JPS62801A - 形状測定機 - Google Patents
形状測定機Info
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- JPS62801A JPS62801A JP13943885A JP13943885A JPS62801A JP S62801 A JPS62801 A JP S62801A JP 13943885 A JP13943885 A JP 13943885A JP 13943885 A JP13943885 A JP 13943885A JP S62801 A JPS62801 A JP S62801A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring head
- setting table
- air bearing
- balance device
- head
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、形状を高精度に評価する形状測定機に関する
ものである。
ものである。
従来の技術
最近、高精度回転を必要とする軸受部には、空気軸受が
多用されるようになってきた。空気軸受は、回、転精度
は非常によいが、剛性が低いという欠点がある。しかし
、単に真円度等を測定する真円度測定機においては、剛
性の低さはただちに欠点にならない(気体軸受に関する
調査研究分科会報告、昭和47年)。この原理を第4図
を用いて説明する。第4図において、501は空気軸受
ハウジングで、給気管5o2.給気ノズル603を有し
ている。504は回転軸、506は回転軸504の上端
に取付けられた空気軸受上面テーブル、′606は回転
軸504の下端に取付けられた空気軸受下面テーブル、
507は自重Wの荷重である。なお、図中の記号、A−
ムは荷重507が存在しない場合の回転軸504の中心
線、B−Bは荷重607が置かれて角度αだけ傾いた場
合の回転軸504の中心線、Rは空気軸受上面テーブル
505の中心から荷重507までの設定半径、εは空気
軸受上面テーブル505面上の高さhにおける回転軸6
04の中心線入−AとB−Bの偏心量である。すなわち
、荷重507を空気軸受上面テーブル505上の一側に
乗せると、回転軸504の中心線B−Bはムー人に対し
て角度αだけ回転軸602の中心の点Oを中心として傾
き、回転軸504及びテーブルSO5,506を回転さ
せた場合、点0を中心に軸線B−Bはすりこぎ運動を行
なう。しかし、点0は動かないのでテーブル505は真
円運動を行なう。つまシ、真円運動そのものが重要な要
素である真円度測定機においては偏荷重は問題にならな
い。しかし、形状の絶対値を必要とする形状測定機にお
いては、偏心量εが問題となる。
多用されるようになってきた。空気軸受は、回、転精度
は非常によいが、剛性が低いという欠点がある。しかし
、単に真円度等を測定する真円度測定機においては、剛
性の低さはただちに欠点にならない(気体軸受に関する
調査研究分科会報告、昭和47年)。この原理を第4図
を用いて説明する。第4図において、501は空気軸受
ハウジングで、給気管5o2.給気ノズル603を有し
ている。504は回転軸、506は回転軸504の上端
に取付けられた空気軸受上面テーブル、′606は回転
軸504の下端に取付けられた空気軸受下面テーブル、
507は自重Wの荷重である。なお、図中の記号、A−
ムは荷重507が存在しない場合の回転軸504の中心
線、B−Bは荷重607が置かれて角度αだけ傾いた場
合の回転軸504の中心線、Rは空気軸受上面テーブル
505の中心から荷重507までの設定半径、εは空気
軸受上面テーブル505面上の高さhにおける回転軸6
04の中心線入−AとB−Bの偏心量である。すなわち
、荷重507を空気軸受上面テーブル505上の一側に
乗せると、回転軸504の中心線B−Bはムー人に対し
て角度αだけ回転軸602の中心の点Oを中心として傾
き、回転軸504及びテーブルSO5,506を回転さ
せた場合、点0を中心に軸線B−Bはすりこぎ運動を行
なう。しかし、点0は動かないのでテーブル505は真
円運動を行なう。つまシ、真円運動そのものが重要な要
素である真円度測定機においては偏荷重は問題にならな
い。しかし、形状の絶対値を必要とする形状測定機にお
いては、偏心量εが問題となる。
この問題点を従来の形状測定機を示す第5図を用いて説
明する。第6図において、601は空気軸受ハウジング
、602は回転軸、603は回転軸602の上端に取付
けられた空気軸受テーブル、604は空気軸受テーブル
603上に取り付けられた測定ヘッド設定テーブルであ
