JPS62801A - Shape measuring machine - Google Patents
Shape measuring machineInfo
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- JPS62801A JPS62801A JP13943885A JP13943885A JPS62801A JP S62801 A JPS62801 A JP S62801A JP 13943885 A JP13943885 A JP 13943885A JP 13943885 A JP13943885 A JP 13943885A JP S62801 A JPS62801 A JP S62801A
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- measuring head
- setting table
- air bearing
- balance device
- head
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、形状を高精度に評価する形状測定機に関する
ものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a shape measuring machine that evaluates shapes with high precision.
従来の技術
最近、高精度回転を必要とする軸受部には、空気軸受が
多用されるようになってきた。空気軸受は、回、転精度
は非常によいが、剛性が低いという欠点がある。しかし
、単に真円度等を測定する真円度測定機においては、剛
性の低さはただちに欠点にならない（気体軸受に関する
調査研究分科会報告、昭和４７年）。この原理を第４図
を用いて説明する。第４図において、５０１は空気軸受
ハウジングで、給気管５ｏ２．給気ノズル６０３を有し
ている。５０４は回転軸、５０６は回転軸５０４の上端
に取付けられた空気軸受上面テーブル、′６０６は回転
軸５０４の下端に取付けられた空気軸受下面テーブル、
５０７は自重Ｗの荷重である。なお、図中の記号、Ａ−
ムは荷重５０７が存在しない場合の回転軸５０４の中心
線、Ｂ−Ｂは荷重６０７が置かれて角度αだけ傾いた場
合の回転軸５０４の中心線、Ｒは空気軸受上面テーブル
５０５の中心から荷重５０７までの設定半径、εは空気
軸受上面テーブル５０５面上の高さｈにおける回転軸６
０４の中心線入−ＡとＢ−Ｂの偏心量である。すなわち
、荷重５０７を空気軸受上面テーブル５０５上の一側に
乗せると、回転軸５０４の中心線Ｂ−Ｂはムー人に対し
て角度αだけ回転軸６０２の中心の点Ｏを中心として傾
き、回転軸５０４及びテーブルＳＯ５，５０６を回転さ
せた場合、点０を中心に軸線Ｂ−Ｂはすりこぎ運動を行
なう。しかし、点０は動かないのでテーブル５０５は真
円運動を行なう。つまシ、真円運動そのものが重要な要
素である真円度測定機においては偏荷重は問題にならな
い。しかし、形状の絶対値を必要とする形状測定機にお
いては、偏心量εが問題となる。BACKGROUND OF THE INVENTION Recently, air bearings have come into widespread use in bearings that require high-precision rotation. Air bearings have very good rotational accuracy, but have the disadvantage of low rigidity. However, in a roundness measuring machine that simply measures roundness, etc., low rigidity is not immediately a drawback (Report of the Research Subcommittee on Gas Bearings, 1972). This principle will be explained using FIG. 4. In FIG. 4, 501 is an air bearing housing, and air supply pipes 5o2. It has an air supply nozzle 603. 504 is a rotating shaft, 506 is an air bearing upper table attached to the upper end of the rotating shaft 504, '606 is an air bearing lower table attached to the lower end of the rotating shaft 504,
507 is the load of own weight W. In addition, the symbol in the figure, A-
R is the center line of the rotating shaft 504 when the load 507 is not present, B-B is the center line of the rotating shaft 504 when the load 607 is placed and tilted by an angle α, and R is the center line from the center of the air bearing top table 505. The set radius up to the load 507, ε is the rotation axis 6 at the height h above the air bearing upper table 505 surface.
This is the amount of eccentricity between the center line entrances -A and BB of 04. That is, when a load 507 is placed on one side of the air bearing upper table 505, the center line B-B of the rotating shaft 504 is tilted about the center point O of the rotating shaft 602 by an angle α with respect to the Mu person, and the rotation When the shaft 504 and the tables SO5, 506 are rotated, the axis B-B performs a precession motion about point 0. However, since point 0 does not move, table 505 performs a perfect circular motion. Unbalanced loads are not a problem in roundness measuring machines where the circular movement itself is an important element. However, in a shape measuring machine that requires the absolute value of the shape, the amount of eccentricity ε poses a problem.
