JPS6258432A - 集積型光ピツクアツプヘツド - Google Patents

集積型光ピツクアツプヘツド

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Publication number
JPS6258432A
JPS6258432A JP60197136A JP19713685A JPS6258432A JP S6258432 A JPS6258432 A JP S6258432A JP 60197136 A JP60197136 A JP 60197136A JP 19713685 A JP19713685 A JP 19713685A JP S6258432 A JPS6258432 A JP S6258432A
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JP
Japan
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light
laser
layer
photodetector
pickup head
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Pending
Application number
JP60197136A
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English (en)
Inventor
Chiaki Sato
千秋 佐藤
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6258432A publication Critical patent/JPS6258432A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/026Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
    • H01S5/0262Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices
    • H01S5/0264Photo-diodes, e.g. transceiver devices, bidirectional devices for monitoring the laser-output

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  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光ビデオディスク等の光記録媒体に対して情報
の記録または再生を行なう集積型光ピ・ツクアップヘッ
ド峰遥の改良に関する。
[従来の技術] レーザ光を用いた高密度情報記録システムとしての光デ
イスクシステムは、急速に展開しつつある情報化社会を
担う情報システムとして注目されている。そして既に実
用化されているビデオディスクを含め光デイスクシステ
ムはさらに一層の機能向上をめざして活発な研究開発が
行なわれている。かかる光デイスクシステムにおける光
ピツクアップヘッドはアナログプレーヤのピックアップ
カートリッジに相当するものであり光ディスクシステム
にとってきわめて重要なコンポーネントであるといえる
これまで開発されてきた光ピツクアップヘッドは、いず
れも半導体レーザ、レンズ、ミラー、偏光ビームスピリ
ツタ等の個々の光学素子を金属基板上に配置したものと
なっている。したがって小型・軽量化が難しく、部品点
数が多いという゛欠点があった。
このような問題点を解決する手段として、例えば特開昭
59−151129号公報に示されているように先導波
路を用いた光ピツクアップヘッドが提案されている。
第8図はその概要を示す図である。図に示すようにシリ
コン基板l上にはLiNbO3基板2が配置され、その
上層部に導波路2aが形成されている。導波路2aの光
入射端には半導体レーザ3が配置されており、光出射端
には集積化レンズ4が接合されている。そして導波路2
aの途中には、光入射端側から光出射端側に向けて、半
導体レーザ3からの出射光を平行光束化するコリメート
レンズ5、平行光束化された光ビームをブラッグ回折さ
せるための弾性表面波を発生させる交差電極6、回折光
を導波路2aの断面内で偏位させるグレーティングレン
ズ7、か順次配設されている。またシリコン基板lの一
側面には6個のフォトダイオードからなる光検出器8が
設けである。シリコン基板lの上面にはマイクロコンピ
ュータで構成された制御回路9が設けてあり、前記集積
化レンズ4、交差電極6、グレーティングレンズ7、光
検出器8などと電気的に接続されている。かくして半導
体レーザ3から出射したレーザ光は導波路2aを伝搬し
、伝搬した光ビームは集積化レンズにより光デイスク1
0上の図示しないピットに集光照射される。光ディスク
lOからの反射光は光検出器8により受光され、光デイ
スク10上に形成される光スポットの状態すなわちフォ
ーカシング情報、トラッキング情報などの検出が行なわ
れるものとなっている。