る。606は測定ヘッド設定テーブル804上で直線運
動を行なうことができ、任意の位置Hに設定可能な測定
ヘッドで、このときRを設定半径と称す。このような構
成において、測定ヘッドeo5の設定半径Rが大となる
と、それに応じて測定ヘッド設定テーブル604が点O
を中心に角度αだけ傾く。この状態で、測定ヘッド60
5は真円運動を行なうことができる。形状測定機の場合
、真円運動が問題になるのは言うまでもないが、そのと
きの測定ヘッド606の回転半径の絶対量も重要である
。この場合、測定ヘッドeosの回転半径はCε+RO
Bα)=(ε+R)となる。すなわちαは十分に小さい
ので、部α=1となり、設定半径Rよりεだけ大きくな
ることになる。測定ヘッド606の重量は変化しないの
で、偏心量εは設定半径Rのみの関数となる。そこで、
従来においては、測定精度を上げるために実験的に偏心
量εと設定半径Hの関係を求め、測定後、補正するとい
う方法を採っていた。
明する。第6図において、601は空気軸受ハウジング
、602は回転軸、603は回転軸602の上端に取付
けられた空気軸受テーブル、604は空気軸受テーブル
603上に取り付けられた測定ヘッド設定テーブルであ
る。606は測定ヘッド設定テーブル804上で直線運
動を行なうことができ、任意の位置Hに設定可能な測定
ヘッドで、このときRを設定半径と称す。このような構
成において、測定ヘッドeo5の設定半径Rが大となる
と、それに応じて測定ヘッド設定テーブル604が点O
を中心に角度αだけ傾く。この状態で、測定ヘッド60
5は真円運動を行なうことができる。形状測定機の場合
、真円運動が問題になるのは言うまでもないが、そのと
きの測定ヘッド606の回転半径の絶対量も重要である
。この場合、測定ヘッドeosの回転半径はCε+RO
Bα)=(ε+R)となる。すなわちαは十分に小さい
ので、部α=1となり、設定半径Rよりεだけ大きくな
ることになる。測定ヘッド606の重量は変化しないの
で、偏心量εは設定半径Rのみの関数となる。そこで、
従来においては、測定精度を上げるために実験的に偏心
量εと設定半径Hの関係を求め、測定後、補正するとい
う方法を採っていた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、以上のような従来例の構成では、・測定データ
の補正が面倒であシ、データ処理に時間を要し、まだ偏
心量εと設定半径Hの関係式の再現性及び信頼性に問題
があった。
の補正が面倒であシ、データ処理に時間を要し、まだ偏
心量εと設定半径Hの関係式の再現性及び信頼性に問題
があった。
そこで、本発明は、最終的なデータ補正に要する手間を
省略することができ、また偏心量と設定半径の関係式の
再現性及び信頼性を向上させることができるようにした
形状測定機を提供しようとするものである。
省略することができ、また偏心量と設定半径の関係式の
再現性及び信頼性を向上させることができるようにした
形状測定機を提供しようとするものである。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決するための本発明の技術的手段
は、空気軸受と、この空気軸受に支持された回転軸と、
この回転軸に取付けられた測定ヘッド設定テーブルと、
この測定ヘッド設定テーブル上で、上記空気軸受の半径
方向に移動可能に設けられた測定ヘッドと、この測定ヘ
ッドの移動に伴い生ずる偏荷重を相殺するためのバラン
ス装置を具備したものである。
は、空気軸受と、この空気軸受に支持された回転軸と、
この回転軸に取付けられた測定ヘッド設定テーブルと、
この測定ヘッド設定テーブル上で、上記空気軸受の半径
方向に移動可能に設けられた測定ヘッドと、この測定ヘ
ッドの移動に伴い生ずる偏荷重を相殺するためのバラン
ス装置を具備したものである。
作用
上記技術的手段による作用は次のようになる。
即ち、測定ヘッドが測定ヘッド設定テーブル上で移動す
ると、その偏荷重によシ測定ヘッド設定テーブルが傾こ
うとするが、この偏荷重をバランス装置により相殺する
ことができる。従ってデータ補正を不要とすることがで
きる。
ると、その偏荷重によシ測定ヘッド設定テーブルが傾こ
うとするが、この偏荷重をバランス装置により相殺する
ことができる。従ってデータ補正を不要とすることがで
きる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
先ず本発明の第1実施例を第1図の一部破断側面図によ
シ説明する。第1図において、1o1は空気軸受、10
2は回転軸、103は回転軸102の上端に取付けられ
た空気軸受テーブル、104は空気軸受テーブル103
上に取付けられ、内部を両側において外部に開放した枠