この問題点を従来の形状測定機を示す第５図を用いて説
明する。第６図において、６０１は空気軸受ハウジング
、６０２は回転軸、６０３は回転軸６０２の上端に取付
けられた空気軸受テーブル、６０４は空気軸受テーブル
６０３上に取り付けられた測定ヘッド設定テーブルであ
る。６０６は測定ヘッド設定テーブル８０４上で直線運
動を行なうことができ、任意の位置Ｈに設定可能な測定
ヘッドで、このときＲを設定半径と称す。このような構
成において、測定ヘッドｅｏ５の設定半径Ｒが大となる
と、それに応じて測定ヘッド設定テーブル６０４が点Ｏ
を中心に角度αだけ傾く。この状態で、測定ヘッド６０
５は真円運動を行なうことができる。形状測定機の場合
、真円運動が問題になるのは言うまでもないが、そのと
きの測定ヘッド６０６の回転半径の絶対量も重要である
。この場合、測定ヘッドｅｏｓの回転半径はＣε＋ＲＯ
Ｂα）＝（ε＋Ｒ）となる。すなわちαは十分に小さい
ので、部α＝１となり、設定半径Ｒよりεだけ大きくな
ることになる。測定ヘッド６０６の重量は変化しないの
で、偏心量εは設定半径Ｒのみの関数となる。そこで、
従来においては、測定精度を上げるために実験的に偏心
量εと設定半径Ｈの関係を求め、測定後、補正するとい
う方法を採っていた。This problem will be explained using FIG. 5, which shows a conventional shape measuring machine. In FIG. 6, 601 is an air bearing housing, 602 is a rotating shaft, 603 is an air bearing table attached to the upper end of the rotating shaft 602, and 604 is a measurement head setting table attached on the air bearing table 603. Reference numeral 606 denotes a measurement head that can perform linear movement on the measurement head setting table 804 and can be set to any position H, where R is referred to as a setting radius. In such a configuration, when the setting radius R of the measuring head eo5 becomes large, the measuring head setting table 604 changes to a point O according to the large setting radius R of the measuring head eo5.
Tilt by angle α around . In this state, the measuring head 60
5 can perform perfect circular motion. In the case of a shape measuring machine, it goes without saying that circular motion is a problem, but the absolute amount of the rotation radius of the measuring head 606 at that time is also important. In this case, the radius of rotation of the measuring head eos is Cε+RO
Bα)=(ε+R). That is, since α is sufficiently small, the part α=1, which means that the radius is larger than the set radius R by ε. Since the weight of the measuring head 606 does not change, the eccentricity ε is a function only of the set radius R. Therefore,
Conventionally, in order to improve measurement accuracy, a method has been adopted in which the relationship between the eccentricity ε and the set radius H is experimentally determined and corrected after the measurement.
発明が解決しようとする問題点
しかし、以上のような従来例の構成では、・測定データ
の補正が面倒であシ、データ処理に時間を要し、まだ偏
心量εと設定半径Ｈの関係式の再現性及び信頼性に問題
があった。Problems to be Solved by the Invention However, in the conventional configuration as described above, correction of measurement data is troublesome, data processing takes time, and the relational expression between eccentricity ε and set radius H is still difficult to correct. There were problems with reproducibility and reliability.
そこで、本発明は、最終的なデータ補正に要する手間を
省略することができ、また偏心量と設定半径の関係式の
再現性及び信頼性を向上させることができるようにした
形状測定機を提供しようとするものである。Therefore, the present invention provides a shape measuring machine that can omit the effort required for final data correction and improve the reproducibility and reliability of the relational expression between eccentricity and set radius. This is what I am trying to do.
