JPS6269456A - アルフア形電子エネルギフイルタ - Google Patents
アルフア形電子エネルギフイルタInfo
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- JPS6269456A JPS6269456A JP61214215A JP21421586A JPS6269456A JP S6269456 A JPS6269456 A JP S6269456A JP 61214215 A JP61214215 A JP 61214215A JP 21421586 A JP21421586 A JP 21421586A JP S6269456 A JPS6269456 A JP S6269456A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁界中に方向変換領域を有する結像磁気的電子
エネルギフィルタ、例えば電子顕微鏡用のものに関する
。
エネルギフィルタ、例えば電子顕微鏡用のものに関する
。
従来技術
結像電子エネルギフィルタ、(これは電子フィルタ、エ
ネルギフィルタ又は電子(エネルギ)スペクトロメータ
とも称される)は透過形電子顕tli?鏡において、所
定のエネルギ領域の電子の選択によシ被検対象物(物体
)結像のコントラストを改善する丸めに用いられる。こ
のことはほぼ100〜200 eVの領域にて選定され
たエネルギ損失(ΔE)を有するコントラストの付けら
れていない著しく薄いプレパラートの場合極めて明瞭で
ある。すべての非弾性散乱をした電子(jgン0)が排
除されるようにし弾性散乱をした電子(エネルギ損失=
0)のみによって形成される物体像(被検対象物像)も
、フィルタリング(濾光)されていない像に比してコン
トラストの点で著しく改善されている。
ネルギフィルタ又は電子(エネルギ)スペクトロメータ
とも称される)は透過形電子顕tli?鏡において、所
定のエネルギ領域の電子の選択によシ被検対象物(物体
)結像のコントラストを改善する丸めに用いられる。こ
のことはほぼ100〜200 eVの領域にて選定され
たエネルギ損失(ΔE)を有するコントラストの付けら
れていない著しく薄いプレパラートの場合極めて明瞭で
ある。すべての非弾性散乱をした電子(jgン0)が排
除されるようにし弾性散乱をした電子(エネルギ損失=
0)のみによって形成される物体像(被検対象物像)も
、フィルタリング(濾光)されていない像に比してコン
トラストの点で著しく改善されている。
結像電子フィルタ付透過形電子顕微鏡の別の重要な利点
は元素固有の物体結像、すなわち比較的大きな物体領域
の元素分布像を次のようにして形成できる、即ち電子フ
ィルタを通過したエネルギ領域が透過された電子と物体
との元素固有の相互作用、即ち電子殻におけるに、
L。
は元素固有の物体結像、すなわち比較的大きな物体領域
の元素分布像を次のようにして形成できる、即ち電子フ
ィルタを通過したエネルギ領域が透過された電子と物体
との元素固有の相互作用、即ち電子殻におけるに、
L。
M吸収に相応するようにするのである。それにより、元
素の定性的分布像、及びまた次のような定量的分布像即
ち強度比の測定に際して考慮さる−べき多かれ少なかれ
像全体に亘って公理するノイズの評価に際して(他の多
くの定葉的測定におけるように顕微鏡撮影に際して生じ
る結像誤差等の妨害要因により惹起されるノイズの評価
ないしB々cQ r oundの強度の除去に際して)
定量的分布像が、薄厚の物体(≦3Qnm)にて者しく
高い局部分解能(’50.5 nnl )及び極めて旨
い検出感度(#2.10−21.!i’ )で得られ、
このような高い分解能及び検出感度は他の分析技術によ
っては従来達成されなかったものである。
素の定性的分布像、及びまた次のような定量的分布像即
ち強度比の測定に際して考慮さる−べき多かれ少なかれ
像全体に亘って公理するノイズの評価に際して(他の多
くの定葉的測定におけるように顕微鏡撮影に際して生じ
る結像誤差等の妨害要因により惹起されるノイズの評価
