する際に、物品に塵埃が付着するのを阻止する運搬
装置を提供するものである。
搬入する際に、物品に塵埃が付着するのを阻止する運搬
装置を提供するものである。
本発明は運搬箱に物品を収納したまま、これを清浄空気
室まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し
、運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置に
おいて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する
浄化処理機構を有することを特徴とする運搬装置である
。
室まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し
、運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置に
おいて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する
浄化処理機構を有することを特徴とする運搬装置である
。
次に、本発明の一実施例について、図面を参照して説明
する。
する。
第1図において、清浄空気室1の開口部3には扉2が備
えられ、運搬箱4の開口部6には扉5が設けられている
。清浄空気室lの開口部3に設けられた連結部7には、
清浄気体に置換する浄化処理機構lOが接続され、また
、連結部7の下部には空気の出口11が設けである。
えられ、運搬箱4の開口部6には扉5が設けられている
。清浄空気室lの開口部3に設けられた連結部7には、
清浄気体に置換する浄化処理機構lOが接続され、また
、連結部7の下部には空気の出口11が設けである。
本実施例において、物品8を運搬箱4と清浄空気室lの
間で移載する場合には、先ず、両扉2と5を閉じた状態
で運搬箱4を運搬し、連結部7によって運搬箱4の開口
部6と清浄空気室1の開口部3とを連結する。次に、浄
化処理機構10を作動させ扉2と扉5及び連結部7で囲
まれた空間9内の空気を空気の出口11から排出させて
、空間9内の雰囲気を清浄にする。しかる後に扉2と扉
5を開いて物品8を移載する。
間で移載する場合には、先ず、両扉2と5を閉じた状態
で運搬箱4を運搬し、連結部7によって運搬箱4の開口
部6と清浄空気室1の開口部3とを連結する。次に、浄
化処理機構10を作動させ扉2と扉5及び連結部7で囲
まれた空間9内の空気を空気の出口11から排出させて
、空間9内の雰囲気を清浄にする。しかる後に扉2と扉
5を開いて物品8を移載する。
第2図は、本発明の他の実施例の断面図である。
本実施例においては、連結部17は運搬箱4の開口部6
に設けられ、伸縮自在な構造になっている。
に設けられ、伸縮自在な構造になっている。
また、清浄空気室1の開口部3に設けられた扉2は全開
せずに一部を開けた状態で止まる様に制御可能になって
いる。本実施例では浄化処理機構10として、清浄空気
室1を利用している。すなわち、本実施例において、物
品8を運ぶ場合には、両扉2および5を閉じた状態で、
運搬箱4を両開口部3と6が向い合う位置に固定し、次
に連結部17を伸ばして開口部3に接続し、扉2を一部
開いて清浄空気室l内の空気を空間9内に流し込み、空
間9内の非清浄な空気を出口11から排出し、空間9内
の雰囲気を清浄にしだ後に1両扉2および5を開き、物
品8を清浄空気室1と運搬箱4の間で移載する。
せずに一部を開けた状態で止まる様に制御可能になって
いる。本実施例では浄化処理機構10として、清浄空気
室1を利用している。すなわち、本実施例において、物
品8を運ぶ場合には、両扉2および5を閉じた状態で、
運搬箱4を両開口部3と6が向い合う位置に固定し、次
に連結部17を伸ばして開口部3に接続し、扉2を一部
開いて清浄空気室l内の空気を空間9内に流し込み、空
間9内の非清浄な空気を出口11から排出し、空間9内
の雰囲気を清浄にしだ後に1両扉2および5を開き、物
品8を清浄空気室1と運搬箱4の間で移載する。
本発明の第1の実施例において、浄化処理機構10は空
気中の塵埃を取9除き空気を圧送する設備でもよいし、
清浄な乾燥空気または乾燥窒素を供給するパイプでも可
能なことは明らかである。また、第2の実施例において
、空間9内の空気を排出するために扉2を部分的に開い
たが、扉2の一部分に開閉可能な小扉を設けても良いし
、扉2とは別に清浄空気室1と空間9を結ぶ小扉を設け
ても良い。
気中の塵埃を取9除き空気を圧送する設備でもよいし、
清浄な乾燥空気または乾燥窒素を供給するパイプでも可
能なことは明らかである。また、第2の実施例において
、空間9内の空気を排出するために扉2を部分的に開い
たが、扉2の一部分に開閉可能な小扉を設けても良いし
、扉2とは別に清浄空気室1と空間9を結ぶ小扉を設け
ても良い。
以上説明したように本発明は清浄空気室と運搬箱との間
の空間の雰囲気を清浄にした後に物品を移載することに
よシ、清浄空気室や、運搬箱内部および物品を清浄に保
ったまま移載することができる効果を有するものである
。
の空間の雰囲気を清浄にした後に物品を移載することに
よシ、清浄空気室や、運搬箱内部および物品を清浄に保
ったまま移載することができる効果を有するものである
。
第1図は本発明の第1の実施例を示す断面図、第2図は
本発明の第2の実施例を示す断面図、第3図は従来の運
搬装置の断面図である。 1・・・清浄空気室、2・・・扉、3・・・開口部、4
・・・運搬箱、5・・・扉、6・・・開口部、7・・・
連結部、8・・・被搬送物、9・・・空間、lO・・・
浄化処理機構、11・・・出口。 第2図 第3図
本発明の第2の実施例を示す断面図、第3図は従来の運
搬装置の断面図である。 1・・・清浄空気室、2・・・扉、3・・・開口部、4
・・・運搬箱、5・・・扉、6・・・開口部、7・・・
連結部、8・・・被搬送物、9・・・空間、lO・・・
浄化処理機構、11・・・出口。 第2図 第3図
Claims (1)
- (1)運搬箱に物品を収納したまま、これを清浄空気室
まで搬送し、運搬箱と清浄空気室とを連結部で連通し、
運搬箱から清浄空気室内に物品を搬入する運搬装置にお
いて、前記連結部の内部空気を清浄な気体に置換する浄
化処理機構を有することを特徴とする運搬装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22646685A JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22646685A JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6287749A true JPS6287749A (ja) | 1987-04-22 |
Family
ID=16845537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22646685A Pending JPS6287749A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 運搬装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6287749A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH053240A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
US5713791A (en) * | 1995-04-06 | 1998-02-03 | Motorola, Inc. | Modular cleanroom conduit and method for its use |
JPH10241858A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置 |
US6543981B1 (en) * | 2001-03-30 | 2003-04-08 | Lam Research Corp. | Apparatus and method for creating an ultra-clean mini-environment through localized air flow augmentation |
US20070130738A1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22646685A patent/JPS6287749A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH053240A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
US5713791A (en) * | 1995-04-06 | 1998-02-03 | Motorola, Inc. | Modular cleanroom conduit and method for its use |
JPH10241858A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Tdk Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法および製造装置 |
US6543981B1 (en) * | 2001-03-30 | 2003-04-08 | Lam Research Corp. | Apparatus and method for creating an ultra-clean mini-environment through localized air flow augmentation |
US20070130738A1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-06-14 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
US8794896B2 (en) * | 2005-12-14 | 2014-08-05 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and zonal airflow generating unit |
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