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決するための本発明の技術的手段
は、空気軸受と、この空気軸受に支持された回転軸と、
この回転軸に取付けられた測定ヘッド設定テーブルと、
この測定ヘッド設定テーブル上で、上記空気軸受の半径
方向に移動可能に設けられた測定ヘッドと、この測定ヘ
ッドの移動に伴い生ずる偏荷重を相殺するためのバラン
ス装置を具備したものである。Means for solving the problems and technical means of the present invention for solving the above problems include an air bearing, a rotating shaft supported by the air bearing,
A measuring head setting table attached to this rotating shaft,
The measuring head is equipped with a measuring head that is movable in the radial direction of the air bearing on the measuring head setting table, and a balance device for offsetting the unbalanced load that occurs as the measuring head moves.
作用 上記技術的手段による作用は次のようになる。action The effects of the above technical means are as follows.
即ち、測定ヘッドが測定ヘッド設定テーブル上で移動す
ると、その偏荷重によシ測定ヘッド設定テーブルが傾こ
うとするが、この偏荷重をバランス装置により相殺する
ことができる。従ってデータ補正を不要とすることがで
きる。That is, when the measuring head moves on the measuring head setting table, the measuring head setting table tends to tilt due to the unbalanced load, but this unbalanced load can be offset by the balance device. Therefore, data correction can be made unnecessary.
実施例 以下、本発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。Example Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
先ず本発明の第１実施例を第１図の一部破断側面図によ
シ説明する。第１図において、１ｏ１は空気軸受、１０
２は回転軸、１０３は回転軸１０２の上端に取付けられ
た空気軸受テーブル、１０４は空気軸受テーブル１０３
上に取付けられ、内部を両側において外部に開放した枠
状の測定ヘッド設定テーブルである。１０５は測定ヘッ
ドで、測定ヘッド設定テーブル１０４の上面を空気軸受
１０１０半径方向に直線運動可能に設けられている。１
０６はカウンターウェイトで、測定ヘッド１０５と連結
索１０７により連結され、測定ヘッド設定テーブル１０
４内部を移動する。First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to a partially cutaway side view of FIG. In Figure 1, 1o1 is an air bearing, 10
2 is a rotating shaft, 103 is an air bearing table attached to the upper end of the rotating shaft 102, and 104 is an air bearing table 103
This is a frame-shaped measurement head setting table that is attached to the top and has an interior open to the outside on both sides. Reference numeral 105 denotes a measuring head, which is provided so as to be able to move linearly in the radial direction on an air bearing 1010 on the upper surface of the measuring head setting table 104. 1
06 is a counterweight, which is connected to the measuring head 105 by a connecting cable 107, and is connected to the measuring head setting table 10.
4 Move inside.
１０８は測定ヘッド設定テーブルＩ Ｑ４１Ｃ支持され
た°転動体で、連結索１０７の移動を案内すると共にそ
の方向を変換するようになっている。上記カウンターウ
ェイト１０６、連結索１０７及び転動体１０８によシバ
ランス装置が構成され七いる。Reference numeral 108 denotes a rolling element supported by the measurement head setting table IQ41C, which guides the movement of the connecting cable 107 and changes its direction. The counterweight 106, the connecting cable 107, and the rolling element 108 constitute a balance device.
次に上記第１実施例の動作について説明する。Next, the operation of the first embodiment will be explained.
バランス装置のカウンターウェイト１０８は測定ヘッド
１０５と連動し、常に偏荷重を相殺する位置関係にある
ため、空気軸受１０１には偏荷重は加わら々い。このよ
うにバランス装置を用いることにより測定ヘッド１０５
を任意の位置に設定しても、それによる偏荷重は常にカ
ウンターウェイ）１０６により相殺され、測定ヘッド設
定テーブル１０４は傾かない。従って測定ヘッド１０５
の設定半径Ｒは変化しな込ので、設定半径Ｒの変化によ
る補正は必要なくなる。当然、実験式による補正が不必
要であるので、再現性、信頼性も向上する。The counterweight 108 of the balance device is interlocked with the measuring head 105 and is in a positional relationship that always cancels out unbalanced loads, so that no unbalanced loads are applied to the air bearing 101. By using the balance device in this way, the measuring head 105
Even if set to an arbitrary position, the unbalanced load caused by this is always offset by the counterway 106, and the measuring head setting table 104 does not tilt. Therefore measuring head 105
Since the set radius R does not change, correction due to the change in the set radius R is no longer necessary. Naturally, since correction using an experimental formula is unnecessary, reproducibility and reliability are also improved.