ないしB々cQ r oundの強度の除去に際して)
定量的分布像が、薄厚の物体(≦3Qnm)にて者しく
高い局部分解能(’50.5 nnl )及び極めて旨
い検出感度(#2.10−21.!i’ )で得られ、
このような高い分解能及び検出感度は他の分析技術によ
っては従来達成されなかったものである。
元素の極めて高い局部分解能及び検出感度は生物学的、
医学的研究上のみならず、材料科学の上でも大きな重要
性がある。
医学的研究上のみならず、材料科学の上でも大きな重要
性がある。
電子回折ダイヤグラムの場合にも、非弾性散乱をした電
子の排除によって結像を行なう電子フィルタは回折像の
一層鮮鋭な像を生じさせる。
子の排除によって結像を行なう電子フィルタは回折像の
一層鮮鋭な像を生じさせる。
さらに所定エネルギ領域の非弾性散乱をした電子の回折
像を得る(検出する)こともできる。
像を得る(検出する)こともできる。
***特許明細書5g2028557号から公知の電子顕
微鏡によれば物体像又は回折ダイヤグラム像のフィルタ
リング(濾光)が可能である。
微鏡によれば物体像又は回折ダイヤグラム像のフィルタ
リング(濾光)が可能である。
その場合用いられる電子フィルタは磁気的プリズム(角
柱)と構成ミラーとから成る但し後者は外部障害フィー
ルげに対して影響を受けやすい。さらに電子に対する高
い加速直圧の際、絶縁上の問題が起こる。従って最近で
は純磁気的フィルタが賞用される。これらのエネルギフ
ィルタの場合、電子走行路(軌道)の経過に応じてアル
ファ及びオメガフィルタの区別がある。
柱)と構成ミラーとから成る但し後者は外部障害フィー
ルげに対して影響を受けやすい。さらに電子に対する高
い加速直圧の際、絶縁上の問題が起こる。従って最近で
は純磁気的フィルタが賞用される。これらのエネルギフ
ィルタの場合、電子走行路(軌道)の経過に応じてアル
ファ及びオメガフィルタの区別がある。
アルファフィルタは例えば刊行物J、F’H。
Perez e a、 (Journal de Ph
ysique、 Co11oqueC2,supple
mentaun2. 45. C2−171(198
4))から公知である。このフィルタは異なるフィール
P(磁界)強度を有する2つの磁気的セクタ(方向変換
領域)から成り、その際それらの領域は狭い中間空間に
よって分離されている。上記セクタの1つを、フィルタ
にて人、出射の際ビームが通過する。
ysique、 Co11oqueC2,supple
mentaun2. 45. C2−171(198
4))から公知である。このフィルタは異なるフィール
P(磁界)強度を有する2つの磁気的セクタ(方向変換
領域)から成り、その際それらの領域は狭い中間空間に
よって分離されている。上記セクタの1つを、フィルタ
にて人、出射の際ビームが通過する。
結渾電子フィルタは電子顕微鏡にて最適に使用され得る
ためには次の2つの条件を充足しなければならない。多
数の画点が局部分解能の損失なしに伝送されなければな
らず、出口側走行平面(セレクション平面とも称される
)における結像誤差は次のような程度にわずかでなけれ
ばならない、即ち通過された成子の小さなエネルギit
−実現できる程わずかでなければならないのである。後
者の条件は公知のアルファフィルタによっては充足され
ず、最も小さいエネルギ幅はほぼ700 eVである。
ためには次の2つの条件を充足しなければならない。多
数の画点が局部分解能の損失なしに伝送されなければな
らず、出口側走行平面(セレクション平面とも称される
)における結像誤差は次のような程度にわずかでなけれ
ばならない、即ち通過された成子の小さなエネルギit
−実現できる程わずかでなければならないのである。後
者の条件は公知のアルファフィルタによっては充足され
ず、最も小さいエネルギ幅はほぼ700 eVである。
発明の目的
本発明の課題とするところは良好な局部分解能を有する
のみならず、小さなエネルギ@をも可能にするアルファ
フィルタを提・供することにある。
のみならず、小さなエネルギ@をも可能にするアルファ