[発明が解決しようとする問題点] しかるに上記構成の従来の光ピツクアップヘッドにおい
ては、制御回路9の基板を形成しているシリコンと、導
波路2aの基板を形成しているLiNbO3との整合性
が悪いという欠点を有している。また導波路2aには光
をブラッグ回折させる炒≠弾性表面波を発生させるため
の交差電極6やグレーティングレンズ7が配置されてい
るため、極めて複雑な製造工程を必要とし、コストの低
減をはかりがたいという欠点を有していた。さらに同一
基板上に光源である半導体レーザ3、光検出器8などを
導波路2aと一体的に集積化することが困難であり、こ
の点でも製作が困難化しコスト高とならざるを得ないと
いう問題があった。
そこで本発明は、基板素材間の整合性の問題がなく、小
型軽量である上製作が極めて容易でコストの低減をはか
り得、加えて光記録媒体からの光が光源側に戻ることの
ない集積型光ピックアップヘッドを提供することを目的
とする。
E問題点を解決するための手段] 本発明は上記問題点を解決し目的を達成するために、次
のような手段を講じたことを特徴とじている。すなわち
、出射光偏向機能を有する半導体レーザと、この半導体
レーザからの出射光の光路を変換し光記録媒体に向けて
照射する反射体と、前記光記録媒体からの反射光を受光
して情報を検出する光検出器とを、同一基板上に集積す
る。なお反射体としては平面反射ミラーあるいは集光機
能をもった楕円ミラーを用いる。また光検出器としては
トラッキング情報およびまたはフォーカシング情報を検
出可能な如く、同一平面上に複数の受光素子を配列した
ものを用いる。
[作用] このような手段を講じたことにより、光源としての半導
体レーザと反射体と光検出器とが一体的に形成されるの
で、小型軽量なものとなり、製作も容易となる。しかも
同一基板上に形成した反射体により光記録媒体への照射
を行なうようにしているので、いわゆる戻り光がなくな
る。
[実施例コ 第1図は本発明の第1の実施例の全体的構成を示す斜視
図であり、半導体レーザ・フォトダイオ−ド集積型の光
ピツクアップヘッドを示している。
この光ピツクアップヘッドは、中央部分をエツチング等
により分離されることにより、レーザ領域りと光検出領
域りとに部分されている。
レーザ領域りは次のように形成されている。図中11は
n型GaAs基板であり、この基板ll上にn型GaA
、ffAsクラッド層12、n型GaA、11’As活
性層13、p型GaAノAsクラッド層14、n型Ga
Asキャップ層15、絶縁層(Si3Nt)16、電極
17a、 17bが形成されている。なお電極17aと
17bとは、電極分割部18により電気的に分離されて
いる。基板11の他側面には別の電極19が形成されて
いる。
光検出領域りは次のように形成されている。層構造自体
はレーザ領域りの層構造とほぼ同様である。ただし、キ
ャップ515より上の部分はエツチング等により除去さ
れており、クラッド層14の上にフォトダイオードから
なる光検出器20が十字状の分離帯21によりa −d
に4分割された状態で配設されている。上記分離帯21
はエツチングあるいはドライエッチグ等の手段により形
成される。
レーザ領域りと光検出領域りとの間の中央分離部分には
、レーザ出射端面22および反射面23が形成されてい
る。なお第1図中24は光記録媒体としムスキャニング
半導体レーザ(以下BSLと略称する)を構成している
。そこで以下BSLについて詳細に説明する。
半導体レーザは、一般にその導波機構に応じて、屈折率
導波型と利得導波型との二つに分けられる。
前者は、半導体レーザの活性層の接合面に対し、垂直方
向および平行方向ともに屈折率によって光が導波される
機構をもったものであるのに対し、後者は活性層に注入
されるキャリア密度に依存する利得の高いところに沿っ
て光が導波されるという性質に基いた機構を有するもの
である。
BSLは、この利得導波機構を積極的に活用したもので
ある。すなわち、通常の利得導波型半導体レーザの活性
層内の利得分布は、活性層上に電流注入電極が一様に形
成されているので、活性層中心に対して対称に分布する
。一方、BSLの場合は、活性層上に2つに分割した電
極が形成されており、この一対の電極に独立に電流を注
入することができるので、活性層内の利得分布を非対称
にすることができる。
第2図はBSLの構造例を示す斜視図であり、文献rD
、R,5cif’res Appl phys Let
t 33 (8)、  702゜19784に示されて
いるものである。
なお第1図のレーザ領域りとの対応をとるために同一機
能部分には同一符号を付しである。
第2図に示すようにn型GaAs基板lI上に、n型G
a   Aノ  Asクラッド層12、p型0.5  
0.5 0.95   0,05 AS活性層13、n型Ga 
   Aノ Ga    Aノ  Asクラッド層14、n型0.5
   0.5 GaAsキャップ層15が順次形成されている。このキ
ャップ層25上には、電流狭搾用の絶縁層16を介して
二分割された電極17a、 17bが設けである。
すなわちこの電極17a、17bは、電極分割部分18
において分離されており、一対のリード線19a、 1
9bを介してそれぞれ独立に電流II、12を注入可能