次に本発明の第２実施例を第２図の一部破断側面図によ
シ説明する。第２図において、２ｏ１は空気軸受、２０
２は回転軸、２０３は回転軸２０２の上端に取付けられ
た空気軸受テーブルである。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to a partially cutaway side view of FIG. In Figure 2, 2o1 is an air bearing, 20
2 is a rotating shaft, and 203 is an air bearing table attached to the upper end of the rotating shaft 202.
２０４は空気軸受テーブル２０３上に取付けられた測定
ヘッド設定テーブルで、両端に第１のタンク２０５と第
２のタンク２０６が取付けられ、これら測定ヘッド設定
テーブル２０４と第１．第２のタンク２０５．２０６は
中空状で連通されている。第１のタンク２０５５と第２
のタンク２０６内には同一種類の作動流体２０７が入れ
られている。204 is a measuring head setting table mounted on the air bearing table 203, and a first tank 205 and a second tank 206 are mounted on both ends of the measuring head setting table 204 and the first tank 206. The second tanks 205 and 206 are hollow and communicated with each other. First tank 2055 and second tank
The same type of working fluid 207 is contained in the tanks 206 of the two.
２０８はボンデで、測定ヘッド設定テーブル２０４の内
部又は外部に取付けられている（図示例では内部に取付
けられている）。２０９は第１のパイプで、一端がポン
プ２０８に連結され、他端が第１のタンク２０５の底部
に導かれている。２１０は第２のパイプで、一端がポン
プ２０８に連結され、他端が第２のタンク２０６の底部
に導かれている。従って第１のタンク２０Ｓ内の作動流
体２０７及び第２のタンク２０６内の作動流体２０７は
ポンプ２０８の作動によって第１のパイプ２０９、第２
のパイプ２１ｏを介して移動させることができる。２１
１は測定ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル２０４上で
空気軸受２０１０半径方向°に直線運動可能に、且つ任
意の位置に位置決め可能忙設けられている。２１２は第
１のセンサー、２１３は第２のセンサーで、これら第１
のセンサー２１２、第２のセンサー２１３げ回斜齢爵称
侍晋マー州中ヘッド設定テーブル２０４の両端部下側に
配置され、測定ヘッド設定テーブル２０４との相対距離
を検出し、電圧信号として出方する。２１４は第１のセ
ンサー２１２の出力電圧と、第２のセンサー２１３の出
力電圧との差電圧をと９、増幅させる増幅器で、この増
幅器２１４の出方によりポンプ２０８を動作させること
ができる。上記第１のタンク２０！、第２のタンク２０
６及びそれらの内部に封入された作動流体２０７、第１
のパイプ２０９、第２のパイプ２１０、ポンプ２０８、
第１のセンサ２１２、第２のセンサ２１３、増幅器２１
４によシバランス装置が構成されている。A bonder 208 is attached to the inside or outside of the measurement head setting table 204 (in the illustrated example, it is attached to the inside). A first pipe 209 is connected to the pump 208 at one end and led to the bottom of the first tank 205 at the other end. A second pipe 210 has one end connected to the pump 208 and the other end led to the bottom of the second tank 206. Therefore, the working fluid 207 in the first tank 20S and the working fluid 207 in the second tank 206 are transferred to the first pipe 209 and the second pipe by the operation of the pump 208.
can be moved through the pipe 21o. 21
Reference numeral 1 denotes a measuring head, which is installed on a measuring head setting table 204 so that it can move linearly in the radial direction on an air bearing 2010 and can be positioned at any position. 212 is a first sensor, 213 is a second sensor, and these first sensors
The second sensor 212 and the second sensor 213 are placed below both ends of the head setting table 204, and detect the relative distance to the measuring head setting table 204, and output it as a voltage signal. do. Reference numeral 214 denotes an amplifier that amplifies the difference voltage between the output voltage of the first sensor 212 and the output voltage of the second sensor 213 by 9. The pump 208 can be operated depending on the output of the amplifier 214. The first tank 20 above! , second tank 20
6 and the working fluid 207 sealed therein, the first
pipe 209, second pipe 210, pump 208,
First sensor 212, second sensor 213, amplifier 21
4 constitutes a balance device.