フィルタを提・供することにある。
発明の構成
上記課題の解決のため本発明によれば中間空間により切
離された6つの方向変換領域を設は前記中間空間の長さ
は前記方向変換領域の大きさのオーダであるようにした
のである。
離された6つの方向変換領域を設は前記中間空間の長さ
は前記方向変換領域の大きさのオーダであるようにした
のである。
本発明の実施例によれば方向変換角度は請求範囲1に対
して従属項になっている請求範囲2に記載の数値領域に
選定される・ 請求範囲6は磁慄片と電子ビームの波頭との間の角度に
対する有利な数値領域を規定する。゛本発明の実施例に
よれば磁極片のj外にある周辺フィールドが、遮蔽板(
文献中ではミラープレート又はフィールドクランプとも
称されている)により着しく小さくされる。これらの遮
蔽板は少なくとも択のような個所すなわち成子ビームが
方向変換領域に入出射する個所では磁極縁かられずかな
間隔をおいて且有利には磁極片表面と同じ高さに配置さ
nる。本発明の別の実施例によれば遮蔽板は磁極片と共
に1つの共通の部分、例えば軟鉄から成るものを形成す
る。
して従属項になっている請求範囲2に記載の数値領域に
選定される・ 請求範囲6は磁慄片と電子ビームの波頭との間の角度に
対する有利な数値領域を規定する。゛本発明の実施例に
よれば磁極片のj外にある周辺フィールドが、遮蔽板(
文献中ではミラープレート又はフィールドクランプとも
称されている)により着しく小さくされる。これらの遮
蔽板は少なくとも択のような個所すなわち成子ビームが
方向変換領域に入出射する個所では磁極縁かられずかな
間隔をおいて且有利には磁極片表面と同じ高さに配置さ
nる。本発明の別の実施例によれば遮蔽板は磁極片と共
に1つの共通の部分、例えば軟鉄から成るものを形成す
る。
その際磁界を形成するためのコイルはそれ自体閉じられ
た1つのチャネル(溝)内に挿入されておりこのチャネ
ルは磁極片表面を周囲違敞面から切離す。このように、
小さい所定の周辺フィールドを有する均質磁界を形成す
る技術はA、V、 Crevre e、a、 (Rev
、 Sci、 In5tr 42+411 (1971
))の研究報告から公知である。
た1つのチャネル(溝)内に挿入されておりこのチャネ
ルは磁極片表面を周囲違敞面から切離す。このように、
小さい所定の周辺フィールドを有する均質磁界を形成す
る技術はA、V、 Crevre e、a、 (Rev
、 Sci、 In5tr 42+411 (1971
))の研究報告から公知である。
本発明のエネルギフィルタの中心平面内には入口側像平
面の非点収差中間像が線状焦点(St、richfok
us )を以て偏向フィールP方向に対して平行に位置
し、入口11111走行平面の非点収差中間像が位置す
る。さらに入口側像平面の、出口側像平面内への色消し
くアクロマチック)非点収差結像が縮尺1fl:1で行
なわれ、且入口側走行平面の、出口側走行平面内への分
散性で共心の結像が行なわれる。
面の非点収差中間像が線状焦点(St、richfok
us )を以て偏向フィールP方向に対して平行に位置
し、入口11111走行平面の非点収差中間像が位置す
る。さらに入口側像平面の、出口側像平面内への色消し
くアクロマチック)非点収差結像が縮尺1fl:1で行
なわれ、且入口側走行平面の、出口側走行平面内への分
散性で共心の結像が行なわれる。
遮蔽板を有するエネルギフィルタの主要な利点は容易に
調整し易く、障害フィールドを良好に遮蔽できることで
ある。
調整し易く、障害フィールドを良好に遮蔽できることで
ある。
実施例
次に本発明を第1図〜第2b図を用いて詳細に説明する
。
。
第1図中図平面は′電子ビームの中心軸線11がフィル
タを通過する平面であろう本発明のフィルタも、図千面
に対して垂直に位置する中心平面(この中心平面は11
11i110にて図平面と交差する)に対して対称的に
構成されている。
タを通過する平面であろう本発明のフィルタも、図千面
に対して垂直に位置する中心平面(この中心平面は11
11i110にて図平面と交差する)に対して対称的に
構成されている。