状の測定ヘッド設定テーブルである。105は測定ヘッ
ドで、測定ヘッド設定テーブル104の上面を空気軸受
1010半径方向に直線運動可能に設けられている。1
06はカウンターウェイトで、測定ヘッド105と連結
索107により連結され、測定ヘッド設定テーブル10
4内部を移動する。
シ説明する。第1図において、1o1は空気軸受、10
2は回転軸、103は回転軸102の上端に取付けられ
た空気軸受テーブル、104は空気軸受テーブル103
上に取付けられ、内部を両側において外部に開放した枠
状の測定ヘッド設定テーブルである。105は測定ヘッ
ドで、測定ヘッド設定テーブル104の上面を空気軸受
1010半径方向に直線運動可能に設けられている。1
06はカウンターウェイトで、測定ヘッド105と連結
索107により連結され、測定ヘッド設定テーブル10
4内部を移動する。
108は測定ヘッド設定テーブルI Q41C支持され
た°転動体で、連結索107の移動を案内すると共にそ
の方向を変換するようになっている。上記カウンターウ
ェイト106、連結索107及び転動体108によシバ
ランス装置が構成され七いる。
た°転動体で、連結索107の移動を案内すると共にそ
の方向を変換するようになっている。上記カウンターウ
ェイト106、連結索107及び転動体108によシバ
ランス装置が構成され七いる。
次に上記第1実施例の動作について説明する。
バランス装置のカウンターウェイト108は測定ヘッド
105と連動し、常に偏荷重を相殺する位置関係にある
ため、空気軸受101には偏荷重は加わら々い。このよ
うにバランス装置を用いることにより測定ヘッド105
を任意の位置に設定しても、それによる偏荷重は常にカ
ウンターウェイ)106により相殺され、測定ヘッド設
定テーブル104は傾かない。従って測定ヘッド105
の設定半径Rは変化しな込ので、設定半径Rの変化によ
る補正は必要なくなる。当然、実験式による補正が不必
要であるので、再現性、信頼性も向上する。
105と連動し、常に偏荷重を相殺する位置関係にある
ため、空気軸受101には偏荷重は加わら々い。このよ
うにバランス装置を用いることにより測定ヘッド105
を任意の位置に設定しても、それによる偏荷重は常にカ
ウンターウェイ)106により相殺され、測定ヘッド設
定テーブル104は傾かない。従って測定ヘッド105
の設定半径Rは変化しな込ので、設定半径Rの変化によ
る補正は必要なくなる。当然、実験式による補正が不必
要であるので、再現性、信頼性も向上する。
次に本発明の第2実施例を第2図の一部破断側面図によ
シ説明する。第2図において、2o1は空気軸受、20
2は回転軸、203は回転軸202の上端に取付けられ
た空気軸受テーブルである。
シ説明する。第2図において、2o1は空気軸受、20
2は回転軸、203は回転軸202の上端に取付けられ
た空気軸受テーブルである。
204は空気軸受テーブル203上に取付けられた測定
ヘッド設定テーブルで、両端に第1のタンク205と第
2のタンク206が取付けられ、これら測定ヘッド設定
テーブル204と第1.第2のタンク205.206は
中空状で連通されている。第1のタンク2055と第2
のタンク206内には同一種類の作動流体207が入れ
られている。
ヘッド設定テーブルで、両端に第1のタンク205と第
2のタンク206が取付けられ、これら測定ヘッド設定
テーブル204と第1.第2のタンク205.206は
中空状で連通されている。第1のタンク2055と第2
のタンク206内には同一種類の作動流体207が入れ
られている。
208はボンデで、測定ヘッド設定テーブル204の内
部又は外部に取付けられている(図示例では内部に取付
けられている)。209は第1のパイプで、一端がポン
プ208に連結され、他端が第1のタンク205の底部
に導かれている。210は第2のパイプで、一端がポン
プ208に連結され、他端が第2のタンク206の底部
に導かれている。従って第1のタンク20S内の作動流
体207及び第2のタンク206内の作動流体207は
ポンプ208の作動によって第1のパイプ209、第2
のパイプ21oを介して移動させることができる。21
1は測定ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル204上で
空気軸受2010半径方向°に直線運動可能に、且つ任
意の位置に位置決め可能忙設けられている。212は第
1のセンサー、213は第2のセンサーで、これら第1
のセンサー212、第2のセンサー213げ回斜齢爵称
侍晋マー州中ヘッド設定テーブル204の両端部下側に
配置され、測定ヘッド設定テーブル204との相対距離
を検出し、電圧信号として出方する。214は第1のセ