次に上記第２実施例の動作について説明する。Next, the operation of the second embodiment will be explained.
測定ヘッド２１０を成る設定半径Ｈに設定すると、その
偏荷重によシ上記従来例と同様に測定ヘッド設定テーブ
ル２０４が傾く、この測定ヘッド設定テーブル２０４の
傾き量は、バランス装置における第１のセンサ２１２の
出力電圧と第２のセンサ２１３の出力電圧の差電圧と等
価であるから、その信号を増幅器２１４により増幅して
ポンプ２０８を作動させ、第１のタンク２０９内の作動
流体２０了の量と第２のタンク２０６内の作動流体２０
７の量を制御し、増幅器２１４からの信号が零になるよ
うにする。つまり測定ヘッド２１１を設定したことによ
シ生じた偏荷重を第１のタンク２０５内の作動流体２０
７の量と、第２のタンク２０６内の作動流体２０７の量
を調整することによシ偏荷重を相殺し、空気軸受２０１
に偏荷重が加わらないようにすることができる。従って
測定ヘッド２１１の設定半径Ｈの変化による補正は必要
なくなり、実験式による補正が不必要であるので、再現
性、信頼性も向上する。When the measuring head 210 is set to a set radius H, the measuring head setting table 204 is tilted due to the unbalanced load, similar to the conventional example described above. Since the output voltage is equivalent to the difference voltage between the output voltage of sensor 212 and the output voltage of second sensor 213, the signal is amplified by amplifier 214 to operate pump 208, and the amount of working fluid 20 in first tank 209 is and working fluid 20 in second tank 206
7 so that the signal from amplifier 214 is zero. In other words, the uneven load caused by setting the measurement head 211 is transferred to the working fluid 20 in the first tank 205.
By adjusting the amount of the air bearing 201 and the amount of the working fluid 207 in the second tank 206, the unbalanced load can be offset.
It is possible to prevent unbalanced loads from being applied to the Therefore, there is no need for correction due to a change in the set radius H of the measurement head 211, and no correction based on an experimental formula is necessary, so that reproducibility and reliability are also improved.
次に本発明の第３実施例を第３図の側面図により説明す
る。第３図において、３０１は空気軸受、３０２は回転
軸、３０３は回転軸３０２の上端に取付けられた空気軸
受テーブル、３０４は空気軸受テーブル３０３上に取付
けられた測定ヘッド設定テーブルである。３０６は測定
ヘッドで、測定ヘッド設定テーブル３０４上で空気軸受
３０１の半径方向に直線運動可能に、且つ任意位置決め
可能に設けられている。３０６は測定ヘッド設定テーブ
ル３０４の一端又は両端に取り付けられた受は皿、３０
７は受は皿３０６上に載せられた重シである。３０８は
第１のセンサー、３０９は第２のセンサーで、第１のセ
ンサー３０８、第２のセンサー３０９は回転軸対称位置
で測定ヘッド設定テーブル２０４の両端部下側に配置さ
れ、測定ヘッド設定テーブル３０４との相対距離を検出
し、電圧信号として出力する。３１０は第１のセンサー
３ｏ８の出力電圧と、第２のセンサー３０９の出力電圧
との差電圧を増幅する増幅器、３１１は増幅器３１０に
よシ増幅された電圧を表示する表示部である。上記受は
皿３０６、重ｐｓｏ７、第１のセンサー３０８、第２の
センサー３０９、増幅器３１ｏ１表示部３１１によりバ
ランス装置が構成されている。Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the side view of FIG. In FIG. 3, 301 is an air bearing, 302 is a rotating shaft, 303 is an air bearing table attached to the upper end of the rotating shaft 302, and 304 is a measurement head setting table attached on the air bearing table 303. Reference numeral 306 denotes a measuring head, which is provided on the measuring head setting table 304 so that it can move linearly in the radial direction of the air bearing 301 and can be positioned at any desired position. 306 is a tray attached to one or both ends of the measurement head setting table 304;
7 is a heavy plate placed on a tray 306. Reference numeral 308 indicates a first sensor, and reference numeral 309 indicates a second sensor. Detects the relative distance to the sensor and outputs it as a voltage signal. 310 is an amplifier that amplifies the difference voltage between the output voltage of the first sensor 3o8 and the output voltage of the second sensor 309, and 311 is a display unit that displays the voltage amplified by the amplifier 310. In the above-mentioned receiver, a balance device is constituted by a plate 306, a heavy pso 7, a first sensor 308, a second sensor 309, an amplifier 31o1 and a display section 311.