第1図に示すフィルタは磁石から成り、この磁石の、図
平面より下方にある磁極面12゜13.14はその縁1
2a、13a、14aが示されている。図平面の上方及
び下方にある磁極片(、これは図平面に対して鏡対称的
に同じに構成されている)間に均質す磁界が生じ、この
磁界により、成子ビームは方向変換領域12b。
平面より下方にある磁極面12゜13.14はその縁1
2a、13a、14aが示されている。図平面の上方及
び下方にある磁極片(、これは図平面に対して鏡対称的
に同じに構成されている)間に均質す磁界が生じ、この
磁界により、成子ビームは方向変換領域12b。
13 b + 14 b t 12 eにおいて、
方向変換半径R1,+ R2を有する円形路(軌道)
上で角度φ1及びφ2だけ偏向される。そのm+11確
な半径及び角度は電子のエネルギに依存し、それにより
出口側走行(飛程)平面QA内に生じるエネルギスペク
トルから諸領域が取除かれ得る。
方向変換半径R1,+ R2を有する円形路(軌道)
上で角度φ1及びφ2だけ偏向される。そのm+11確
な半径及び角度は電子のエネルギに依存し、それにより
出口側走行(飛程)平面QA内に生じるエネルギスペク
トルから諸領域が取除かれ得る。
第1方向f換領域12b1中への電子ビーム11の入射
の際磁極片12の縁12C(及び相応して図平面に対し
て鏡対称的に配置された、i界に対する磁極片の図示し
てない縁)は、′成子ビーム11の波頭の方向11cと
共に角度ε12を成す。方向変換領域12bから射出す
る成子ビーム11の方向1ibと磁極片12の縁12a
との間に角度C3が生じる。同様の角度’31 ’4
が1lc2方向変換狽域13’o中ニテ人、出射の除土
じる。方向′R侠領領域 2 b+ 13 b。
の際磁極片12の縁12C(及び相応して図平面に対し
て鏡対称的に配置された、i界に対する磁極片の図示し
てない縁)は、′成子ビーム11の波頭の方向11cと
共に角度ε12を成す。方向変換領域12bから射出す
る成子ビーム11の方向1ibと磁極片12の縁12a
との間に角度C3が生じる。同様の角度’31 ’4
が1lc2方向変換狽域13’o中ニテ人、出射の除土
じる。方向′R侠領領域 2 b+ 13 b。
14b間に比較的大きな間隔’2p 13が存在する
。
。
フィルタの対称構成に基づき、第2の通過部において方
向変換領域14b、12bにて人、出射に対して第1図
に示すような角度61.ε2゜ε3.ε4が当嵌まる。
向変換領域14b、12bにて人、出射に対して第1図
に示すような角度61.ε2゜ε3.ε4が当嵌まる。
波頭と磁極片縁との間に存在するそのような角度の適当
な選択により、図平面に対して垂1区の平面内でも電子
ビームの収束を達成できる。結像エラーの良好な補正の
ため、第1図に示す装置構成に対して次の数値領域が特
に好適であることが明らかになっている。
な選択により、図平面に対して垂1区の平面内でも電子
ビームの収束を達成できる。結像エラーの良好な補正の
ため、第1図に示す装置構成に対して次の数値領域が特
に好適であることが明らかになっている。
50’≦φl≦75゜
105°≦φ2≦1600
一5°≦61≦15゜
一5°≦e2≦20゜
2Ll’≦ε3≦40’
一65°≦64≦−15゜
0.8≦R2/R1≦1.6
その場合エネルギフィルタのほかの幾何的寸法d工+
11+ 12y 13+ R2/ R1は必然
的に出口側像平面BA内への入口側像平面軸の少なくと
も近似的に共心の結像及び出口側走行平面Q内への入口
側走行平面Q8の少なくとも近似的な共心の結像の要求
によシ与えられる。
11+ 12y 13+ R2/ R1は必然
的に出口側像平面BA内への入口側像平面軸の少なくと
も近似的に共心の結像及び出口側走行平面Q内への入口
側走行平面Q8の少なくとも近似的な共心の結像の要求
によシ与えられる。
第1図に示す磁極片12.13.14は看しく拡がった
周辺フィールドを有し、これらの周辺フィールドは方向
に換領域12b、13b。
周辺フィールドを有し、これらの周辺フィールドは方向