ンサー212の出力電圧と、第2のセンサー213の出
力電圧との差電圧をと9、増幅させる増幅器で、この増
幅器214の出方によりポンプ208を動作させること
ができる。上記第1のタンク20!、第2のタンク20
6及びそれらの内部に封入された作動流体207、第1
のパイプ209、第2のパイプ210、ポンプ208、
第1のセンサ212、第2のセンサ213、増幅器21
4によシバランス装置が構成されている。
部又は外部に取付けられている(図示例では内部に取付
けられている)。209は第1のパイプで、一端がポン
プ208に連結され、他端が第1のタンク205の底部
に導かれている。210は第2のパイプで、一端がポン
プ208に連結され、他端が第2のタンク206の底部
に導かれている。従って第1のタンク20S内の作動流
体207及び第2のタンク206内の作動流体207は
ポンプ208の作動によって第1のパイプ209、第2
のパイプ21oを介して移動させることができる。21
1は測定ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル204上で
空気軸受2010半径方向°に直線運動可能に、且つ任
意の位置に位置決め可能忙設けられている。212は第
1のセンサー、213は第2のセンサーで、これら第1
のセンサー212、第2のセンサー213げ回斜齢爵称
侍晋マー州中ヘッド設定テーブル204の両端部下側に
配置され、測定ヘッド設定テーブル204との相対距離
を検出し、電圧信号として出方する。214は第1のセ
ンサー212の出力電圧と、第2のセンサー213の出
力電圧との差電圧をと9、増幅させる増幅器で、この増
幅器214の出方によりポンプ208を動作させること
ができる。上記第1のタンク20!、第2のタンク20
6及びそれらの内部に封入された作動流体207、第1
のパイプ209、第2のパイプ210、ポンプ208、
第1のセンサ212、第2のセンサ213、増幅器21
4によシバランス装置が構成されている。
次に上記第2実施例の動作について説明する。
測定ヘッド210を成る設定半径Hに設定すると、その
偏荷重によシ上記従来例と同様に測定ヘッド設定テーブ
ル204が傾く、この測定ヘッド設定テーブル204の
傾き量は、バランス装置における第1のセンサ212の
出力電圧と第2のセンサ213の出力電圧の差電圧と等
価であるから、その信号を増幅器214により増幅して
ポンプ208を作動させ、第1のタンク209内の作動
流体20了の量と第2のタンク206内の作動流体20
7の量を制御し、増幅器214からの信号が零になるよ
うにする。つまり測定ヘッド211を設定したことによ
シ生じた偏荷重を第1のタンク205内の作動流体20
7の量と、第2のタンク206内の作動流体207の量
を調整することによシ偏荷重を相殺し、空気軸受201
に偏荷重が加わらないようにすることができる。従って
測定ヘッド211の設定半径Hの変化による補正は必要
なくなり、実験式による補正が不必要であるので、再現
性、信頼性も向上する。
偏荷重によシ上記従来例と同様に測定ヘッド設定テーブ
ル204が傾く、この測定ヘッド設定テーブル204の
傾き量は、バランス装置における第1のセンサ212の
出力電圧と第2のセンサ213の出力電圧の差電圧と等
価であるから、その信号を増幅器214により増幅して
ポンプ208を作動させ、第1のタンク209内の作動
流体20了の量と第2のタンク206内の作動流体20
7の量を制御し、増幅器214からの信号が零になるよ
うにする。つまり測定ヘッド211を設定したことによ
シ生じた偏荷重を第1のタンク205内の作動流体20
7の量と、第2のタンク206内の作動流体207の量
を調整することによシ偏荷重を相殺し、空気軸受201
に偏荷重が加わらないようにすることができる。従って
測定ヘッド211の設定半径Hの変化による補正は必要
なくなり、実験式による補正が不必要であるので、再現
性、信頼性も向上する。
次に本発明の第3実施例を第3図の側面図により説明す
る。第3図において、301は空気軸受、302は回転
軸、303は回転軸302の上端に取付けられた空気軸
受テーブル、304は空気軸受テーブル303上に取付
けられた測定ヘッド設定テーブルである。306は測定
ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル304上で空気軸受
301の半径方向に直線運動可能に、且つ任意位置決め
可能に設けられている。306は測定ヘッド設定テーブ
ル304の一端又は両端に取り付けられた受は皿、30
7は受は皿306上に載せられた重シである。308は
第1のセンサー、309は第2のセンサーで、第1のセ