次に上記第３実施例の動作について説明する。Next, the operation of the third embodiment will be explained.
測定ヘッド３０５を成る設定半径Ｒに設定するとその偏
荷重により測定ヘッド設定テーブル３０４が傾く。この
測定ヘッド設定テーブル３０４の傾き量は、バランス装
置における第１のセンサー３０８と第２のセンサー３０
９の出力電圧の差電圧と等価であるから、その信号を増
幅器３１０により増幅して表示部３１１に表示する。而
して表示部３１１の表示値が零になるように受は皿３０
６に重り３０７を載せることにより、空気軸受３０１に
偏荷重が加わらないようにしたものである。When the measuring head 305 is set to a set radius R, the measuring head setting table 304 is tilted due to the unbalanced load. The amount of inclination of this measurement head setting table 304 is determined by the amount of inclination between the first sensor 308 and the second sensor 30 in the balance device.
9, the signal is amplified by the amplifier 310 and displayed on the display section 311. Then, the receiver is adjusted to the plate 30 so that the displayed value on the display section 311 becomes zero.
By placing a weight 307 on the air bearing 301, an unbalanced load is prevented from being applied to the air bearing 301.
従って測定ヘッド３０５の設定半径Ｒの変化による補正
は必要なくなシ、実験式による補正が不必要であるので
、再現性、信頼性も向上する。Therefore, there is no need for correction due to a change in the set radius R of the measuring head 305, and no correction based on an experimental formula is necessary, so that reproducibility and reliability are also improved.
発明の効果
以上のように本発明によれば、偏荷重に対して剛性が強
くない空気軸受を用い、測定ヘッドの移動による偏荷重
をバランス装置によシ相殺させるようにしている。従っ
て測定ヘッドの設定半径の変化による最終的なデータ補
正の手間を省略することができ、再現性及び信頼性を向
上させることができる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, an air bearing whose rigidity is not strong against an unbalanced load is used, and the unbalanced load due to movement of the measuring head is offset by a balance device. Therefore, the effort of final data correction due to changes in the set radius of the measuring head can be omitted, and reproducibility and reliability can be improved.
第１図は本発明の第１実施例における形状測定機を示す
側面図、第２図は同測定機の第２実施例を示す側面図、
第３図は同測定機の第３実施例を示す側面図、第４図は
本発明の空気軸受の原理説明用の断面図、第６図は従来
の形状測定機の主要部の一部破断概略側面図である。
１０１．２０１．３０１・・・・・・空気軸受、１０４
゜２０４．３０４・・・・・・測定ヘッド設定テーブル
、１０５．２１１，３０５・・・・・・測定ヘッド、１
０６・・・・・・カウンターウェイト、１０７・・・・
・・連結索、１０８・・・・・・転動体、２０５・・・
・・・第１のタンク、２０６・・・・・・第２のタンク
、２０７・・・・・・作動流体、２０８・・・・・・ポ
ンプ、２０９・・・・・・第１のパイプ、２１０・・・
・・・第２のパイプ、２１２，３０８・・・・−・第１
のセンサー、２１３，３０９・・・・・・第２のセンサ
ー、２１４．３ＩＱ・・・・・・増幅器、３０７・・・
・・・重シ、３１１・・・・・・表示部。
代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
第２図
１１３ｆｆｉｌFIG. 1 is a side view showing a shape measuring machine according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view showing a second embodiment of the same measuring machine.