になっている。また前記キャップ層15の電極17a、
 17bと接している部分には、それぞれZn拡散領域
30a、30bが設けてあり、電極17a、 17bか
ら注入される電流励起領域を制限するようになっている
活性層13の活性領域31における非対称利得分布は、
上述した注入電流It、I2の比を変えることにより行
なう。
すなわち、注入電流を非対称(Il〆12)にすると、
活性層13内に注入されるキャリアの密度は注入電流の
大きい電極側が高くなる。例えば11>12の場合には
、電極17a側からキャリアが多く注入され、活性領域
31内での利得はII側が高くなる。従って、利得分布
のピークが17a側に偏った第3図(a)に示すような
分布を示す。
逆に11<I2とすると、活性領域3[内での利得はI
2側が高くなり、利得分布のピークが17b側に偏った
第3図(b)に示すような分布を示す。
第3図(a)、(b)に示す利得分布を形成した場合の
活性層23の光モードの波面の位相は、第4図(a)、
(b)に示すように傾斜した波面となることかわかる。
波面の傾斜の方向は、注入電流mI+、I2の比により
決定される。なお、第3図、第4図における横軸Xは接
合面と平行な方向を示す。
レーザ出射光の方向は、活性層13内の光の波面の傾向
に依存しており、その遠視野像は、第5図(a)、(b
)に示すようにレーザ端面法線に対して所定角度偏向さ
れた方向にピークを有している。
この出射光ピーク位置は、活性層13への注入電流比1
1/ I 2を連続的に変化させることにより、一定偏
向角の範囲で連続的に移動させ得る。
BSLの光源としての動作の特徴は、第6図に示すよう
に、出射光の強度分布のピークpを注入電流比If/1
2の可変操作により矢印で示すように連続的に偏向させ
ることができる点である。
次に上記の如く構成された光ピツクアップヘッドの動作
を説明する。
左右の電極17a、 17bから活性層13へ電流の注
入を行なうと、レーザ領域りにおいてレーザ発振が開始
される。レーザ出射端面22から出射した出射光■は、
光検出領域り側に設けである反射面23より反射され、
光ディスク24に入射し、光ディスク24からの反射光
Wは、4分割光検出器20に入射し、次のように光検出
が行なわれる。
光検出器20に入射した光はクラッド層14を透過し、
活性層13およびクラッド層12の近傍に到達し吸収さ
れる。いま、活性層13とクラッド層12により形成さ
れるpn接合にブレークダウン電圧以下の逆バイアス(
不図示)が加えられているとすると、この光吸収領域で
電子・正孔が生成し、電子はn領域(クラッド層12)
に、正孔はp領域(活性層13)にそれぞれ移動するの
で電流として検出される。
トラッキングエラーの検出は、光デイスク24上のビッ
トのある部分とない部分とで反射光が互いに干渉するこ
とを利用して行なう。すなわち、光スポットがピットか
ら外れると光は100%近く反射されるのに対し、光ス
ポットが一部ピット内−を照射すると、反射率が低下し
、反射光の光量変化が生じる。そこで上記光量の変化を
光検出器20て監視し、最少光量を検知することにより
、トラッキングエラーを検出できる。トラッキングエラ
ーか生じた場合にはBSLへの前記注入電流・比を変え
てビームスキャニングを行なうことにより出射光Vの偏
向を行ない、光デイスク24上で光スポットのトラッキ
ング補正を行なえばよい。
上記した本実施例においては、光源としてのレーザ領域
りおよび光検出領域りを同一基板上に一体的に形成でき
るので、極めて小型軽量なものとなる。またレーザ領域
りからの出射光Vを同一基板上に形成した反射面23に
より光ディスク24へ入射させるようになっているので
光ディスク24からのいわゆる戻り光はレーザ領域りに
は再入射しないという大きな利点を有する。
次に第8図に示す第2の実施例について説明する。この
第2の実施例が前記第1の実施例と異なる点は、反射体
として前記実施例ではレーザからの出射光Vを集光する
機能のない反射面23を設けたのに対し、本実施例では
レーザ集光機能をもつ楕円ミラー40を設けた点である
第8図において40はレーザ領域りの他方の端面に対向
する如く設けられた楕円ミラーであり、レーザ出射端面
41と光ディスク24の記録面とがそれぞれ一方の焦点
となるように形成されている。
従って、レーザからの出射光Vは、楕円ミラー40によ
り反射され、光デイスク24上に焦点を形成し、その反
射光Wが、光検出領域りに形成しである光検出器20上
にスポットを形成する。光検出器20は、分離帯21に
より4分割されているので、前記実施例で説明したのと
同じ方法により効率よくトラッキングエラー検出が行な
える。
またフォーカシングエラー検出も次のように行なえる。
すなわち、光ディスク24の記録面が、楕円ミラー40
の焦点位置Cより近い側Aにある場合には、光ディスク
24からの反射光Wにより光検出器20」−に形成され
るスポット25はc、d側に多く位置し、c、d側の光
出力が大となる。一方、光ディスク24が、楕円ミラー
40の焦点より遠い側Bにある場合には、光検出器20
上に形成されるスポット25は、a、b側に片寄り、従
ってa、b側の光出力が、c、d側の光出力よりも大と
なる。したがってフォーカスエラーが検出できる。