ンサー308、第2のセンサー309は回転軸対称位置
で測定ヘッド設定テーブル204の両端部下側に配置さ
れ、測定ヘッド設定テーブル304との相対距離を検出
し、電圧信号として出力する。310は第1のセンサー
3o8の出力電圧と、第2のセンサー309の出力電圧
との差電圧を増幅する増幅器、311は増幅器310に
よシ増幅された電圧を表示する表示部である。上記受は
皿306、重pso7、第1のセンサー308、第2の
センサー309、増幅器31o1表示部311によりバ
ランス装置が構成されている。
る。第3図において、301は空気軸受、302は回転
軸、303は回転軸302の上端に取付けられた空気軸
受テーブル、304は空気軸受テーブル303上に取付
けられた測定ヘッド設定テーブルである。306は測定
ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル304上で空気軸受
301の半径方向に直線運動可能に、且つ任意位置決め
可能に設けられている。306は測定ヘッド設定テーブ
ル304の一端又は両端に取り付けられた受は皿、30
7は受は皿306上に載せられた重シである。308は
第1のセンサー、309は第2のセンサーで、第1のセ
ンサー308、第2のセンサー309は回転軸対称位置
で測定ヘッド設定テーブル204の両端部下側に配置さ
れ、測定ヘッド設定テーブル304との相対距離を検出
し、電圧信号として出力する。310は第1のセンサー
3o8の出力電圧と、第2のセンサー309の出力電圧
との差電圧を増幅する増幅器、311は増幅器310に
よシ増幅された電圧を表示する表示部である。上記受は
皿306、重pso7、第1のセンサー308、第2の
センサー309、増幅器31o1表示部311によりバ
ランス装置が構成されている。
次に上記第3実施例の動作について説明する。
測定ヘッド305を成る設定半径Rに設定するとその偏
荷重により測定ヘッド設定テーブル304が傾く。この
測定ヘッド設定テーブル304の傾き量は、バランス装
置における第1のセンサー308と第2のセンサー30
9の出力電圧の差電圧と等価であるから、その信号を増
幅器310により増幅して表示部311に表示する。而
して表示部311の表示値が零になるように受は皿30
6に重り307を載せることにより、空気軸受301に
偏荷重が加わらないようにしたものである。
荷重により測定ヘッド設定テーブル304が傾く。この
測定ヘッド設定テーブル304の傾き量は、バランス装
置における第1のセンサー308と第2のセンサー30
9の出力電圧の差電圧と等価であるから、その信号を増
幅器310により増幅して表示部311に表示する。而
して表示部311の表示値が零になるように受は皿30
6に重り307を載せることにより、空気軸受301に
偏荷重が加わらないようにしたものである。
従って測定ヘッド305の設定半径Rの変化による補正
は必要なくなシ、実験式による補正が不必要であるので
、再現性、信頼性も向上する。
は必要なくなシ、実験式による補正が不必要であるので
、再現性、信頼性も向上する。
発明の効果
以上のように本発明によれば、偏荷重に対して剛性が強
くない空気軸受を用い、測定ヘッドの移動による偏荷重
をバランス装置によシ相殺させるようにしている。従っ
て測定ヘッドの設定半径の変化による最終的なデータ補
正の手間を省略することができ、再現性及び信頼性を向
上させることができる。
くない空気軸受を用い、測定ヘッドの移動による偏荷重
をバランス装置によシ相殺させるようにしている。従っ
て測定ヘッドの設定半径の変化による最終的なデータ補
正の手間を省略することができ、再現性及び信頼性を向
上させることができる。
第1図は本発明の第1実施例における形状測定機を示す
側面図、第2図は同測定機の第2実施例を示す側面図、
第3図は同測定機の第3実施例を示す側面図、第4図は
本発明の空気軸受の原理説明用の断面図、第6図は従来
の形状測定機の主要部の一部破断概略側面図である。 101.201.301・・・・・・空気軸受、104
゜204.304・・・・・・測定ヘッド設定テーブル
、105.211,305・・・・・・測定ヘッド、1
06・・・・・・カウンターウェイト、107・・・・
・・連結索、108・・・・・・転動体、205・・・
・・・第1のタンク、206・・・・・・第2のタンク
、207・・・・・・作動流体、208・・・・・・ポ
ンプ、209・・・・・・第1のパイプ、210・・・
・・・第2のパイプ、212,308・・・・−・第1
のセンサー、213,309・・・・・・第2のセンサ
ー、214.3IQ・・・・・・増幅器、307・・・