に換領域12b、13b。
14b、128外でも電子ビーム11に影響するもので
ある。これらの周辺フィールドは遮蔽板によって著しく
小さくできる。第2a図、第2b図に示すそれの特別な
実施例では第1図中12で示す磁極片32は遮蔽板と共
に1つの共通の部分30を形成する。この部分30は偏
向系に属する第2部分31と同様に例えば軟鉄から成夛
得る。部分30.31中には偏Sを有する溝34.35
が形成されており、それらの溝の内部輪郭は−jえば縁
32Cj 32dt有する磁極片32.33の形を成
す。!1134.35の外側輪郭は例えば遮蔽板38の
縁40c、40dを形成する。溝34.35内に位置す
るコイル36.37を通って流れるは流により、磁極片
32.33間に均質な磁界が生ぜしめられる。
ある。これらの周辺フィールドは遮蔽板によって著しく
小さくできる。第2a図、第2b図に示すそれの特別な
実施例では第1図中12で示す磁極片32は遮蔽板と共
に1つの共通の部分30を形成する。この部分30は偏
向系に属する第2部分31と同様に例えば軟鉄から成夛
得る。部分30.31中には偏Sを有する溝34.35
が形成されており、それらの溝の内部輪郭は−jえば縁
32Cj 32dt有する磁極片32.33の形を成
す。!1134.35の外側輪郭は例えば遮蔽板38の
縁40c、40dを形成する。溝34.35内に位置す
るコイル36.37を通って流れるは流により、磁極片
32.33間に均質な磁界が生ぜしめられる。
これに反して溝34.35外には磁シ(が生ぜず、その
結果周辺フィールドは実質的に購の幅Sに制限されてい
る。遮蔽板38.39の間隔りは成子ビーム11が通過
する個所41にてtifi極表面32.33の間隔と同
じ大きさである。但し、そうでなくてもよい。その他の
個所40では遮蔽板38.39は直ぐ相互に上下に重な
り合っている。
結果周辺フィールドは実質的に購の幅Sに制限されてい
る。遮蔽板38.39の間隔りは成子ビーム11が通過
する個所41にてtifi極表面32.33の間隔と同
じ大きさである。但し、そうでなくてもよい。その他の
個所40では遮蔽板38.39は直ぐ相互に上下に重な
り合っている。
局部分解能の損失なしに伝送される像点の最大数、及び
出口側走行平面QA内での最小のエラー、よって、わず
かなエネルギ幅がOT牝であることは請求範囲5に規定
した数値領域の選定によって達成される。その場合フィ
ルタの幾何学的寸法は次のように規格化されている、即
ちR1の適当な選択によυ間隔の差d1−11が走行平
面と像平面との間の間隔(その際その間隔は任意の電子
顕微鏡の結像系により与えられるものである。)に適合
され得るように規格化されている。
出口側走行平面QA内での最小のエラー、よって、わず
かなエネルギ幅がOT牝であることは請求範囲5に規定
した数値領域の選定によって達成される。その場合フィ
ルタの幾何学的寸法は次のように規格化されている、即
ちR1の適当な選択によυ間隔の差d1−11が走行平
面と像平面との間の間隔(その際その間隔は任意の電子
顕微鏡の結像系により与えられるものである。)に適合
され得るように規格化されている。
従来技術について説明したエネルギフィルタに比して、
請求範囲5に記載された数値は、係数2より小の係数分
だけ比較的に悪い局部分解能を有するが、200より大
の係数分だけ比較的に良好なエネルギ分解能を有する。
請求範囲5に記載された数値は、係数2より小の係数分
だけ比較的に悪い局部分解能を有するが、200より大
の係数分だけ比較的に良好なエネルギ分解能を有する。
もって、5 Q nmの終1摩半径を有する通有の電子
顕微鏡の場合2.6 eVまでのエネルギ幅ΔEが可能
である。
顕微鏡の場合2.6 eVまでのエネルギ幅ΔEが可能
である。
発明の効果
本発明によれば、良好な局部分解能を有するのみならず
、小さなエネルギ幅を可能にするアルファフィルタを実
現できるという幼果が萎される。
、小さなエネルギ幅を可能にするアルファフィルタを実
現できるという幼果が萎される。
第1図は本発明のアルファフィルタの実施例の構成図、
