JPS6258853U - - Google Patents

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JPS6258853U
JPS6258853U JP15137185U JP15137185U JPS6258853U JP S6258853 U JPS6258853 U JP S6258853U JP 15137185 U JP15137185 U JP 15137185U JP 15137185 U JP15137185 U JP 15137185U JP S6258853 U JPS6258853 U JP S6258853U
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JP
Japan
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sample
processing chamber
partition plate
chamber
moving shaft
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JP15137185U
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例の試料処理時の状
態を示す構成図、第2図はその測定時の状態を示
す構成図、第3図は従来の試料交換装置を示す構
成図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し
、1は試料測定室、4,7は真空ポンプ、5は試
料処理室、8はゲートバルブ、9は試料交換棒、
10は試料ホルダ、11は移動軸、12,22は
直進ころがり軸、21は仕切板、24は連絡路で
ある。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) それぞれ真空排気系を有する試料処理室お
    よび試料測定室と、前記試料処理室からゲートバ
    ルブを通して試料測定室に試料ホルダを導入する
    試料交換棒と、この試料交換棒の移動軸に案内さ
    れ、かつ移動軸が試料処理室から試料測定室に伸
    びたときに試料処理室と試料測定室の連絡路を塞
    ぐ仕切板とを備えた試料交換装置。 (2) 仕切板が移動軸に直進ころがり軸受により
    案内されたものである実用新案登録請求の範囲第
    1項記載の試料交換装置。 (3) 仕切板が試料処理室の内壁に密着して連絡
    路を閉じるものである実用新案登録請求の範囲第
    1項または第2項記載の試料交換装置。
JP1985151371U 1985-10-02 1985-10-02 Expired JPH0355238Y2 (ja)

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JP1985151371U JPH0355238Y2 (ja) 1985-10-02 1985-10-02

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JPS6258853U true JPS6258853U (ja) 1987-04-11
JPH0355238Y2 JPH0355238Y2 (ja) 1991-12-09

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ID=31068384

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0355238Y2 (ja) 1991-12-09

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