上記した本実施例においては前記実施例における作用効
果に加えて、集光機能が生じることからトラッキングお
よびフォーカシングをより適確に行なえる利点がある。
なお本発明は前記各実施例に限定されるものではない。
例えば前記実施例では集積型ピックアップヘッドと光デ
ィスク24との間に、外部レンズ系を介挿しない場合の
例を示したが、光スポットの集光特性向上のために外部
レンズ系を配設するようにしてもよい。この場合、第1
の実施例においては凸レンズをアレイ状に配したレンズ
アレイを用い、第2の実施例においては楕円ミラー4o
と直交する状態に配したシリンドリカルレンズアレイあ
るいはレンチキュラーレンズを用いるようにするとよい
また実施例では、レーザ材料、光検出器材料として、G
 a A s / G a A J A s系材料を用
いたが、I n P / I n G a A s P
系材料を用いてもよい。
すなわち、基板11にはn型1nP、  クラッド層1
2にはn−1nP、活性層13にはInGaAsP層。
クラッド層14にはn−1nGaAs P、キャップ層
15にはp型1nGaAsPを用いるようにしてもよい
。ただしInGaAsP系を用いた場合はレーザ発振波
長が1.3〜1.6pの赤外域となる。上記GaAs系
あるいはInP系の材料は、発光素子材料としては勿論
、受光素子としても使用できることから、これらの材料
の化合物半環体を基板として用いることにより、半導体
レーザ、光検出器、反射ミラー等の光学系を同一基板上
に集積した状態で形成できる利点を有する。
[発明の効果] 本発明によれば、次のような効果を奏する。同一基板上
に半導体レーザと光検出器と反射体とを一体的に集積す
るようにしたので、適合性がよく小型軽量なものとなり
、製作が容易で安価となる。
また同一基板上に形成した反射体からの光を光記録媒体
に照射するようにしているので、いわゆる戻り光がなく
良好なピックアップ機能が発揮できる。さらに光源とし
てBSLを用いているので、メカニカルな偏向手段を用
いずに光スポットのトラッキングを行なえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の全体的構成を示す斜視
図、第2図は同実施例のBSLを示す斜視図、第3図(
a)(b) 〜第5図(a)(b)は同BSLの特性を
示す図、第6図(a)(b)は同BSLの作用を示す図
、第7図は本発明の第2の実施例を示す斜視図である。 第8図は従来例を示す斜視図である。 L・・・レーザ領域、D・・・光検出領域、11・・・
基板、12・・・クラッド層、13・・・活性層、14
・・・クラッド層、15・・・キャップ層、16・・・
絶縁層、17a、 17b・・・電極、20・・・光検
出器、・・・レーザ光出射端面、23・・・反射面、2
4・・・光ディスク、40・・・楕円ミラー。 第1図 第2図 (a)(b) 第3図 (a)       (b) 第4図 (a)        (b) 第6図 2乙 第8図 手続ネm正書団式) 1、事件の表示 特願昭60−197136号 2、発明の名称 集積型光ピックアップヘッド 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 (037)  オリンパス光学工業株式会社4、代理人 東京都港区虎ノ門1丁目26番5号 第17森ビル5、
補正命令の日付(発送日) 昭和60年11月26日 ぼ1m! 7、補正の内容 (1)明細書第17ページ第12行の「第6図(a)(
b)Jを「第6図」と訂正する。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)出射光偏向機能を有する半導体レーザと、この半
    導体レーザからの出射光の光路を変換し光記録媒体に向
    けて照射する反射体と、前記光記録媒体からの反射光を
    受光して情報を検出する光検出器とを、同一基板上に集
    積したことを特徴とする集積型光ピックアップヘッド。
  2. (2)反射体は半導体レーザからの出射光を集光して放
    射する楕円ミラーであることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の集積型光ピックアップヘッド。
  3. (3)楕円ミラーは一方の焦点が半導体レーザの光出射
    端に一致し、他方の焦点が前記光記録媒体の記録面に一
    致するように設けられたものであることを特徴とする特
    許請求の範囲第2項記載の集積型光ピックアップヘッド
  4. (4)光検出器は同一平面内に配列された複数の受光素
    子からなり、トラッキング情報およびまたはフォーカシ
    ング情報を検出可能に設けられたものであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項または第2項または第3項
    記載の集積型光ピックアップヘッド。
JP60197136A 1985-09-06 1985-09-06 集積型光ピツクアツプヘツド Pending JPS6258432A (ja)

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