Fig. 3 is a side view showing the third embodiment of the same measuring machine, Fig. 4 is a sectional view for explaining the principle of the air bearing of the present invention, and Fig. 6 is a partially broken view of the main part of the conventional shape measuring machine. It is a schematic side view. 101.201.301...Air bearing, 104
゜204.304...Measuring head setting table, 105.211,305...Measuring head, 1
06...Counterweight, 107...
... Connecting rope, 108 ... Rolling element, 205 ...
...First tank, 206...Second tank, 207...Working fluid, 208...Pump, 209...First pipe , 210...
...Second pipe, 212,308...--First
sensor, 213,309...second sensor, 214.3IQ...amplifier, 307...
... Heavy, 311 ... Display section. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person No. 1
Figure 2 113ffil
Claims (4)
、この回転軸に取付けられた測定ヘッド設定テーブルと
、この測定ヘッド設定テーブル上で、上記空気軸受の半
径方向に移動可能に設けられた測定ヘッドと、この測定
ヘッドの移動に伴い生ずる偏荷重を相殺するためのバラ
ンス装置を具備したことを特徴とする形状測定機。(1) An air bearing, a rotating shaft supported by the air bearing, a measuring head setting table attached to the rotating shaft, and a measuring head setting table movable in the radial direction of the air bearing on the measuring head setting table. 1. A shape measuring machine characterized by comprising: a measuring head which has a fixed position, and a balance device for offsetting the unbalanced load caused by the movement of the measuring head.
ンターウェイトと測定ヘッドとを連結する連結索と、こ
の連結索の方向を変換する転動体とからなる特許請求の
範囲第１項記載の形状測定機。(2) The shape measuring machine according to claim 1, wherein the balance device comprises a counterweight, a connecting cable connecting the counterweight and the measuring head, and a rolling element that changes the direction of the connecting cable.
互いに連通する第１及び第２のタンクと、これら第１及
び第２のタンク間を移動し得る流体と、測定ヘッド設定
テーブルの傾きを検出するための第１及び第２のセンサ
ーと、第１及び第２のセンサーの出力電圧の差電圧を発
生させる増幅器と、上記差電圧で作動し、第１及び第２
のタンク内の流体を移動させるポンプとからなる特許請
求の範囲第１項記載の形状測定機。(3) A balance device detects the first and second tanks that communicate with each other at both ends of the measurement head setting table, the fluid that can move between these first and second tanks, and the inclination of the measurement head setting table. an amplifier for generating a voltage difference between the output voltages of the first and second sensors;
2. A shape measuring machine according to claim 1, comprising a pump for moving fluid in a tank.
検出するための第１及び第２のセンサーと、第１及び第
２のセンサーの出力電圧の差電圧を発生させる増幅器と
、上記差電圧を表示する表示部と、表示電圧が零になる
よう上記測定ヘッド設定テーブル上に載せる重りとから
なる特許請求の範囲第１項記載の形状測定機。(4) The balance device includes first and second sensors for detecting the inclination of the measurement head setting table, an amplifier that generates a voltage difference between the output voltages of the first and second sensors, and displays the voltage difference. 2. A shape measuring machine according to claim 1, comprising: a display section for displaying the measurement head; and a weight placed on the measuring head setting table so that the display voltage becomes zero.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13943885A JPS62801A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Shape measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13943885A JPS62801A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Shape measuring machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62801A true JPS62801A (en) | 1987-01-06 |
Family
ID=15245197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13943885A Pending JPS62801A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Shape measuring machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62801A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006326786A (en) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nippei Toyama Corp | Device for measuring rotary motion accuracy of machine |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13943885A patent/JPS62801A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006326786A (en) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nippei Toyama Corp | Device for measuring rotary motion accuracy of machine |
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