第2a図は統合化された遮蔽板を有する2つの磁極片か
ら成る偏向系の祈面図、第2b図は統合化された遮蔽板
を有する磁極片を示す平面図である。 Q、、 Q、・・・出口側、入口側走行(飛程)平面、
B、 、 B8・・・出口側、入口側源平面、12b
。 131=+、14b・・・方向変換領域!i9」 2a Figム Fig亜
第2a図は統合化された遮蔽板を有する2つの磁極片か
ら成る偏向系の祈面図、第2b図は統合化された遮蔽板
を有する磁極片を示す平面図である。 Q、、 Q、・・・出口側、入口側走行(飛程)平面、
B、 、 B8・・・出口側、入口側源平面、12b
。 131=+、14b・・・方向変換領域!i9」 2a Figム Fig亜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、磁界中に方向変換領域を有する結像磁気的電子エネ
ルギフィルタであつて、前記磁界によりエネルギフィル
タにて入出射の際方向変換領域を電子ビームが通過せし
められるように構成されているものにおいて、中間空間
(l_2、l_3)によつて切離されている3つの方向
変換領域(12b、13b、14b)を設け、前記中間
空間の長さは方向変換領域(12b、13b、14b)
の大きさのオーダであることを特徴とするアルファ形電
子エネルギフィルタ。 2、次の数値領域内にある方向変換角度(φ_1、φ_
2)が選定されており、 50°≦φ_1≦75° 105°≦φ_2≦130° さらに、次の数値領域内にある、各方向変換半径(R_
1、R_2)相互間の比が選定されている0.8≦R_
2/R_1≦1.6 特許請求の範囲第1項記載のエネルギフィルタ。 3、磁極片縁(12c、12d)と電子ビーム(11)
の波頭の方向(11a、11b)との間の角度(ε_1
、ε_2、ε_3、ε_4)は次の数値領域内にあるよ
うに選定されており、 −5°≦ε_1≦15° −5°≦ε_2≦20° 20°≦ε_3≦40° −35°≦ε_4≦−15° さらに、幾何学的寸法(d_1、l_1、l_2、l_
3、R_2/R_1)は出口側像平面(B_A)内での
入口像平面(B_E)の少なくとも近似的に共心の結像
の条件、また、出口側走行平面(Q_A)内での入口側
走行平面(Q_E)の少なくとも近似的に共心の結像の
条件が満たされているように選定されている特許請求の
範囲第2項記載のエネルギフィルタ。 4、最初の方向変換領域(12b)の前、各方向変換領
域(12b、13b、14b、12e)間、最後の方向
変換領域(12e)の後に遮蔽板(38、39)が設け
られており、該遮蔽板の表面は少なくとも近似的に磁極
片(32、33)の表面の高さのところに位置し、前記
遮蔽板の縁(40c、40d)は磁極片の縁(32c、
32d)に対して平行にわずかな間隔(S)をおいて配
置されている特許請求の範囲第3項記載のエネルギフィ
ルタ。 5、下記の数値が選定されており、 φ_1=65° φ_2=115° ε_1=9.5° ε_2=13.7° ε_3=29.4° ε_4=−27.5° R_2/R_1=1.2 さらに下記の幾何学的寸法が選定されており、 d_1=1.73R_1 l_1=0.28R_1 l_2=2.41R_1 l_3=0.50R_1 S=0.10R_1 D=0.10R_1 その際R_1は差d_1−l_1が走行平面と像平面と
の間隔に等しいように選定されており、前記間隔は電子
顕微鏡の結像系により与えられている特許請求の範囲第
3項記載のエネルギフィルタ。 6、中心平面(10)内に入口側像平面(B_E)の非
点収差中間像が線状焦点を以て偏向フィールド方向に対
して平行に位置し、入口側走行平面(Q_E)の非点収
差中間像が線状焦点を以て、偏向フィールド方向に対し
て垂直方向に位置するように構成されている前記特許請
求の範囲各項のうちいずれかに記載のエネルギフィルタ
。
Applications Claiming Priority (2)
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