・・・重シ、311・・・・・・表示部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 113ffil
側面図、第2図は同測定機の第2実施例を示す側面図、
第3図は同測定機の第3実施例を示す側面図、第4図は
本発明の空気軸受の原理説明用の断面図、第6図は従来
の形状測定機の主要部の一部破断概略側面図である。 101.201.301・・・・・・空気軸受、104
゜204.304・・・・・・測定ヘッド設定テーブル
、105.211,305・・・・・・測定ヘッド、1
06・・・・・・カウンターウェイト、107・・・・
・・連結索、108・・・・・・転動体、205・・・
・・・第1のタンク、206・・・・・・第2のタンク
、207・・・・・・作動流体、208・・・・・・ポ
ンプ、209・・・・・・第1のパイプ、210・・・
・・・第2のパイプ、212,308・・・・−・第1
のセンサー、213,309・・・・・・第2のセンサ
ー、214.3IQ・・・・・・増幅器、307・・・
・・・重シ、311・・・・・・表示部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 113ffil
Claims (4)
- (1)空気軸受と、この空気軸受に支持された回転軸と
、この回転軸に取付けられた測定ヘッド設定テーブルと
、この測定ヘッド設定テーブル上で、上記空気軸受の半
径方向に移動可能に設けられた測定ヘッドと、この測定
ヘッドの移動に伴い生ずる偏荷重を相殺するためのバラ
ンス装置を具備したことを特徴とする形状測定機。 - (2)バランス装置がカウンターウェイトと、前記カウ
ンターウェイトと測定ヘッドとを連結する連結索と、こ
の連結索の方向を変換する転動体とからなる特許請求の
範囲第1項記載の形状測定機。 - (3)バランス装置が測定ヘッド設定テーブルの両端に
互いに連通する第1及び第2のタンクと、これら第1及
び第2のタンク間を移動し得る流体と、測定ヘッド設定
テーブルの傾きを検出するための第1及び第2のセンサ
ーと、第1及び第2のセンサーの出力電圧の差電圧を発
生させる増幅器と、上記差電圧で作動し、第1及び第2
のタンク内の流体を移動させるポンプとからなる特許請
求の範囲第1項記載の形状測定機。 - (4)バランス装置が測定ヘッド設定テーブルの傾きを
検出するための第1及び第2のセンサーと、第1及び第
2のセンサーの出力電圧の差電圧を発生させる増幅器と
、上記差電圧を表示する表示部と、表示電圧が零になる
よう上記測定ヘッド設定テーブル上に載せる重りとから
なる特許請求の範囲第1項記載の形状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13943885A JPS62801A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13943885A JPS62801A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 形状測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62801A true JPS62801A (ja) | 1987-01-06 |
Family
ID=15245197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13943885A Pending JPS62801A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 形状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62801A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326786A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nippei Toyama Corp | 機械の旋回運動精度測定装置 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13943885A patent/JPS62801A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326786A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nippei Toyama Corp | 機械の旋回運動精度測定装置 |
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